JP5098224B2 - 半導体パッケージ - Google Patents
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(1)ゲッタ基板4に突起部4bを突設し、素子基板2とゲッタ基板4との間に空間を形成した。したがって、素子基板2とゲッタ基板4との間にゲッタ8を設けることができ、赤外線センサ1のパッケージサイズを大きくすることなくゲッタ量を大きくすることができる。その結果、ゲッタ8が吸着することができる不純物ガス量が増え、ゲッタ基板4の凹部4a内の雰囲気を長期間維持することができ、赤外線検出素子5の信頼性を高めることができる。
(1)素子基板2に形成された機能性素子は赤外線検出素子5であったが、密閉空間内に形成する機能性素子であれば実施形態に限定されない。たとえば、ジャイロセンサ素子や圧力センサ素子でもよい。この場合、蓋基板は赤外線を透過する必要がないので、気密性を有する材料であれば蓋基板3の材質は特に限定されない。たとえば、ガラスやセラミックでもよい。
2a,3a,4a,4d 凹部 3,3A 蓋基板
4,4A ゲッタ基板 4b,9 突起部
5 赤外線検出素子 6 突起電極
7 貫通電極 8 ゲッタ
10 挟持部材
Claims (9)
- 表面に機能性素子が形成された素子基板と、
ゲッタを設けた第1の基板と、
前記第1の基板と接合して、前記第1の基板との間に前記素子基板を密閉する空間を形成する第2の基板とを備え、
前記第1の基板と前記素子基板との間には、前記第1の基板と間隔を開けて前記素子基板を前記空間内で保持する保持部材を備え、
前記第1の基板と前記素子基板のいずれか一方には前記保持部材の端部を嵌合する凹部が設けられていることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記保持部材は、前記第1の基板に突設された突起部であり、前記素子基板に前記突起部と嵌合する前記凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記保持部材は、前記素子基板に突設された突起部であり、前記第1の基板に前記突起部と嵌合する前記凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記保持部材は、前記第1の基板と前記素子基板との間に挟持される挟持部材であり、
前記第1の基板と前記素子基板に前記挟持部材を挟み込む面に前記凹部が形成され、
前記挟持部材は、前記第1の基板の前記凹部および前記素子基板の前記凹部に嵌合されることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項2または4に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2の基板は、前記密閉空間内の機能性素子からの信号を外部に取り出すための電極を備え、
前記素子基板は、前記機能性素子からの信号を出力し、前記第2の基板の電極に当接する突起電極を備え、
前記突起電極を、前記素子基板に対して前記素子基板に設けられた前記凹部の位置の面対象の位置に設けることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項3または4に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1の基板に、前記凹部以外にゲッタを設けることを特徴とする半導体パッケージ。 - 請求項3に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2の基板は、前記密閉空間内の機能性素子からの信号を外部に取り出すための電極を備え、
前記素子基板は、前記突起部が形成された面の反対側の面に、前記機能性素子からの信号を出力し、前記第2の基板の電極に当接する突起電極を備え、
前記素子基板の突起部は前記突起電極と同じ材料であることを特徴とする半導体パッケージ。 - 第1の基板と第2と基板とを接合して、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成された空間に、機能性素子が形成された素子基板を密閉した半導体パッケージの製造方法において、
前記素子基板の表面または前記第1の基板の表面のいずれか一方に凹部を形成し、他方に前記凹部に対応する突起部を形成し、
前記第1の基板の表面にゲッタを形成し、
前記素子基板と前記第1の基板とを、前記凹部を形成した面と前記突起部を形成した面とが対向するように、前記素子基板を前記第1の基板に配置した後、前記第1の基板に振動を加えることによって、前記突起部を前記凹部に嵌合させることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 第1の基板と第2と基板とを接合して、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成された空間に、機能性素子が形成された素子基板を密閉した半導体パッケージの製造方法において、
素子基板の一面に前記機能性素子の信号を出力する突起電極を形成すると共に前記突起電極が形成され前記一面と反対側の面に凹部を形成し、
前記第1の基板の表面にはゲッタと、突起部を形成し、
前記第2の基板には前記密閉空間内の機能性素子からの信号を外部に取り出すための電極を形成し、
前記素子基板の前記突起電極、前記第1の基板の前記突起部および前記第2の基板の電極を目印にして、前記素子基板、前記第1の基板および前記第2の基板の位置合わせをすることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
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JP2006154921A JP5098224B2 (ja) | 2006-06-02 | 2006-06-02 | 半導体パッケージ |
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