JPH0519953Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、ペレツトマウント装置に関し、例え
ば半導体装置の製造において使用し、半導体ウエ
ーハより分割された多数の半導体ペレツトを順次
移送し、リードフレーム上に位置決め載置する装
置に関するものである。

従来の技術 一般に半導体装置の製造におけるペレツトマウ
ント工程では、ペレツトマウント装置を使用する
ことにより、半導体ウエーハから分割された多数
の半導体ペレツト（以下単にペレツトと称す）を
順次移送し、例えばリードフレーム上の所定位置
に位置決め載置している。

例えば上記ペレツトマウント装置の具体例を第
４図に示し説明する。同図に於いて、１，１……
は半導体ウエーハから分割された多数のペレツト
で、このペレツト１，１……は、環状の保持枠２
に張設した粘着性シート３上に格子状に貼着され
ている。４は上記保持枠２を着脱可能に支持する
XYテーブルで、このXYテーブル４は所望のペ
レツト１をパターン認識により順次供給位置Ａに
位置決めするため、駆動機構（図示せず）によつ
て図示Ｘ，Ｙ方向に移動可能に設けられている。
５は上記XYテーブル４の近傍に載置した搬送装
置で、ペレツト１，１……が載置されるリードフ
レーム６，６……を搬送レール７上にて定ピツチ
送りで放置位置Ｂへ搬送する。８は所望のペレツ
ト１を上記供給位置Ａから放置位置Ｂへ移送する
ための吸着装置であるアーム部で、このアーム部
８はXYテーブル４と搬送装置５間で上下動及び
回動自在に同軸的に枢支した２本のピツクアツプ
アーム８ａ及びマウントアーム８ｂとからなり、
第５図に示すように各アーム８ａ，８ｂの先端部
に、吸着孔９ａ，９ｂが下方に開口するように捕
獲コレツト１０ａ，１０ｂ（以下単にコレツトと
称す）を設けている。またコレツト１０ａ，１０
ｂの吸着孔９ａ，９ｂの下方開口部には、ペレツ
ト１，１の形状と対応して該ペレツト１，１が嵌
入する矩形凹部を形成している。１１はXYテー
ブル４と搬送装置５間で上記ピツクアツプアーム
８ａ及びマウントアーム８ｂのコレツト１０ａ，
１０ｂの移動軌跡上に配設した補正ステージ部
で、ステージ１２上でＸ，Ｙ方向に夫々対向配置
され補正点に対して放射状に離散・集合し摺動可
能に配設したペレツト位置決め用の４つの爪１３
ａ〜１３ｄを有する。

ペレツトマウント工程における第４図の装置の
動作例を説明すると、まずパターン認識により
XYテーブル４をＸ，Ｙ方向に駆動させて所望の
ペレツト１を供給装置Ａに位置決めする。そして
ピツクアツプアーム８ａのコレツト１０ａを上記
供給位置Ａにあるペレツト１の上方に配置すると
共に、マウントアーム８ｂのコレツト１０ｂを、
補正ステージ部１１のステージ１２上に予め載置
されて位置決めされているペレツト１の上方に配
置する。その後ピツクアツプアーム８ａ及びマウ
ントアーム８ｂのコレツト１０ａ，１０ｂを降下
させて夫々ペレツト１，１を真空吸着した後上記
コレツト１０ａ，１０ｂを上昇させる。そしてこ
の状態で各アーム８ａ，８ｂを回動させてピツク
アツプアーム８ａのコレツト１０ａを補正ステー
ジ部１１のステージ１２上に配置すると共に、マ
ウントアーム８ｂのコレツト１０ｂをリードフレ
ーム６上の放置位置Ｂの上方に配置する。その後
ピツクアツプアーム８ａ及びマウントアーム８ｂ
のコレツト１０ａ，１０ｂを降下させ、ピツクア
ツプアーム８ａのコレツト１０ａに吸着保持して
いたペレツト１を、補正ステージ部１１のステー
ジ１２上に載置した後４つの爪１３ａ〜１３ｄを
摺動させて上記ペレツト１を挟み込んで位置修正
する。一方、搬送レール７上にて定ピツチ送りで
搬送されてくるリードフレーム６は、予め加熱さ
れて、且つ、リードフレーム６上の放置位置Ｂに
溶融半田が供給されており、マウントアーム８ｂ
のコレツト１０ｂに吸着保持していたペレツト１
を上記リードフレーム６の放置位置Ｂに載置固定
する。以上述べた動作を繰り返すことによりXY
テーブル４上の供給位置Ａにあるペレツト１を、
補正ステージ部１１にて一旦位置修正した後リー
ドフレーム６上の放置位置Ｂに載置する。このよ
うなペレツトマウント装置は特開昭55−165643号
公報にも開示されている。

ところで上記ペレツトマウント装置では、通
常、アーム部８によるペレツト１の吸着ミスを検
出する手段を設けることが必要とされており、従
来その検出手段を上記アーム部８のマウントアー
ム８ｂに設けていた。この検出手段としては真空
差圧を利用するものや光の透過を利用するもの
の、例えば、実開昭60−39244号公報に開示する
ものがある。例えば光の透過を利用した検出手段
としては、第６図に示すようにLED等の投光素
子１４ａとフオトトランジスタ等の受光素子１４
ｂとを、上記投光素子１４ａから照射される光が
コレツト１０b′の開口凹部から吸着孔９b′を通過
するように、配設する。これによりコレツト１０
b′にペレツト１が真空吸着されると、投光素子１
４ａから照射された光はペレツト１で遮光されて
受光素子１４ｂに達しないため、この受光素子１
４ｂの出力信号の有無によつてコレツト１０b′で
のペレツト１の吸着の有無を検出するものであ
る。

考案が解決しようとする問題点 上述したように投受光素子１４ａ，１４ｂのセ
ンサーを、ペレツトマウント装置に使用して、ペ
レツト１の吸着ミスを検出する手段では、上記セ
ンサーをマウントアーム８b′の先端部に取付けな
ければならないため、該先端部の重量が大きくな
つてインデツクスを向上させることや、マウント
アーム８b′のコンパクト化が困難であつた。更に
必要に応じてピツクアツプアーム８ａにもセンサ
ーを取付けなければならない場合には、センサー
の数が増加すると共に上述した場合よりも更にイ
ンデツクスが低下する虞がある。また投受光素子
１４ａ，１４ｂを用いた場合、小型ペレツト用の
マウントアーム８b′では吸着孔９b′の径がより一
層小さくなるため、受光素子１４ｂに所望の光量
が得られないことがあり、検出ミスが発生すると
いう問題点があつた。従つて、本考案は上記欠点
に鑑み提案されたものであり、新規且つ改良され
たペレツトマウント装置の提供を目的とするもの
であり、特に補正ステージ部におけるステージ上
に、ペレツト位置決め爪に投受光用フアイバケー
ブルをその先端部の端面を対向さぜて配置した簡
素化されたペレツトマウント装置の提供を目的と
するものである。

問題点を解決するための手段 本考案は、上記問題点に鑑み、提案されたもの
で、その解決手段は、先端部に捕獲コレツトを有
し、該捕獲コレツトによりペレツトを供給位置か
ら放置位置まで移送する回動および上下動自在の
アーム部と、該アーム部の捕獲コレツトに吸着さ
れたペレツトを一旦載置して位置修正する補正ス
テージ部とを具備する装置において、上記補正ス
テージ部のステージ上に、透過型光電センサーの
投受光用フアイバケーブルの先端部をペレツト載
置位置を介して対向して配置したことを特徴とす
る。具体的には、補正ステージ部はペレツト載置
位置とこの位置と対角線方向の対称段部とを有
し、段部に透過型光電センサーに接続された投光
用及び受光用フアイバケーブルがそれぞれの先端
部の端面をペレツト載置位置を介して同一光軸上
に対向保持される。加えて、ペレツトの位置決め
爪がペレツト載置位置の直交二方向にそれぞれ対
向して内外方向に摺動自在に配置される。

作 用 上記解決手段により、アーム部の捕獲コレツト
でペレツトを供給する第１位置の供給位置からペ
レツトをマウントする第２位置の放置位置まで移
送する途中に配置された補正ステージ部にて、ス
テージ上でのペレツトの有無を確実に検出するこ
とによつて上記真空吸着コレツトによる吸着ミス
を検出する。

実施例 以下に本考案を第４図に示すペレツトマウント
装置に適用した一実施例を第１図乃至第３図を参
照しながら説明する。第４図と同一参照符号は同
一物を示し説明を省略する。本考案の特徴は補正
ステージ部１５にあり、上記ステージ部１５にお
いて、１６はペレツト１が位置決め載置されるス
テージで、このステージ１６の上面１７の対角線
方向の両側対称部位に平坦な段部１８ａ，１８ｂ
が設けられている。１９は透過型光電センサー
で、投光用フアイバケーブル２０ａを投光部２１
ａに接続し、又受光用フアイバーケーブル２０ｂ
を受光部２１ｂに接続する。上記フアイバーケー
ブル２０ａ，２０ｂは約2.0mm径程度のものであ
つて、第３図に示すようにプラスチツク製の投光
用フアイバー２２ａもしくは受光用フアイバ２２
ｂをそれぞれビニール製のチユーブ２３ａ，２３
ｂに被覆したものである。２４ａ，２４ｂは上記
ステージ１６の段部１８ａ，１８ｂに固設したブ
ロツク状の取付体で、この取付体２４ａ，２４ｂ
の外端面に保持穴２５ａ，２５ｂを水平方向に、
かつ、ステージ１６の対角線方向に穿設すると共
に、内側壁２６ａ，２６ｂに上記保持穴２５ａ，
２５ｂと外部とを連通する直径0.25mm程度の透孔
２７ａ，２７ｂを対向して形成し、しかも、該透
孔２７ａ，２７ｂを上記ステージ１６の上面１７
と同一平面状に保持する。２８ａ，２８ｂは筒状
のホルダーで、のホルダー２８ａ，２８ｂを上記
投光用および受光用のフアイバケーブル２０ａ，
２０ｂの先端部２９ａ，２９ｂの端面を透孔２７
ａ，２７ｂの開口面に臨ませ、フアイバケーブル
２０ａ，２０ｂの先端部２９ａ，２９ｂをステー
ジ１６の中心のペレツト載置位置Ｃを介して同一
光軸上に対向保持する。３０ａ，３０ｂ，３０
ｃ，３０ｄはステージ１６上で摺動可能に90°間
隔で配置されたペレツト位置決め用の４つの爪
で、位置決めされたペレツトの４辺の直交二方向
を夫々Ｘ，Ｙ方向とすると、２つの爪３０ａ，３
０ｂがＸ方向で対向し、残り２つの爪３０ｃ，３
０ｄがＹ方向で対向する。上記４つの爪３０ａ，
３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはタイミングカムを用い
た爪駆動機構で駆動される。上記爪駆動機構のタ
イミングカムの近傍位置には、ステージ１６上の
ペレツト１の有無を検出するタイミングを調整す
るため、適宜の検出手段が設けられており、この
検出手段で上記タイミングカムの回転角度位置を
検出し、その検出信号により、前記透過型光電セ
ンサー１９を作動させ、爪３０ａ，３０ｂ，３０
ｃ，３０ｄが開状態であつて、ピツクアツプアー
ム８ａのコレツト１０ａでステージ１６のペレツ
ト載置位置Ｃにペレツト１が載置された直後、又
マウントアーム８ｂのコレツト１０ｂでステージ
１６上の位置修正済のペレツト１が吸着された直
後に、ステージ１６上のペレツト１の有無を検出
するように構成されている。

而して、上記４つの爪３０ａ，３０ｂ，３０
ｃ，３０ｄはステージ１６の中央から放射状に等
距離の位置で待期する。そして、第４図に示すよ
うに従来要領にてＸ−Ｙテーブル４上の供給位置
Ａにあるペレツト１をピツクアツプアーム８ａの
コレツト１０ａにて真空吸着して補正ステージ部
１５まで移送し、上記ピツクアツプアーム８ａの
コレツト１０ａからステージ１６の中央にペレツ
ト１が供給されると、透過型光電センサー１９が
作動し、投光部２１ａからの光が、投光用フアイ
バケーブル２０ａの先端部２９ａから照射され
る。そして、上記投光用フアイバケーブル２０ａ
からの照射光が、ステージ１６上のペレツト１に
当たつて遮光され、受光用フアイバケーブル２０
ｂを介して受光部２１ｂで受光されるかどうかを
検出することにより、ステージ１６上のペレツト
１の有無、即ちピツクアツプアーム８ａのコレツ
ト１０ａによるペレツト１の吸着ミスを検出す
る。この検出の結果、ステージ１６上のペレツト
１が載置されていることを確認した上で、上記４
つの爪３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄがステー
ジ１６上を内方に摺動して各先端がペレツト１の
４辺を押圧し、ペレツト１の位置決めを行う。上
記ペレツト１がステージ１６上に位置決め固定さ
れると、各爪３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが
ステージ１６上で夫々外方に摺動し、各先端がペ
レツト１の４辺から離隔して、各爪３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ，３０ｄを初期位置で待期させる。そ
の後従来要領にてマウントアーム８ｂのコレツト
１０ｂでステージ１６のペレツト１を真空吸着し
てリードフレーム６上の放置位置Ｂへ移送する。
このマウントアーム８ｂによるペレツト１の移送
後、再度透過型光電センサー１９を作動させるこ
とによりステージ１６上のペレツト１の有無、即
ちマウントアーム８ｂのコレツト１０ｂによるペ
レツト１の吸着ミスを検出する。

尚、本考案は上記実施例において説明した構造
以外の補正ステージ部を有するペレツトマウント
装置にも適用可能であることは勿論である。

考案の効果 本考案によれば、センサー類をアーム部の先端
部に取付ける必要がないため、該アーム部の先端
部の重量が軽減されてインデツクスが向上すると
共に、アーム部のコンパクト化を実現することが
できる。また補正ステージ部の１個所のみで供給
位置でのペレツトの吸着ミスと補正ステージ部で
のペレツトの吸着ミスの双方を検出することがで
きるため、１個のセンサーで多機能を発揮させる
ことが可能となる。さらに本考案では透過型光電
センサーを使用するため、性能が安定しており、
応答速度が速く、小型サイズのペレツトにも対応
可能でその検出精度が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本考案に係るペレツトマウ
ント装置の実施例を示すもので、第１図は補正ス
テージ部を示す一部断面視平面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ線断面図、第３図は透過型光電センサ
ーのフアイバケーブルを示す要部拡大断面図であ
る。第４図はペレツトマウント装置を示す断面
図、第５図はアーム部のコレツトの下面を示す要
部下面図、第６図は従来のペレツトマウント装置
における検出手段の一例を示す部分側面図であ
る。 １……ペレツト、８……アーム部、８ａ……ピ
ツクアツプアーム、８ｂ……マウントアーム、１
０ａ，１０ｂ……捕獲コレツト、１５……補正ス
テージ部、１６……ステージ、１９……透過型光
電センサー、２２ａ……投光用フアイバケーブ
ル、２２ｂ……受光用フアイバケーブル、Ｃ……
ペレツト載置位置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ペレツトをパターン認識して順次供給位置に位
   置決めするＸ−Ｙテーブルと、搬送レール上でフ
   レームを定ピツチ送りして放置位置を位置決めす
   る搬送装置と、前記供給位置から放置位置にペレ
   ツトを移送するよう先端部のコレツトを上下動及
   び回転自在に枢支したアーム部と、更に前記コレ
   ツトによるペレツトの移動軌跡上に配置され、ペ
   レツトを一旦載置して位置修正する補正ステージ
   部とを具備するペレツトマウント装置において、
   前記補正ステージ部は、ペレツト載置位置を横切
   る同一光軸線方向に形成した対称な段部に、透過
   型光電センサーと接続した投光及び受光用フアイ
   バケーブルの各先端部を端面対向して配置すると
   共に前記ペレツト位置の直交二方向にそれぞれ対
   向して内外方向に摺動自在の位置決め爪を配置し
   たことを特徴とするペレツトマウント装置。