JPH05267511A - 電子装置パッケージおよびその作製方法 - Google Patents

電子装置パッケージおよびその作製方法

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JPH05267511A
JPH05267511A JP4343987A JP34398792A JPH05267511A JP H05267511 A JPH05267511 A JP H05267511A JP 4343987 A JP4343987 A JP 4343987A JP 34398792 A JP34398792 A JP 34398792A JP H05267511 A JPH05267511 A JP H05267511A
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semiconductor device
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John J Zopff
ジョン・ジョセフ・ゾプフ
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 効果的に熱を除去するように構成された電子
装置パッケージを提供する。 【構成】 絶縁体層１３と、その一方の表面に配置され
た回路層１５と、絶縁体層の第２の表面に配置された熱
・電気伝導体層１７とを有する基板を含む電子装置パッ
ケージであり、熱・電気伝導体層には、その上に配置す
る形で、あるいは熱・電気伝導体層の一部として台座要
素３１が設けられており、台座要素は絶縁体層および回
路層を通じて伸展し、その上に半導体デバイスを配置す
るようになっている。半導体デバイスは従って、台座要
素と、パッケージのヒートシンクとして機能する、台座
要素に隣接する厚い熱伝導体層とに実質的に直接、熱的
に通じることになる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子装置パッケージに関
し、特に情報処理システム（コンピュータ）に用いる電
子装置パッケージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、上記種類の電子装置パッケージ
は、回路基板（例えば、印刷回路基板）と、それに対し
て電気的に接続される半導体デバイス（チップ）を備え
ている。このような電子装置パッケージは従来より種々
のものが知られており、米国特許第４，８４９，８５６
号明細書、第４，９１４，５５１号明細書、第４，３２
６，２３８号明細書、第４，６９８，６６２号明細書、
第４，７２９，０６１号明細書、ならびに第５，０１
２，３８６号明細書にも示されている。容易に理解でき
るように、これらのパッケージを正しく動作させるため
には、パッケージで発生する熱を効果的に取り除く必要
があり、特にパッケージに組み込まれている半導体デバ
イスに対してそのことは重要である。このような熱の除
去は、上記米国特許第４，８４９，８５６号明細書およ
び第４，９１４，５５１号明細書に示されているような
ヒートシンク構造を用いることによって達成できる。こ
れらの米国特許によれば、半導体デバイスは熱的にヒー
トシンク部材に結合され、その結果、デバイスにおいて
発生した熱はそのヒートシンク部材を通じてパッケージ
周辺の空気中に消散される。
【０００３】より新しいタイプのパッケージ構造では、
パッケージ基板は熱的および電気的に導体の比較的厚い
層（例えば、銅）を有し、その上に、上面に所望の回路
層（例えば、銅）を有する絶縁体材料（例えば、グラス
ファイバで補強したエポキシ樹脂）を備えている。この
ような構造は、米国特許出願第０７／５９８，４６６号
明細書（”電気的および／または熱的相互接続ならびに
そのための方法”、１９９０年１０月９日出願）に示さ
れている。この米国特許出願第０７／５９８，４６６号
明細書に示されているパッケージ構造では、種々の開口
を設けることにより、動作中の半導体デバイスからその
下の厚い銅層への熱の移動を促進している。そして、１
つの実施例では、所定量の導体材料（例えば、銅）によ
って上記開口の表面がメッキされており、また他の実施
例では、開口内に半田などが充てんされている。いずれ
の場合にも、半導体デバイスで発生した熱は、隣接する
熱拡散体などに移動し、さらに熱伝導体の開口内に移動
する。そして開口は厚い銅層内に、あるいは銅層を通じ
て延びている。すなわち、この厚い銅層はパッケージの
ヒートシンクとして機能している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、米国特許出
願第０７／５９８，４６６号明細書に記載の実施例に対
し、さらに改良を加えたヒートシンク・パッケージを提
供するものであり、ヒートシンク構造の開口を不要と
し、しかも最終的なパッケージにおいてより多量の熱を
消散できるようにするものである。
【０００５】このような電子装置パッケージにより、当
該分野において大きな進歩が実現されよう。
【０００６】そこで、本発明の主要な目的は、電子装置
パッケージ技術を向上させることである。
【０００７】また、本発明の他の目的は、米国特許出願
第０７／５９８，４６６号明細書などに示されたパッケ
ージより、ヒートシンク機能の点で改良された電子装置
パッケージを提供することである。
【０００８】本発明のさらに他の目的は、従来の技術に
よって生産でき、しかも比較的大きい規模で生産でき、
そのことによって種々の利益が得られる電子装置パッケ
ージを提供することにある。
【０００９】本発明のさらに他の目的は、そのようなパ
ッケージの作製方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明はまず、絶縁体層
と、その第１の表面に配置された回路層と、絶縁体層の
第２の表面に配置された熱・電気伝導体層とを有する基
板を含む電子パッケージを与える。前記熱・電気伝導体
層には、その上に配置する形で、あるいは熱・電気伝導
体層の一部として台座要素が設けられている。台座要素
は絶縁体層および回路層の両方を通じて伸展し、回路層
より所定の距離だけ突出している。パッケージはさらに
半導体デバイスを備え、その半導体デバイスは台座要素
の上に配置され、台座要素と熱的に通じている。その結
果、台座要素は、パッケージの動作時に半導体デバイス
が発生する熱を効果的に流す経路となる。
【００１１】本発明はまた、熱・電気伝導体層を設け、
前記熱・電気伝導体層上に絶縁体層を設け、前記絶縁体
層上に回路層を設け、前記熱・電気伝導体層内に台座要
素を、絶縁体層および回路層の両方を通して、そして回
路層より所定の距離だけ突出させて形成し、台座要素上
に半導体デバイスを配置して半導体デバイスを台座要素
に熱的に通じさせるステップを含む、電子装置パッケー
ジを作製する方法を与える。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【００１３】図１に本発明の望ましい実施例として、電
子装置パッケージ１０を示す。パッケージ１０は基板１
１を含み、基板１１は絶縁体層１３、層１３上の回路層
１５、ならびに絶縁体層１３の、回路層１５とは反対側
の面上に形成された熱的および電気的伝導体層１７を含
んでいる。本発明の望ましい実施例として、回路層１５
は、絶縁体層１３上に既知のフォトリソグラフィー技術
を用いて銅により形成する。その際、８５．０２ｇ（３
オンス）の銅を用い、全体は約０．１０１ｍｍ（約０．
００４インチ）の薄さとする。絶縁体層１３は、その材
質は望ましくはグラスファイバにより強化したエポキシ
樹脂（既知の材料であり、ＦＲ−４とも呼ばれる）と
し、厚みは約０．１５２４ｍｍ（約０．００６インチ）
とする。一方、熱・電気伝導体層１７の厚みは、より厚
く、例えば１．０１６ｍｍ（０．０４０インチ）とす
る。このように層１７を比較的厚くすると、熱源と適切
に結合したとき、パッケージ１０から効果的に熱を除去
することができる。層１７の厚みは層１５の約７倍から
約１０倍の厚みとすることが望ましい。
【００１４】パッケージ１０はさらに半導体デバイス１
９を含み、半導体デバイス１９は層１７に熱的に接続さ
せ、さらに回路層１５を構成する回路の各部に電気的に
接続する。このような接続は各配線（例えば、アルミニ
ューム）２１によって好適に行え、デバイス１９の上面
２３上の各コンタクト・サイト（図示せず）を、回路層
１５の回路の一部を成す各コンタクト部（パッド）２５
に接続する。これらのコンタクト部２５には、金などの
貴金属の非常に薄い層（例えば、０．０１２７ｍｍ
（０．０００５インチ））を設けることが望ましい。こ
の優れた伝導体材料は、既知の技術を用いて、回路層１
５の銅部上の各位置に付着させればよい。これ以上の詳
しい説明は省略する。配線部材２１（例えば、直径約
０．０５０８ｍｍ（約０．００２インチ））は、既知の
技術（例えば、超音波ボンディング）を用いて、各コン
タクト・サイトおよび各コンタクト部に好適に接続す
る。
【００１５】本発明の望ましい実施例として、所定量の
被覆材２７を半導体デバイス１９、配線部材２１、なら
びに回路層１５の所定部に、図１に示す程度に塗布す
る。
【００１６】本発明にもとづき、本発明の熱・電気伝導
体層１７には台座要素３１を設ける。この台座は層１７
に取り付けてもよく（例えば、半田付けあるいは溶接に
より）、あるいは層１７の一部として形成してもよい。
望ましくは、要素３１は層１７の一部として、以下に示
すようにコイニング加工によって形成する。
【００１７】重要なことであるが、台座要素３１を絶縁
体層１３を通じて回路層１５の上面上に所定の距離だけ
突出させる（例えば、約０．０２５４ｍｍ（約０．００
１インチ）〜約０．１２７ｍｍ（約０．００５イン
チ））。その理由は以下に記す。
【００１８】半導体デバイス１９は、一定量の半田３３
（例えば、すず：鉛が６３：３７の既知の半田。すなわ
ち全体の約６３％がすずであり、約３７％が鉛。）を用
いて台座要素３１に熱的に望ましく結合する。
【００１９】ここで重要なのは、導電体であるこの半田
材料を、半導体デバイスの底面と要素３１の上面とのイ
ンターフェース部より突出させ、回路層１５に物理的に
係合させ、従って電気的に回路層１５に接続することで
ある。半田材料３３のこの突出部は材料３５として図１
に示す。このような接続は、図のようなパッケージにお
いては、回路層１５の所望の部分を、導電体であってよ
り大きな層１７（例えば、電気的なグランドとなる）に
接続するために極めて望ましい。この接続の形成につい
て以下にさらに詳しく説明する。
【００２０】パッケージ１０には、その製造時に以下に
示す特徴を実現するため、絶縁材料３７の層を設ける。
望ましい絶縁材料はプロビマ（Probimer）６０１であ
り、そのような材料は米国特許出願第０７／５９８，４
６６号明細書に示されており、また既知の材料でもある
（プロビマはチバ・ガイギー社の商品名である）。この
材料層を設けることにより、パッケージを作製するため
の種々の処理工程において、材料層下の回路層の種々の
部分を保護することができる。
【００２１】半導体デバイス１９は長方形であるので
（図１を上から見たとき）、台座要素３１は例えば実質
的に長方形とする（例えば、正方形。図１を上からみた
とき）。その場合、半導体デバイスの大きさが４．４４
５ｍｍ×４．４４５ｍｍ（０．１７５インチ×０．１７
５インチ）のとき、台座要素３１の大きさは４．２４１
ｍｍ×４．２４１ｍｍ（０．１６７インチ×０．１６７
インチ）とする。従って、半導体デバイスの面積は台座
要素の面積より大きいことになる。この面積の違いは以
下の理由により重要である。
【００２２】上述のように、本発明の電子装置パッケー
ジのヒートシンク能力は、米国特許出願第０７／５９
８，４６６号明細書のものより高い。例えば図８に示す
例では、本発明の半導体デバイスの単位動作電力（ワッ
ト）当り、約０．２５〜約０．７５°Ｃの有効熱消散能
力が得られる。具体的には、パッケージ１０は特に、通
常動作電力が約８ワット〜１０ワットの比較的電力の大
きいの半導体デバイス用に設計されている。このように
電力が比較的大きい場合、パッケージの動作中に発生す
る熱も比較的大きく、最良の動作を補償するためには、
発生した熱を効果的に除去する必要がある。このような
既知の半導体デバイスは、約１１０°Ｃもの高温で動作
することができる。（電力が大きくなるほど、デバイス
の動作温度も高くなる。）” °Ｃ／ワット”によっ
て、デバイス１９の動作電力の１ワットに対する、デバ
イスとヒートシンク層１７との間の温度差を定義する。
容易に理解できるように、これら２つの部材間の温度差
が大きいいほど、ヒートシンク能力は低いことになる。
従って、この温度差をできるだけ小さくすることが極め
て望ましい。図８に示す実施例ＡおよびＢでは、熱消散
の値はそれぞれ２．５°Ｃ／ワットおよび２．０°Ｃ／
ワットとなっている。実施例ＡおよびＢは、米国特許出
願第０７／５９８，４６６号明細書に示したような構造
のものであり、半導体デバイスが発生した熱を下部の厚
い銅層に逃すため、熱伝導体の開口を用いている。実施
例Ａでは、熱拡散体から下部の厚い銅層全体を通じて延
びるメッキ・スルーホールを用いており、各スルーホー
ルは熱除去のため銅メッキされている。実施例Ｂでは、
上記開口は下部の厚い銅層内に至る深さを有し、半田な
どの熱伝導体が満たされている。いずれの場合にも、最
大で２°Ｃ／ワット程度の温度差しか実現できていな
い。
【００２３】図８の実施例Ｃの値は、本発明の独特の技
術によって実現されたものである。図に示したように、
実施例Ｃではわずか０．５°Ｃ／ワットという熱消散値
が得られている。従って本発明では、半導体デバイスが
１０ワットで動作している場合、デバイス１９と銅層１
７と間の温度差は、わずか５°Ｃ程度となる。一方、本
発明に次いで効率の良い実施例Ｂの場合には、温度差は
約４倍の約２０°Ｃとなる。すなわち、本発明では、米
国特許出願第０７／５９８，４６６号明細書の実施例な
どに比べ、極めて高いヒートシンク能力が得られ、その
結果、種々の利益が得られる。
【００２４】図２〜図７に本発明のパッケージを作製す
る場合の種々の工程を示す。
【００２５】図２に示すように、厚さが約１．０１６ｍ
ｍ（約０．０４０インチ）の銅層１７を設け、その上に
ポリマー層を設ける。このポリマーは、望ましくはグラ
スファイバで強化したエポキシ樹脂とし、望ましくは米
国特許出願第０７／５９８，４６６号明細書が示すとこ
ろに従って設置する。この層１３を設け、適切に整えた
後、回路層１５をフォトリソグラフィー処理によって形
成する。この処理としては種々のものが知られている。
次にこのパッケージの部分組み立てをパンチプレス内に
配置し、パンチを用いて要素３１を形成する。このよう
なパンチを用いたパンチングはコイニング加工の一部を
成し、従来からある装置を用いて行える。これに関し
て、さらに詳しい説明は省略する。
【００２６】要素３１は図３に示すように形成する（層
１７のパンチングは、図３において明らかなように、層
１７の底部より行う）。要素３１をこのように形成する
と、要素３１はある程度弾力性のあるポリマー材料の層
１３を通じて伸展し、回路層１５の断片４１を層１５か
ら分離する。加えて、絶縁体ポリマーの対応する部分４
３もコインイング加工によって上方に押し上げられる。
しかし、この材料は弾力性があるため、図３に符号４５
で示す伸張部分が残る。絶縁体のこの伸張部分にどう対
処するかは、本発明において非常に重要であり、それに
ついて以下に記す。
【００２７】図４に示すように、要素３１の上部を除去
し、ほぼ平坦な面５１とする。この要素３１の上部を取
り除くため、望ましくはパッケージの部分組み立てをフ
ライス盤に配置し、フライス削りを行う。フライス盤に
ついては種々のものが従来より知られているので、詳し
い説明は省略する。要素３１の上部は約０．０５０８ｍ
ｍ（約０．００２インチ）ほど削り取り、平坦面５１の
高さが、隣接する回路１５の表面より約０．０２５４ｍ
ｍ〜約０．０８８９ｍｍ（約０．００１インチ〜約０．
００３５インチ）となるようにする。要素３１が層１５
より上に出た状態にすることは、比較的デリケートな隣
接する回路層を破損しなようにするために重要である。
図４の次の工程では、一定量のプロビマ材料３７を、台
座要素（および隣接する、絶縁体の伸張部分４５）を実
質的に囲むように付着させる。このプロビマは望ましく
はプロビマ６０１とし、米国特許出願第０７／５９８，
４６６号明細書に示された技術を用いて付着させる。
【００２８】プロビマ６０１を付着させた後、次に所定
量の半田材料３３を平坦面５３上に付着させる。その
際、半田は突出させ、またプロビマ材料３７の内側表面
を境界としてその内側に収まるようにする。半田材料３
３は望ましくはスクリーニング加工によって付着させ
る。すなわち、スクイジー（squeegee）を用いて半田
（望ましくは、すず：鉛＝６３：３７）を基板上に配置
したステンシルを通じて付着させる。容易に理解できる
ように、半田を付着させる前に予め基板の上側表面を清
掃しておくことが望ましい（例えば、水あるいは同種の
液体を用いる）。半田に代る材料としては、水溶性の半
田ペースト（商品名Ｗ／Ｓ１２０８半田ペースト：アル
ファ・メタルズ(Alpha Metals)社製）を用いてもよい。
（なお、アルファはアルファ・メタルズ社の商標であ
る。）この半田ペーストは共晶半田であり、約６３％の
すずと３７％の半田を含んでいる。
【００２９】付着させる半田材料３３の厚みは約０．２
２８６ｍｍ〜約０．０２７９ｍｍ（約０．００９インチ
〜約０．００１１インチ）とする。その後、半導体デバ
イス１９を半田部に対して位置決めし（例えば、ロボッ
トを用いる）、その上に配置する。その結果、図６の状
態となる。そして全体を半田（ペースト状）の融点（例
えば、約２００°Ｃ）以上に加熱する。この加熱は、パ
ッケージ組み立てを専用の赤外線オーブンの中に配置し
て、望ましくは約１〜１．５分の間行う。このような半
田溶融を行う直前に、半田ペーストを約２〜５分間、約
１０５°Ｃ〜約１３０°Ｃに加熱することによってほぼ
乾燥させることが望ましい。上記温度はほぼ半田の融点
以下であるが、半田ペーストをほぼ乾燥させるには充分
な温度である。このように半田ペーストを乾燥させるこ
とによって、半導体デバイス１９を半田ペースト上に配
置することが容易となる。
【００３０】半田を溶融させたとき、半導体デバイスは
横方向に移動し、その下の要素３１の平坦面５１に対し
て少しずれた状態となる。このことは本発明において非
常に重要である。すなわち、このずれによって半田３３
と回路層１５の一部との電気的接続が図７に示すような
形で効果的に行われることになる。このような接続は、
本発明の回路層と対応する熱・電気伝導厚層との電気的
相互接続にとって必要であると考えられる。台座要素３
１に対してややずらせてデバイス１９を配置し、デバイ
スの一部が絶縁体の伸張部４５（図７では左側のもの）
のすぐ上にくるようにすることにより、高温加熱時のポ
リマー材料からのガス放出をほぼ防ぎ得ることが分かっ
た。その際、ガス放出は半田３３の空隙６１において生
じる。このような空隙は、図７に示すように、ポリマー
の伸張部に隣接し、上部が空いている部分において、半
田内に非結合部を生じさせる。従って本発明では、容易
に理解できるように、回路層１５の回路から台座要素３
１を通じて層１７に至る、充分な導電性を有する経路が
確実に得られる。このような経路は例えば電気的グラン
ドを与える上で必要である。驚いたことに半導体デバイ
ス１９は、半田を溶融させたとき、隣接するプロビマ材
料３７のほぼ内側端部以上には移動しない。
【００３１】次に半田材料３３を冷却し、凝固させる。
そして化学的に、あるいは水によって清掃し、その後、
ワイヤ部材２１のボンディングを必要に応じて行い、さ
らに被覆材２７を付着させる。望ましい被覆材としては
デクスタ（Dexter）社製より商品名ハイソル（Hysol）
ＦＰ４３２３として販売されているものがある。なお、
ハイソルはデクスタ社の登録商標である。ハイソルＦＰ
４３２３は流動性の液体エポキシゲル材料であり、低粘
度、低歪みを特徴とし、これらの特徴はここで対象とす
るパッケージ構造にとって望ましいものである。ただ
し、本発明は被覆材の材料を上記のものに限定するもの
ではなく、詳しくは述べないが、他の既知の材料を用い
ることも可能である。
【００３２】次に被覆材を焼成し（例えば、高温空気オ
ーブン内で約３時間、約１６５°Ｃで加熱）、そしてパ
ッケージに対して種々の試験を行った後、本発明を採用
した最終的なシステム（例えば、コンピュータ）の一部
を成すところのより規模の大きな電子装置に組み込み可
能と判断する。
【００３３】以上、熱の除去能力が高く、従って最適動
作を保証する電子装置パッケージについて説明した。こ
のパッケージは、上記技術によって製造でき、また容易
に理解できるように、上記技術によって大量生産も可能
である。
【００３４】ここでは現時点において望ましいと考えら
れる本発明の実施例について説明したが、種々の変更や
改良を本発明の範囲内で加え得ることは、当業者にとっ
て明かであろう。
【００３５】
【発明の効果】本発明により、半導体デバイスが発生す
る熱を効果的に除去する構成をなす電子装置パッケージ
およびその製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の望ましい実施例の電子装置パッケージ
を示す拡大横正面図である。
【図２】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
ける工程を示す図である。
【図３】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
ける他の工程を示す図である。
【図４】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
けるさらに他の工程を示す図である。
【図５】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
けるさらに他の工程を示す図である。
【図６】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
けるさらに他の工程を示す図である。
【図７】図１の電子装置パッケージを作製する方法にお
けるさらに他の工程を示す図である。
【図８】本発明の改良された熱消散能力を、電子装置構
造内に開口を有する２つの実施例と比較して示すグラフ
である。
【符号の説明】
１０ 電子装置パッケージ １１ 基板 １３ 絶縁体層 １５ 回路層 １７ 導電体層 １９ 半導体デバイス ２１ 配線部材 ２３ 上面 ２５ パッド ２７ 被覆体 ３３ 半田 ３７ 絶縁材料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン・ジョセフ・ゾプフ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ビンガ ムトン グレイス ストリート 34

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】絶縁体層を有する基板を備え、前記基板は
    さらに、前記絶縁体層の第１の表面に配置された回路層
    と、前記絶縁体層の第２の表面に配置された熱・電気伝
    導体層を有し、前記熱・電気伝導体層は、その上に配置
    するか、あるいはその一部を成す台座要素を有し、前記
    台座要素は前記絶縁体層および前記回路層の両方を通っ
    て伸展し、かつ所定の距離だけ前記回路層より突出して
    おり、 前記台座要素上に、その台座要素と熱的に通じた半導体
    デバイスを備え、前記台座要素は、動作時に前記半導体
    デバイスからの熱を良好に伝導する経路を与えることを
    特徴とする電子装置パッケージ。
  2. 【請求項２】前記絶縁体層はポリマー材料から成ること
    を特徴とする請求項１記載の電子装置パッケージ。
  3. 【請求項３】前記熱・電気伝導体層および前記台座要素
    は銅から成り、前記熱・電気伝導体層は前記回路層より
    厚いことを特徴とする請求項１記載の電子装置パッケー
    ジ。
  4. 【請求項４】前記台座要素は前記所定の距離として、前
    記回路層より約０．０２５４〜０．１２７ｍｍだけ突出
    していることを特徴とする請求項１記載の電子装置パッ
    ケージ。
  5. 【請求項５】前記台座要素上に導電体材料の層をさらに
    備え、前記半導体デバイスは前記導電体材料の前記層の
    上に配置されることを特徴とする請求項１記載の電子装
    置パッケージ。
  6. 【請求項６】複数のワイヤ部材をさらに備え、前記ワイ
    ヤ部材の所定のものは前記半導体デバイスのコンタクト
    ・サイトを前記回路層の各部に接続することを特徴とす
    る請求項１記載の電子装置パッケージ。
  7. 【請求項７】前記半導体デバイスと前記熱・電気伝導体
    層との間の温度差は、前記半導体デバイスの動作電力の
    １ワット当り、約０．２５〜約０．７５°Ｃであること
    を特徴とする請求項１記載の電子装置パッケージ。
  8. 【請求項８】熱・電気伝導体層を設け、 前記熱・電気伝導体層上に絶縁体層を設け、 前記絶縁体層上に回路層を設け、 前記熱・電気伝導体層内に台座要素を形成し、前記台座
    要素は前記絶縁体層および前記回路層の両方を通じて伸
    展して前記絶縁体層より所定の距離だけ突出させ、 前記台座要素の上に半導体デバイスを配置して、前記半
    導体デバイスが前記台座要素と熱的に通じるようにする
    ことを特徴とする電子装置パッケージの作製方法。
  9. 【請求項９】前記回路層はフォトリソグラフィー処理を
    用いて形成することを特徴とする請求項８記載の電子装
    置パッケージの作製方法。
  10. 【請求項１０】前記台座要素はコイニング処理を用いて
    形成することを特徴とする請求項８記載の電子装置パッ
    ケージの作製方法。
  11. 【請求項１１】前記半導体デバイスのコンタクト・サイ
    トを前記回路層の各部に電気的に接続する工程をさらに
    含むことを特徴とする請求項８記載の電子装置パッケー
    ジの作製方法。
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