JPH05267396A - フレキシブル配線基板およびその製造方法 - Google Patents

フレキシブル配線基板およびその製造方法

Info

Publication number
JPH05267396A
JPH05267396A JP4059745A JP5974592A JPH05267396A JP H05267396 A JPH05267396 A JP H05267396A JP 4059745 A JP4059745 A JP 4059745A JP 5974592 A JP5974592 A JP 5974592A JP H05267396 A JPH05267396 A JP H05267396A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring board
flexible wiring
bent
insulating film
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4059745A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2678327B2 (ja
Inventor
Ryozo Ushio
亮三 牛尾
Akio Takatsu
明郎 高津
Yoshinori Suzuki
賀紀 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Publication of JPH05267396A publication Critical patent/JPH05267396A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2678327B2 publication Critical patent/JP2678327B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0277Bendability or stretchability details
    • H05K1/028Bending or folding regions of flexible printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49572Lead-frames or other flat leads consisting of thin flexible metallic tape with or without a film carrier
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5387Flexible insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0104Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0133Elastomeric or compliant polymer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0183Dielectric layers
    • H05K2201/0191Dielectric layers wherein the thickness of the dielectric plays an important role
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10007Types of components
    • H05K2201/10128Display
    • H05K2201/10136Liquid Crystal display [LCD]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10681Tape Carrier Package [TCP]; Flexible sheet connector
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、フレキシブル配線基板における実
装時折曲げ部分における接続の信頼性を確保しつつ折曲
げ使用に足るだけの十分な柔軟性を備えると共に導体の
露出がないフレキシブル配線基板及びその製造方法を提
供することを目的とするものである。 【構成】 実装時に折曲げを必要とする予定部分の絶縁
性フィルムの厚さを他の部分よりも薄肉に形成するとと
もに、該折曲げ予定部分を含む導体パターン面上にシリ
コーンゴム製のカバーレイ施してなるフレキシブル配線
基板とその製造方法を提案するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子(以下、I
Cという)を基板に搭載するため、あるいはICやその
他の電子部品を搭載した回路基板間を接続するために用
いられるフレキシブル配線基板、特に実装時に折曲げて
使用されるフレキシブル配線基板及びその製造方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶やエレクトロルミネッセンス等を利
用した平面型表示素子の電極端子と駆動用電子回路基板
(以下、外部基板という)を接続する方法として、一般
にはフレキシブル配線基板が用いられている。また、さ
らに装置の小型化・軽量化を目的として、駆動用ICを
TAB(TAPE Automated Bondin
g)技術によりフレキシブルなテープキャリヤに搭載
し、このテープキャリヤをフレキシブル配線基板として
利用して外部基板と接続する方法が広く用いられてい
る。何れの場合においても、フレキシブル配線基板(ま
たはテープキャリヤ)は表示素子の裏側に配置した外部
基板との接続に際して接続部相互の密接な対応を図るた
めに折曲げて使用される場合が多い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のフレキシブル配
線基板は折曲げて使用するには柔軟性が不十分であるた
めに、図5に示すように折曲げ予定部分の絶縁体フィル
ム1を除去して貫通孔8bを形成し、柔軟性を確保して
から折曲げを行なっているが、上述のように折曲げ予定
部分の絶縁性フィルムに貫通孔を設けたフレキシブル配
線基板では、折曲げ部分8で導体パターン3が露出した
状態になるために、該露出部分での短絡または断線を生
ずる危険性があった。また該折曲げ予定部分全体に沿っ
て完全な貫通孔を設けた場合には、基板における貫通孔
設置部分の抗張力が低下してしまうので基板自体が取扱
い時に破断してしまうという問題もあった。
【0004】またさらに、従来のフレキシブル配線基板
においては、絶縁体フィルム上に形成された導体パター
ン面におけるダストや水分の付着による導体機能の低下
を防止するために、通常導体パターン面上をエポキシ系
のレジストによるカバーレイ6で被覆するが、前記貫通
孔8bがあるためこの部分にはカバーレイ6を施すこと
ができず、従って導体パターン3は相変らず露出したま
ゝの状態となり、また前記カバーレイは基板を折曲げた
際にクラックを生じやすく、このため該クラック部分か
らダストや水分が侵入しやすく同様に導体の短絡や断線
或いは腐食による悪影響を招く結果となっていた。
【0005】本発明は、従来のフレキシブル配線基板に
おける上記したような問題点を解決し、導体パターンの
露出を防止し折曲げ部分における接続の信頼性を確保し
つつ折曲げ使用に足るだけの十分な柔軟性を備え、また
折曲げに際してクラックの発生のないフレキシブル配線
基板及びその製造方法を提供することを目的とするもの
である。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては実装時に折曲げを必要とする部分
の絶縁性フィルムの厚さを他の部分よりも薄肉に形成す
るとともに、該折曲げ予定部分を含む導体パターン面上
にシリコーンゴム製のカバーレイを施してなるフレキシ
ブル配線基板とその製造方法を提案するものである。
【0007】
【作用】以下に本発明の詳細についてその作用とともに
説明する。
【0008】図面は本発明の実施態様を示すものであっ
て、図1は、シリコーンゴム被覆前のフレキシブル配線
基板の平面図であり、1は絶縁性フィルム、2は絶縁性
フィルム1を貫通して設けられた基板送り用のスプロケ
ットホール、3は絶縁性フィルム1上に設けられた銅に
よる導体パターン、4および5はそれぞれ絶縁フィルム
1を貫通して設けられ、配線端部を露出させてICチッ
プや外部回路と接続可能とするためのデバイスホールお
よびOLBホールである。図2は、図1の導体パターン
3上にシリコーンゴム製のカバーレイを施し、且つ絶縁
性フィルム1における実装時折曲げ予定部分に薄肉部を
形成した本発明によるフレキシブル配線基板の平面図で
あり、図2に見られるように、カバーレイ6は導体パタ
ーンにおける各導体の端部7が露出するようにして施さ
れている。また、図3及び図4は、図2のA−A′断面
を示した断面図であり、絶縁性フィルム1の折曲げ予定
部分8に他の部分よりも肉厚の薄い薄肉部8aが図3の
ように凹部状に、又は図4のように鋸歯状に形成されて
いる。
【0009】なお薄肉部8aは図3及び図4において、
デバイスホール4の両側に設けられているが、いずれか
一方のみに設けることもできる。
【0010】本発明のフレキシブル配線基板は上記した
ように、絶縁性フィルム1の折曲げ予定部分に薄肉部を
形成してあるので、基板実装時に折曲げた場合に、該部
分は実装時に折曲げるのに十分な柔軟性を有しており、
且つこの部分に貫通孔を形成しないために導体の露出に
よる断線や短絡の危険性がない。
【0011】本発明のフレキシブル配線基板において、
折曲げ予定部分に薄肉部を形成する手段としては、一般
的なフォトリソグラフィー技術を使用して絶縁体フィル
ムの折曲げ予定部分にレジストパターン開孔部を形成
し、該部分の絶縁体フィルムを化学的に溶解して、溶解
の進行によって貫通孔が形成される以前に溶解を停止す
る方法を採ることによって該部分の肉厚を薄くすること
ができる。この方法によれば絶縁体フィルムに、デバイ
スホールの如き貫通孔の形成を必須とするようなフレキ
シブル配線基板を製造する場合に、折曲げ予定部に形成
する非貫通孔のレジストパターンの開孔部を貫通孔のレ
ジストパターンの開孔部よりも小さく設定することによ
り、貫通孔と非貫通孔とを同時に形成することができる
ので、非貫通孔形成のために工程を追加する必要がない
という利点がある。
【0012】また上記した化学的溶解法によらずに、こ
れ以外の方法例えば該折曲げ予定部分に貫通孔が形成さ
れない程度の強さにレーザー光を照射してこの部分の絶
縁体フィルムを部分的に気化除去する方法や、該折曲げ
予定部分の絶縁体フィルムを機械的に削り取る方法によ
っても、本発明で提案する構造のフレキシブル配線基板
を得ることが可能であり、この場合においてもその効果
に変りはない。なお本発明において絶縁体フィルムの折
曲げ予定部に形成される薄肉部の厚さは、使用される絶
縁体フィルムの材質や厚み等によって異なり特に限定は
なく、要は基板の抗張力をそれほど阻害せずに良好な折
曲げができる範囲であればよい。
【0013】また、本発明においては、折曲げ部分を含
む導体パターン面上にカバーレイとして従来のエポキシ
系レジスト膜に替えてシリコーンゴムを使用しているの
で、基板の折曲げ使用に際して、カバーレイにクラック
が発生することがない。これはシリコーンゴムが耐熱
性、耐薬品性、電気絶縁性、耐候性、耐久性などの面で
優れているほか、弾性、耐屈曲性の面でも優れた特性を
有しているからである。
【0014】また、シリコーンゴムは塗布後硬化時の揮
発分の気散による収縮が極めて僅かであるために硬化に
よる材料の反り等を起こす恐れもない。
【0015】絶縁体フィルムの折曲げ予定部分上の導体
パターン面上にシリコーンゴムが被覆する手段として
は、例えばスクリーン連続印刷機等を使用し、これにス
テンレススクリーン等の精密スクリーンを装着して導体
パターンを含む基板上の所定部分に液状シリコーンゴム
を適宜の厚さに印刷して、その後室温に保持するかまた
は加熱することにより硬化させる方法を採用する。
【0016】導体面上に被覆するシリコーンゴムとして
は、縮合反応硬化型のもの、または加熱付加反応型のも
のの何れでもよい。しかし、縮合反応型のものは、ゴム
の硬化が常温で進行しやすいため、印刷中にその粘性が
増加してスクリーン上に付着し印刷精度が低下するこ
と、印刷後スクリーンに付着硬化したシリコーンゴムの
除去が困難であることを考慮すると、硬化温度が100
〜150℃と高く、印刷中に粘性上昇によってゴム液が
スクリーンに付着することのない加熱付加反応硬化型シ
リコーンゴムの採用が作業性や印刷精度面から推奨され
る。
【0017】以上の事柄を除いては本発明において使用
されるフレキシブル配線基板の構造および製造方法は、
従来この種のフレキシブル配線板の構造やその製造方法
において採用されているものと何等変りない方法を適用
して行なわれるのでその詳細については省略する。
【0018】本発明によるフレキシブル配線基板は、上
記したように折曲げ予定部分の絶縁体フィルムの厚さを
他の部分よりも薄く形成してあるので、実装時に折曲げ
て使用するのに十分な柔軟性を有しており、且つ貫通孔
を形成したときのように導体パターンが露出することが
ない上に、折曲げ予定部分導体パターン面上を伸縮性に
富むシリコーンゴム製のカバーレイによって被覆してあ
るので、折曲げを行なった場合において保護被覆部にク
ラックを生ずることがないので、導体露出による短絡や
断線の危険性もなく、両者の効果が相まって小型・高密
度な部品実装に適した信頼性の高い接続を行なうことが
できる。そして本発明の製造方法によれば、上記の特質
を有するフレキシブル配線基板を効率よくまた容易に得
ることができるので極めて効果的である。
【0019】
【実施例】次に本発明の実施例について述べる。 実施例1 東レ・デュポン社製ポリイミド樹脂フィルム(カプトン
H:50μm厚)テープ(以下絶縁体テープという)を
基板とし、該基板の片面に常法により所定の銅の配線パ
ターンを形成したフレキシブル配線基板を用いて、該基
板の反対面のポリイミド樹脂露出面に感光性レジストを
塗布し、露光、現像を行ない非貫通孔形成のためのレジ
ストパターンとして幅50μm、長さ20mmのレジス
ト開口部を折曲げ予定部分に設けた。次いで該基板をエ
チレンジアミンの1:1水溶液中に5分間浸漬してポリ
イミドを溶解した結果、該折曲げ予定部分に深さ35μ
mの非貫通孔(ポリイミド樹脂部分の肉厚15μm)を
形成することができた。
【0020】次に該基板の配線パターン面の所定部分に
スクリーン連続印刷機で1液性縮合反応硬化型シリコー
ンゴム(硬化前は半流動性で揮発成分含有量約5%)を
ステンレス製スクリーン版を使用して印刷し、印刷後基
板をエンボス加工したスペーサーテープを挟んでロール
に巻取り、そのまま室温に2時間保持して該シリコーン
ゴムを硬化させて厚さ20μmのシリコーンゴム製カバ
ーレイを形成した。
【0021】このようにして得られたフレキシブル配線
基板をカバーレイ形成面を下に向けて平面台上に置いた
ところ基板は平坦で反りの発生は見られなかった。次に
該基板をポリイミド樹脂に薄肉部を形成した折曲げ予定
部を軸として配線パターン面側に90度の折曲げ試験を
行なったが、基板を正しく折曲げ軸線に沿って容易に折
曲げることができた。さらに該基板に対して上記折曲げ
試験を10回繰り返し行なった後配線パターン面のカバ
ーレイの表面状態を観察したところ、何等クラックの発
生は見られなかった。 実施例2 実施例1と同様にして作成されたフレキシブル配線基板
を用いて、該基板の反対面のポリイミド樹脂露出面に感
光性レジストを塗布し、露光、現像を行ない、レジスト
パターンとしてスプロケットホール貫通孔、デバイスホ
ール貫通孔およびOLBホール貫通孔形成のためのレジ
スト開口部をそれぞれ4mm平方、40mm平方および
幅2mm、長さ15mmの大きさでそれぞれの所定部分
に設けるとともに、折曲げ予定部の非貫通孔形成の通孔
形成のためのレジスト開口部を幅50μm、長さ20m
mのレジストの大きさで折曲げ予定部分に設けた。次い
で、該基板をエチレンジアミンの1:1水溶液中に5分
間浸漬してポリイミドを溶解した結果、該ポリイミド樹
脂の所定部分にスプロケットホール貫通孔およびデバイ
スホール貫通孔と、折曲げ予定部分に深さ35μmの非
貫通孔(ポリイミド樹脂部分の肉厚15μm)を同時に
形成することができた。
【0022】次に該基板の配線パターン面の所定部分に
スクリーン連続印刷機で2液性付加反応硬化型シリコー
ンゴムをステンレス製スクリーン版を使用して印刷し、
印刷後直ちに50〜100℃の乾燥炉中を通過させて予
備乾燥を行なった後、基板をエンボス加工したスペーサ
ーテープを挟んでロールに巻取り、120℃の加熱炉中
で1時間保持して該シリコーンゴムを硬化させて厚さ2
0μmのシリコーンゴム製カバーレイを形成した。本実
施例においてはカバーレイ用シリコーンゴムとして加熱
反応型の付加反応硬化型シリコーンゴムを使用したの
で、印刷に際して印刷作業中を通じてゴム液の粘性に変
化がないためにゴム液のスクリーンへの付着は全く見ら
れず、高い印刷精度で安定的にカバーレイの形成を行な
うことができた。
【0023】このようにして得られたフレキシブル配線
基板をカバーレイ形成面を下に向けて平面台上に置いた
ところ基板は平坦で反りの発生は見られなかった。次に
該基板をポリイミド樹脂に薄肉部を形成した折曲げ予定
部を軸として配線パターン面側に90度の折曲げ試験を
行なったが、基板を正しく折曲げ軸線に沿って容易に折
曲げることができた。さらに該基板に対して上記折曲げ
試験を10回繰り返し行なった後配線パターン面のカバ
ーレイの表面状態を観察したところ、何等クラックの発
生は見られなかった。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のフレキシ
ブル配線基板は折曲げ部の絶縁性フィルムの厚さが他の
部分よりも薄く形成されているので、実装時において折
曲げ使用するのに十分な柔軟性を確保することができ、
且つ配線パターン面に形成するカバーレイをシリコーン
ゴム製としたので、折曲げに際してカバーレイにクラッ
クを生ずることがないので、配線の露出による短絡や断
線の危険性がなく、従って小型・高密度な部品実装に適
した信頼性の高い接続を行なうことができる。また本発
明の製造方法によれば、上記した特徴を有するフレキシ
ブル配線基板を効率よくまた容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるフレキシブル配線基板(テープキ
ャリヤ)の1実施態様を示すもののカバーレイ被覆前の
配線パターン面の状況を示す平面図である。
【図2】図1のフレキシブル配線板のカバーレイ被覆後
の配線パターン面の状況を示す平面図である。
【図3】図2のA−A′断面の構造を示す断面図であ
る。
【図4】他の実施例の構造を示す断面図である。
【図5】従来例の図3相当図である。
【符号の説明】
1 絶縁体フィルム 2 スプロケットホール 3 導体パターン 4 デバイスホール 5 OLBホール 6 カバーレイ 7 導体端部 8 実装時折曲げ部分 8a 折曲げのための非貫通孔(絶縁体フィルム薄肉
部) 8b 折曲げのための貫通孔

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フレキシブルな絶縁体フィルムを支持基
    体とし、その上に複数の導体パターンが形成されたフレ
    キシブル配線基板において、実装時に折曲げを必要とす
    る部分の絶縁体フィルムの厚さを他の部分の厚さよりも
    薄肉に形成するとともに、該折曲げ部分を含む導体パタ
    ーン面をシリコーンゴム製のカバーレイで被覆してなる
    フレキシブル配線基板。
  2. 【請求項2】 前記薄肉の部分は凹部又は鋸歯状部分に
    形成された請求項1記載のフレキシブル配線基板。
  3. 【請求項3】 シリコーンゴムが縮合反応硬化型である
    請求項1記載のフレキシブル配線基板。
  4. 【請求項4】 シリコーンゴムが加熱付加反応硬化型で
    ある請求項1記載のフレキシブル配線基板。
  5. 【請求項5】 実装時に折曲げを必要とする部分の絶縁
    体フィルムに貫通孔が無く、且つ該部分の導体が絶縁体
    フィルム側に露出しないことを特徴とする請求項1記載
    のフレキシブル配線基板。
  6. 【請求項6】 実装時に折曲げを必要とする部分の絶縁
    体フィルムの一部を化学的に溶解することにより、該部
    分の絶縁体フィルムに貫通孔を形成することなく他の部
    分よりも薄くすることを特徴とする請求項1記載のフレ
    キシブル配線基板の製造方法。
  7. 【請求項7】 実装時に折曲げを必要とする部分の絶縁
    体フィルムの一部をレーザー光照射により気化除去する
    ことにより、該部分の絶縁体フィルムに貫通孔を形成す
    ることなく他の部分よりも薄くすることを特徴とする請
    求項1記載のフレキシブル配線基板の製造方法。
  8. 【請求項8】 実装時に折曲げを必要とする部分の絶縁
    体フィルムの一部を機械的に除去することにより、該部
    分の絶縁体フィルムに貫通孔を形成することなく他の部
    分よりも薄くすることを特徴とする請求項1記載のフレ
    キシブル配線基板の製造方法。
JP4059745A 1991-02-15 1992-02-14 フレキシブル配線基板およびその製造方法 Expired - Lifetime JP2678327B2 (ja)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4243191 1991-02-15
JP6389191 1991-03-05
JP3-42431 1992-01-22
JP3-63891 1992-01-22
JP2987892 1992-01-22
JP4-29878 1992-01-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05267396A true JPH05267396A (ja) 1993-10-15
JP2678327B2 JP2678327B2 (ja) 1997-11-17

Family

ID=27286748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4059745A Expired - Lifetime JP2678327B2 (ja) 1991-02-15 1992-02-14 フレキシブル配線基板およびその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5288950A (ja)
JP (1) JP2678327B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006269495A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd フレキシブルプリント配線基板、および半導体装置
JP2010153821A (ja) * 2008-11-18 2010-07-08 Tokai Rubber Ind Ltd 導電膜、およびそれを備えたトランスデューサ、フレキシブル配線板
JP2011233822A (ja) * 2010-04-30 2011-11-17 Nippon Mektron Ltd フレキシブル回路基板
JP2012248346A (ja) * 2011-05-26 2012-12-13 Japan Science & Technology Agency 配線構造体、センサ、及び配線構造体の製造方法
US8501538B2 (en) 2011-01-21 2013-08-06 Seiko Epson Corporation Method for connecting substrate and method for manufacturing semiconductor device
US9373427B2 (en) 2012-03-05 2016-06-21 Empire Technology Development Llc Flexible circuits

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2702839B2 (ja) * 1991-11-20 1998-01-26 シャープ株式会社 配線基板の電極構造
JPH05298939A (ja) * 1992-04-16 1993-11-12 Honda Tsushin Kogyo Kk フラットケーブル及びその製造方法
US5831828A (en) * 1993-06-03 1998-11-03 International Business Machines Corporation Flexible circuit board and common heat spreader assembly
US5438749A (en) * 1993-09-02 1995-08-08 Delco Electronics Corp. Method of making a flex circuit interconnect for a microprocessor emulator and a method of testing
JP3186925B2 (ja) * 1994-08-04 2001-07-11 シャープ株式会社 パネルの実装構造並びに集積回路搭載テープおよびその製造方法
US6121988A (en) * 1994-09-27 2000-09-19 Seiko Epson Corporation Printed wiring board and its manufacturing method, and electronic apparatus
JPH08186336A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Mitsubishi Electric Corp 回路基板、駆動回路モジュール及びそれを用いた液晶表示装置並びにそれらの製造方法
US5655291A (en) * 1995-06-26 1997-08-12 Ford Motor Company Forming rigid circuit board
WO1998050249A2 (de) * 1997-05-07 1998-11-12 Siemens Aktiengesellschaft Sensorschaltung und hierfür ausgelegter schaltungsträger
DE19837217A1 (de) * 1998-08-17 2000-03-02 Siemens Ag Feinraster-Anschlußleiterplatte sowie ein Verfahren zu deren Herstellung
FR2784260B1 (fr) * 1998-10-01 2000-12-22 Valeo Electronique Contacts sans soudure entre des pistes decoupees et un circuit imprime
US6320139B1 (en) 1998-11-12 2001-11-20 Rockwell Automation Technologies, Inc. Reflow selective shorting
FR2786653A1 (fr) * 1998-11-30 2000-06-02 St Microelectronics Sa Dispositif flexible et bandeau flexible de connexion electrique
US6498636B1 (en) * 1999-03-30 2002-12-24 National Semiconductor Corporation Apparatus and method for substantially stress-free electrical connection to a liquid crystal display
FR2793352B1 (fr) * 1999-05-07 2006-09-22 Sagem Composant electrique a nappe souple de conducteurs de raccordement
JP2001210919A (ja) 1999-11-17 2001-08-03 Sharp Corp フレキシブル配線板およびそれを用いた電子機器
US20040247921A1 (en) * 2000-07-18 2004-12-09 Dodsworth Robert S. Etched dielectric film in hard disk drives
US7348045B2 (en) * 2002-09-05 2008-03-25 3M Innovative Properties Company Controlled depth etched dielectric film
JP3898077B2 (ja) * 2001-11-13 2007-03-28 株式会社フジクラ フレキシブルプリント配線板の製造方法
US20060234042A1 (en) * 2002-09-05 2006-10-19 Rui Yang Etched dielectric film in microfluidic devices
US20040258885A1 (en) * 2002-09-05 2004-12-23 Kreutter Nathan P. Etched dielectric film in microfluidic devices
JP4485460B2 (ja) * 2004-12-16 2010-06-23 三井金属鉱業株式会社 フレキシブルプリント配線板
KR101171178B1 (ko) * 2005-01-04 2012-08-06 삼성전자주식회사 커팅 패턴이 형성된 가요성 인쇄회로기판용 원판 및 이를커팅한 가요성 인쇄회로기판을 구비한 평판표시장치
JP2006269496A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd フレキシブルプリント配線基板、および半導体装置
US7742142B2 (en) * 2005-08-09 2010-06-22 Chunghwa Picture Tubes, Ltd. Display and tape carrier package structure
KR100634238B1 (ko) * 2005-08-12 2006-10-16 삼성전자주식회사 테이프 캐리어 패키지용 탭 테이프
JP2007165465A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Seiko Epson Corp 配線基板の製造方法
DE102006004321A1 (de) * 2006-01-31 2007-08-16 Häusermann GmbH Biegbare Leiterplatte mit zusätzlichem funktionalem Element und einer Kerbfräsung und Herstellverfahren und Anwendung
KR20070080049A (ko) * 2006-02-06 2007-08-09 삼성전자주식회사 신호 전송 필름과 이를 포함하는 표시 장치
KR101148099B1 (ko) * 2010-10-01 2012-05-23 엘지이노텍 주식회사 탭 테이프 및 그 제조방법
JP2013211523A (ja) * 2012-03-02 2013-10-10 Canon Components Inc フレキシブル回路基板
JP5660076B2 (ja) * 2012-04-26 2015-01-28 三菱電機株式会社 半導体装置とその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3195079A (en) * 1963-10-07 1965-07-13 Burton Silverplating Built up nonmetallic wave guide having metallic coating extending into corner joint and method of making same
US3255299A (en) * 1964-03-16 1966-06-07 United Carr Inc Right-angle printed circuit board
JPS5929143B2 (ja) * 1978-01-07 1984-07-18 株式会社東芝 電力用半導体装置
DE4003344C1 (ja) * 1990-02-05 1991-06-13 Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim, De

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006269495A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd フレキシブルプリント配線基板、および半導体装置
JP2010153821A (ja) * 2008-11-18 2010-07-08 Tokai Rubber Ind Ltd 導電膜、およびそれを備えたトランスデューサ、フレキシブル配線板
JP2011233822A (ja) * 2010-04-30 2011-11-17 Nippon Mektron Ltd フレキシブル回路基板
US8501538B2 (en) 2011-01-21 2013-08-06 Seiko Epson Corporation Method for connecting substrate and method for manufacturing semiconductor device
JP2012248346A (ja) * 2011-05-26 2012-12-13 Japan Science & Technology Agency 配線構造体、センサ、及び配線構造体の製造方法
US9373427B2 (en) 2012-03-05 2016-06-21 Empire Technology Development Llc Flexible circuits

Also Published As

Publication number Publication date
JP2678327B2 (ja) 1997-11-17
US5288950A (en) 1994-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2678327B2 (ja) フレキシブル配線基板およびその製造方法
TW452896B (en) Semiconductor device, method of manufacture thereof, circuit board, and electronic device
EP1675175A2 (en) Wired circuit board
EP0250006A1 (en) Printed polymer circuit board method and apparatus
KR20090037333A (ko) Cof 기판
KR100275906B1 (ko) 테이프 캐리어 패키지 반도체장치와 이를 이용한 액정패널 표시장치 및 그의 단선 시험방법
US6225573B1 (en) Method for mounting terminal on circuit board and circuit board
JPH0682926B2 (ja) 多層配線基板の製造方法
JP3775329B2 (ja) 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法、その製造装置およびその方法に用いられる保護テープ
JP3442978B2 (ja) テープキャリアパッケージ半導体装置及びそれを用いた液晶パネル表示装置
JP2004140384A (ja) プリント配線基板の接続方法
JP3033539B2 (ja) キャリアフィルムおよびその製造方法
TW565899B (en) Substrate for mounting electronic component, and method of removing warpage from substrate for mounting electronic component
JP2000164645A (ja) 電子部品実装用フィルムキャリアテープおよびその製造方法
JP3545178B2 (ja) 断線試験方法
KR100374075B1 (ko) 전자부품 실장용 필름캐리어 테이프 및 그 제조방법
JP3813766B2 (ja) プリント配線基板の接続構造
JPH0673391B2 (ja) フレキシブル両面回路基板の製造方法
JP3072602U (ja) フレキシブル基板の接続構造
JP3077182B2 (ja) 印刷配線板の製造方法
JPH05267397A (ja) 保護被覆付きテープキャリアおよびその製造方法
JPH05326643A (ja) Tab用フィルムキャリア
JP2000012625A (ja) 電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法
JP2000049432A (ja) 接続部材
JP3156120B2 (ja) 半導体デバイスの実装構造

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070801

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080801

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801

Year of fee payment: 15

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801

Year of fee payment: 15