JPH05217111A - 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH05217111A JPH05217111A JP1887592A JP1887592A JPH05217111A JP H05217111 A JPH05217111 A JP H05217111A JP 1887592 A JP1887592 A JP 1887592A JP 1887592 A JP1887592 A JP 1887592A JP H05217111 A JPH05217111 A JP H05217111A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、コンビ化ヘッドの製造工程数を減
少させて製造コストを低減し、製造歩留りを向上するた
めになされた。 【構成】保護板１２を記録ヘッド１１，再生ヘッド１
１′に共通化し、この保護板の両面にヘッドパターンに
対応する凹凸を形成した。この保護板１２と記録ヘッド
１１，再生ヘッド１１′とを樹脂接着層１４，１４′と
で接着した。
少させて製造コストを低減し、製造歩留りを向上するた
めになされた。 【構成】保護板１２を記録ヘッド１１，再生ヘッド１
１′に共通化し、この保護板の両面にヘッドパターンに
対応する凹凸を形成した。この保護板１２と記録ヘッド
１１，再生ヘッド１１′とを樹脂接着層１４，１４′と
で接着した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、記録ヘッドと再生ヘ
ッドとを一体化した複合型（コンビ型）薄膜磁気ヘッド
の製造方法に関し、特に、その製造方法の簡略化に関す
る。
ッドとを一体化した複合型（コンビ型）薄膜磁気ヘッド
の製造方法に関し、特に、その製造方法の簡略化に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＤＡＴなどのオーディオ機器の普及に伴
い、記録・再生用の磁気ヘッドの低価格化が要請されて
いる。ＤＡＴやＤＣＣなどのオーディオ機器ではヘッド
を小型化するために、記録ヘッドと再生ヘッドとを一体
化したコンビ型ヘッドが用いられている。
い、記録・再生用の磁気ヘッドの低価格化が要請されて
いる。ＤＡＴやＤＣＣなどのオーディオ機器ではヘッド
を小型化するために、記録ヘッドと再生ヘッドとを一体
化したコンビ型ヘッドが用いられている。
【０００３】従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法を図３を
参照して説明する。
参照して説明する。
【０００４】従来の薄膜磁気ヘッドは基板上にパターン
を形成したのちこの上に保護板を接着し、保護板同士を
接着することによって複合化（コンビ化）していた。一
般的なコンビ型ヘッドは再生ヘッドとしてＭＲ型薄膜磁
気ヘッドを用い、記録ヘッドとしてＩＨ型薄膜磁気ヘッ
ドを用いている。形成された薄膜磁気ヘッドパターンは
凹凸があるため平滑化して保護板を接着する必要があ
る。ＩＨヘッドは耐熱特性が高いためフリットガラスで
凹凸を埋めながら保護板を接着するガラス溶着法を用い
ることができる。一方、ＭＲヘッドは耐熱特性が低いた
めガラス溶着法を用いることができず、ヘッドパターン
の最上層であるパッシベーション膜上にさらにＳｉＯ2
膜等を成膜し、これを研磨して平滑化したのち保護膜を
樹脂接着している。
を形成したのちこの上に保護板を接着し、保護板同士を
接着することによって複合化（コンビ化）していた。一
般的なコンビ型ヘッドは再生ヘッドとしてＭＲ型薄膜磁
気ヘッドを用い、記録ヘッドとしてＩＨ型薄膜磁気ヘッ
ドを用いている。形成された薄膜磁気ヘッドパターンは
凹凸があるため平滑化して保護板を接着する必要があ
る。ＩＨヘッドは耐熱特性が高いためフリットガラスで
凹凸を埋めながら保護板を接着するガラス溶着法を用い
ることができる。一方、ＭＲヘッドは耐熱特性が低いた
めガラス溶着法を用いることができず、ヘッドパターン
の最上層であるパッシベーション膜上にさらにＳｉＯ2
膜等を成膜し、これを研磨して平滑化したのち保護膜を
樹脂接着している。
【０００５】図３(a),(a')はそれぞれパターンが形成さ
れた記録ヘッドウエハ１および再生ヘッドウエハ１′上
に短冊状の保護板２および２′を貼り合わせた状態を示
す斜視図である。保護板の貼り合わせは上記の方法で行
われる。次に同図(b),(b')に示すようにダイシング等に
より行分断を行う。行分断されたウエハを別々に円筒研
磨およびテープ研磨を行ったのち（同図(c),(c')）、こ
の行ヘッドを分断して個別の記録ヘッドチップ(d) およ
び再生ヘッドチップ(d')とする。そののち、保護板の研
磨を行い、これらを背中合わせに貼り合わせてコンビ型
磁気ヘッド（同図(e))が完成する。
れた記録ヘッドウエハ１および再生ヘッドウエハ１′上
に短冊状の保護板２および２′を貼り合わせた状態を示
す斜視図である。保護板の貼り合わせは上記の方法で行
われる。次に同図(b),(b')に示すようにダイシング等に
より行分断を行う。行分断されたウエハを別々に円筒研
磨およびテープ研磨を行ったのち（同図(c),(c')）、こ
の行ヘッドを分断して個別の記録ヘッドチップ(d) およ
び再生ヘッドチップ(d')とする。そののち、保護板の研
磨を行い、これらを背中合わせに貼り合わせてコンビ型
磁気ヘッド（同図(e))が完成する。
【０００６】図４にこのようにして製造された従来のコ
ンビ型磁気ヘッドの拡大断面図を示す。記録ヘッド１と
保護板２との間には接着と凹凸の目詰めの機能を兼ねた
ガラス層３が形成されている。また、再生ヘッド１′と
保護板２′との間には回路パターン上の平滑化のための
ＳｉＯ2 層３′および接着用の樹脂層４′が形成されて
いる。
ンビ型磁気ヘッドの拡大断面図を示す。記録ヘッド１と
保護板２との間には接着と凹凸の目詰めの機能を兼ねた
ガラス層３が形成されている。また、再生ヘッド１′と
保護板２′との間には回路パターン上の平滑化のための
ＳｉＯ2 層３′および接着用の樹脂層４′が形成されて
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のコ
ンビ型薄膜磁気ヘッドの製造方法においては、記録ヘッ
ドと再生ヘッドとのギャップ間隔精度および信頼性の確
保のために種々の平坦化処理や保護板接着を行う必要が
あった。すなわち、まず、再生ヘッドのフロントコアを
反映して生じるパッシベーション膜の段差を研磨により
なくす平坦化研磨を行う。これは、保護板を接着する
際、樹脂膜の厚さを薄く且つ均一にし、円筒研磨時の保
護板のチッピングの抑制とともに媒体摺動時のヘッドの
信頼性向上を目的としている。また、チップ分断後に保
護板の研磨を行い、ウエハ面を基準とした保護板面の平
行度の確保をしている。さらに、記録ヘッドに関しては
上部コアのパッシベーション膜の段差を被覆するため
に、保護板に低融点の厚膜ガラス膜を形成後、真空中の
ガラス溶着にてウエハとの接着を行っている。このよう
に、記録ヘッド，再生ヘッドともに別個に保護板の貼り
付けおよび円筒研磨，さらに、テープ研磨が必要であっ
た。その結果、製造工程が複雑となって多大の工数が必
要となり、また、工程歩留りも悪くなるため加工費およ
び材料費の増大につながっていた。
ンビ型薄膜磁気ヘッドの製造方法においては、記録ヘッ
ドと再生ヘッドとのギャップ間隔精度および信頼性の確
保のために種々の平坦化処理や保護板接着を行う必要が
あった。すなわち、まず、再生ヘッドのフロントコアを
反映して生じるパッシベーション膜の段差を研磨により
なくす平坦化研磨を行う。これは、保護板を接着する
際、樹脂膜の厚さを薄く且つ均一にし、円筒研磨時の保
護板のチッピングの抑制とともに媒体摺動時のヘッドの
信頼性向上を目的としている。また、チップ分断後に保
護板の研磨を行い、ウエハ面を基準とした保護板面の平
行度の確保をしている。さらに、記録ヘッドに関しては
上部コアのパッシベーション膜の段差を被覆するため
に、保護板に低融点の厚膜ガラス膜を形成後、真空中の
ガラス溶着にてウエハとの接着を行っている。このよう
に、記録ヘッド，再生ヘッドともに別個に保護板の貼り
付けおよび円筒研磨，さらに、テープ研磨が必要であっ
た。その結果、製造工程が複雑となって多大の工数が必
要となり、また、工程歩留りも悪くなるため加工費およ
び材料費の増大につながっていた。
【０００８】この発明は、このような欠点に鑑み、工程
数が少なく、歩留りの高いコンビ型薄膜磁気ヘッドを得
ることができる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
数が少なく、歩留りの高いコンビ型薄膜磁気ヘッドを得
ることができる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、一方の基板
上に再生用薄膜磁気ヘッドパターンを形成するとともに
他方の基板上に記録用薄膜磁気ヘッドパターンを形成
し、保護板の一方の面を前記再生用薄膜磁気ヘッドパタ
ーンの凹凸と逆の凹凸パターンに加工するとともに他方
の面を前記記録用薄膜磁気ヘッドパターンの凹凸と逆の
凹凸パターンに加工し、前記再生用薄膜磁気ヘッド，保
護板，記録用薄膜磁気ヘッドをそれぞれ嵌合接着するこ
とを特徴とする。
上に再生用薄膜磁気ヘッドパターンを形成するとともに
他方の基板上に記録用薄膜磁気ヘッドパターンを形成
し、保護板の一方の面を前記再生用薄膜磁気ヘッドパタ
ーンの凹凸と逆の凹凸パターンに加工するとともに他方
の面を前記記録用薄膜磁気ヘッドパターンの凹凸と逆の
凹凸パターンに加工し、前記再生用薄膜磁気ヘッド，保
護板，記録用薄膜磁気ヘッドをそれぞれ嵌合接着するこ
とを特徴とする。
【００１０】
【作用】この発明においては、再生ヘッドおよび記録ヘ
ッドのウエハの上部コア形状を反映したパッシベーショ
ン膜の段差の凹凸に追従した凹凸を両面に形成した保護
板の両面に、再生用薄膜磁気ヘッドのパターンおよび記
録用薄膜磁気ヘッドのパターンの凹凸と逆の凹凸パター
ンを形成した。この凹凸はたとえば、感光性ガラスにフ
ォトレジストでパターンを施し、露光・現像処理をする
ことによって作成することができる。これを、中間には
さんで再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッドと
を接着する。すでに保護板にパターンと逆の凹凸が形成
されているため、平滑化工程が不要となり、両面を均一
の厚さで樹脂接着することができる。さらに、再生用薄
膜磁気ヘッド，記録用薄膜磁気ヘッドを共通の保護板で
接着することができ、従来の保護板の研磨・接着の工程
を省略することができる。
ッドのウエハの上部コア形状を反映したパッシベーショ
ン膜の段差の凹凸に追従した凹凸を両面に形成した保護
板の両面に、再生用薄膜磁気ヘッドのパターンおよび記
録用薄膜磁気ヘッドのパターンの凹凸と逆の凹凸パター
ンを形成した。この凹凸はたとえば、感光性ガラスにフ
ォトレジストでパターンを施し、露光・現像処理をする
ことによって作成することができる。これを、中間には
さんで再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッドと
を接着する。すでに保護板にパターンと逆の凹凸が形成
されているため、平滑化工程が不要となり、両面を均一
の厚さで樹脂接着することができる。さらに、再生用薄
膜磁気ヘッド，記録用薄膜磁気ヘッドを共通の保護板で
接着することができ、従来の保護板の研磨・接着の工程
を省略することができる。
【００１１】
【実施例】図１および図２を参照してこの発明の実施例
であるコンビ型ヘッドの製造方法を説明する。まず、記
録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用ウエハ１１′
上にはそれぞれ薄膜磁気ヘッドパターンが形成されてお
り、保護板１２の両面にはそれぞれ記録用薄膜磁気ヘッ
ドパターンおよび再生用薄膜磁気ヘッドパターンに対応
する（逆の）凹凸パターンが形成されている。保護板１
２は感光性ガラスからなっており、凹凸パターンは光化
学的処理によって形成される。なお、使用による磨耗で
片減りを生じないようにするためにはウエハ（基板）１
１，１１′もガラス基板とすることが好ましい。
であるコンビ型ヘッドの製造方法を説明する。まず、記
録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用ウエハ１１′
上にはそれぞれ薄膜磁気ヘッドパターンが形成されてお
り、保護板１２の両面にはそれぞれ記録用薄膜磁気ヘッ
ドパターンおよび再生用薄膜磁気ヘッドパターンに対応
する（逆の）凹凸パターンが形成されている。保護板１
２は感光性ガラスからなっており、凹凸パターンは光化
学的処理によって形成される。なお、使用による磨耗で
片減りを生じないようにするためにはウエハ（基板）１
１，１１′もガラス基板とすることが好ましい。
【００１２】まず、図１(a) に示すように、記録ヘッド
用ウエハ１１上に、短冊状の保護板１２を樹脂接着法に
て接着する。上述したように保護板１２にはパターンに
対応する凹凸が形成されているため、樹脂層は均一の厚
さになる。
用ウエハ１１上に、短冊状の保護板１２を樹脂接着法に
て接着する。上述したように保護板１２にはパターンに
対応する凹凸が形成されているため、樹脂層は均一の厚
さになる。
【００１３】次に、同図(b),(b')に示すように、保護板
１２を接着した記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッ
ド用ウエハ１１′をダイシング等で各行に分断する。
１２を接着した記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッ
ド用ウエハ１１′をダイシング等で各行に分断する。
【００１４】さらに同図(c) に示すように、記録ヘッド
用行ウエハと再生ヘッド行ウエハを保護板１２を介して
樹脂接着法にて接着し、行単位でコンビ化を行う。保護
板１２と再生ヘッド用行ウエハ１１′とは対応する凹凸
パターンで嵌合するため樹脂層は均一になる。
用行ウエハと再生ヘッド行ウエハを保護板１２を介して
樹脂接着法にて接着し、行単位でコンビ化を行う。保護
板１２と再生ヘッド用行ウエハ１１′とは対応する凹凸
パターンで嵌合するため樹脂層は均一になる。
【００１５】そして、コンビ化した行ヘッドを行単位で
円筒研磨およびテープ研磨を行い、同図(d) に示すコン
ビ行ヘッドを得る。さらに、前記コンビ行ヘッドをダイ
シング等でチップ分断し、同図(e) に示すコンビヘッド
チップを得る。
円筒研磨およびテープ研磨を行い、同図(d) に示すコン
ビ行ヘッドを得る。さらに、前記コンビ行ヘッドをダイ
シング等でチップ分断し、同図(e) に示すコンビヘッド
チップを得る。
【００１６】図２にこのようにして製造されたコンビ型
薄膜磁気ヘッドの拡大断面図を示す。保護板１２は図示
のように記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用ウ
エハ１１′の凹凸パターンに対応する凹凸が形成されて
いる。したがって、何らの平滑化処理を施すことなく保
護板１２と記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用
ウエハ１１′とは樹脂層１４，１４′を介して接着され
ている。
薄膜磁気ヘッドの拡大断面図を示す。保護板１２は図示
のように記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用ウ
エハ１１′の凹凸パターンに対応する凹凸が形成されて
いる。したがって、何らの平滑化処理を施すことなく保
護板１２と記録ヘッド用ウエハ１１および再生ヘッド用
ウエハ１１′とは樹脂層１４，１４′を介して接着され
ている。
【００１７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、従来の
複合型薄膜磁気ヘッドの製造工程において行っていた再
生用薄膜磁気ヘッドの平坦化研磨工程，保護板同士の接
着工程等を省略することができ、また、記録用薄膜磁気
ヘッドのガラス溶着工程を樹脂接着工程に変更すること
ができるため、作業工程が極めて簡略化され、製造コス
トの低減を図れるとともに、製造歩留りを向上させるこ
とも可能になる。
複合型薄膜磁気ヘッドの製造工程において行っていた再
生用薄膜磁気ヘッドの平坦化研磨工程，保護板同士の接
着工程等を省略することができ、また、記録用薄膜磁気
ヘッドのガラス溶着工程を樹脂接着工程に変更すること
ができるため、作業工程が極めて簡略化され、製造コス
トの低減を図れるとともに、製造歩留りを向上させるこ
とも可能になる。
【図１】この発明の実施例であるコンビ型ヘッドの製造
方法を説明する図
方法を説明する図
【図２】上記製造方法で製造されたコンビ型ヘッドの拡
大断面図
大断面図
【図３】従来のコンビ型ヘッドの製造方法を説明する図
【図４】従来の製造方法で製造されたコンビ型ヘッドの
拡大断面図
拡大断面図
１１−記録ヘッド（用ウエハ）、１１′−再生ヘッド
（用ウエハ）、 １２−保護板、１４，１４′−樹脂接着層
（用ウエハ）、 １２−保護板、１４，１４′−樹脂接着層
Claims (1)
- 【請求項１】 一方の基板上に再生用薄膜磁気ヘッドパ
ターンを形成するとともに、他方の基板上に記録用薄膜
磁気ヘッドパターンを形成し、 保護板の一方の面を前記再生用薄膜磁気ヘッドパターン
の凹凸と逆の凹凸パターンに加工するとともに、他方の
面を前記記録用薄膜磁気ヘッドパターンの凹凸と逆の凹
凸パターンに加工し、 前記再生用薄膜磁気ヘッド、保護板、記録用薄膜磁気ヘ
ッドをそれぞれ嵌合接着することを特徴とする複合型薄
膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1887592A JP2962610B2 (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1887592A JP2962610B2 (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05217111A true JPH05217111A (ja) | 1993-08-27 |
| JP2962610B2 JP2962610B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=11983727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1887592A Expired - Fee Related JP2962610B2 (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2962610B2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-04 JP JP1887592A patent/JP2962610B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2962610B2 (ja) | 1999-10-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070806 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 9 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |