JPH05268782A - マイクロアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】マイクロマシン等の微小部品を駆動する必要が
ある様々な分野に適用される、磁場と熱で駆動するマイ
クロアクチュエータに於いて、磁性体のサイズを小さく
しても、かつ当該磁性体が磁場中心に正確に配置されて
いなくても比較的一様な力が得られる様にすると共に、
薄膜状での製作を容易ならしめるマイクロアクチュエー
タを提供する。 【構成】温度により磁化の大きさが変化する磁性材から
なる磁性体４を移行方向に取付延在する被駆動物体５
と、被駆動物体５の所要位置に臨ませた対極間にある磁
性体４に磁場印加自在に設けられた対極磁石１と、当該
対極間の磁性体４の対極中心を外れた箇所を加熱するた
めの光源６，光源６からの光を調節する光学系機器及び
光スイッチ８とからなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロマシン等の微
小部品を駆動する必要のある、例えば電気や光のスイッ
チが必要となる電気，光学機器，遠隔操作を必要とする
医療機器，ロボット分野等、あらゆる分野に適用され
る、磁場と熱で駆動するマイクロアクチュエータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種、磁場と電気を用いて回転するバ
ルクを用いたアクチュエータは、これまでにも開発され
ている（例えば日経メカニカル４７頁，１９８９年３月
２０日号）。図５（ａ），（ｂ）は従来発表されている
磁場と熱で回転するアクチュエータの原理図である。図
中、１は対極磁石、２は図示しない円盤の中心を軸とし
て回転出来る様にした円盤状ロータ、３は円盤状ロータ
２の円周上に等間隔に張り付けたNdCo5 磁性体、αは磁
石１から発生する磁場の中心線、βは熱である。亦、図
中の矢印はNdCo5 磁性体３の磁化の方向を示す。

【０００３】図５（ａ）に示す様、最初の状態では対極
磁石１間の磁場の中心線αに対して、円盤状ロータ２外
周上のNdCo5 磁性体３の位置は左右対称に設定されてお
り、当該NdCo5 磁性体３に於ける矢印で示す磁化の方向
が前記対極磁石１間の磁場により受ける力も左右対称で
釣り合っているため、円盤状ロータ２は動かない。

【０００４】次に同図（ｂ）に示す様、対極磁石１間の
磁場の中心線αから外れた位置のNdCo5 磁性体３を図示
しない赤外線ランプで熱βを加えて暖める。NdCo5 磁性
体３は、６２℃に加熱されると、磁化の方向は９０°向
きを変えるので、この結果、前記対極磁石１間の磁場の
中心線αの左右に於いて、磁場よりNdCo5 磁性体３の磁
化の方向が受ける力のバランスが崩れる。従って、前記
円盤状ロータ２は力の弱い方向へ回転することになる。
実際に縦２mm，横２mm，厚さ１mmのNdCo5 磁性体３と、
１１７Ｗの赤外線ランプを用いて４cm径程度の円盤状ロ
ータ２を回転させている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら当該従来
の原理により１mm以下のミクロンオーダのマイクロアク
チュエータを作製することは可能ではあるが、実際には
次の理由によって甚だ困難である。 １）円盤状ロータ２上に張り付けた磁性体３の磁化の方
向が９０°向きを変えるだけでは力の差分が小さく、十
分な駆動力が出ない。

【０００６】２）磁性体３であるNdCo5 のサイズをバル
クのままでmm以下にすることは加工技術上困難であり、
薄膜状に作製してからフォトリソグラフィ等の工程で成
形することが必須となる。しかるに、NdCo5 は非常に酸
化され易い材料であり、薄膜で特性が優れたもの（磁化
の方向が揃いしかも加熱により９０°方向を変える特
性）を作製することが非常に困難である。

【０００７】ここで、温度によって磁化の大きさを変え
る材料の特徴を図面に付き定量的に詳説する。図６
（ａ），（ｂ）は駆動力計算のためのモデル図である。
図中、４は磁性体の１ブロック、γは磁性体４と磁場を
含む面内での磁場の中心線（Ｎ極とＳ極からの等距離の
線）、ａは対極磁石１の中心線αから磁性体４までの距
離、ｂは前記磁場の中心線γと一方の磁石１までの距
離、ｃは前記磁場の中心線γに対する磁性体４の中心の
ズレである。

【０００８】亦、磁性体４中の矢印は当該磁性体４の磁
化の方向を示す。尚、前記図５と同一部材には同一符号
を付した。磁性体４は、長さ，幅共にＬの正面正方形の
ブロックで、本説明では厚さは無視する。

【０００９】ここで、図６（ａ）に示す様に磁性体４の
磁化の方向が磁場の中心線γに対して平行の場合と、同
図（ｂ）に示す様に直角の場合に於いて、磁性体４が磁
場によって受ける力の差を計算で示す。尚、対極磁石１
と前記磁性体４の磁荷はそれぞれ磁極の表面の一点に集
中しているとし、クーロン力を計算する。

【００１０】図６（ａ）の場合のクーロン力Ｆ１は、

【数１】 図６（ｂ）の場合のクーロン力Ｆ２は、

【数２】

【００１１】亦、前記式を利用して実際に計算した結果
を図７に示す。但し、ａ＝１，ｂ＝２とし、Ｌをパラメ
ータとしてｃ／ｂに対する引力を示した。図７より分か
る様に、Ｆ１とＦ２の差は、磁性体４のサイズＬが小さ
くなると共に急激に小さくなる。

【００１２】前記従来の磁化の向きが９０°変わるタイ
プでは、その駆動力はＦ１とＦ２の差分であるため、サ
イズの減少と共に駆動力が小さくなる弊害が起きるので
ある。しかもｃの大きさによっては、Ｆ１とＦ２が交差
する場合もあり、この場合には全く駆動力は得られない
ことになる。

【００１３】これはモータの様にステータとロータが固
定されており、ロータが前記磁場中心線γ上に必ず設定
されている場合には問題ないが、被駆動体たる磁性体４
が必ずしも磁場中心線γ上にないような場合には、動か
ない場合が生じるという致命的欠陥になる。亦、Ｆ２と
比してＦ１のｃに対する変化が大きいので、従来の原理
のアクチュエータでは、磁性体４の場所場所により力が
大きく変化することに相当し、不安定な駆動となる。

【００１４】ここに於いて、本発明は前記従来の課題に
鑑み、磁場と熱によって駆動するミクロンオーダのマイ
クロアクチュエータに於いて、基本的にはＦ２の状態か
ら磁化を零にして力を零にする、或いは磁化の向きをそ
のままにしてその大きさを減じることで、その結果磁性
体のサイズを小さくしてもＦ１と零の間の力が得られ、
かつ磁性体が磁場中心にいなくても比較的一様な力が得
られる様にして、従来の原理では困難であった駆動力の
増加を達成するとともに、当該磁性体の薄膜状での製作
を容易ならしめるマイクロアクチュエータを提供せんと
するものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題の解決は、本発
明が次に列挙する新規な特徴的構成手段を採用すること
により達成される。即ち、本発明の第１の特徴は、温度
により磁化の大きさが変化する磁性材からなる磁性体を
移行方向に取付け延在する被駆動体と、当該被駆動体の
所要位置に臨ませた対極間にある前記磁性体に磁場印加
自在に設けられた対極磁石と、当該対極間の磁性体の対
極中心を外れた箇所を加熱するための加熱手段と、当該
加熱手段の制御手段とからなるマイクロアクチュエータ
である。

【００１６】本発明の第２の特徴は、前記第１の特徴に
おける加熱手段と制御手段が、それぞれ光源と、当該光
源からの光を調節する光学系機器及び光スイッチとから
なるマイクロアクチュエータである。

【００１７】本発明の第３の特徴は、前記第１の特徴に
於ける加熱手段が、ニクロム線等の抵抗加熱用部品、或
いは高周波加熱用部品であるマイクロアクチュエータで
ある。

【００１８】本発明の第４の特徴は、前記第１，第２又
は第３の特徴に於ける磁性体が、基板上にフォトリソグ
ラフィ等によって短冊状に分割し、等間隔並行配置した
磁性膜からなるマイクロアクチュエータである。

【００１９】本発明の第５の特徴は、前記第１，第２，
第３又は第４の特徴に於ける被駆動体の磁性体が、その
磁性材として、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ及びそれらの合金であ
る強磁性体、又はＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの酸化物及びそれら
にＭｎ，Ｚｎ等を添加したフェライト、又はＲｈを４８
〜５４ａｔ％含む合金、若しくはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の
遷移金属とＧｄ，Ｔｂ，Ｎｄ等の希土類との金属間化合
物を用い、形態をバルク状，薄膜状又は微粒子状等にし
てなるマイクロアクチュエータである。

【００２０】本発明の第５の特徴は、前記第４の特徴に
於ける被駆動体の磁性体が、その磁性材に一軸磁気異方
性を付与してなるマイクロアクチュエータである。

【００２１】

【作用】本発明は、前記の様な手段を講じたので、磁場
と光による熱効果で作動し、しかも１mm以下のミクロン
サイズのマイクロアクチュエータを作製することが可能
となる。当該アクチュエータは駆動力も大きく、磁場の
不均一性にも大きく影響を受けない安定した駆動力が得
られる。

【００２２】

【実施例】（実施例１）本発明の第１実施例を図面につ
き説明する。図１は長さ数μm から数１０μm の微小な
素子を直進運動する駆動系の構成原理図、図２（ａ）は
図１の被駆動体の先端と後端を連結して円盤状にした全
体構成原理図、（ｂ）は同図（ａ）の中央縦断拡大側面
図である。

【００２３】図中、２′は円盤、５は一軸磁気異方性膜
の磁性体４を張付けた被駆動体、６は光源、７はレン
ズ、８は光スイッチ、δは光スポット、９は回転軸であ
る。亦、図中の矢印は磁性体４の磁化の方向を示す。
尚、従来例と同一部材には同一符号を付した。

【００２４】本実施例の磁性体４は比較的広く、キュリ
ー点で磁化が零となる強磁性体を用いることが出来る
が、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ及びその合金は、キュリー点での
磁化の減少が急峻であり、優れた材料である。但し、薄
膜状で作製する場合には大きな一軸磁気異方性が必要で
あり、室温では磁化の方向が一定である必要がある。

【００２５】前記Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の合金薄膜に対す
る一軸磁気異方性の付与方法は磁場中蒸着，磁場中アニ
ール，形状効果の付与等幾つか知られている。一方、Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ及びそれらの合金はキュリー点が４００
〜７００℃と比較的高く、高いパワーの光源６が必要で
あるという問題があるが、近年ハイパワーレーザの開発
が目ざましいこと、アクチュエータを小さくすることに
より、加熱部分も小さくなり、光を絞って用いることが
出来るので十分対処出来る。

【００２６】キュリー点が低いということではＭｎ，Ｚ
ｎ等を含むフェライト（９０〜２００℃程度），希土類
−遷移金属の金属間化合物等（１００〜２００℃）があ
り、異方性を付与した薄膜として用いることが出来る。
亦、Ｒｈを５０ａｔ％程度含むＦｅとの合金は室温では
磁化はほぼ零であり、７７℃付近で磁化が出現すること
が知られている（J.Appl.Phys.33,1343(1962)）。

【００２７】これを薄膜状にして異方性を付与して図
１，２に示した構成にすることにより更に安定したアク
チュエータが出来る。即ち、通常は被駆動体５は磁化を
持たないので、磁性体４を用いる場合に必要な磁場に対
するバランスを考慮する必要がない。よって形状や磁化
の均一性を厳密に考慮する必要性が小さいために作製が
楽になる。

【００２８】亦、磁化の向きは揃える必要があるが、磁
気異方性の方向まで素子全体に亙って揃える必要性も小
さくなる。これは特に不均一な磁場の中で駆動させる場
合重要な特性となる。尚、ここに挙げたＦｅ，Ｃｏ，Ｎ
ｉ及びその合金，フェライト，希土類−遷移金属の金属
間化合物，Ｒｈ−Ｆｅ合金等は何れも薄膜の作製が可能
であり、しかも種々の方法で磁気異方性付与することも
可能である。酸化に対する安定性は希土類−遷移金属の
金属間化合物を除いて全て安定である。

【００２９】膜の作製と同時にある方向に磁気異方性を
付与出来れば、その後加工する必要がないので磁性膜作
製と同時に保護膜をつけて酸化を防止する方法が取れ
る。この場合、アクチュエータとしての素子の形状は、
磁性膜を付ける基板で既に加工しておく。この様な方法
で希土類−遷移金属の金属間化合物も用いることが出来
る。

【００３０】本実施例の仕様は、このような具体的実施
態様であって、次にその動作を説明する。磁場の広がり
は磁性体４の磁気異方性の成因であるμm オーダの構造
分布よりも十分大きいとし、亦、磁化の向きは磁場の向
きと同じとする。最初光は照射されていないとする。こ
の状態では、磁石１の中心線αに対する被駆動体５の磁
性体４の磁化分布は対称であるので、磁場と磁化によっ
て生じる力は釣合い、被駆動体５は停止している。

【００３１】次に、光スイッチ８により被駆動体５に張
り付けられた磁性膜状の磁性体４に光を照射し、光スポ
ットδ部分を加熱すると、当該光スポットδ部分は、キ
ュリーワイスの法則で磁化が減少する。なお、前記光ス
ポットδは対極磁石１の中心線αから僅かにずらすもの
とする。この結果、被駆動体５に於ける前記対極磁石１
の中心線αに対する磁化分布が非対称となり、力のバラ
ンスが崩れるため、移動する際の抵抗が小さいとすれ
ば、当該被駆動体５は力が釣り合う位置まで移動するこ
とになる。

【００３２】例えば、図１に示した様に、被駆動体５の
対極磁石１の中心線αの右側に光を照射したとすれば、
右側の磁化が左側よりも小さくなり、左側が前記中心線
αに引っ張られる力が大きくなるため、被駆動体５全体
は右に移動する。前記光の照射位置たる光スポットδ位
置を固定し、連続して光を照射すると、加熱部は光が照
射されていない場所に相対移動するから、次々と反対
（左）側から新しい部分が照射されることとなり、連続
して前記被駆動体５が右側へ移動し続けることになる。

【００３３】この様な運動は、磁性体４の磁性膜が一軸
磁気異方性を有し、磁化の向きが一様に揃っていること
が重要である。亦、温度が下がったときに磁化が最初の
状態に戻るためにも大きな一軸磁気異方性が必要であ
る。図２に於いて、外周に沿って環状に取付けられた磁
性体４の磁性膜の異方性の方向は円盤２′の径方向とす
る。この様な構成にすることで、光の照射によって被駆
動体５は回転する。

【００３４】（第２実施例）本発明のマイクロアクチュ
エータの第２実施例を図面につき説明する。図３は本実
施例のマイクロアクチュエータを構成する被駆動体の要
部拡大構成図，図４は本実施例のマイクロアクチュエー
タの一部構成図である。図中、１０は基板、１１は磁性
膜、１２は磁性帯体、εは被駆動体５の中心線である。
尚、前記第１実施例を示す図１及び２と同一の部材には
同一符号を付してある。

【００３５】本実施例では、磁性膜１１の素材として４
０％Ｎｉ−６０％Ｆｅ合金を用い、スパッタリングによ
りポリイミドフィルムからなる基板１０上に厚さ１００
０Ａの薄膜を作製した。これをフォトリソグラフィの技
術を用いて図３に示した様に、幅ｄ＝２μm ，長さｅ＝
１０μm ，間隔ｆ＝２μm の短冊状に２cmの範囲で加工
して磁性帯体１２として被駆動体５を作製した。

【００３６】トルクメータで測定した結果、前記磁性膜
１１は短冊の長手方向を磁化容易軸とする一軸磁気異方
性を有しており、その大きさは、４×１０ ⁶erg ／ccで
あった。前記磁性膜１１のキュリー点はＶＳＭ測定した
結果３３０℃であった。一方、ポリイミド基板１０のサ
イズは幅１００μm ，長さ２cm，厚さｇ＝１００μm で
ある。

【００３７】これを潤滑剤を塗布した平滑なシリコン基
板上に乗せ、磁極の径ｈ＝５mm，ギャップｉ＝５mmで最
大磁束密度が１０kGaussの対極磁石１の対極ギャップの
中心付近においた。尚、磁性帯体１２の磁性膜１１の方
向は短冊の長手方向が磁場と平行になるようにした。

【００３８】対極磁石１の中心線αから２mm離れた磁性
帯体１２の一部に図示しないＹＡＧレーザ光を照射し
た。当該光の図示しないスポットδ径は１０μm であ
り、光パワーは磁性帯体１２面上で５００mWであった。
この結果、前記磁性帯体１２は基板１０であるポリイミ
ドと共に光スポットδが当たっていない前記対極磁石１
の中心線αに向かって移動した。この時の移動速度は、
２mm/sec程度であった。

【００３９】（第３実施例）本発明のマイクロアクチュ
エータの第３実施例を図面につき説明する。本実施例
は、前記第２実施例の図４で示した磁性帯体１２と磁場
の構成で、ＹＡＧレーザの代わりに０．１mmのニクロム
線を磁性帯体１２から０．２mm頭上に配置し、第１実施
例同様、磁石１の中心線αから２mm離れた所におき、前
記ニクロム線を０．２Ｗの電力で発熱させた。

【００４０】その結果、前記第２実施例同様、前記磁性
帯体１２は基板１０であるポリイミドと共に対極磁石１
の中心線αに向かって移動した。この時の移動速度は、
３mm/sec程度であった。亦、本実施例に於いて、図４に
示した様に、磁性帯体１２の載った被駆動体５の中心線
εを磁石１の中心線αから±１mmずらしても、移動速度
は殆ど変わらなかった。

【００４１】（第４実施例）本発明のマイクロアクチュ
エータの第３実施例につき説明する。本実施例は、前記
第２実施例の図３で示した磁性膜１１の素材として、Ｒ
ｈ５１ａｔ％Ｆｅ４９ａｔ％合金ターゲットを用い、ス
パッタリングにより石英からなる基板１０上に厚さ８０
０Ａの薄膜を作製した。

【００４２】尚、基板１０の温度は４００℃であった。
製膜後、更に１５００℃の０．１Torr水素雰囲気中で４
８時間アニーリングを行って取りだした。ＶＳＭで測定
した結果、室温での飽和磁化は２０emu/ccであり、６０
〜８０℃の転移温度で５６０emu/ccの飽和磁気が生じ
た。転移温度は２０℃程度の温度履歴を持った。

【００４３】前記薄膜を前記第２実施例と同様の方法
で、かつ同サイズの短冊状に加工して磁性帯体１２とし
た。これを、石英基板１０ごと幅１００μm ，長さ１cm
に成形し、基板１０の裏面を鏡面研磨して被駆動体５と
した。これを前記第２実施例と同様の対極磁石１の対極
間においた。尚、土台は潤滑剤を塗布したシリコン基板
である。

【００４４】前記第２実施例同様、本実施例の被駆動体
５の対極磁石１の中心線αから２mm離れた磁性帯体１２
の一部にＹＡＧレーザ光を照射した。光のスポットδ径
は１０μm であり、光パワーは磁性帯体１２面上で２０
０mWであった。この結果、前記磁性帯体１２は基板１０
である石英と共に光スポットδが当たっていない対極磁
石１の中心線αに向かって移動した。尚、移動速度は３
mm/sec程度であった。亦、光パワーを４００mWにすると
移動速度は４mm/secに増加した。

【００４５】

【発明の効果】かくして、本発明によれば、磁性体のサ
イズを小さくしても、かつ当該磁性体が磁場中心になく
ても比較的一様な力が得られる様にして、従来の技術で
は困難であった駆動力の増加を達成すると共に、当該磁
性体の薄膜状での製作を容易ならしめる磁場と光による
超小型なマイクロアクチュエータが作製出来るため、静
電気や超音波等を嫌う、或いは使用出来ない環境下で必
要とされる微小な駆動方法が実現される。

【００４６】特に、光は空中を伝搬するため駆動エネル
ギを運ぶリード線を必要としないので、例えば電気や光
のスイッチが必要とされる電気，光学機器，遠隔操作を
必要とする医療機器，ロボット等の分野で多大な貢献が
期待出来る等、優れた有用性を具有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の長さ数μm から数１０μ
m の微小な素子を直進運動する駆動系の概略構成図であ
る。

【図２】（ａ）は同上、被駆動体の先端と後端を連結し
て円盤状にした全体構成正面図、（ｂ）は（ａ）の中央
縦断拡大側面図である。

【図３】本発明の第２実施例のマイクロアクチュエータ
を構成する被駆動体に取付けられた磁性体の要部拡大図
である。

【図４】同上のマイクロアクチュエータの一部構成正面
図である。

【図５】（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来発表されている
磁場と熱で回転するアクチュエータの原理図である。

【図６】（ａ），（ｂ）はそれぞれ駆動力計算のための
モデル図である。

【図７】同上に於いてクーロン力を実際に計算した結果
のグラフである。

【符号の説明】

１…対極磁石 ２…円盤状ロータ ３…NdCo5 磁性体 α…対極磁石の中心線 β…熱 ４…磁性体 γ…磁性体と磁場を含む面内での磁場の中心線（Ｎ極と
Ｓ極からの等距離の線） ａ…対極磁石の中心線から磁性体までの距離 ｂ…磁場の中心線と一方の磁石までの距離 ｃ…磁場の中心線に対する磁性体の中心のズレ ２′…円盤 ５…被駆動体 ６…光源 ７…レンズ ８…光スイッチ δ…光スポット ９…回転軸 １０…基板 １１…磁性膜 １２…磁性帯体 ε…被駆動体の中心線

【手続補正書】

【提出日】平成４年８月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項５

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】 本発明の第５の特徴は、前記第１，第
２，第３又は第４の特徴に於ける被駆動物体の磁性体
が、その磁性材として、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ及びそれらの
合金である強磁性体、又はＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの酸化物及
びそれらにＭｎ，Ｚｎ等を添加したフェライト、又はＲ
ｈを４８〜５４ａｔ％含むＦｅ合金、若しくはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ等の遷移金属とＧｄ，Ｔｂ，Ｎｄ等の希土類と
の金属間化合物を用い、形態をバルク状，薄膜状または
微粒子状等にしてなるマイクロアクチュエータである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上西 祐司 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 渡部 昭憲 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 田中 秀尚 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】温度により磁化の大きさが変化する磁性材
   からなる磁性体を移行方向に取付け延在する被駆動体
   と、当該被駆動体の所要位置に臨ませた対極間にある前
   記磁性体に磁場印加自在に設けられた対極磁石と、当該
   対極間の磁性体の対極中心を外れた箇所を加熱するため
   の加熱手段と、当該加熱手段の制御手段とからなること
   を特徴とするマイクロアクチュエータ
2. 【請求項２】加熱手段と制御手段は、それぞれ光源と、
   当該光源からの光を調節する光学系機器及び光スイッチ
   であることを特徴とする請求項１記載のマイクロアクチ
   ュエータ
3. 【請求項３】加熱手段は、ニクロム線等の抵抗加熱用部
   品、或いは高周波加熱用部品であることを特徴とする請
   求項１記載のマイクロアクチュエータ
4. 【請求項４】磁性体は、基板上にフォトリソグラフィ等
   によって短冊状に分割し、等間隔並行配置した磁性膜か
   らなる請求項１，２又は３記載のマイクロアクチュエー
   タ
5. 【請求項５】被駆動体の磁性体は、その磁性材として、
   Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ及びそれらの合金である強磁性体、又
   はＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの酸化物及びそれらにＭｎ，Ｚｎ等
   を添加したフェライト、又はＲｈを４８〜５４ａｔ％含
   む合金、若しくはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の遷移金属とＧ
   ｄ，Ｔｂ，Ｎｄ等の希土類との金属間化合物を用い、形
   態をバルク状，薄膜状または微粒子状等にしたことを特
   徴とする請求項１，２，３又は４記載のマイクロアクチ
   ュエータ
6. 【請求項６】被駆動体の磁性体は、その磁性材に、一軸
   磁気異方性を付与したことを特徴とする請求項５記載の
   マイクロアクチュエータ