JPH05220460A - 超音波洗浄方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 印刷機のスクリーン等の被洗浄物２１を超音
波洗浄するに当り、大型の洗浄槽、大電力の超音波発振
器、大量の洗浄液を不要とし、洗浄装置の全体構成を簡
単かつ小型で軽量にするとともに、簡単な操作で短時間
で洗浄でき、安価でしかも経費が極めて少なくて済むよ
うにする。 【構成】 超音波振動子３を被洗浄物２１に当接させ、
その状態で、超音波振動子３と被洗浄物２１との間隙に
洗浄液を微少量供給して超音波振動子３に超音波信号を
印加し、振動子３を超音波振動させることにより、被洗
浄物２１の汚れを上記洗浄液中に流出させて洗浄液と一
緒に清拭する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動によって洗
浄する洗浄方法及び洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造用の印刷機におい
ては、その印刷作業終了時、半田ペーストの粘度調整
時、印刷途中での目詰まり時にメタルマスクスクリーン
を清掃するというメンテナンスが要求される。この清掃
方法として、スクリーンの詰まった箇所を金属ブラシで
こする方法があるが、この方法では版が損傷を受ける等
の問題がある。

【０００３】この問題を解決するために、スクリーンを
超音波洗浄装置による洗浄液の超音波振動により洗浄す
る方法がある。すなわち、この超音波振動によって洗浄
する方法としては、従来、超音波振動子を取り付けた洗
浄槽に被洗浄物としてのスクリーンを洗浄液と共に入
れ、超音波振動のエネルギーにより汚れを洗浄液内に流
出させて洗浄する方法が一般的に知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
超音波洗浄方法では、洗浄槽に洗浄液をスクリーン（被
洗浄物）が浸されるだけの量を供給せねばならないため
に大量の洗浄液を必要とする。洗浄液は、一般に酢酸エ
チルや酢酸ブチル等であり、従ってこれら引火性の高い
溶剤を多量に保管せねばならない。

【０００５】また、洗浄時には、超音波洗浄槽に入れる
ためにスクリーンを一旦、印刷機から外さねばならず、
スクリーンの再度取付けの際にアライメントの必要があ
り、作業時間が長くなるという問題がある。

【０００６】さらに、被洗浄物がスクリーンのように大
きいと、それを浸漬する洗浄槽が大型となり、その設置
スペースの問題が生じる。特に、近年は表面実装の印刷
配線基盤が大型となり、それに応じてスクリーンも大型
になるため、相応の大型超音波洗浄装置となり、洗浄槽
に入れて洗浄することすらも難しくなってきている。し
かも、超音波振動のエネルギーを発する発振出力器も大
型となるので、消費電力も相応に大きいという問題もあ
った。

【０００７】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、従来とは異なる新規な超音波洗浄方法
及びその装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、基本的に洗浄槽を廃止し、その代り、
被洗浄物を平面洗浄槽として機能させる。つまり、超音
波振動子を直接被洗浄物に当接して、その被洗浄物自体
を振動させ、洗浄物と超音波振動子との間隙に洗浄液を
微少量供給することによって洗浄可能にした。

【０００９】具体的には、請求項１の発明では、超音波
洗浄方法として、把持操作可能な超音波振動子を被洗浄
物に当接させるとともに、超音波振動子と被洗浄物との
間隙に洗浄液を微少量供給し、超音波振動子に超音波信
号を印加して振動子を超音波振動させることにより、被
洗浄物の汚れを上記洗浄液中に流出させて洗浄液と一緒
に清拭することを特徴とする。

【００１０】請求項２の発明では、超音波洗浄装置とし
て、被洗浄物に当接された状態で、該被洗浄物との間隙
に供給された微少量の洗浄液を振動させる超音波振動子
と、該超音波振動子に超音波信号を印加する超音波発振
器とを備え、超音波振動子の振動により被洗浄物との間
の間隙に上記洗浄液に被洗浄物の汚れを流出させるよう
に構成されていることを特徴とする。

【００１１】請求項３の発明では、超音波振動子を超音
波振動が伝達し難い保持構造の外形ケース又は緩衝材を
挿入して保持してユニット化し、このユニットを被洗浄
物の洗浄する部分に移動させて当接させることで、洗浄
可能にした。すなわち、この発明では、請求項２の超音
波洗浄装置における超音波振動子が、超音波発振器とは
分離された振動ユニットに内蔵され、この振動ユニット
が、超音波発振器の超音波振動出力の接断を行うスイッ
チを有していることを特徴とする。

【００１２】請求項４の発明では、上記振動ユニット
は、上下方向に延びる中心線を有する略筒状のケース
と、該ケース内に配置され、上下方向の振動を発生する
超音波振動子と、該振動子の上下に振動子を挟むように
配置され、超音波振動子により加振される上側及び下側
振動伝達部材とを備えたものとし、上記下側振動伝達部
材の下端をケース下端から突出させる一方、上側振動伝
達部材の上端面はケース上端よりも下方に位置させて、
該上側振動伝達部材の上端面及びケースの上部により洗
浄液を充満可能な桶部を構成する。

【００１３】そして、下側振動伝達部材の下端面を被洗
浄物に当接した状態で、該被洗浄物との間隙に供給され
た微少量の洗浄液を下側振動伝達部材により振動させる
ことにより、被洗浄物との間の間隙の上記洗浄液に被洗
浄物の汚れを流出させる一方、桶部内の洗浄液を上側振
動伝達部材により振動させることにより、洗浄液に浸漬
された被洗浄物の汚れを流出させるように構成する。

【００１４】請求項５の発明では、上記振動ユニット
は、上下方向に延びる中心線を有する略筒状のケース
と、該ケース内に配置され、上下方向の振動を発生する
超音波振動子と、該振動子の上下側の少なくともいずれ
か一方に配置され、超音波振動子により加振される振動
伝達部材とを備えた構成として、上記振動伝達部材の先
端部をケースから突出させ、この先端部の外周部に洗浄
液を溜める有底の穴部を設ける。

【００１５】請求項６の発明では、上記請求項４記載の
超音波洗浄装置を用いる超音波洗浄方法として、桶部内
で被洗浄物を洗浄するとき、振動ユニットの下側振動伝
達部材を低振動伝達材料からなるスペーサに当接させ
る。

【００１６】

【作用】請求項１及び２の発明では、超音波振動子が被
洗浄物に当接した状態で超音波振動し、この振動により
被洗浄物自体が加振されて、その振動子との間に供給さ
れた少量の洗浄液が超音波振動する。このことで被洗浄
物の汚れが洗浄液中に流出するので、この汚れを洗浄液
と一緒に拭き取ればよい。こうして従来の大型の洗浄槽
の代りとして被洗浄物を使用しているので、エネルギー
は微少量の洗浄液を介して直接伝達され、効率よく洗浄
動作を行え、洗浄液や消費電力の大幅削減を達成するこ
とができる。また、洗浄液が微少量で済むので、その保
管が容易となる。さらに、洗浄装置は小型にでき、その
大きな保管スペースが不要となる。

【００１７】請求項３の発明では、超音波振動子をユニ
ット化して被洗浄物の洗浄する部分に移動できるように
したため、洗浄時は振動子のみを移動させればよく、操
作する部分を軽量にすることができ、洗浄時の取扱性が
よくなる。しかも、振動ユニットに超音波発振器の超音
波振動出力の接断を行うスイッチが設けられるので、振
動ユニットを操作した状態で振動子の作動を操作でき、
取扱いをより一層有利に行うことができる。

【００１８】請求項４の発明では、振動ユニット内部の
超音波振動子を超音波振動させると、この超音波振動は
振動子から上側及び下側振動伝達部材の双方に伝達され
て、該両振動伝達部材が加振される。大型部品等の被洗
浄物を洗浄するときには、該被洗浄物に上記下側振動伝
達部材の下端面を当接させ、その状態で被洗浄物との間
隙に微少量の洗浄液を供給して、該洗浄液を下側振動伝
達部材により振動させることにより、上記洗浄液に被洗
浄物の汚れを流出させ、このことで大型の被洗浄物が洗
浄される。

【００１９】これに対し、小型の部品等からなる被洗浄
物を洗浄する際、振動ユニット上部に設けられた桶部内
に洗浄液を充満してその中に被洗浄物を浸漬させ、超音
波振動子を超音波振動させる。この超音波振動子により
加振される上側振動伝達部材は上記桶部の底壁部を構成
しているので、桶部内の洗浄液が超音波振動数で振動
し、洗浄液に浸漬された被洗浄物の汚れが洗浄液に流出
し、このことで被洗浄物が洗浄される。よって、大型の
被洗浄物を直接超音波振動させて洗浄することと、小型
の被洗浄物を洗浄液に浸漬して超音波振動により洗浄す
ることの２種類の超音波洗浄を使い勝手よく行うことが
できる。

【００２０】請求項５の発明では、振動伝達部材におい
てケースから突出した先端部の外周部に穴部が形成され
ているので、この穴部が上を向くように振動ユニットの
姿勢を設定して該穴部に洗浄液を充填し、その状態で超
音波振動子を作動させて穴部内に例えばペン先等の微小
の被洗浄物を挿入すると、この被洗浄物を穴部内の洗浄
液で超音波洗浄することができ、微小の被洗浄物をそれ
に見合った僅かな洗浄液で効率よく洗浄することができ
る。

【００２１】請求項６の発明では、上記振動ユニットに
おける桶部内で小型の被洗浄物を洗浄するとき、振動ユ
ニットの下側振動伝達部材を低振動伝達材料からなるス
ペーサに当接させるので、超音波振動子の振動エネルギ
ーが下側振動伝達部材により消費され難くなり、そのエ
ネルギーを上側振動伝達部材を介して桶部内の洗浄液に
良好に供給することができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００２３】（実施例１）図１は本発明の実施例１に係
る超音波洗浄装置Ａの全体構成を示してある。この実施
例１では、例えば図４に示すように、平面印刷機（図示
せず）におけるメタルマスクスクリーン２１の透孔２
３，２３，…を清掃するために使用する。上記メタルマ
スクスクリーン２１は材質ステンレスで構成され、透孔
２３，２３，…を有する。２２はメタルマスクスクリー
ン２１を平らに保持するための補強枠である。

【００２４】洗浄装置Ａは超音波発振器１と、振動ユニ
ット２と、両者を接続する出力用コード８及び電源接断
用コード９とからなる。上記発振器１は、図３に示すよ
うにトランジスタＴr 、ダイオードＤ及び抵抗Ｒ1 ，Ｒ
2 と発振出力回路１′とを組み込んだ電気回路によって
構成され、電源はＡＣ１００Ｖの商用電源からプラグ５
によって供給される。発振器１の出力は出力用コード８
で振動ユニット２に接続される。

【００２５】図２は振動ユニット２の構造を拡大して示
し、この振動ユニット２は下方に開放された段付有底筒
状のケース６を備え、このケース６内の中心部に上下方
向に超音波振動する超音波振動子３が配置され、この振
動子３の下側には下端をケース６から突出せしめたヘッ
ドとしての棒状アルミニウム材料からなる下側振動伝達
部材７が、また上側には同様の上側振動伝達部材１４が
それぞれ配置され、上記下側振動伝達部材７はケース６
内面に対し該ケース６内面との間隙に振動の伝わり難い
接着剤１３を充填させて固定支持されている。この取付
構造のため、振動子３の振動による超音波振動エネルギ
ーはケース６には殆ど伝導されず、下側振動伝達部材７
にのみ集中的に伝達される。超音波振動子３は上下１対
のセラミック振動板１０，１１の間に電極１２を挟んだ
もので、さらにその振動板１０，１１の上下に振動伝達
部材７，１４が重ねられてサンドイッチ状態にされ、こ
れらはボルト（図示せず）で互いの層が強固に密着する
ように接合されている。こうしてセラミック振動板１
０，１１の振動が下側振動伝達部材７（ヘッド）に伝達
されるようになっている。

【００２６】振動ユニット２を超音波発振器１と接続し
ている出力用コード８は上記超音波振動子３の電極１２
に接続されている。ケース６の上部には、上記発振器１
の作動をＯＮ／ＯＦＦさせるプッシュＯＮスイッチ４が
その接点４ｂをケース６内に臨ませて取り付けられ、こ
のスイッチ４の操作ノブ４ａはケース６に形成した開口
からケース６外面に露出している。また、超音波発振器
１内の定電流回路のトランジスタベースバイアスの接断
を実行する振動ユニット２とを接続する電源接断用コー
ド９は、振動ユニット２のケース６内に導入された後、
上記スイッチ４の接点４ｂに接続されており、振動ユニ
ット２を作業者が把持した状態で、プッシュＯＮスイッ
チ４を押し操作することで、振動ユニット２、つまり洗
浄装置Ａを作動させるようにしている。

【００２７】次に、以上の構成の超音波洗浄装置Ａを用
いてのメタルマスクスクリーン２１の洗浄方法について
説明する。図４に示す如く、例えば予めメタルマスクス
クリーン２１を水平にしておき、このメタルマスクスク
リーン２１の上面又は下面に振動ユニット２における超
音波振動子３の下側振動伝達部材７（ヘッド）を当接さ
せ、その超音波振動子３とメタルマスクスクリーン２１
との間隙部に洗浄液を注入等により微少量供給する。そ
の状態で、振動ユニット２のケース６に設けられている
プッシュＯＮスイッチ４のノブ４ａを押して発振器１の
電気回路に通電させ、該発振器１からの超音波信号を振
動ユニット２の振動子３に印加して該振動子３を超音波
振動させ、その超音波振動出力をメタルマスクスクリー
ン２１に伝達させる。この超音波振動エネルギーはメタ
ルマスクスクリーン２１を介して洗浄液に伝達され、ス
クリーン２１の透孔２３に詰まったクリーム半田等の汚
れを洗浄液内に流出させる。この汚れた洗浄液は、メタ
ルマスクスクリーン２１の平らな部分に導かれるので、
それを清拭部材２４で拭き取ればよい。上記清拭部材２
４の材質としては、気泡の多いウレタンや天然パルプが
望ましく、透孔２３の部分に、一方面側に立体的な網目
状の清拭部材２４に洗浄液を少量含ませてあてがい、多
面側に振動子３を当接すると、透孔２３内を洗浄液と汚
れ部分が流れ出して清拭部材２４に導かれる形となり、
綺麗に清拭することができる。その理由は、気泡の中に
洗浄汚れが入り込み易くかつ出難いためである。

【００２８】この実施例においては、従来の大型の洗浄
槽の代りに被洗浄物としてのメタルマスクスクリーン２
１を振動させるので、振動エネルギーは微少量の洗浄液
を介して直接伝達され、大きなメタルマスクスクリーン
２１であっても洗浄槽に浸すことなく、効率よく洗浄動
作を行え、しかも消費電力の大幅削減を達成できる。ま
た、洗浄液が微少量で済むので、その保管が容易であ
り、さらには洗浄装置Ａは小型であるので、その大きな
保管スペースが不要となる。

【００２９】また、超音波発振器１と振動ユニット２と
を独立して構成しているために、振動ユニット２が小型
軽量化でき、移動及び取扱操作が容易になる。

【００３０】さらに、発振器１とは分離された振動ユニ
ット２のスイッチ４が設けられ、この振動ユニット２側
のスイッチ４によって電源の接断が行われるので、メタ
ルマスクスクリーン２１の要洗浄部分にのみ振動ユニッ
ト２を移動して必要時間のみ電源を供給すればよく、目
詰まりをメンテナンスする洗浄作業が大変効率よく行わ
れる。

【００３１】（実施例２）図５は本発明の実施例２を示
し（尚、図２と同じ部分については同じ符号を付してそ
の詳細な説明は省略する）、小型の被洗浄物に対し洗浄
液による間接洗浄を可能としたものである。

【００３２】すなわち、この実施例では、振動ユニット
２′は上下方向に延びる中心線を有しかつ上下双方に開
放された円筒状のケース６′を備え、このケース６′内
の中心部に上下方向の振動を発生する超音波振動子３が
配置されている。この超音波振動子３の下側には振動子
３により加振されるヘッドとしての棒状アルミニウム製
の下側振動伝達部材７が、また上側には同様の上側振動
伝達部材１４がそれぞれ両者間に振動子３を挟むように
配置され、これら振動子３及び振動伝達部材７，１４
は、振動子３の中心部を貫通するボルト（図示せず）を
両振動伝達部材７，１４に螺合締結することにより密着
状態で強固に接合されている。

【００３３】上記下側振動伝達部材７は、上記実施例１
と同様に、ケース６′内面に対しその間隙に充填された
振動伝達され難い接着剤１３により固定支持され、その
下端はケース６′下端から所定寸法だけ突出されてお
り、この下側振動伝達部材７の下端面を印刷機のメタル
マスクスクリーン２１（被洗浄物）に当接させた状態
で、該メタルマスクスクリーン２１との間隙に供給され
た微少量の洗浄液を下側振動伝達部材７で振動させるこ
とにより、メタルマスクスクリーン２１との間の間隙の
上記洗浄液に汚れを流出させる。

【００３４】一方、この実施例においては、上側振動伝
達部材１４の上端面はケース６′上端よりも下方（ケー
ス６′内側）に位置し、その上端部外周はケース６′内
面に対し両者の間隙に液密状に充填された振動伝達され
難い接着剤１５により固定支持されている。そして、上
記上側振動伝達部材１４の上端面及びケース６′の上部
により洗浄液を充満可能な桶部１６が構成されており、
桶部１６内の洗浄液を上側振動伝達部材１４により超音
波振動させることにより、洗浄液に浸漬された小型の被
洗浄物の汚れを流出させるようになっている。

【００３５】したがって、この実施例においては、大型
の被洗浄物として印刷機のメタルマスクスクリーン２１
を洗浄する場合、上記実施例と同様に、そのメタルマス
クスクリーン２１に振動ユニット２′における下側振動
伝達部材７の下端面を当接させ、その状態でメタルマス
クスクリーン２１との間隙に微少量の洗浄液を供給し
て、振動ユニット２′内部の超音波振動子３を超音波振
動させると、この超音波振動は振動子３から下側振動伝
達部材７に伝達されて、該振動伝達部材７が超音波振動
数で加振され、この振動伝達部材７の振動によりメタル
マスクスクリーン２１との間隙の洗浄液が振動して該洗
浄液に汚れが流出する。このことで大型のメタルマスク
スクリーン２１が洗浄される。

【００３６】一方、表面実装マウンタのチップ部品やエ
ア吸着ノズル等の小型の被洗浄物を洗浄する場合には、
振動ユニット２′上部にある桶部１６内に洗浄液を充満
してその中に上記目的の被洗浄物を浸漬させ、超音波振
動子３を超音波振動させると、この超音波振動子３の振
動により上側振動伝達部材１４も超音波振動数で加振さ
れる。上記上側振動伝達部材１４は上記桶部１６の底壁
部を構成しているので、上側振動伝達部材１４の振動に
伴い桶部１６内の洗浄液が超音波振動することとなり、
洗浄液に浸漬された被洗浄物の汚れが洗浄液に流出し、
このことで被洗浄物が洗浄される。

【００３７】この実施例の場合、大型のメタルマスクス
クリーン２１を直接超音波振動させて洗浄できるととも
に、小型部品等の被洗浄物を洗浄液に浸漬して超音波振
動により間接的に洗浄することもでき、これら２種類の
超音波洗浄を必要に応じて使い分ければよく、超音波洗
浄を簡単かつ安価な構造で効率よく行うことができる。

【００３８】特に、上記振動ユニット２′における桶部
１６内で小型の被洗浄物を洗浄するとき、振動が伝達さ
れる台上に振動ユニット２′を置くと、その下側振動伝
達部材７から振動エネルギーが伝達されて消費される虞
れがある。これを回避するために、振動ユニット２′を
台ではなくて、低振動伝達材料からなるスペーサ（例え
ばビニールシート）に当接させるようにすればよく、上
記のように超音波振動子３の振動エネルギーが下側振動
伝達部材７からの伝達によって消費され難くなり、その
エネルギーを上側振動伝達部材１４を介して桶部１６内
の洗浄液に良好に集中させて桶部１６での洗浄効率を向
上させることができる。

【００３９】（実施例３）図６は実施例３を示し、上記
実施例２の構成の振動ユニット２′において、下側振動
伝達部材７のケース６′から突出した先端部の外周面に
複数の有底の穴部７ａ，７ａ，…を円周方向に等角度間
隔をあけて形成したものである。

【００４０】この実施例３の場合、下側振動伝達部材７
においてケース６′から突出した先端部外周面に形成さ
れている複数の穴部７ａ，７ａ，…のいずれか１つが上
を向くように振動ユニット２′の姿勢を横倒し姿勢に設
定して、該上を向いた穴部７ａに洗浄液を挿入し、その
状態で超音波振動子３を作動させて上記穴部７ａ内に例
えばペン先等の微小の被洗浄物を挿入すればよく、この
被洗浄物を穴部７ａ内の洗浄液で超音波洗浄することが
できる。よって、微小の被洗浄物をそれに見合った僅か
な洗浄液で効率よく洗浄することができる。

【００４１】そのとき、穴部７ａが振動伝達部材７先端
部の外周部に形成されているので、洗浄効果を高めるこ
とができる。

【００４２】尚、上記穴部７ａは複数ではなくて１つで
もよく、また、その内径は被洗浄物の大きさに応じて適
宜変えることができる。また、穴部７ａの位置は、下側
振動伝達部材７のケース６′から突出した先端部外周部
であればどこでもよく、例えばその下面外周部に形成し
てもよい。

【００４３】また、本発明は、上記各実施例に限定され
ず、種々の変形例を包含している。例えば上記実施例で
は、スイッチ４を振動ユニット２，２′側に設けている
が、発振器１側に設けてもよい。但し、効率の良い洗浄
操作を考慮すると、上記実施例の如き構成にするのが好
ましい。

【００４４】また、上記各実施例では、超音波振動子３
を発振器１とは分離して振動ユニット２，２′に設けて
いるが、発振器１内に一体に設けることもできる。しか
し、取扱操作の点では、上記実施例の如く振動ユニット
２，２′として分離するのがよい。

【００４５】さらに、上記各実施例では、振動ユニット
２，２′を作業者が把持するようにしているが、作業ロ
ボットに把持させて操作させるようにしてもよく、各種
の工程ラインに組み込むことができる。

【００４６】また、上記各実施例では、印刷機のメタル
マスクスクリーン２１を洗浄するようにしているが、そ
の他の被洗浄物を洗浄することができる。例えば衣服の
染抜きやカーペットの汚れ取り等、家庭での使用も可能
である。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、請求項１〜３の発明によ
れば、従来のような大型の洗浄槽、大電力発振器、大量
な洗浄液を必要としないために、超音波洗浄装置の全体
構成を簡単かつ小型で軽量にすることができ、安価でし
かも経費を極めて少なくすることができる。また、特
に、印刷機のメタルマスクスクリーンを洗浄する際に、
それを外して超音波洗浄槽に入れ、洗浄する必要がない
ため、スクリーンを再度取付けのアライメントの必要も
なく、作業時間の短縮に極めて有効な効果を発揮でき
る。また、表面実装の印刷配線基盤の大型化に伴う大型
スクリーンでも、相応の大型超音波洗浄装置を要するこ
となく洗浄でき、このような業界の動きからしても本発
明は産業利用上極めて有益である。

【００４８】また、請求項４の発明によると、上下方向
に延びる円筒状ケース内に超音波振動子を配置して、そ
れを上下の振動伝達部材で挟み込み、下側振動伝達部材
は下端面をケース下端から突出させ、この下側振動伝達
部材下端面の大型の被洗浄物への当接により、その被洗
浄物との間隙に供給される洗浄液を超音波振動させて被
洗浄物を洗浄するようにする一方、上側振動伝達部材は
ケース上部に形成される洗浄液充満用桶部の底壁部と
し、この桶部内の洗浄液に小型被洗浄物を浸漬して、そ
の洗浄液の超音波振動により被洗浄物を洗浄するように
したことにより、大型の被洗浄物に対する直接洗浄及び
小型被洗浄物の洗浄液による間接洗浄の２種類の超音波
洗浄を簡単かつ安価な構造で効率よく行うことができ
る。

【００４９】さらに、請求項５の発明によると、振動伝
達部材においてケースから突出した部分の外周部に有底
の穴部を設けたことにより、この穴部に洗浄液を溜めた
状態で振動子を振動させ、穴部内に微小の被洗浄物を挿
入して洗浄でき、微小の被洗浄物をそれに見合った僅か
な洗浄液で効率よく超音波洗浄することができる。

【００５０】また、請求項６の発明によれば、上記振動
ユニットにおける桶部内で小型の被洗浄物を洗浄すると
き、振動ユニットの下側振動伝達部材を低振動伝達材料
からなるスペーサに当接させるので、超音波振動子の振
動エネルギーを上側振動伝達部材を介して桶部内の洗浄
液に良好に集中でき、桶部での洗浄効率の向上を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に係る超音波洗浄装置の全体
構成図である。

【図２】振動ユニットの拡大斜視図である。

【図３】超音波発振器における定電流回路を示す電気回
路図である。

【図４】印刷機スクリーンの洗浄状態を示す斜視図であ
る。

【図５】実施例２における振動ユニットの拡大斜視図で
ある。

【図６】実施例３を示す図５相当図である。

【符号の説明】

Ａ 超音波洗浄装置 １ 超音波発振器 ２，２′ 振動ユニット ３ 超音波振動子 ４ プッシュＯＮスイッチ ６，６′ ケース ７，１４ 振動伝達部材 ７ａ 穴部 １０，１１ セラミック振動板 １２ 電極 １６ 桶部 ２１ メタルマスクスクリーン（被洗浄物） ２３ 透孔 ２４ 清拭部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤入 久子 大阪府枚方市尊延寺2096 株式会社サワー コーポレーション内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 把持操作可能な超音波振動子を被洗浄物
   に当接させるとともに、超音波振動子と被洗浄物との間
   隙に洗浄液を微少量供給し、超音波振動子に超音波信号
   を印加して振動子を超音波振動させることにより、被洗
   浄物の汚れを上記洗浄液中に流出させて洗浄液と一緒に
   清拭することを特徴とする超音波洗浄方法。
2. 【請求項２】 被洗浄物に当接された状態で、該被洗浄
   物との間隙に供給された微少量の洗浄液を振動させる超
   音波振動子と、該超音波振動子に超音波信号を印加する
   超音波発振器とを備え、 超音波振動子の振動により被洗浄物との間の間隙の上記
   洗浄液に被洗浄物の汚れを流出させるように構成されて
   いることを特徴とする超音波洗浄装置。
3. 【請求項３】 超音波振動子は、超音波発振器とは分離
   された振動ユニットに内蔵され、該振動ユニットは、超
   音波発振器の超音波振動出力の接断を行うスイッチを有
   していることを特徴とする請求項２記載の超音波洗浄装
   置。
4. 【請求項４】 振動ユニットは、上下方向に延びる中心
   線を有する略筒状のケースと、該ケース内に配置され、
   上下方向の振動を発生する超音波振動子と、該振動子の
   上下に振動子を挟むように配置され、超音波振動子によ
   り加振される上側及び下側振動伝達部材とを備え、上記
   下側振動伝達部材の下端はケース下端から突出されてい
   る一方、上側振動伝達部材の上端面はケース上端よりも
   下方に位置していて、該上側振動伝達部材の上端面及び
   ケースの上部により洗浄液を充満可能な桶部が構成さ
   れ、 下側振動伝達部材の下端面を被洗浄物に当接した状態
   で、該被洗浄物との間隙に供給された微少量の洗浄液を
   下側振動伝達部材により振動させることにより、被洗浄
   物との間の間隙の上記洗浄液に被洗浄物の汚れを流出さ
   せる一方、桶部内の洗浄液を上側振動伝達部材により振
   動させることにより、洗浄液に浸漬された被洗浄物の汚
   れを流出させるように構成されていることを特徴とする
   請求項３記載の超音波洗浄装置。
5. 【請求項５】 振動ユニットは、上下方向に延びる中心
   線を有する略筒状のケースと、該ケース内に配置され、
   上下方向の振動を発生する超音波振動子と、該振動子の
   上下側の少なくともいずれか一方に配置され、超音波振
   動子により加振される振動伝達部材とを備え、 上記振動伝達部材の先端部はケースから突出されてい
   て、該先端部の外周部には洗浄液を溜める有底の穴部が
   設けられていることを特徴とする請求項３記載の超音波
   洗浄装置。
6. 【請求項６】 請求項４記載の超音波洗浄装置を使用す
   る超音波洗浄方法であって、 桶部内で被洗浄物を洗浄するとき、振動ユニットの下側
   振動伝達部材を低振動伝達材料からなるスペーサに当接
   させることを特徴とする超音波洗浄方法。