JPH05226722A - 簡易外装型電歪効果素子 - Google Patents
簡易外装型電歪効果素子Info
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- JPH05226722A JPH05226722A JP4007203A JP720392A JPH05226722A JP H05226722 A JPH05226722 A JP H05226722A JP 4007203 A JP4007203 A JP 4007203A JP 720392 A JP720392 A JP 720392A JP H05226722 A JPH05226722 A JP H05226722A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 37
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】突起もしくは装着する相手部材に生じる摩耗，
傷，亀裂等を防止すると共に、素子の発生変位，力を装
着機器にスムーズに伝達することができる円錐状突起を
一端もしくは両端に有する簡易外装型電歪効果素子を提
供することにある。 【構成】円筒状ケース４１に挿入された電歪効果素子１
の両端に蓋部材を接着し、蓋部材である下金具３１は金
属ケース４１に固着され、一方の蓋部材である円錐状上
金具２１は、円錐状突起の先端に曲率を持たせた構造を
有している。 【効果】本発明の簡易外装型電歪効果素子は、蓋部材に
設けた円錐状突起の先端に曲率を持たせてあるので、突
起の先端や相手部材に生じる亀裂や摩耗を著しく低減で
き、微少変位制御機能を長期間維持できる。また相手部
材がヒンジ等を介し電歪効果素子の変位方向と異なる方
向に駆動される機構であっても、突起の先端に曲率を持
たせているため、相手部材との摩耗係数を低くでき、変
位，力をスムーズに伝達できる。
傷，亀裂等を防止すると共に、素子の発生変位，力を装
着機器にスムーズに伝達することができる円錐状突起を
一端もしくは両端に有する簡易外装型電歪効果素子を提
供することにある。 【構成】円筒状ケース４１に挿入された電歪効果素子１
の両端に蓋部材を接着し、蓋部材である下金具３１は金
属ケース４１に固着され、一方の蓋部材である円錐状上
金具２１は、円錐状突起の先端に曲率を持たせた構造を
有している。 【効果】本発明の簡易外装型電歪効果素子は、蓋部材に
設けた円錐状突起の先端に曲率を持たせてあるので、突
起の先端や相手部材に生じる亀裂や摩耗を著しく低減で
き、微少変位制御機能を長期間維持できる。また相手部
材がヒンジ等を介し電歪効果素子の変位方向と異なる方
向に駆動される機構であっても、突起の先端に曲率を持
たせているため、相手部材との摩耗係数を低くでき、変
位，力をスムーズに伝達できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は簡易外装型電歪効果素子
に関し、特にケース入り電歪効果素子の構造に関する。
に関し、特にケース入り電歪効果素子の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電歪効果素子は図３に示すよう
に、厚さ約０．１ｍｍの電歪材７と厚さ約１０μｍの内
部電極８とが交互に積層され、内部電極８が露出してい
る一対の側面には内部電極８の端面を一層おきにしかも
それぞれの側面で互い違いにガラス等の絶縁層９で絶縁
し、絶縁されていない内部電極はそれぞれの側面で銀ペ
ースト等で構成された外部電極１０で電気的に接続され
ている。この時それぞれの外部電極に半田１２で接続さ
れたリード線５に電圧（１５０Ｖ）を印加すると、長さ
２０ｍｍの電歪効果素子で約２０μｍの変位を発生す
る。通常この電歪効果素子は上下の両端面以外は全てエ
ポキシ樹脂１１で塗装し、外部電極，絶縁層，内部電極
端面が直接外気と接触しないようにしている。このよう
な樹脂外装型電歪効果素子では、 （１）特殊雰囲気下での信頼性が不十分である。 （２）樹脂による外装である為外形寸法のばらつきが大
きく、セットする場所への位置決め（センター出し）や
ハンドリングの自動化が困難である。 （３）外力、特に抗折力に対して、素子の強度が十分で
はない。 （４）素子の上下両端面が、電歪材であるセラミックが
露出した構造であるため、接続する相手の部材や接着
剤、接着方法が限定される。という欠点を有していた。
に、厚さ約０．１ｍｍの電歪材７と厚さ約１０μｍの内
部電極８とが交互に積層され、内部電極８が露出してい
る一対の側面には内部電極８の端面を一層おきにしかも
それぞれの側面で互い違いにガラス等の絶縁層９で絶縁
し、絶縁されていない内部電極はそれぞれの側面で銀ペ
ースト等で構成された外部電極１０で電気的に接続され
ている。この時それぞれの外部電極に半田１２で接続さ
れたリード線５に電圧（１５０Ｖ）を印加すると、長さ
２０ｍｍの電歪効果素子で約２０μｍの変位を発生す
る。通常この電歪効果素子は上下の両端面以外は全てエ
ポキシ樹脂１１で塗装し、外部電極，絶縁層，内部電極
端面が直接外気と接触しないようにしている。このよう
な樹脂外装型電歪効果素子では、 （１）特殊雰囲気下での信頼性が不十分である。 （２）樹脂による外装である為外形寸法のばらつきが大
きく、セットする場所への位置決め（センター出し）や
ハンドリングの自動化が困難である。 （３）外力、特に抗折力に対して、素子の強度が十分で
はない。 （４）素子の上下両端面が、電歪材であるセラミックが
露出した構造であるため、接続する相手の部材や接着
剤、接着方法が限定される。という欠点を有していた。
【０００３】この様な欠点を改善するための１つの方法
として図４に示すようなケース入り電歪効果素子が考案
されている。従来のケース入り電歪効果素子は、円筒状
のケース４に挿入された電歪効果素子１の一方の端面に
円錐状の突起を有する円盤状の蓋部材２と、もう一方の
端面に同様の形状を有し左右にリード線５が貫通する穴
３ａを有する蓋部材３とが接着され、蓋部材３とケース
４とが固着されている構造を有していた。そして、蓋部
材３より外部に導かれたリード線の両端に電圧を印加す
ると、蓋部材２は、ケース４の内側の面を案内にして摺
動し、電歪効果素子１の変位，力を他の物に伝えること
ができる。
として図４に示すようなケース入り電歪効果素子が考案
されている。従来のケース入り電歪効果素子は、円筒状
のケース４に挿入された電歪効果素子１の一方の端面に
円錐状の突起を有する円盤状の蓋部材２と、もう一方の
端面に同様の形状を有し左右にリード線５が貫通する穴
３ａを有する蓋部材３とが接着され、蓋部材３とケース
４とが固着されている構造を有していた。そして、蓋部
材３より外部に導かれたリード線の両端に電圧を印加す
ると、蓋部材２は、ケース４の内側の面を案内にして摺
動し、電歪効果素子１の変位，力を他の物に伝えること
ができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のケース
入り電歪効果素子では、円盤状蓋部材に形成された円錐
状突起の先端が鋭利であったため、電歪効果素子の変
位，力を享受する部材に取り付けて使用した場合 （１）突起の先端に亀裂や摩耗が生じる。 （２）相手部材に傷が生じる。 等により、電歪効果素子の最大の特徴である微少変位制
御機能が著しく損なわれるという欠点を有する。
入り電歪効果素子では、円盤状蓋部材に形成された円錐
状突起の先端が鋭利であったため、電歪効果素子の変
位，力を享受する部材に取り付けて使用した場合 （１）突起の先端に亀裂や摩耗が生じる。 （２）相手部材に傷が生じる。 等により、電歪効果素子の最大の特徴である微少変位制
御機能が著しく損なわれるという欠点を有する。
【０００５】また、相手部材がヒンジ等を介し電歪効果
素子の変位方向と異なる方向に駆動される機構の場合、
素子の駆動により突起の先端と相手部材の位置がずれる
こととなるが、突起の先端が鋭利であることから相手部
材との摩擦係数が高く、結果的に突起ひいては素子に曲
げ応力がかかることになり、この影響が著しい場合素子
の破壊を引き起こすという欠点を有する。
素子の変位方向と異なる方向に駆動される機構の場合、
素子の駆動により突起の先端と相手部材の位置がずれる
こととなるが、突起の先端が鋭利であることから相手部
材との摩擦係数が高く、結果的に突起ひいては素子に曲
げ応力がかかることになり、この影響が著しい場合素子
の破壊を引き起こすという欠点を有する。
【０００６】本発明の目的は、突起の先端や相手部材に
生じる亀裂や摩耗を低減でき、素子の発生変位，力を装
着機器にスムーズに伝達できる簡易外装型電歪効果素子
を提供することにある。
生じる亀裂や摩耗を低減でき、素子の発生変位，力を装
着機器にスムーズに伝達できる簡易外装型電歪効果素子
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】円筒状のケースに挿入さ
れた電歪効果素子の両端にそれぞれ蓋部材が接着され、
その蓋部材のどちらか一方が前記ケースと固着されてお
り、前記蓋部材の一方もしくは両方において、素子接着
面と反対側に円錐状の突起をする簡易外装型電歪効果素
子において、前記円錐状突起の先端が曲率を有すること
を特徴としている。
れた電歪効果素子の両端にそれぞれ蓋部材が接着され、
その蓋部材のどちらか一方が前記ケースと固着されてお
り、前記蓋部材の一方もしくは両方において、素子接着
面と反対側に円錐状の突起をする簡易外装型電歪効果素
子において、前記円錐状突起の先端が曲率を有すること
を特徴としている。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の簡易外装型電歪効果素子
の縦断面図である。
る。図１は本発明の一実施例の簡易外装型電歪効果素子
の縦断面図である。
【０００９】円筒状のステンレス製金属ケース４１に挿
入された電歪効果素子１の一方の端面には、高さ約３ｍ
ｍ底面の径が約６ｍｍで先端に１．０のＲを付けた円錐
を有するステンレス製の円盤状の円錐状金具２１が接着
剤で接着され、他方の面には厚さ約５ｍｍのステンレス
製円盤状で左右にリード線５が貫通する穴３ａを有する
下金具３１が接着剤で接着され、下金具３１と金属ケー
ス４１とはスポット溶接で固着されている。
入された電歪効果素子１の一方の端面には、高さ約３ｍ
ｍ底面の径が約６ｍｍで先端に１．０のＲを付けた円錐
を有するステンレス製の円盤状の円錐状金具２１が接着
剤で接着され、他方の面には厚さ約５ｍｍのステンレス
製円盤状で左右にリード線５が貫通する穴３ａを有する
下金具３１が接着剤で接着され、下金具３１と金属ケー
ス４１とはスポット溶接で固着されている。
【００１０】図２は本発明の他の実施例の簡易外装型電
歪効果素子の縦断面図である。図２に示すように、円筒
状のステンレス製金属ケース４１に挿入された電歪効果
素子１の一方の端面には、高さ約３ｍｍ底面の径が約６
ｍｍで先端に２．０のＲを付けた円錐を有し、かつ円周
上にＯリング６を保持するＶ溝を有するＳＫ材製の円盤
状の溝付き円錐状上金具２２が接着剤で接着され、他方
の面には厚さ約５ｍｍのＳＫ材製円盤状で左右にリード
線５が貫通する穴３ａを有し、溝付き円錐状上金具２２
と同様の円錐状突起を有する円錐状下金具３２が接着剤
で接着され、円錐状下金具３２と金属ケース４１とはス
ポット溶接で固着されている。
歪効果素子の縦断面図である。図２に示すように、円筒
状のステンレス製金属ケース４１に挿入された電歪効果
素子１の一方の端面には、高さ約３ｍｍ底面の径が約６
ｍｍで先端に２．０のＲを付けた円錐を有し、かつ円周
上にＯリング６を保持するＶ溝を有するＳＫ材製の円盤
状の溝付き円錐状上金具２２が接着剤で接着され、他方
の面には厚さ約５ｍｍのＳＫ材製円盤状で左右にリード
線５が貫通する穴３ａを有し、溝付き円錐状上金具２２
と同様の円錐状突起を有する円錐状下金具３２が接着剤
で接着され、円錐状下金具３２と金属ケース４１とはス
ポット溶接で固着されている。
【００１１】以上の実施例ではケースおよび蓋部材の材
質としてステンレス，ＳＫ材を例に取り説明したが、他
の金属やセラミックス、高強度高弾性の有機高分子材料
（いわゆるエンジニアリングプラスチック類）を用いて
も良い。
質としてステンレス，ＳＫ材を例に取り説明したが、他
の金属やセラミックス、高強度高弾性の有機高分子材料
（いわゆるエンジニアリングプラスチック類）を用いて
も良い。
【００１２】また、ケースと蓋部材（本実施例では金属
ケースと下金型）を固着した後に、ケースと蓋部材の間
をシール材でシールすることにより、上述の実施例より
さらにケース内の気密性を高めることができる。
ケースと下金型）を固着した後に、ケースと蓋部材の間
をシール材でシールすることにより、上述の実施例より
さらにケース内の気密性を高めることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明の簡易外装型
電歪効果素子は、蓋部材に設けた円錐状突起の先端に曲
率を持たせた構造であるため、突起の先端や相手部材に
生じる亀裂や摩耗を著しく低減でき、微少変位制御機能
を長期間維持できるという効果がある。
電歪効果素子は、蓋部材に設けた円錐状突起の先端に曲
率を持たせた構造であるため、突起の先端や相手部材に
生じる亀裂や摩耗を著しく低減でき、微少変位制御機能
を長期間維持できるという効果がある。
【００１４】また、相手部材がヒンジ等を介し電歪効果
素子の変位方向と異なる方向に駆動される機構であって
も、突起の先端に曲率を持たせているため相手部材との
摩擦係数を低くでき、変位，力をスムーズに伝達できる
効果がある。
素子の変位方向と異なる方向に駆動される機構であって
も、突起の先端に曲率を持たせているため相手部材との
摩擦係数を低くでき、変位，力をスムーズに伝達できる
効果がある。
【図１】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施例の縦断面図である。
【図３】従来の樹脂外装型電歪効果素子の一例の縦断面
図である。
図である。
【図４】従来のケース入り電歪効果素子の一例の縦断面
図である。
図である。
１ 電歪効果素子 ２，３ 蓋部材 ３ａ 穴 ４ ケース ５ リード線 ７ 電歪材 ８ 内部電極 ９ 絶縁層 １０ 外部電極 １１ エポキシ樹脂 １２ 半田 ２１ 円錐状上金具 ２２ 溝付き円錐状上金具 ３１ 下金具 ３２ 円錐状下金具 ４１ 金属ケース
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒状のケースに挿入された電歪効果素
子の両端にそれぞれ蓋部材が接着され、前記蓋部材のど
ちらか一方が前記ケースと固着されており、前記蓋部材
の一方もしくは両方において、素子接着面と反対側に円
錐状の突起を有する簡易外装型電歪効果素子において、
前記円錐状突起の先端に曲率を持たせたことを特徴とす
る簡易外装型電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007203A JPH05226722A (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 簡易外装型電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007203A JPH05226722A (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 簡易外装型電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226722A true JPH05226722A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=11659471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4007203A Withdrawn JPH05226722A (ja) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | 簡易外装型電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05226722A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009534826A (ja) * | 2006-04-21 | 2009-09-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | カバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールおよびカバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールの製造方法 |
-
1992
- 1992-01-20 JP JP4007203A patent/JPH05226722A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009534826A (ja) * | 2006-04-21 | 2009-09-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | カバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールおよびカバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |