JPH05211199A - ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置にお
いて、ワイヤスプールをカバー体で被蓋し、このカバー
体にワイヤ摩擦装置を設け、ワイヤ供給装置の小型化、
簡素化を図る。 【構成】ワイヤスプール１を被蓋するスプール用カバー
体６を備え、該スプール用カバー体６にワイヤ摩擦装置
８を設けている。
いて、ワイヤスプールをカバー体で被蓋し、このカバー
体にワイヤ摩擦装置を設け、ワイヤ供給装置の小型化、
簡素化を図る。 【構成】ワイヤスプール１を被蓋するスプール用カバー
体６を備え、該スプール用カバー体６にワイヤ摩擦装置
８を設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を製造する
ときに用いられるワイヤボンディング装置のワイヤ供給
装置に関するものである。
ときに用いられるワイヤボンディング装置のワイヤ供給
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤ供給装置としては、例えば
図５に示すように、ワイヤスプール回転用モータのモー
タ軸に、スプール嵌挿定着部材を固定し、該嵌挿定着部
材の外周にワイヤＷを巻回したワイヤスプール１を着脱
自在に設け、一方、キャピラリ１６、クランプ１４，１
５、ワイヤガイド１３を備えたボンディングヘッド１８
と前記ワイヤスプール１との間に、エア吹き付け装置１
９、ワイヤ摩擦装置２３、エア吹き付け装置１９とモー
タ回転センサ２０、モータ停止センサ２１を備えたワイ
ヤ繰り出し量制御装置２２、ワイヤガイド１２を設けて
いる。なお、図５中１７はボンディングアームである。
そして、ワイヤボンディングに際しては、前記ワイヤス
プール１をスプール嵌挿定着部材に嵌挿定着し、ワイヤ
Ｗの一端をワイヤガイド１２、ワイヤ繰り出し量制御装
置２２、ワイヤ摩擦装置２３、エア吹き付け装置１９、
ワイヤガイド１３、クランプ１４，１５を介してキャピ
ラリ１６に導いていた。そして、ワイヤの繰り出し制御
は、モータ回転センサ２０がワイヤＷを検出したときに
モータをオンとしてワイヤＷを繰り出し、モータ停止セ
ンサ２１がワイヤＷを検出したときにモータをオフとし
てワイヤの繰り出しを停止する制御により行うものであ
り、この際にワイヤＷにはワイヤ摩擦装置２３により所
定の摩擦力が与えられ、エア吹き付け装置１９により所
定のテンションが与えられていた。
図５に示すように、ワイヤスプール回転用モータのモー
タ軸に、スプール嵌挿定着部材を固定し、該嵌挿定着部
材の外周にワイヤＷを巻回したワイヤスプール１を着脱
自在に設け、一方、キャピラリ１６、クランプ１４，１
５、ワイヤガイド１３を備えたボンディングヘッド１８
と前記ワイヤスプール１との間に、エア吹き付け装置１
９、ワイヤ摩擦装置２３、エア吹き付け装置１９とモー
タ回転センサ２０、モータ停止センサ２１を備えたワイ
ヤ繰り出し量制御装置２２、ワイヤガイド１２を設けて
いる。なお、図５中１７はボンディングアームである。
そして、ワイヤボンディングに際しては、前記ワイヤス
プール１をスプール嵌挿定着部材に嵌挿定着し、ワイヤ
Ｗの一端をワイヤガイド１２、ワイヤ繰り出し量制御装
置２２、ワイヤ摩擦装置２３、エア吹き付け装置１９、
ワイヤガイド１３、クランプ１４，１５を介してキャピ
ラリ１６に導いていた。そして、ワイヤの繰り出し制御
は、モータ回転センサ２０がワイヤＷを検出したときに
モータをオンとしてワイヤＷを繰り出し、モータ停止セ
ンサ２１がワイヤＷを検出したときにモータをオフとし
てワイヤの繰り出しを停止する制御により行うものであ
り、この際にワイヤＷにはワイヤ摩擦装置２３により所
定の摩擦力が与えられ、エア吹き付け装置１９により所
定のテンションが与えられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のワイヤ供給装置では、ワイヤ摩擦装置２３を、ワイ
ヤスプール回転用モータに着脱自在に設けられたワイヤ
スプール１とボンディングヘッド１８との間に設けてい
るため、ワイヤ供給装置が大型化してしまう問題点があ
った。また、ワイヤがワイヤスプール１とワイヤ摩擦装
置２３の間で切れた場合、ワイヤはワイヤスプール１の
ところでたるんでからみ、その後ワイヤボンディングを
行う場合にはワイヤをワイヤスプール１の外周に再度巻
き直して該スプール１をスプール嵌挿定着部材に定着す
る必要があり、修復作業が面倒であった。本発明はこの
従来の問題点を解消するワイヤボンディング装置のワイ
ヤ供給装置を提供しようとするものである。
来のワイヤ供給装置では、ワイヤ摩擦装置２３を、ワイ
ヤスプール回転用モータに着脱自在に設けられたワイヤ
スプール１とボンディングヘッド１８との間に設けてい
るため、ワイヤ供給装置が大型化してしまう問題点があ
った。また、ワイヤがワイヤスプール１とワイヤ摩擦装
置２３の間で切れた場合、ワイヤはワイヤスプール１の
ところでたるんでからみ、その後ワイヤボンディングを
行う場合にはワイヤをワイヤスプール１の外周に再度巻
き直して該スプール１をスプール嵌挿定着部材に定着す
る必要があり、修復作業が面倒であった。本発明はこの
従来の問題点を解消するワイヤボンディング装置のワイ
ヤ供給装置を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワイヤスプー
ル回転用モータに着脱自在に設けられたワイヤスプール
とボンディングヘッドとの間にワイヤ摩擦装置、ワイヤ
繰り出し量制御装置を備えたワイヤボンディング装置に
おいて、前記ワイヤスプールを被蓋するスプール用カバ
ー体を備え、該スプール用カバー体にワイヤ摩擦装置を
設けたことを特徴とするワイヤボンディング装置のワイ
ヤ供給装置である。
ル回転用モータに着脱自在に設けられたワイヤスプール
とボンディングヘッドとの間にワイヤ摩擦装置、ワイヤ
繰り出し量制御装置を備えたワイヤボンディング装置に
おいて、前記ワイヤスプールを被蓋するスプール用カバ
ー体を備え、該スプール用カバー体にワイヤ摩擦装置を
設けたことを特徴とするワイヤボンディング装置のワイ
ヤ供給装置である。
【０００５】
【作用】スプール用カバー体でワイヤスプールを被蓋
し、ワイヤの一端をスプール用カバー体のワイヤ摩擦装
置に挿通してボンディングヘッド側に導く。ワイヤボン
ディングに際して前記ワイヤ摩擦装置によりワイヤに摩
擦力が与えられる。又、ワイヤがスプール用カバー体の
外側で切れたときは、ワイヤ摩擦装置の摩擦力によりワ
イヤのスプール用カバー体内におけるたるみ、からみが
防止される。
し、ワイヤの一端をスプール用カバー体のワイヤ摩擦装
置に挿通してボンディングヘッド側に導く。ワイヤボン
ディングに際して前記ワイヤ摩擦装置によりワイヤに摩
擦力が与えられる。又、ワイヤがスプール用カバー体の
外側で切れたときは、ワイヤ摩擦装置の摩擦力によりワ
イヤのスプール用カバー体内におけるたるみ、からみが
防止される。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図１に基づいて説明する
と、図１はワイヤスプール１をスプール用カバー体６で
被蓋した状態を示す縦断面図で、モータ取付板７にモー
タ軸受ボス部を設け、該モータ軸受ボス部外周にスプラ
イン部７1 を形成している。そして、前記モータ取付板
７にワイヤスプール回転用モータ４を取り付けている。
また、スプール用カバー体６は図１乃至図３に示すよう
にプラスチック製の円筒体で構成され、該円筒体の一側
壁部にボス部を形成し、該ボス部内面にスプライン部６
1 を形成すると共に、該円筒体の外周面一部に開口部６
2 を形成し、該開口部６2 にはワイヤ摩擦装置８が設け
られている。前記ワイヤ摩擦装置８はフェルト１１を対
向して備え、一方のフェルト１１はスプライン用カバー
体６に固定され、他方のフェルト１１は圧縮スプリング
１０を介して摩擦力調整用ねじ９の先端に遊嵌され、該
摩擦力調整用ねじ９はスプール用カバー体６に螺合され
ている。なお、前記ワイヤ摩擦装置８はエアーや磁気に
よってワイヤに摩擦力を与えるものであってもよい。そ
して、前記スプール用カバー体６のスプライン部６
1 は、前記モータ取付板７のスプライン部７1 と係合
し、スプール用カバー体６を着脱自在に装着している。
なお、前記スプール用カバー体６は、モータ取付板７に
取付足（図示せず）を介して固定してもよい。また、前
記ワイヤスプール回転用モータ４のモータ軸５の先端に
は、スプール嵌挿定着部材２を固定し、該定着部材２の
スプライン部２1 に複数のスプール抜け止め用板バネ３
を介して、ワイヤを巻回したワイヤスプール１を着脱自
在に設けている。そして、図４に示すようにキャピラリ
１６、クランプ１４，１５、ワイヤガイド１３を備えた
ボンディングヘッド１８と前記スプール用カバー体６と
の間に、エア吹き付け装置１９とモータ回転センサ２
０、モータ停止センサ２１を備えたワイヤ繰り出し量制
御装置２２、ワイヤガイド１２を設けている。なお、図
４中１７はボンディングアームである。
と、図１はワイヤスプール１をスプール用カバー体６で
被蓋した状態を示す縦断面図で、モータ取付板７にモー
タ軸受ボス部を設け、該モータ軸受ボス部外周にスプラ
イン部７1 を形成している。そして、前記モータ取付板
７にワイヤスプール回転用モータ４を取り付けている。
また、スプール用カバー体６は図１乃至図３に示すよう
にプラスチック製の円筒体で構成され、該円筒体の一側
壁部にボス部を形成し、該ボス部内面にスプライン部６
1 を形成すると共に、該円筒体の外周面一部に開口部６
2 を形成し、該開口部６2 にはワイヤ摩擦装置８が設け
られている。前記ワイヤ摩擦装置８はフェルト１１を対
向して備え、一方のフェルト１１はスプライン用カバー
体６に固定され、他方のフェルト１１は圧縮スプリング
１０を介して摩擦力調整用ねじ９の先端に遊嵌され、該
摩擦力調整用ねじ９はスプール用カバー体６に螺合され
ている。なお、前記ワイヤ摩擦装置８はエアーや磁気に
よってワイヤに摩擦力を与えるものであってもよい。そ
して、前記スプール用カバー体６のスプライン部６
1 は、前記モータ取付板７のスプライン部７1 と係合
し、スプール用カバー体６を着脱自在に装着している。
なお、前記スプール用カバー体６は、モータ取付板７に
取付足（図示せず）を介して固定してもよい。また、前
記ワイヤスプール回転用モータ４のモータ軸５の先端に
は、スプール嵌挿定着部材２を固定し、該定着部材２の
スプライン部２1 に複数のスプール抜け止め用板バネ３
を介して、ワイヤを巻回したワイヤスプール１を着脱自
在に設けている。そして、図４に示すようにキャピラリ
１６、クランプ１４，１５、ワイヤガイド１３を備えた
ボンディングヘッド１８と前記スプール用カバー体６と
の間に、エア吹き付け装置１９とモータ回転センサ２
０、モータ停止センサ２１を備えたワイヤ繰り出し量制
御装置２２、ワイヤガイド１２を設けている。なお、図
４中１７はボンディングアームである。
【０００７】そして、図４に示すように、ワイヤＷの一
端をワイヤ摩擦装置８のフェルト１１間に挿通して摩擦
力調整用ねじ９によってワイヤＷの摩擦力を調整し、前
記ワイヤＷをワイヤガイド１２、ワイヤ繰り出し量制御
装置２２、ワイヤガイド１３、クランプ１４，１５を介
してキャピラリ１６に導く。これにより、ワイヤＷはワ
イヤ繰り出し量制御装置２２のＯＮ−ＯＦＦ制御による
モータ回転制御により所定量繰り出されることになる
が、この際にワイヤＷにはスプール用カバー体６に設け
たワイヤ摩擦装置８により所定の摩擦力が与えられ、エ
ア吹き付け装置１９により所定のテンションが与えられ
ることになる。従って、従来のようにワイヤスプール回
転用モータに着脱自在に設けられたワイヤスプールとボ
ンディングヘッドとの間にワイヤ摩擦装置を設ける必要
はなく、ワイヤ供給装置の小型化、簡素化を図ることが
できる。又、ワイヤがスプール用カバー体６の外側で切
れた場合であっても、ワイヤ摩擦装置８がスプール用カ
バー体６に設けてあるから、ワイヤは該カバー体６内で
たるんだり、からんだりしないものである。なお、スプ
ール用カバー体６をモータ取付板７に着脱自在に装着し
た場合、前記スプール用カバー体６はワイヤスプール１
と対で取付、取外しすることもできる。
端をワイヤ摩擦装置８のフェルト１１間に挿通して摩擦
力調整用ねじ９によってワイヤＷの摩擦力を調整し、前
記ワイヤＷをワイヤガイド１２、ワイヤ繰り出し量制御
装置２２、ワイヤガイド１３、クランプ１４，１５を介
してキャピラリ１６に導く。これにより、ワイヤＷはワ
イヤ繰り出し量制御装置２２のＯＮ−ＯＦＦ制御による
モータ回転制御により所定量繰り出されることになる
が、この際にワイヤＷにはスプール用カバー体６に設け
たワイヤ摩擦装置８により所定の摩擦力が与えられ、エ
ア吹き付け装置１９により所定のテンションが与えられ
ることになる。従って、従来のようにワイヤスプール回
転用モータに着脱自在に設けられたワイヤスプールとボ
ンディングヘッドとの間にワイヤ摩擦装置を設ける必要
はなく、ワイヤ供給装置の小型化、簡素化を図ることが
できる。又、ワイヤがスプール用カバー体６の外側で切
れた場合であっても、ワイヤ摩擦装置８がスプール用カ
バー体６に設けてあるから、ワイヤは該カバー体６内で
たるんだり、からんだりしないものである。なお、スプ
ール用カバー体６をモータ取付板７に着脱自在に装着し
た場合、前記スプール用カバー体６はワイヤスプール１
と対で取付、取外しすることもできる。
【０００８】
【発明の効果】本発明は、ワイヤスプールを被蓋するス
プール用カバー体を備え、該スプール用カバー体にワイ
ヤ摩擦装置を設けたから、ワイヤスプールとボンディン
グヘッドとの間にワイヤ摩擦装置を設ける必要はなくワ
イヤ供給装置の小型化、簡素化が図れるものである。
又、ワイヤが前記スプール用カバー体の外側で切れた場
合であっても、ワイヤはスプール用カバー体内でたるん
だり切れたりすることはなく、その後の修復作業が容易
なものとなる。
プール用カバー体を備え、該スプール用カバー体にワイ
ヤ摩擦装置を設けたから、ワイヤスプールとボンディン
グヘッドとの間にワイヤ摩擦装置を設ける必要はなくワ
イヤ供給装置の小型化、簡素化が図れるものである。
又、ワイヤが前記スプール用カバー体の外側で切れた場
合であっても、ワイヤはスプール用カバー体内でたるん
だり切れたりすることはなく、その後の修復作業が容易
なものとなる。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図
【図２】本発明の実施例を示す平面図
【図３】図２のＩ−Ｉ線の断面図
【図４】ワイヤ供給装置の概略説明図
【図５】従来例を示す概略説明図
１ ワイヤスプール ２ スプール嵌挿定着部材 ３ 板バネ ４ ワイヤスプール回転用モータ ５ スプール回転用モータ軸 ６ スプール用カバー体 ７ モータ取付板 ８ ワイヤ摩擦装置 ９ 摩擦力調整用ねじ 10 圧縮スプリング 11 フェルト 12 ワイヤガイド 13 ワイヤガイド 14 クランプ 15 クランプ 16 キャピラリ 17 ボンディングアーム 18 ボンディングヘッド 19 エア吹き付け装置 20 モータ回転センサ 21 モータ停止センサ 22 ワイヤ繰り出し量制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤスプール回転用モータに着脱自在
に設けられたワイヤスプールとボンディングヘッドとの
間にワイヤ摩擦装置、ワイヤ繰り出し量制御装置を備え
たワイヤボンディング装置において、前記ワイヤスプー
ルを被蓋するスプール用カバー体を備え、該スプール用
カバー体にワイヤ摩擦装置を設けたことを特徴とするワ
イヤボンディング装置のワイヤ供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3228546A JP2694226B2 (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3228546A JP2694226B2 (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05211199A true JPH05211199A (ja) | 1993-08-20 |
| JP2694226B2 JP2694226B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=16878082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3228546A Expired - Lifetime JP2694226B2 (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | ワイヤボンディング装置のワイヤ供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694226B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6439496B2 (en) * | 1999-11-29 | 2002-08-27 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Spool holder structure for a wire bonder |
| WO2016097466A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | Kemppi Oy | A wire reel hub for a welding wire feeder |
-
1991
- 1991-08-15 JP JP3228546A patent/JP2694226B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6439496B2 (en) * | 1999-11-29 | 2002-08-27 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Spool holder structure for a wire bonder |
| WO2016097466A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | Kemppi Oy | A wire reel hub for a welding wire feeder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2694226B2 (ja) | 1997-12-24 |
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