JPH05203702A - Lsiテスタ - Google Patents

Lsiテスタ

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JPH05203702A
JPH05203702A JP4011938A JP1193892A JPH05203702A JP H05203702 A JPH05203702 A JP H05203702A JP 4011938 A JP4011938 A JP 4011938A JP 1193892 A JP1193892 A JP 1193892A JP H05203702 A JPH05203702 A JP H05203702A
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Masahiro Ishibashi
昌宏 石橋
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 デジタルとアナログ回路の混在したDUT
を、実動作業環境で高速に且つ、正確に試験する。 【構成】 アナログ回路とデジタル回路が混在する被測
定対象物を検査するLSIテスタにおいて、デジタルフ
ァンックションモジュールのアドレスに基づき、ミック
スドシグナルユニットの信号発生側の各モジュールと同
期を取るコードメモリと、ミックスドシグナルユニット
の各モジュールとデジタルファンックションモジュール
とに設けられていて、お互いのモジュール間の同期を取
る同期トリガ回路とを設け、各モジュール間で同期を取
ると共に、被測定対象物からのトリガに基づいて各モジ
ュールが同期を取るようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSI(被測定対象物:以下、DUT
という)を測定するLSIテスタに関し、更に詳しく
は、独立に設けられた信号発生モジュールと測定モジュ
ール間を同期して制御すると共に、各モジュールとDU
T間の同期も制御することが可能なLSIテスタに関す
る。
【0002】
【従来の技術】アナログ回路とデジタル回路の混載した
DUTを測定する従来のLSIテスタは、異なったコン
トローラによってデジタル信号とアナログ信号の発生及
び測定を行うモジュールを分散制御し、DUTのテスト
を高速に行うことができるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、異なったコントローラで各モジュールが制
御されているために、デジタルモジュールとアナログモ
ジュールの同期の対応が十分でないため、実動作環境で
DUTのテストを行うことが困難であった。
【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、異なったコントローラで制御される各モジュー
ルを、コードメモリの出力するコードと各モジュールに
設けられた同期トリガ回路が出力するトリガとに基づい
て同期するようにしたもので、デジタルとアナログの回
路が混在した高機能なDUTをであっても、実動作業環
境で高速に、且つ、正確に試験することができるLSI
テスタを提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、被測定対象物に出力するアナログ
信号とデジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測
定対象物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解
析をモジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを
備えると共に、被測定対象物との間でデジタルパターン
信号を授受するデジタルファンックションモジュールと
を備え、アナログ回路とデジタル回路が混在するLSI
を検査するLSIテスタにおいて、前記デジタルファン
ックションモジュールのアドレス発生器の出力するアド
レスに基づき、前記ミックスドシグナルユニットの信号
発生側の各モジュールと同期を取るコードを出力するコ
ードメモリと、前記ミックスドシグナルユニットの各モ
ジュールと前記デジタルファンックションモジュールと
に設けられていて、お互いのモジュール間の同期を取る
トリガ信号を発生する同期トリガ回路と、を設け、各モ
ジュール間で同期を取ると共に、被測定対象物からのト
リガに基づいて各モジュールが同期を取ることができる
ことを特徴としている。
【0006】
【作用】本発明の各構成要素は次に示すような作用をす
る。コードメモリは、デジタルファンクションモジュー
ルのアドレス発生器が指定するアドレスに基づき、同期
の為のコードをミックスシグナルユニットの信号発生モ
ジュールに出力する。同期トリガ回路は、各モジュール
に設けられていて、各モジュール間の同期を取ると共
に、DUTからのトリガに基づいてモジュールの同期を
取る。
【0007】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテ
スタの構成ブロック図である。図中、10はシステム全
体の制御を司るテストシステムコントローラ、11A〜
11Dはテストシステムコントローラ10に制御される
下位のモジュールコントローラ、12はテストシステム
コントローラ10にテストプログラムのデータを入力す
るデータ入力部である。
【0008】13はモジュールコントローラ11Aによ
って制御されるミックスドシグナルユニット(以下、M
Sユニットと省略)で、DUT14を検査するデジタル
信号及びアナログ信号を出力するとともに、DUT14
が出力するデジタル信号及びアナログ信号を解析する。
15はDUT14が搭載されるテストヘッドで、DUT
14と授受する信号のシグナルコンデショニングや切
替えを行う。
【0009】ミックスドシグナルユニット13におい
て、131はデジタルシグナル・ソースメモリ・モジュ
ール(以下、DSSモジュールと省略する)で、パター
ンメモリ(図省略)にデジタルコード化されて記憶され
ている波形データを、アドレス発生シーケンサ(図省
略)の指定するアドレスに基づいてDUT14に出力す
る。132はアナログの検査波形をDUT14に出力す
るウーブフォーム・ジェネレータ・モジュール(以
下、WFGモジュールと省略する)で、アドレス発生シ
ーケンサ(図省略)の指定するアドレスに基づいてパタ
ーンメモリ(図省略)が出力するデータをアナログ変換
してDUT14に出力する。
【0010】133はデジタルシグナル・キャプチャメ
モリ・モジュール(以下、DSCモジュールと省略す
る)で、DUT14でデジタルコード化された出力信号
をテストヘッド15を介して入力し、解析する。134
はウーブフォーム・デジタイザ・モジュール(以下、
WFDモジュールと省略する)で、DUT14が出力す
るアナログ出力をテストヘッド15を介して取り込み解
析する。
【0011】135はデジタルシグナル・プロセッサ
(以下、DSPと省略)で、DSSモジュール131と
WFGモジュール132がDUT14に与える検査波形
を演算すると共に、DUT14が出力した出力信号の解
析のための演算を行う。136はクロックジェネレタ
(以下、CGと省略する)で、ミックスドシグナルユニ
ット13の各モジュールの動作基準になるのクロックを
発生する。
【0012】16はモジュールコントローラ11Bによ
って制御されるデジタルファンクション・モジュール
(以下、DFCモジュールと省略する)で、検査信号の
デジタルパターンを発生するとともに、DUT14が出
力するデジタルパターンを解析する。17はモジュール
コントローラ11Cによって制御されるDCモジュール
で、DUT14を測定する為の直流電圧及び直流電流を
発生するとともに、DUT14が出力する直流電圧及び
直流電流を測定する。18はモジュールコントローラ1
1Dによって制御されるタイムメジャー・モジュール
(以下、TIMと省略する)で、DUT14間で授受す
るアナログ及びデジタル信号のタイミングスキューを解
析する。
【0013】19はモジュール間の同期を取るためのコ
ードを伝達するコードバスで、DFCモジュール16の
コードメモリ161が出力するコードをDSSモジュー
ル131とWFGモジュール132とに伝達する。
【0014】20はMSユニット13の各モジュールと
DFCモジュール16間及びDUT14間で同期信号
(以後、トリガという)を伝達するシンクバスで、各モ
ジュール131〜134、16に設けられた同期トリガ
回路1311〜1341、162と6本のバス(各バスはナ
ンバーがNo1〜6のように決められている)で相互に
接続されている。
【0015】同期トリガ回路1311〜1341、16
2は、トリガを発生するトリガ発生部とトリガを受信す
るトリガ受信部とからなっていて、モジュール131〜
134、16及びDUT14でトリガを授受することが
できるようになっている。ここで、DSSモジュール1
31の発生するトリガに基づいて、WFDモジュール1
34が同期する場合を例に説明する。先ず、シンクバス
20は、DSSモジュール131側においてトリガ発生
部に切り換えられ、WFDモジュール134側において
トリガ受信部に切り換えられる。
【0016】DSSモジュール131のトリガ発生部か
ら出力されたトリガは、シンクバス20を介しWFDモ
ジュール134のトリガ受信部に入力される。トリガ受
信部は、入力されたトリガに基づいてアドレス発生シー
ケンサ(図省略)のシーケンスナンバーを指定し、DU
Tから入力するアナログ信号を読み込む、アドレスをア
ドレス発生シーケンサからメモリ(図省略)に指定す
る。このようして、各モジュール同志の同期が取られ
る。
【0017】図2は、DFCモジュールの出力するコー
ド及びトリガに基づき各モジュールが同期する場合を示
したタイムチャートで、(A)はコードメモリ161
出力するコード、(B)はDFCモジュール16の出力
するトリガ(TRG)、(C)はテストレートのクロックC
K、(D)はDFCモジュール16の出力するデジタル
パターン信号、(E)はDSSモジュール131の出力
するデジタル信号、(F)はDSCモジュール132が
DUT14から取り込むデジタル信号、(G)はWFG
モジュール133がDUT14に出力するアナログ信
号、(H)はWFDモジュール134がDUT14から
取り込むアナログ信号である。尚、このタイミングチャ
ートはDUT端で見たもので、モジュール側では信号伝
達に時間がかかるため、この時間に対し一定時間のズレ
が生じる。
【0018】図3は、図2の動作に際しDFCモジュー
ルに与えられるテストプログラムの一部を示した図であ
る。尚、コードメモリ161は、8ビットよりなってい
るため、256通りのパターンコードの指定が可能で、
トリガ(TRG)指定は、6本のシンクバスで構成されて
いるために、6通りのシーケンスナンバーの指定が可能
である。
【0019】(1)DFCモジュール16は、レート1の
クロックCKで、$1のコードを出力する。 (2)DSSモジュール16は、コード$1の入力によっ
て、アドレス発生シーケンサにシーケンスナンバーが指
定され、t1時間後にパターンメモリからデジタル信号
をDUT14に出力する。
【0020】(3)続いて、DFCモジュール16は、レ
ート2のクロックCKでトリガ発生器よりシンクバスの
No2を介しトリガTRG1を出力すると共に、コードメモリ
より$2のコードを出力する。 (4)この時、DSCモジュール132側は、トリガ受信部
がシンクバスのNo2に接続されていて、DFCモジュ
ール16より入力したトリガTRG1に基づきDUT14か
らデジタル信号の取り込みを開始する。
【0021】(5)一方、WFGモジュール133は、コ
ード$2の入力によって、アドレス発生シーケンサにシ
ーケンスナンバーが指定され、t2時間後にアナログ信
号をDUT14に出力する。 (6)更に、DFCモジュールは、レート3のクロックで
トリガ発生器162よりシンクバスNo3を介しトリガTR
G2を出力する。
【0022】(7)この時、WFDモジュール134側
は、トリガ受信部がシンクバスのNo3に接続されてい
て、DFCモジュール16より入力したトリガTRG2に基
づきt3時間後からアナログ信号の取り込みを開始す
る。 (8)以下、同様に、各モジュール間は、コードとトリガ
(TRG)によって相互の同期が取られる。
【0023】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明のLS
Iテスタは、異なったコントローラで制御されるモジュ
ールの同期を、コードメモリの出力するコードと各モジ
ュールに設けられた同期トリガ回路が出力するトリガと
に基づいて行うようにしたものである。このため、DU
Tを実動作業環境で高速に且つ、正確に試験することが
できる。さらに、各モジュールは、DUTのトリガに基
づいても直接同期が取れるので、更に、高速に複雑なテ
ストに対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
【図2】DFCモジュールの出力するコード及びトリガ
に基づき同期する場合の例を示したタイムチャートであ
る。
【図3】図2の動作に際しDFCモジュールに与えられ
るテストプログラムの一部を示した図である。
【符号の説明】
1311〜1341、162 同期トリガ回路 161 コードメモリ 19 コードバス 20 シンクバス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定対象物に出力するアナログ信号と
    デジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測定対象
    物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解析をモ
    ジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを備える
    と共に、被測定対象物との間でデジタルパターン信号を
    授受するデジタルファンックションモジュールとを備
    え、アナログ回路とデジタル回路が混在する被測定対象
    物を検査するLSIテスタにおいて、 前記デジタルファンックションモジュールのアドレス発
    生器の出力するアドレスに基づき、前記ミックスドシグ
    ナルユニットの信号発生側の各モジュールと同期を取る
    コードを出力するコードメモリと、 前記ミックスドシグナルユニットの各モジュールと前記
    デジタルファンックションモジュールとに設けられてい
    て、お互いのモジュール間の同期を取るトリガ信号を発
    生する同期トリガ回路と、 を設け、各モジュール間で同期を取ると共に、被測定対
    象物からのトリガに基づいて各モジュールが同期を取る
    ことができることを特徴としたLSIテスタ。
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