JPH05259048A - 試料加工用装置、試料搬送用装置及び試料搬送・加工用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 板状試料に対する試料加工用装置および試料
搬送用装置、あるいは試料搬送・加工用装置において、
試料加工用ステ―ジ上で板状試料の厚さが異なっても、
上面が同じ高さに位置するようにする。 【構成】 板状試料２は板状スペーサ３を用いて試料加
工用ステージ１上に配される。該ステージ内に試料載置
面１ａに沿って第１電極層５を配し、スペーサ３の下面
上に平行に第２電極層６を、またスペーサの上面側に平
行に第３電極層７を配する。第１電極層５と導電性環体
９間に高圧電源８を接続すれば、第１と第２電極層５，
６間に静電吸引力が生じ、板状スペーサ３はステージ１
の試料載置面１ａ上に静電吸着固定保持される。また試
料２と第３電極層７間にも静電吸引力が働き試料はスペ
ーサ上面に静電吸着保持され、従ってステージの試料載
置面上に固定される。試料の厚さに応じた厚さのスペー
サを用いれば、試料厚さが異っても載置面から同じ高さ
に位置するよう固定できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状試料を電子ビ―ム
によって露光させるために試料加工用ステ―ジ上に固定
保持させるのに適用し得る試料加工用装置、板状試料を
電子ビ―ムによって露光させるために試料搬送用ステ―
ジを用いて試料加工用ステ―ジ上に搬送させるのに適用
し得る試料搬送用装置、及び板状試料を電子ビ―ムによ
って露光させるために試料搬送用ステ―ジを用いて試料
加工用ステ―ジ上に搬送させ且つその板状試料を試料加
工用ステ―ジ上に固定保持させるのに適用し得る試料搬
送・加工用装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板状試料を平らな試料載置面を有
する試料加工用ステ―ジ上に固定保持させるようにした
試料加工用装置が種々提案されている。しかしながら、
従来の試料加工用装置の場合、板状試料を、試料加工用
ステ―ジの試料載置面上に、厚さが異なっても、上面が
試料載置面からみて同じ高さ位置に位置するように固定
保持させることができず、従って板状試料を加工するの
に不都合が生ずる、などの欠点を有していた。

【０００３】また、従来、板状試料を、平らな試料載置
面を有する試料搬送用ステ―ジを用いて、平らな試料載
置面を有する試料加工用ステ―ジ上に搬送させるように
した試料搬送用装置も種々提案されている。しかしなが
ら、従来の試料搬送用装置の場合、板状試料を、試料加
工用ステ―ジの試料載置面上に搬送された状態でみて、
厚さが異なっても、上面が試料加工用ステ―ジの試料載
置面からみて同じ高さ位置に位置するように、試料加工
用ステ―ジ上に搬送させることができず、従って、板状
試料を加工するのに不都合が生ずる、などの欠点を有し
ていた。

【０００４】さらに、従来、板状試料を、平らな試料載
置面を有する試料搬送用ステ―ジを用いて、平らな試料
載置面を有する試料加工用ステ―ジ上に搬送させ且つそ
の板状試料を試料加工用ステ―ジ上に固定保持させるよ
うにした試料搬送・加工用装置も種々提案されている。
しかしながら、従来の試料搬送・加工用装置の場合、板
状試料を、試料加工用ステ―ジ上に搬送された状態でみ
て、厚さが異なっても、上面が試料加工用ステ―ジの試
料載置面上でみて同じ高さ位置に位置するように試料加
工用ステ―ジ上に搬送させることができないとともに、
板状試料を、試料加工用ステ―ジ上に、厚さが異なって
も、上面が試料加工用ステ―ジの試料載置面上でみて同
じ高さに位置するように保持させることができず、従っ
て、板状試料を搬送・加工するのに不都合が生ずる、な
どの欠点を有していた。

【０００５】よって、本発明は、上述した欠点のない、
試料加工用装置、試料搬送用装置、及び試料搬送・加工
用装置を提案せんとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による試料加工用
装置は、（ｉ）平らな試料載置面を有する試料加工用ス
テ―ジと、（ｉｉ）上記試料加工用ステ―ジの上記試料
載置面上に、板状試料を、その上面が上記試料載置面か
らみて予定の高さ位置に位置するように配するための、
絶縁材でなる板状スペ―サと、（ｉｉｉ）上記板状スペ
―サを上記試料加工用ステ―ジの試料載置面上に静電吸
着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板状スペ―サ上
に静電吸着固定させるための静電吸着固定保持手段とを
有し、そして、（ｉｖ）上記静電吸着固定保持手段が、
上記試料加工用ステ―ジ内にその試料載置面に沿って延
長するように配されている第１の電極層と、上記板状ス
ペ―サ内の下面側または上記板状スペ―サの下面上に、
その下面に沿って延長するように配されている第２の電
極層と、上記板状スペ―サ内の上面側に、その上面に沿
って延長するように配され且つ上記第２の電極層と互に
接続されている第３の電極層と、上記第１の電極層に接
続される高圧電源とを有する。

【０００７】この場合、上記板状スペ―サに、上記板状
試料をその上面周辺部において上記板状スペ―サ側に押
付けている導電性環体が取付けられているのを可とす
る。

【０００８】本発明による試料搬送装置は、（ｉ）平ら
な試料載置面を有する試料搬送用ステ―ジと、（ｉｉ）
上記試料搬送用ステ―ジの上記試料載置面上に、板状試
料を、その上面が上記試料載置面からみて予定高さ位置
に位置するように配するための板状スペ―サと、（ｉｉ
ｉ）上記板状スペ―サを上記試料搬送用ステ―ジの試料
載置面上に真空吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上
記板状スペ―サ上に真空吸着固定保持させるための真空
吸着固定保持手段とを有し、そして、（ｉｖ）上記真空
吸着固定保持手段が、上記試料搬送用ステ―ジにその厚
さを横切って延長するように形成されている第１の吸着
用貫通孔と、上記試料搬送用ステ―ジの上記試料載置面
に上記第１の吸着用貫通孔に連通するように形成された
吸着用溝と、上記板状スペ―サにその厚さを横切って延
長するように形成されている第２の吸着用貫通孔と、上
記第１の吸着用貫通孔に連結される真空ポンプとを有す
る。

【０００９】本発明による試料搬送・加工用装置は、
（ｉ）平らな試料載置面を有する試料加工用ステ―ジ
と、（ｉｉ）平らな試料載置面を有する試料搬送用ステ
―ジと、（ｉｉｉ）上記試料加工用ステ―ジ及び上記試
料搬送用ステ―ジの試料載置面上に、板状試料を、その
上面が上記試料載置面からみて予定の高さ位置に位置す
るように配するための、絶縁材でなる板状スペ―サと、
（ｉｖ）上記板状スペ―サを上記試料加工用ステ―ジの
試料載置面上に静電吸着固定保持させ且つ上記板状試料
を上記板状スペ―サ上に静電吸着固定保持させるための
静電吸着固定保持手段と、（ｖ）上記板状スペ―サを上
記試料搬送用ステ―ジの試料載置面上に真空吸着固定保
持させ且つ上記板状試料を上記板状スペ―サ上に真空吸
着固定保持させるための真空吸着固定保持手段とを有
し、そして、（ｖｉ）上記静電吸着固定保持手段が、上
記試料加工用ステ―ジ内にその試料載置面に沿って延長
するように配されている第１の電極層と、上記板状スペ
―サ内の下面側または上記板状スペ―サの下面上に、そ
の下面に沿って延長するようにに配されている第２の電
極層と、上記板状スペ―サ内の上面側に、その上面に沿
って延長するように配されている第３の電極層と、上記
第１の電極層に接続れている高圧電源とを有し、また、
（ｖｉｉ）上記真空吸着固定保持手段が、上記試料搬送
用ステ―ジにその厚さを横切って延長するように形成さ
れている第１の吸着用貫通孔と、上記試料搬送用ステ―
ジの上記試料載置面に上記第１の吸着用貫通孔に連通す
るように形成された吸着用溝と、上記板状スペ―サにそ
の厚さを横切って延長するように形成されている第２の
吸着用貫通孔と、上記第１の吸着用貫通孔に連結された
真空ポンプとを有する。

【００１０】

【作用・効果】本発明による試料加工用装置によれば、
板状スペ―サ上に、それ自身導電性乃至半導電性を有す
るか下面または上面に導電性層を有する板体を、板状試
料として配し、その状態で、板状スペ―サを試料加工用
ステ―ジの試料載置面上に配し、そして、その状態で、
静電吸着固定保持手段を構成している第１の電極層に、
高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極層間に静電
吸引力が発生することによって、板状スペ―サが試料加
工用ステ―ジの試料載置面上に静電吸着固定保持され、
また、試料及び第３の電極層間にも静電吸引力が発生す
ることによって、試料が板状スペ―サの上面上に静電吸
着固定保持され、よって、板状試料を、板状スペ―サを
介して、試料加工用ステ―ジの試料載置面上に固定保持
させることができる。従って、試料加工用装置としての
機能を呈する。

【００１１】そして、本発明による試料加工用装置によ
れば、板状試料を、試料加工用ステ―ジの試料載置面上
に固定保持させるのに、板状スペ―サを用いているの
で、その板状スペ―サとして、板状試料の厚さに応じた
厚さを有するものを用いることによって、板状試料を、
厚さが異なっても、試料加工用ステ―ジの試料載置面か
らみて同じ高さ位置に位置するように、試料加工用ステ
―ジの試料載置面上に固定保持させることができ、従っ
て、板状試料を加工するのに前述した従来の試料加工用
装置の場合に不都合を有効に回避させることができる。

【００１２】また、板状試料を、試料加工用ステ―ジの
試料載置面上に固定保持させるのに板状スペ―サに第
１、第２及び第３の電極層を設け、また第１の電極層に
接続される高圧電圧を設けるだけの簡単な構成でよい。

【００１３】本発明による試料搬送用装置によれば、板
状スペ―サ上に、それ自身導電性乃至半導電性を有する
か下面または上面に導電性層を有する板体を、板状試料
として配し、その状態で、板状スペ―サを試料搬送用ス
テ―ジの試料載置面上に配し、そして、その状態で、真
空吸着固定保持手段を構成している第１の吸着用貫通孔
に、真空ポンプを連結すれば、板状スペ―サが試料搬送
用ステ―ジ側に真空吸着されることによって、板状スペ
―サが試料搬送用ステ―ジの試料載置面に真空吸着固定
保持され、また、板状試料が板状スペ―サ側に真空吸着
されることによって、板状試料が板状スペ―サの上面に
真空吸着固定保持され、よって、板状試料を、板状スペ
―サを介して、試料搬送用ステ―ジの試料載置面上に固
定保持されている状態で、試料加工用ステ―ジの試料載
置面上に搬送させることができる。従って、試料搬送用
装置としての機能を呈する。そして、本発明による試料
搬送用装置によれば、板状試料を、試料搬送用ステ―ジ
を用いて試料加工用ステ―ジの試料載置面上に搬送させ
るのに、板状スペ―サを用いているので、その板状スペ
―サとして、板状試料の厚さに応じた厚さを有するもの
を用いることによって、板状試料を試料加工用ステ―ジ
の試料載置面上に搬送された状態でみて、厚さが異なっ
ても、上面が試料加工用ステ―ジの試料載置面からみて
同じ高さ位置に位置するように、試料加工用ステ―ジ上
に搬送させることができ、従って、板状試料を加工する
のに従来の試料搬送用装置の場合の不都合を有効に回避
させることができる。

【００１４】本発明による試料搬送・加工用装置によれ
ば、板状スペ―サ上に、それ自身導電性乃至半導電性を
有するか下面または上面に導電性層を有する板体を、板
状試料として配し、その状態で、板状スペ―サを試料搬
送用ステ―ジの試料載置面上に配し、そして、その状態
で、真空吸着固定保持手段を構成している第１の吸着用
貫通孔に、真空ポンプを連結すれば、板状スペ―サが試
料搬送用ステ―ジ側に真空吸着されることによって、板
状スペ―サが試料搬送用ステ―ジの試料載置面に真空吸
着固定保持され、また、板状試料が板状スペ―サ側に真
空吸着されることによって、板状試料が板状スペ―サの
上面に真空吸着固定保持され、よって、板状試料を、板
状スペ―サを介して、試料搬送用ステ―ジの試料載置面
上に固定保持されている状態で、試料加工用ステ―ジの
試料載置面上に搬送させることができ、また、板状試料
を、上述したように試料加工用ステ―ジの試料載置面上
に搬送させた状態で、真空吸着固定保持手段の真空ポン
プに代え、静電吸着固定保持手段を構成している第１の
電極層に、高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極
層間に静電吸引力が発生することによって、板状スペ―
サが試料加工用ステ―ジの試料載置面上に静電吸着固定
保持され、また、試料及び第３の電極層間にも静電吸引
力が発生することによって、試料が板状スペ―サの上面
上に静電吸着固定保持され、よって、板状試料を、板状
スペ―サを介して、試料加工用ステ―ジの試料載置面上
に固定保持させることができる。従って、試料搬送・加
工用装置としての機能を呈する。

【００１５】そして、本発明による試料搬送・加工用装
置によれば、板状試料を、試料搬送用ステ―ジを用いて
試料加工用ステ―ジの試料載置面上に搬送させるのに、
板状スペ―サを用いているので、その板状スペ―サとし
て、板状試料の厚さに応じた厚さを有するものを用いる
ことによって、板状試料を試料加工用ステ―ジの試料載
置面上に搬送された状態でみて、厚さが異なっても、上
面が試料加工用ステ―ジの試料載置面からみて同じ高さ
位置に位置するように、試料加工用ステ―ジ上に搬送さ
せることができ、従って、板状試料を加工するのに従来
の試料搬送・加工用装置の場合の不都合を有効に回避さ
せることができる。

【００１６】

【実施例１】次に、図１を伴って、本発明による試料加
工用装置の実施例を述べよう。

【００１７】図１に示す本発明による試料加工用装置
は、次に述べる構成を有する。

【００１８】すなわち、平らな試料載置面１ａを有する
試料加工用ステ―ジ１と、その試料加工用ステ―ジ１の
試料載置面１ａ上に、板状試料２を、その上面が試料載
置面１ａからみて予定の高さ位置に位置するように配す
るための、絶縁材でなる板状スペ―サ３と、板状スペ―
サ３を試料加工用ステ―ジ１の試料載置面１ａ上に静電
吸着固定保持させ且つ板状試料２を板状スペ―サ３上に
静電吸着固定させるための静電吸着固定保持手段４とを
有する。

【００１９】そして、静電吸着固定保持手段４が、試料
加工用ステ―ジ３内にその試料載置面１ａに沿って延長
するように配されている第１の電極層５と、板状スペ―
サ３内の下面側または板状スペ―サ３の下面（図におい
ては下面上）上に、その下面に沿って延長するように配
されている第２の電極層６と、板状スペ―サ３内の上面
側に、その上面に沿って延長するように配され且つ第２
の電極層６と互に接続されている第３の電極層７と、第
１の電極層５に接続される高圧電源８とを有する。

【００２０】また、板状スペ―サ３に、板状試料２をそ
の上面周辺部において板状スペ―サ３側に押付けている
導電性環体９が取付けられている。

【００２１】さらに、板状スペ―サ３に、その厚さを横
切って延長している吸着用貫通孔２７が、後述する本発
明による試料搬送用装置の実施例における真空吸着固定
保持手段を構成するのに形成されている。

【００２２】以上が、本発明による試料加工用装置の第
１の実施例の構成である。

【００２３】このような本発明による試料加工用装置の
第１の実施例によれば、板状スペ―サ３上に、それ自身
導電性乃至半導電性を有するか下面または上面に導電性
層を有する板体を、板状試料２として配し、その状態
で、板状スペ―サ３を試料加工用ステ―ジ１の試料載置
面１ａ上に配し、そして、その状態で、静電吸着固定保
持手段４を構成している第１の電極層５及び導電性環体
９間に、高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極層
５及び６間に静電吸引力が発生することによって、板状
スペ―サ３が試料加工用ステ―ジ１の試料載置面１ａ上
に静電吸着固定保持され、また、試料２及び第３の電極
層７間にも静電吸引力が発生することによって、試料２
が板状スペ―サ３の上面上に静電吸着固定保持され、よ
って、板状試料２を、板状スペ―サ３を介して、試料加
工用ステ―ジ１の試料載置面１ａ上に固定保持させるこ
とができる。従って、試料加工用装置としての機能を呈
する。

【００２４】そして、図１に示す本発明による試料加工
用装置によれば、板状試料２を、試料加工用ステ―ジ１
の試料載置面１ａ上に固定保持させるのに、板状スペ―
サ３を用いているので、その板状スペ―サ３として、板
状試料２の厚さに応じた厚さを有するものを用いること
によって、板状試料２を、厚さが異なっても、試料加工
用ステ―ジ１の試料載置面１ａからみて同じ高さ位置に
位置するように、試料加工用ステ―ジ１の試料載置面１
ａ上に固定保持させることができ、従って、板状試料２
を加工するのに前述した従来の試料加工用装置の場合に
不都合を有効に回避させることができる。

【００２５】また、板状試料２を、試料加工用ステ―ジ
１の試料載置面１ａ上に固定保持させるのに、板状スペ
―サ３に第１、第２及び第３の電極層５、６及び７を設
け、また第１の電極層５に接続される高圧電源８を設け
るだけの簡単な構成でよい。

【００２６】

【実施例２】次に、図２を伴って、本発明による試料加
工用装置の第２の実施例を述べよう。

【００２７】図２において、図１との対応部分には同一
符号を付して示す。

【００２８】図２に示す本発明による試料加工用装置
は、電極層５が電極層５ａ及び５ｂに分割され、これに
応じて、電極層６が電極層６ａ及び６ｂに分割され且つ
電極層７が電極層７ａ及び７ｂに分割され、そして、高
圧電源８が電極層５ａ及び５ｂ間に接続されるように構
成されていることを除いて、図１で上述した本発明によ
る試料加工用装置と同様の構成を有する。

【００２９】以上が本発明による試料加工用装置の第２
の実施例の構成である。

【００３０】このような構成を有する本発明による試料
加工用装置によれば、上述した事項を除いて、図１で上
述した本発明による試料加工用装置の場合と同様の構成
を有するので、詳細説明は省略するが、図１で上述した
本発明による試料加工用装置の場合と同様の作用効果が
得られることは明らかである。

【００３１】しかしながら、図２に示す本発明による試
料加工用装置の場合、導電性環体９を高圧電源８の一端
に接地しておく必要がないので、その分、試料加工用装
置を簡易な構成とすることができる。

【００３２】

【実施例３】次に、図３を伴って本発明による試料搬送
用装置の実施例を述べよう。

【００３３】図３において、図１との対応部分には同一
符号を付して示す。

【００３４】図３に示す本発明による試料搬送用装置
は、次に述べる構成を有する。

【００３５】すなわち、平らな試料載置面２１ａを有す
る試料搬送用ステ―ジ２１と、その試料搬送用ステ―ジ
２１の試料載置面２１ａ上に、板状試料２を、その上面
が試料載置面２１ａからみて予定高さ位置に位置するよ
うに配するための、図１の場合と同様の板状スペ―サ３
と、その板状スペ―サ２を試料搬送用ステ―ジ２１の試
料載置面２１ａ上に真空吸着固定保持させ且つ板状試料
２を板状スペ―サ３上に真空吸着固定保持させるための
真空吸着固定保持手段２４とを有する。

【００３６】そして、真空吸着固定保持手段２９が、試
料搬送用ステ―ジ２１にその厚さを横切って延長するよ
うに形成されている第１の吸着用貫通孔２５と、試料搬
送用ステ―ジ２１の試料載置面２１ａに第１の吸着用貫
通孔２５に連通するように形成された吸着用溝２６と、
板状スペ―サ３にその厚さを横切って延長するように形
成されている第２の吸着用貫通孔２７と、第１の吸着用
貫通孔２５に連結される真空ポンプ２８とを有する。

【００３７】以上が、本発明による試料搬送用装置の実
施例の構成である。

【００３８】このような本発明による試料搬送用装置の
実施例によれば、板状スペ―サ３上に、それ自身導電性
乃至半導電性を有するか下面または上面に導電性層を有
する板体を、板状試料２として配し、その状態で、板状
スペ―サ３を試料搬送用ステ―ジ２１の試料載置面２１
ａ上に配し、そして、その状態で、真空吸着固定保持手
段２４を構成している第１の吸着用貫通孔２５に、真空
ポンプ２８を連結すれば、板状スペ―サ３が試料搬送用
ステ―ジ側に真空吸着されることによって、板状スペ―
サが試料搬送用ステ―ジの試料載置面に真空吸着固定保
持され、また、板状試料が板状スペ―サ側に真空吸着さ
れることによって、板状試料が板状スペ―サの上面に真
空吸着固定保持され、よって、板状試料を、板状スペ―
サを介して、試料搬送用ステ―ジの試料載置面上に固定
保持されている状態で、試料加工用ステ―ジの試料載置
面上に搬送させることができる。従って、試料搬送用装
置としての機能を呈する。

【００３９】そして、図３に示す本発明による試料搬送
用装置によれば、板状試料を、試料搬送用ステ―ジを用
いて試料加工用ステ―ジの試料載置面上に搬送させるの
に、板状スペ―サを用いているので、その板状スペ―サ
として、板状試料の厚さに応じた厚さを有するものを用
いることによって、板状試料を試料加工用ステ―ジの試
料載置面上に搬送された状態でみて、厚さが異なって
も、上面が試料加工用ステ―ジの試料載置面からみて同
じ高さ位置に位置するように、試料加工用ステ―ジ上に
搬送させることができ、従って、板状試料を加工するの
に従来の試料搬送用装置の場合の不都合を有効に回避さ
せることができる。

【００４０】

【実施例４】次に、図４を伴って、電子ビ―ム露光装置
に適用された本発明による試料搬送・加工用装置の実施
例を述べよう。

【００４１】図４に示す電子ビ―ム露光装置において、
３１は、図１で上述した試料加工用装置及び図３で上述
した試料搬送用装置に用いている板状スペ―サ３を、そ
の上面上に、板状試料２を導電性環体９によって保持し
ている状態で収容している収容装置を示す。また、３２
は、収容装置３１から、上述したように板状試料２を保
持している板状スペ―サ３を、図３で上述したように、
試料搬送用装置の試料搬送用ステ―ジ２１の試料載置面
２１ａに真空吸着固定してＸ−Ｙステ―ジ３３上の図１
で上述した試料加工用ステ―ジ１の試料載置面１ａ上に
搬送させる搬送部を示す。また、３４は、試料加工用ス
テ―ジの試料載置面上にずてで上述したように静電吸着
固定されている板状試料に電子ビ―ムを露光させるため
の電子光学鏡筒を示す。さらに、３５は、電子光学鏡筒
３４に対するＸ−Ｙステ―ジ３３の移動装置、従って板
状試料の位置を制御するために用いられているレ―ザ測
長機本体、 ３６反射鏡を示す。

【００４２】以上が、電子ビ―ム露光装置に適用された
本発明による試料搬送・加工用装置の実施例である。

【００４３】このような本発明による試料搬送・加工用
装置によれば、詳細説明は省略するが、試料搬送・加工
用装置としての機能を呈し、実施例１及び２及び実施例
３で述べた試料加工用装置、及び試料搬送用装置の作用
効果を呈することは明らかであろう。

【００４４】なお、上述においては、試料加工用装置、
試料搬送用装置及び試料搬送・加工用装置のそれぞれに
ついて、１つの実施例を示したに留まり、図１及び図２
に示す試料加工用装置において、板状スペ―サ３に設け
ている吸着用貫通孔を省略し、また、図３に示す試料搬
送用装置において、板状スペ―サ に設けられている電
極層 及び を省略することもでき、また、図１及び図
２に示す試料加工用装置において、導電性層 を板状ス
ペ―サ 内にその下面に沿って延長させて配することも
でき、その他、本発明の精神を脱することなしに、種々
の変型、変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による試料加工用装置の第１の実施例を
示す略線的断面図である。

【図２】本発明による試料加工用装置の第１の実施例を
示す略線的断面図である。

【図３】本発明による試料搬送用装置の実施例を示す略
線的断面図である。

【図４】本発明による試料搬送・加工用装置の適用され
た電子ビ―ム露光装置の実施例を示す略線図である。

【符号の説明】

１ 試料加工用ステ―ジ １ａ 試料載置面 ２ 板状試料 ３ 板状スペ―サ ４ 静電吸着固定保持手段 ５、６、７ 電極層 ８ 高圧電源 ９ 導電性環体 ２１ 試料搬送用ステ―ジ ２４ 真空吸着固定保持手段 ２５ 吸着用貫通孔 ２６ 吸着用溝 ２７ 吸着用貫通孔 ２８ 真空ポンプ

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【手続補正書】

【提出日】平成４年４月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 試料加工用装置、試料搬送用装置及び
試料搬送・加工用装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状試料を電子ビーム
によって露光させるために試料加工用ステージ上に固定
保持させるのに適用し得る試料加工用装置、板状試料を
電子ビームによって露光させるために試料搬送用ステー
ジを用いて試料加工用ステージ上に搬送させるのに適用
し得る試料搬送用装置、及び板状試料を電子ビームによ
って露光させるために試料搬送用ステージを用いて試料
加工用ステージ上に搬送させ且つその板状試料を試料加
工用ステージ上に固定保持させるのに適用し得る試料搬
送・加工用装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板状試料を平らな試料載置面を有
する試料加工用ステージ上に固定保持させるようにした
試料加工用装置が種々提案されている。しかしながら、
従来の試料加工用装置の場合、板状試料を、試料加工用
ステージの試料載置面上に、厚さが異なっても、上面が
試料載置面からみて同じ高さ位置に位置するように固定
保持させることができず、従って板状試料を加工するの
に不都合が生ずる、などの欠点を有していた。

【０００３】また、従来、板状試料を、平らな試料載置
面を有する試料搬送用ステージを用いて、平らな試料載
置面を有する試料加工用ステージ上に搬送させるように
した試料搬送用装置も種々提案されている。しかしなが
ら、従来の試料搬送用装置の場合、板状試料を、試料加
工用ステージの試料載置面上に搬送された状態でみて、
厚さが異なっても、上面が試料加工用ステージの試料載
置面からみて同じ高さ位置に位置するように、試料加工
用ステージ上に搬送させることができず、従って、板状
試料を加工するのに不都合が生ずる、などの欠点を有し
ていた。

【０００４】さらに、従来、板状試料を、平らな試料載
置面を有する試料搬送用ステージを用いて、平らな試料
載置面を有する試料加工用ステージ上に搬送させ且つそ
の板状試料を試料加工用ステージ上に固定保持させるよ
うにした試料搬送・加工用装置も種々提案されている。
しかしながら、従来の試料搬送・加工用装置の場合、板
状試料を、試料加工用ステージ上に搬送された状態でみ
て、厚さが異なっても、上面が試料加工用ステージの試
料載置面上でみて同じ高さ位置に位置するように試料加
工用ステージ上に搬送させることができないとともに、
板状試料を、試料加工用ステージ上に、厚さが異なって
も、上面が試料加工用ステージの試料載置面上でみて同
じ高さに位置するように保持させることができず、従っ
て、板状試料を搬送・加工するのに不都合が生ずる、な
どの欠点を有していた。

【０００５】よって、本発明は、上述した欠点のない、
試料加工用装置、試料搬送用装置、及び試料搬送・加工
用装置を提案せんとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による試料加工用
装置は、（ｉ）平らな試料載置面を有する試料加工用ス
テージと、（ｉｉ）上記試料加工用ステージの上記試料
載置面上に、板状試料を、その上面が上記試料載置面か
らみて予定の高さ位置に位置するように配するための、
絶縁材でなる板状スペーサと、（ｉｉｉ）上記板状スペ
ーサを上記試料加工用ステージの試料載置面上に静電吸
着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板状スペーサ上
に静電吸着固定させるための静電吸着固定保持手段とを
有し、そして、（ｉｖ）上記静電吸着固定保持手段が、
上記試料加工用ステージ内にその試料載置面に沿って延
長するように配されている第１の電極層と、上記板状ス
ペーサ内の下面側または上記板状スペーサの下面上に、
その下面に沿って延長するように配されている第２の電
極層と、上記板状スペーサ内の上面側に、その上面に沿
って延長するように配され且つ上記第２の電極層と互に
接続されている第３の電極層と、上記第１の電極層に接
続される高圧電源とを有する。

【０００７】この場合、上記板状スペーサに、上記板状
試料をその上面周辺部において上記板状スペーサ側に押
付けている導電性環体が取付けられているのを可とす
る。

【０００８】本発明による試料搬送装置は、（ｉ）平ら
な試料載置面を有する試料搬送用ステージと、（ｉｉ）
上記試料搬送用ステージの上記試料載置面上に、板状試
料を、その上面が上記試料載置面からみて予定高さ位置
に位置するように配するための板状スペーサと、（ｉｉ
ｉ）上記板状スペーサを上記試料搬送用ステージの試料
載置面上に真空吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上
記板状スペーサ上に真空吸着固定保持させるための真空
吸着固定保持手段とを有し、そして、（ｉｖ）上記真空
吸着固定保持手段が、上記試料搬送用ステージにその厚
さを横切って延長するように形成されている第１の吸着
用貫通孔と、上記試料搬送用ステージの上記試料載置面
に上記第１の吸着用貫通孔に連通するように形成された
吸着用溝と、上記板状スペーサにその厚さを横切って延
長するように形成されている第２の吸着用貫通孔と、上
記第１の吸着用貫通孔に連結される真空ポンプとを有す
る。

【０００９】本発明による試料搬送・加工用装置は、
（ｉ）平らな試料載置面を有する試料加工用ステージ
と、（ｉｉ）平らな試料載置面を有する試料搬送用ステ
ージと、（ｉｉｉ）上記試料加工用ステージ及び上記試
料搬送用ステージの試料載置面上に、板状試料を、その
上面が上記試料載置面からみて予定の高さ位置に位置す
るように配するための、絶縁材でなる板状スペーサと、
（ｉｖ）上記板状スペーサを上記試料加工用ステージの
試料載置面上に静電吸着固定保持させ且つ上記板状試料
を上記板状スペーサ上に静電吸着固定保持させるための
静電吸着固定保持手段と、（ｖ）上記板状スペーサを上
記試料搬送用ステージの試料載置面上に真空吸着固定保
持させ且つ上記板状試料を上記板状スペーサ上に真空吸
着固定保持させるための真空吸着固定保持手段とを有
し、そして、（ｖｉ）上記静電吸着固定保持手段が、上
記試料加工用ステージ内にその試料載置面に沿って延長
するように配されている第１の電極層と、上記板状スペ
ーサ内の下面側または上記板状スペーサの下面上に、そ
の下面に沿って延長するようにに配されている第２の電
極層と、上記板状スペーサ内の上面側に、その上面に沿
って延長するように配されている第３の電極層と、上記
第１の電極層に接続れている高圧電源とを有し、また、
（ｖｉｉ）上記真空吸着固定保持手段が、上記試料搬送
用ステージにその厚さを横切って延長するように形成さ
れている第１の吸着用貫通孔と、上記試料搬送用ステー
ジの上記試料載置面に上記第１の吸着用貫通孔に連通す
るように形成された吸着用溝と、上記板状スペーサにそ
の厚さを横切って延長するように形成されている第２の
吸着用貫通孔と、上記第１の吸着用貫通孔に連結された
真空ポンプとを有する。

【００１０】

【作用・効果】本発明による試料加工用装置によれば、
板状スペーサ上に、それ自身導電性乃至半導電性を有す
るか下面または上面に導電性層を有する板体を、板状試
料として配し、その状態て、板状スペーサを試料加工用
ステージの試料載置面上に配し、そして、その状態で、
静電吸着固定保持手段を構成している第１の電極層に、
高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極層間に静電
吸引力が発生することによって、板状スペーサが試料加
工用ステージの試料載置面上に静電吸着固定保持され、
また、試料及び第３の電極層間にも静電吸引力が発生す
ることによって、試料が板状スペーサの上面上に静電吸
着固定保持され、よって、板状試料を、板状スペーサを
介して、試料加工用ステージの試料載置面上に固定保持
させることができる。従って、試料加工用装置としての
機能を呈する。

【００１１】そして、本発明による試料加工用装置によ
れば、板状試料を、試料加工用ステージの試料載置面上
に固定保持させるのに、板状スペーサを用いているの
で、その板状スペーサとして、板状試料の厚さに応じた
厚さを有するものを用いることによって、板状試料を、
厚さが異なっても、試料加工用ステージの試料載置面か
らみて同じ高さ位置に位置するように、試料加工用ステ
ージの試料載置面上に固定保持させることができ、従っ
て、板状試料を加工するのに前述した従来の試料加工用
装置の場合に不都合を有効に回避させることができる。

【００１２】また、板状試料を、試料加工用ステージの
試料載置面上に固定保持させるのに板状スペーサに第
１、第２及び第３の電極層を設け、また第１の電極層に
接続される高圧電圧を設けるだけの簡単な構成でよい。

【００１３】本発明による試料搬送用装置によれば、板
状スペーサ上に、それ自身導電性乃至半導電性を有する
か下面または上面に導電性層を有する板体を、板状試料
として配し、その状態で、板状スペーサを試料搬送用ス
テージの試料載置面上に配し、そして、その状態で、真
空吸着固定保持手段を構成している第１の吸着用貫通孔
に、真空ポンプを連結すれば、板状スペーサが試料搬送
用ステージ側に真空吸着されることによって、板状スペ
ーサが試料搬送用ステージの試料載置面に真空吸着固定
保持され、また、板状試料が板状スペーサ側に真空吸着
されることによって、板状試料が板状スペーサの上面に
真空吸着固定保持され、よって、板状試料を、板状スペ
ーサを介して、試料搬送用ステージの試料載置面上に固
定保持されている状態で、試料加工用ステージの試料載
置面上に搬送させることができる。従って、試料搬送用
装置としての機能を呈する。そして、本発明による試料
搬送用装置によれば、板状試料を、試料搬送用ステージ
を用いて試料加工用ステージの試料載置面上に搬送させ
るのに、板状スペーサを用いているので、その板状スペ
ーサとして、板状試料の厚さに応じた厚さを有するもの
を用いることによって、板状試料を試料加工用ステージ
の試料載置面上に搬送された状態でみて、厚さが異なっ
ても、上面が試料加工用ステージの試料載置面からみて
同じ高さ位置に位置するように、試料加工用ステージ上
に搬送させることができ、従って、板状試料を加工する
のに従来の試料搬送用装置の場合の不都合を有効に回避
させることができる。

【００１４】本発明による試料搬送・加工用装置によれ
ば、板状スペーサ上に、それ自身導電性乃至半導電性を
有するか下面または上面に導電性層を有する板体を、板
状試料として配し、その状態で、板状スペーサを試料搬
送用ステージの試料載置面上に配し、そして、その状態
で、真空吸着固定保持手段を構成している第１の吸着用
貫通孔に、真空ポンプを連結すれば、板状スペーサが試
料搬送用ステージ側に真空吸着されることによって、板
状スペーサが試料搬送用ステージの試料載置面に真空吸
着固定保持され、また、板状試料が板状スペーサ側に真
空吸着されることによって、板状試料が板状スペーサの
上面に真空吸着固定保持され、よって、板状試料を、板
状スペーサを介して、試料搬送用ステージの試料載置面
上に固定保持されている状態で、試料加工用ステージの
試料載置面上に搬送させることができ、また、板状試料
を、上述したように試料加工用ステージの試料載置面上
に搬送させた状態で、真空吸着固定保持手段の真空ポン
プに代え、静電吸着固定保持手段を構成している第１の
電極層に、高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極
層間に静電吸引力が発生することによって、板状スペー
サが試料加工用ステージの試料載置面上に静電吸着固定
保持され、また、試料及び第３の電極層間にも静電吸引
力が発生することによって、試料が板状スペーサの上面
上に静電吸着固定保持され、よって、板状試料を、板状
スペーサを介して、試料加工用ステージの試料載置面上
に固定保持させることができる。従って、試料搬送・加
工用装置としての機能を呈する。

【００１５】そして、本発明による試料搬送・加工用装
置によれば、板状試料を、試料搬送用ステージを用いて
試料加工用ステージの試料載置面上に搬送させるのに、
板状スペーサを用いているので、その板状スペーサとし
て、板状試料の厚さに応じた厚さを有するものを用いる
ことによって、板状試料を試料加工用ステージの試料載
置面上に搬送された状態でみて、厚さが異なっても、上
面が試料加工用ステージの試料載置面からみて同じ高さ
位置に位置するように、試料加工用ステージ上に搬送さ
せることができ、従って、板状試料を加工するのに従来
の試料搬送・加工用装置の場合の不都合を有効に回避さ
せることができる。

【００１６】

【実施例１】次に、図１を伴って、本発明による試料加
工用装置の実施例を述べよう。

【００１７】図１に示す本発明による試料加工用装置
は、次に述べる構成を有する。

【００１８】すなわち、平らな試料載置面１ａを有する
試料加工用ステージ１と、その試料加工用ステージ１の
試料載置面１ａ上に、板状試料２を、その上面が試料載
置面１ａからみて予定の高さ位置に位置するように配す
るための、絶縁材でなる板状スペーサ３と、板状スペー
サ３を試料加工用ステージ１の試料載置面１ａ上に静電
吸着固定保持させ且つ板状試料２を板状スペーサ３上に
静電吸着固定させるための静電吸着固定保持手段４とを
有する。

【００１９】そして、静電吸着固定保持手段４が、試料
加工用ステージ３内にその試料載置面１ａに沿って延長
するように配されている第１の電極層５と、板状スペー
サ３内の下面側または板状スペーサ３の下面（図におい
ては下面上）上に、その下面に沿って延長するように配
されている第２の電極層６と、板状スペーサ３内の上面
側に、その上面に沿って延長するように配され且つ第２
の電極層６と互に接続されている第３の電極層７と、第
１の電極層５に接続される高圧電源８とを有する。

【００２０】また、板状スペーサ３に、板状試料２をそ
の上面周辺部において板状スペーサ３側に押付けている
導電性環体９が取付けられている。

【００２１】さらに、板状スペーサ３に、その厚さを横
切って延長している吸着用貫通孔２７が、後述する本発
明による試料搬送用装置の実施例における真空吸着固定
保持手段を構成するのに形成されている。

【００２２】以上が、本発明による試料加工用装置の第
１の実施例の構成である。

【００２３】このような本発明による試料加工用装置の
第１の実施例によれば、板状スペーサ３上に、それ自身
導電性乃至半導電性を有するか下面または上面に導電性
層を有する板体を、板状試料２として配し、その状態
で、板状スペーサ３を試料加工用ステージ１の試料載置
面１ａ上に配し、そして、その状態で、静電吸着固定保
持手段４を構成している第１の電極層５及び導電性環体
９間に、高圧電源を接続すれば、第１及び第２の電極層
５及び６間に静電吸引力が発生することによって、板状
スペーサ３が試料加工用ステージ１の試料載置面１ａ上
に静電吸着固定保持され、また、試料２及び第３の電極
層７間にも静電吸引力が発生することによって、試料２
が板状スペーサ３の上面上に静電吸着固定保持され、よ
って、板状試料２を、板状スペーサ３を介して、試料加
工用ステージ１の試料載置面１ａ上に固定保持させるこ
とができる。従って、試料加工用装置としての機能を呈
する。

【００２４】そして、図１に示す本発明による試料加工
用装置によれば、板状試料２を、試料加工用ステージ１
の試料載置面１ａ上に固定保持させるのに、板状スペー
サ３を用いているので、その板状スペーサ３として、板
状試料２の厚さに応じた厚さを有するものを用いること
によって、板状試料２を、厚さが異なっても、試料加工
用ステージ１の試料載置面１ａからみて同じ高さ位置に
位置するように、試料加工用ステージ１の試料載置面１
ａ上に固定保持させることができ、従って、板状試料２
を加工するのに前述した従来の試料加工用装置の場合に
不都合を有効に回避させることができる。

【００２５】また、板状試料２を、試料加工用ステージ
１の試料載置面１ａ上に固定保持させるのに、板状スペ
ーサ３に第１、第２及び第３の電極層５、６及び７を設
け、また第１の電極層５に接続される高圧電源８を設け
るだけの簡単な構成でよい。

【００２６】

【実施例２】次に、図２を伴って、本発明による試料加
工用装置の第２の実施例を述べよう。

【００２７】図２において、図１との対応部分には同一
符号を付して示す。

【００２８】図２に示す本発明による試料加工用装置
は、電極層５が電極層５ａ及び５ｂに分割され、これに
応じて、電極層６が電極層６ａ及び６ｂに分割され且つ
電極層７が電極層７ａ及び７ｂに分割され、そして、高
圧電源８が電極層５ａ及び５ｂ間に接続されるように構
成されていることを除いて、図１で上述した本発明によ
る試料加工用装置と同様の構成を有する。

【００２９】以上が本発明による試料加工用装置の第２
の実施例の構成である。

【００３０】このような構成を有する本発明による試料
加工用装置によれば、上述した事項を除いて、図１で上
述した本発明による試料加工用装置の場合と同様の構成
を有するので、詳細説明は省略するが、図１で上述した
本発明による試料加工用装置の場合と同様の作用効果が
得られることは明らかである。

【００３１】しかしながら、図２に示す本発明による試
料加工用装置の場合、導電性環体９を高圧電源８の一端
に接地しておく必要がないので、その分、試料加工用装
置を簡易な構成とすることができる。

【００３２】

【実施例３】次に、図３を伴って本発明による試料搬送
用装置の実施例を述べよう。

【００３３】図３において、図１との対応部分には同一
符号を付して示す。

【００３４】図３に示す本発明による試料搬送用装置
は、次に述べる構成を有する。

【００３５】すなわち、平らな試料載置面２１ａを有す
る試料搬送用ステージ２１と、その試料搬送用ステージ
２１の試料載置面２１ａ上に、板状試料２を、その上面
が試料載置面２１ａからみて予定高さ位置に位置するよ
うに配するための、図１の場合と同様の板状スペーサ３
と、その板状スペーサ２を試料搬送用ステージ２１の試
料載置面２１ａ上に真空吸着固定保持させ且つ板状試料
２を板状スペーサ３上に真空吸着固定保持させるための
真空吸着固定保持手段２４とを有する。

【００３６】そして、真空吸着固定保持手段２９が、試
料掴送用ステージ２１にその厚さを横切って延長するよ
うに形成されている第１の吸着用貰通孔２５と、試料搬
送用ステージ２１の試料載置面２１ａに第１の吸着用貫
通孔２５に連通するように形成された吸着用溝２６と、
板状スペーサ３にその厚さを横切って延長するように形
成されている第２の吸着用貰通孔２７と、第１の吸着用
貰通孔２５に連結される真空ポンプ２８とを有する。

【００３７】以上が、本発明による試料搬送用装置の実
施例の構成である。

【００３８】このような本発明による試料搬送用装置の
実施例によれば、板状スペーサ３上に、それ自身導電性
乃至半導電性を有するか下面または上面に導電性層を有
する板体を、板状試料２として配し、その状態で、板状
スペーサ３を試料搬送用ステージ２１の試料載置面２１
ａ上に配し、そして、その状態で、真空吸着固定保持手
段２４を構成している第１の吸着用貫通孔２５に、真空
ポンプ２８を連結すれば、板状スペーサ３が試料搬送用
ステージ側に真空吸着されることによって、板状スペー
サ３が試料搬送用ステージ２１の試料載置面２１ａに真
空吸着固定保持され、また、板状試料２が板状スペーサ
３側に真空吸着されることによって、板状試料２が板状
スペーサ３の上面に真空吸着固定保持され、よって、板
状試料２を、板状スペーサ３を介して、試料搬送用ステ
ージ２１の試料載置面２１ａ上に固定保持されている状
態で、試料加工用ステージの試料載置面上に搬送させる
ことができる。従って、試料搬送用装置としての機能を
呈する。

【００３９】そして、図３に示す本発明による試料搬送
用装置によれば、板状試料２を、試料搬送用ステージ２
１を用いて試料加工用ステージの試料載置面上に搬送さ
せるのに、板状スペーサ３を用いているので、その板状
スペーサ３として、板状試料２の厚さに応じた厚さを有
するものを用いることによって、板状試料２を試料加工
用ステージ２１の試料載置面２１ａ上に搬送された状態
でみて、厚さが異なっても、上面が試料加工用ステージ
２１の試料載置面２１ａからみて同じ高さ位置に位置す
るように、試料加工用ステージ上に搬送させることがで
き、従って、板状試料２を加工するのに従来の試料搬送
用装置の場合の不都合を有効に回避させることができ
る。

【００４０】

【実施例４】次に、図４を伴って、電子ビーム露光装置
に適用された本発明による試料搬送・加工用装置の実施
例を述べよう。

【００４１】図４に示す電子ビーム露光装置において、
３１は、図１で上述した試料加工用装置及び図３で上述
した試料搬送用装置に用いている板状スペーサ３を、そ
の上面上に、板状試料２を導電性環体９によって保持し
ている状態で収容している収容装置を示す。また、３２
は、収容装置３１から、上述したように板状試料２を保
持している板状スペーサ３を、図３で上述したように、
試料搬送用装置の試料搬送用ステージ２１の試料載置面
２１ａに真空吸着固定してＸ−Ｙステージ３３上の図１
で上述した試料加工用ステージ１の試料載置面１ａ上に
搬送させる搬送部を示す。また、３４は、試料加工用ス
テージ１の試料載置面１ａ上に上述したように静電吸着
固定されている板状試料に電子ビームを露光させるため
の電子光学鏡筒を示す。さらに、３５は、電子光学鏡筒
３４に対するＸ−Ｙステージ３３の移動装置、従って板
状試料２の位置を制御するために用いられているレーザ
測長機本体、３６は反射鏡を示す。

【００４２】以上が、電子ビーム露光装置に適用された
本発明による試料搬送・加工用装置の実施例である。

【００４３】このような本発明による試料搬送・加工用
装置によれば、詳細説明は省略するが、試料搬送・加工
用装置としての機能を呈し、実施例１及び２及び実施例
３で述べた試料加工用装置、及び試料搬送用装置の作用
効果を呈することは明らかであろう。

【００４４】なお、上述においては、試料加工用装置、
試料搬送用装置及び試料搬送・加工用装置のそれぞれに
ついて、１つの実施例を示したに留まり、図１及び図２
に示す試料加工用装置において、板状スペーサ３に設け
ている吸着用貫通孔２７を省路し、また、図３に示す試
料搬送用装置において、板状スペーサ３に設けられてい
る電極層６及び７を省略することもでき、また、図１及
び図２に示す試料加工用装置において、電極層６を板状
スペーサ３内にその下面に沿って延長させて配すること
もでき、その他、本発明の精神を脱することなしに、種
々の変型、変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による試料加工用装置の第１の実施例を
示す略線的断面図である。

【図２】本発明による試料加工用装置の第１の実施例を
示す略線的断面図である。

【図３】本発明による試料搬送用装置の実施例を示す略
線的断面図である。

【図４】本発明による試料搬送・加工用装置の適用され
た電子ビーム露光装置の実施例を示す略線図である。

【符号の説明】 １ 試料加工用ステージ １ａ 試料載置面 ２ 板状試料 ３ 板状スペーサ ４ 静電吸着固定保持手段 ５、６、７ 電極層 ８ 高圧電源 ９ 導電性環体 ２１ 試料搬送用ステージ ２４ 真空吸着固定保持手段 ２５ 吸着用貫通孔 ２６ 吸着用溝 ２７ 吸着用貰通孔 ２８ 真空ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｒ 8418−4Ｍ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平らな試料載置面を有する試料加工用ス
   テ―ジと、 上記試料加工用ステ―ジの上記試料載置面上に、板状試
   料を、その上面が上記試料載置面からみて予定の高さ位
   置に位置するように配するための、絶縁材でなる板状ス
   ペ―サと、 上記板状スペ―サを上記試料加工用ステ―ジの試料載置
   面上に静電吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板
   状スペ―サ上に静電吸着固定させるための静電吸着固定
   保持手段とを有し、 上記静電吸着固定保持手段が、上記試料加工用ステ―ジ
   内にその試料載置面に沿って延長するように配されてい
   る第１の電極層と、上記板状スペ―サ内の下面側または
   上記板状スペ―サの下面上に、その下面に沿って延長す
   るように配されている第２の電極層と、上記板状スペ―
   サ内の上面側に、その上面に沿って延長するように配さ
   れ且つ上記第２の電極層と互に接続されている第３の電
   極層と、上記第１の電極層に接続される高圧電源とを有
   することを特徴とする試料加工用装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の試料加工用装置におい
   て、 上記板状スペ―サに、上記板状試料をその上面周辺部に
   おいて上記板状スペ―サ側に押付けている導電性環体が
   取付けられていることを特徴とする試料加工用装置。
3. 【請求項３】 平らな試料載置面を有する試料搬送用ス
   テ―ジと、 上記試料搬送用ステ―ジの上記試料載置面上に、板状試
   料を、その上面が上記試料載置面からみて予定高さ位置
   に位置するように配するための板状スペ―サと、 上記板状スペ―サを上記試料搬送用ステ―ジの試料載置
   面上に真空吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板
   状スペ―サ上に真空吸着固定保持させるための真空吸着
   固定保持手段とを有し、 上記真空吸着固定保持手段が、上記試料搬送用ステ―ジ
   にその厚さを横切って延長するように形成されている第
   １の吸着用貫通孔と、上記試料搬送用ステ―ジの上記試
   料載置面に上記第１の吸着用貫通孔に連通するように形
   成された吸着用溝と、上記板状スペ―サにその厚さを横
   切って延長するように形成されている第２の吸着用貫通
   孔と、上記第１の吸着用貫通孔に連結される真空ポンプ
   とを有することを特徴とする試料搬送用装置。
4. 【請求項４】 平らな試料載置面を有する試料加工用ス
   テ―ジと、 平らな試料載置面を有する試料搬送用ステ―ジと、 上記試料加工用ステ―ジ及び上記試料搬送用ステ―ジの
   試料載置面上に、板状試料を、その上面が上記試料載置
   面からみて予定の高さ位置に位置するように配するため
   の、絶縁材でなる板状スペ―サと、 上記板状スペ―サを上記試料加工用ステ―ジの試料載置
   面上に静電吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板
   状スペ―サ上に静電吸着固定保持させるための静電吸着
   固定保持手段と、 上記板状スペ―サを上記試料搬送用ステ―ジの試料載置
   面上に真空吸着固定保持させ且つ上記板状試料を上記板
   状スペ―サ上に真空吸着固定保持させるための真空吸着
   固定保持手段とを有し、 上記静電吸着固定保持手段が、上記試料加工用ステ―ジ
   内にその試料載置面に沿って延長するように配されてい
   る第１の電極層と、上記板状スペ―サ内の下面側または
   上記板状スペ―サの下面上に、その下面に沿って延長す
   るようにに配されている第２の電極層と、上記板状スペ
   ―サ内の上面側に、その上面に沿って延長するように配
   されている第３の電極層と、上記第１の電極層に接続れ
   ている高圧電源とを有し、 上記真空吸着固定保持手段が、上記試料搬送用ステ―ジ
   にその厚さを横切って延長するように形成されている第
   １の吸着用貫通孔と、上記試料搬送用ステ―ジの上記試
   料載置面に上記第１の吸着用貫通孔に連通するように形
   成された吸着用溝と、上記板状スペ―サにその厚さを横
   切って延長するように形成されている第２の吸着用貫通
   孔と、上記第１の吸着用貫通孔に連結された真空ポンプ
   とを有することを特徴とする試料搬送・加工用装置。