JPH0427699B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウエハートレーのウエハーシート表
面に多数個貼着された半導体ペレツトを、リード
フレームにおける所定箇所に一個ずつ供給するよ
うにした装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の供給装置は、第１図及び第２図
に示すように、リードフレーム１を水平状態で一
定ピツチＰの間隔で間欠移送する搬送ライン２の
側方に、ウエハーシート７の上面に多数個の半導
体ペレツト８を縦横整列状に貼着して成るウエハ
ートレー３を、そのウエハーシート７が水平とな
るように配設して、このウエハートレー３を、前
記リードフレーム１の搬送方向と直角のＸ軸方向
と、リードフレーム１の搬送方向と平行のＹ軸方
向との２軸方向に移動するように構成したXYテ
ーブル４に取付ける一方、前記搬送ライン２及び
ウエハートレー３の上方に、その間を水平方向に
往復動するようにした真空吸着式のピツクアツプ
コレツト５を配設する一方、前記ウエハートレー
３におけるウエハーシート７の下面側には、当該
ウエハーシート７の上面における半導体ペレツト
８を突き出すためのピツクアツプ台を、前記ウエ
ハーシート７の上面側には、当該ウエハーシート
７の上面における半導体ペレツト８を前記ピツク
アツプ台６と同一軸線上において検出するように
した認識センサー９を配設する構成にしている
（例えば、特開昭56−98835号公報、特開昭56−
158435号公報、特公昭57−44014号公報等）。

この装置の作動は以下に述べる通りである。

すなわち、前記認識センサー９が、前記ウエハ
ーシート７における半導体ペレツト８がXYテー
ブル４にて前記ピツクアツプ台６と同一軸線上に
供給されていることを検出すると、前記ピツクア
ツプコレツト５が、ウエハートレー３上の部位に
位置して下降すると同時、ピツクアツプ台６がウ
エハーシート７における半導体ペレツト８を突き
出し作動することにより、当該半導体ペレツト８
を、ピツクアツプコレツト５の先端に吸着し、次
にピツクアツプコレツト５は上昇したのち搬送ラ
イン２のリードフレーム１上に水平移動したのち
下降して、先端に吸着した半導体ペレツト８をリ
ードフレーム１上に供給し、この供給が終わると
ピツクアツプコレツト５は上昇したのち、ウエハ
ートレー３上に水平移動すると同時に、XYテー
ブル４が次の半導体ペレツト８を前記ピツクアツ
プ台６と同一軸線上の位置に来るようにウエハー
トレー３を送り移動する一方、リードフレーム１
を一ピツチＰだけ移送する作用を繰り返すことに
より、ウエハートレー３における半導体ペレツト
８を１個ずつリードフレーム１に供給するように
している。

〔発明が解決しようとする課題〕

そして、この従来の装置では、ウエハートレー
３のウエハーシート７における上面の半導体ペレ
ツト８を、前記ウエハーシート７の上面側に配設
した認識センサー９によつて直接的に、且つ、ウ
エハーシート７の下面側におけるピツクアツプ台
と同一軸線上の位置において検出することができ
るから、この認識センサー９による半導体ペレツ
ト８の検出にて、各半導体ペレツト８を、ピツク
アツプ台６と同一軸線上の位置に対して順次正確
に送り込むことができるから、ウエハートレー３
からの半導体ペレツト８のピツクアツプに際し
て、半導体ペレツト８の位置がずれること、及び
半導体ペレツトにピツクアツプミスが発生するこ
とを、前記ウエハーシート７の上面における半導
体ペレツト８を、ウエハーシート７の下面側に配
設した認識センサーにて、ウエハーシート７を透
し、且つ、ピツクアツプ台８よりずれた位置で検
出する場合よりも、大幅に低減できると言う利点
を有する。

しかし、その反面、従来の半導体ペレツト供給
装置においては、ウエハーシート７の上面におい
てＸ軸方向に並ぶ総ての半導体ペレツト８をピツ
クアツプ台６と同一軸線上の位置に順次送り込む
ことができるようにするためには、リードフレー
ム１の搬送ライン２と前記ピツクアツプ台６との
間に、前記ウエハートレー３の直径寸法に相当す
るだけの広いスペースを形成するように構成しな
ければならないのである。

このため、ピツクアツプコレツト５を、ウエハ
ートレー３の上方から搬送ライン２の上方まで水
平移動するストロークＬが長くなつて、この水平
移動に可成りの時間を必要とすることになるか
ら、ウエハートレー３からリードフレーム１への
半導体ペレツト８の供給速度がそれだけ遅く、作
業能率が低いと言う問題があり、しかも、従来の
装置は、ウエハートレー３を水平横向きに往復動
するため、横型のXYテーブルを使用することに
加えて、リードフレーム１の搬送ライン２と前記
ピツクアツプ台６との間に、前記ウエハートレー
３の直径寸法に相当するだけの広いスペースを形
成しなければならないから、半導体ペレツト供給
装置の横幅寸法、ひいては、半導体ペレツト供給
装置を床面に設置する場合における床面積の増大
を招来すると言う問題もあり、特に、これらの問
題はウエハートレー３の直径が大きくなる程増大
するのであつた。

また、例えば、実開昭58−8944号公報等に記載
されているように、ウエハートレー３を、リード
フレーム１の搬送ライン２の上方に、そのウエハ
ーシート７に貼着した半導体ペレツト８が下向き
になるように配設した場合においても、このウエ
ハートレー３を、横型のXYテーブルによつて、
当該ウエハートレー３における直径の二倍の寸法
だけ水平横向きに往復動するように構成しなけれ
ばならないから、これまた、装置の横幅寸法が大
きくなり、装置を床面に設置する場合における床
面積の増大を招来するのである。

本発明は、ウエハートレーにおける半導体ペレ
ツトを、ピツクアツプ台と同一軸線上の位置に順
次正確に送り込むことができる状態のもとで、ウ
エハートレーからリードフレームへの半導体ペレ
ツトの供給速度の向上と、装置を床面に設置する
場合における床面積の縮小とを、ウエハートレー
の直径が大きい場合であつても確実に達成できる
ようにした供給装置を提供することを目的とする
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため本発明は、リードフレ
ームを水平の状態でその長手方向に適宜間隔で移
送する搬送ラインと、ウエハーシートの表面に多
数個の半導体ペレツトを貼着して成るウエハート
レーを、そのウエハーシートに平行な面において
互いに直交する２軸方向に移動するように構成し
たXYテーブルと、前記ウエハーシートの表面に
おける半導体ペレツトを当該ウエハーシートの裏
面側から表面側に突き出すためのピツクアツプ台
と、前記ウエハーシートの表面側に位置し前記ピ
ツクアツプ台で突き出した半導体ペレツトを吸着
して前記搬送ラインにおけるリードフレームに対
して移送供給するピツクアツプコレツトと、前記
ウエハーシートの表面側に位置し当該ウエハーシ
ートの表面における半導体ペレツトを前記ピツク
アツプ台と同一軸線上において検出するようにし
た認識センサーとを備えて成る半導体ペレツトの
供給装置において、前記ウエハートレーを、前記
搬送ラインの側方の部位においてそのウエハーシ
ートを平面視で前記リードフレームの搬送方向と
平行にし、且つ、側面視で鉛直にするようにして
前記XYテーブルに装着する一方、前記ピツクア
ツプコレツトを、基端を回動自在に枢着したピツ
クアツプヘツドアームの先端に、当該ピツクアツ
プヘツドアームの回動によつて、前記ウエハーシ
ートに向つて水平横向きになる位置と前記リード
フレームに向つて鉛直下向きになる位置とに上下
回動するように装着する構成にした。

〔発明の作用・効果〕

この構成において、認識センサーが、ピツクア
ツプ台と同一軸線上の位置に半導体ペレツトがあ
ることを認識すると、ピツクアツプヘツドアーム
が、ピツクアツプコレツトが水平横向きの状態に
なるように回動すると同時に、ピツクアツプ台
が、ウエハーシートの裏面側から表面側に向かつ
て半導体ペレツトを突き出すことにより、当該半
導体ペレツトを、前記ピツクアツプコレツトにて
ピツクアツプする。次いで、前記ピツクアツプヘ
ツドアームが下向きに回動して、その先端におけ
るピツクアツプコレツトが、リードフレームに対
して下向きになることにより、当該ピツクアツプ
コレツトによつてピツクアツプした半導体ペレツ
トを、リードフレームに対して供給一方、XYテ
ーブルの移動によつて、前記ピツクアツプ台と同
一軸線上の位置に半導体ペレツトを送り込むこと
を繰り返すことにより、ウエハートレーにおける
半導体ペレツトを１個ずつリードフレームに供給
するのである。

この場合において、本発明は、前記のように、
ウエハートレーを、リードフレームの搬送ライン
の側方の部位において、XYテーブルに対して、
当該ウエハートレーにおけるウエハーシートを平
面視で前記リードフレームの搬送方向と平行に
し、且つ、側面視で鉛直にするように装着し、こ
のウエハートレーのウエハーシートの表面におけ
る半導体ペレツトを、ピツクアツプヘツドアーム
の上下回動によつて、リードフレームに供給する
ものであつて、前記ウエハートレーの上下方向へ
の移動によつて、ウエハーシートにおける総ての
半導体ペレツトをピツクアツプ台と同一軸線上の
位置に送り込むことができるから、リードフレー
ムの搬送ラインと前記ピツクアツプ台との間に、
前記した従来のように広いスペースを設ける必要
がなく、ウエハートレーを、リードフレームの搬
送ラインに近づけることができるのである。

従つて、本発明によると、ウエハートレーのウ
エハーシートにおける表面の半導体ペレツトを、
前記ウエハーシートの表面側に配設した認識セン
サーによる直接的な検出にて、前記ウエハーシー
トの裏面側に配設したピツクアツプ台と同一軸線
上の順次位置に正確に送り込むことができるもの
でありながら、 ピツクアツプコレツトを、ピツクアツプヘツ
ドアームの上下回動によつて、ウエハートレー
とリードフレームとの間を往復動するときの距
離が短くなり、この速度を大幅にアツプするこ
とができるから、ウエハーシートからリードフ
レームへの半導体ペレツトの移送供給を高速化
できて、作業能率を向上できる。

ウエハートレーを上下方向に移動することに
より、XYテーブルとして、従来の横型XYテ
ーブルに代えて縦型のXYテーブルにすること
ができて、半導体ペレツト供給装置の横幅寸法
を短縮できるから、装置を床面に設置する場合
における床面積を縮小することができる。

前記の高速化、及びの床面積の縮小は、
ウエハートレーの直径が大きくなつても、何等
損なわれることはない。

と言う効果を有する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面について説明する
と、第３図及至第６図は第１の実施例を示し、こ
の図において符号１２は、長尺帯状のリードフレ
ーム１を水平状態の下で、その半導体ペレツト取
付部１′の間隔Ｐごとに長手方向に間欠移送する
搬送ラインを、符号９は、該搬送ライン１２の側
方に配設した縦型のXYテーブルを各々示す。

XYテーブル９は、これに、ウエハーシート７
の表面に多数個の半導体ペレツト８を縦横整列状
に貼着したウエハートレー３を、そのウエハーシ
ート７が平面視において前記リードフレーム１の
搬送方向と平行で且つ側面視において水平面に対
して垂直、つまり鉛直となるように取付け、該ウ
エハートレー３を、例えば前記リードフレーム１
の搬送方向に対して上下垂直のＸ軸方向と、搬送
方向に対して平行のＹ軸方向との２軸方向と云う
ように、ウエハーシート７と平行な面において互
いに直交する２軸方向に移動送りするように構成
されている。

前記ウエハートレー３におけるウエハーシート
７の裏面側には、該ウエハーシート７の表面にお
ける半導体ペレツト８を、前記搬送ライン１２の
方向に突き出すようにしたピツクアツプ台１０が
配設され、また、前記搬送ライン１２の上方に
は、前記XYテーブル９に取付くウエハートレー
３のウエハーシート７の表面における半導体ペレ
ツト８を認識するための認識センサー１７が、前
記ピツクアツプ台１０と同一軸線上の部位に配設
されている。

また、符号１１は、前記搬送ライン１２の上部
に位置し、前記ウエハートレー３のウエハーシー
ト７における半導体ペレツト８を、搬送ライン１
２上におけるリードフレーム１に供給するための
ピツクアツプ機構を示し、該ピツクアツプ機構１
１は、前記認識センサー１７より下方の部位にリ
ードフレーム１の搬送方向と平行に配設した支軸
１３と、先端に真空吸着式のピツクアツプコレツ
ト１５を備えたピツクアツプヘツドアーム１４と
から成り、前記ピツクアツプヘツドアーム１４の
基端を、前記支軸１３に対して装着することによ
り、このピツクアツプヘツドアーム１４を、支軸
１３の回転にて、当該ピツクアツプヘツドアーム
１４の先端におけるピツクアツプコレツト１５が
水平横向きになつて前記ピツクアツプ台１０に対
向する位置と、ピツクアツプコレツト１５が垂直
下向きになつてリードフレーム１における半導体
ペレツト取付部１′に対向する位置とに90°だけ上
下方向に往復回転するように構成する。

また、前記ピツクアツプコレツト１５を、当該
ピツクアツプコレツト１５が水平横向きの位置に
おいてウエハートレー３に対して前後し、且つ、
垂直下向きの位置においてリードフレーム１に対
して前後動するように構成して成るものである。

なお、この場合、ピツクアツプコレツト１５の
ウエハートレー３及びリードフレーム１に対する
前後動は、当該ピツクアツプコレツト１５が取付
くピツクアツプヘツドアーム１４、延いてはその
支軸１３を動かすことによつて行うようにしても
良い。

この構成において、認識センサー１７が、ピツ
クアツプ台１０と同一軸線上の位置に半導体ペレ
ツト１０があることを認識すると、ピツクアツプ
ヘツドアーム１４が矢印１８で示すように、ピツ
クアツプコレツト１５を水平横向きの状態になる
ように上向きに90度回動すると、ピツクアツプ台
１０が、ウエハーシート７の裏面側から表面側に
向かつて半導体ペレツト８を突き出すと同時に、
前記ピツクアツプコレツト１５がウエハーシート
７に向かつて前進動することにより、前記ピツク
アツプ台１０によつて突き出した半導体ペレツト
８を、当該ピツクアツプコレツト１５に真空吸引
にて吸着する。

この吸着が終わると、前記ピツクアツプヘツド
アーム１４が矢印１６で示すように、ピツクアツ
プコレツト１５を下向きの状態になるように下向
きに90度回動したのち、前記ピツクアツプコレツ
ト１５がリードフレーム１に向かつて下降動し
て、半導体ペレツト８の真空吸引による吸着を解
除することにより、半導体ペレツト８を、リード
フレーム１における半導体ペレツト取付部１′に
供給する一方、XYテーブル９の移動によつて、
前記ピツクアツプ台１０と同一軸線の位置に次の
半導体ペレツト８を送り込むことを繰り返すこと
により、ウエハートレー３における半導体ペレツ
ト８を１個ずつリードフレーム１に供給するので
ある。

第７図及び第８図は、第２の実施例を示し、こ
の第２の実施例は、ピツクアツプヘツドアーム１
４に対する支軸１３を、認識センサー１７よりも
上方の部位に配設したものであり、この場合に
は、ピツクアツプヘツドアーム１４を、矢印１６
方向の下向きに90度回転するとき、これに加えて
ピツクアツプヘツドアーム１４を、その支軸１３
の軸方向に、第８図に二点鎖線で示すように適宜
距離ｅだけ水平移動するように構成することによ
り、このピツクアツプヘツドアーム１４の水平移
動の間において、ピツクアツプ台１０と同一軸線
上の位置に半導体ペレツト８が送り込まれたか否
かを、認識センサー１７にて検出するように構成
したものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の装置の縦断正面図、第２図は第
１図の平面図、第３図〜第８図は本発明の実施例
を示し、第３図は第１実施例の縦断正面図、第４
図は第３図の平面図、第５図は第３図の左側面
図、第６図は第３図の作用状態を示す図、第７図
は第２実施例の縦断正面図、第８図は第７図の左
側面図である。 １……リードフレーム、３……ウエハートレ
ー、７……ウエハーシート、８……半導体ペレツ
ト、９……XYテーブル、１０……ピツクアツプ
台、１２……搬送ライン、１３……支軸、１４…
…ピツクアツプヘツドアーム、１５……ピツクア
ツプコレツト、１７……認識センサー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ リードフレームを水平の状態でその長手方向
   に適宜間隔で移送する搬送ラインと、ウエハーシ
   ートの表面に多数個の半導体ペレツトを貼着して
   成るウエハートレーを、そのウエハーシートに平
   行な面において互いに直交する２軸方向に移動す
   るように構成したXYテーブルと、前記ウエハー
   シートの表面における半導体ペレツトを当該ウエ
   ハーシートの裏面側から表面側に突き出すための
   ピツクアツプ台と、前記ウエハーシートの表面側
   に位置し前記ピツクアツプ台で突き出した半導体
   ペレツトを吸着して前記搬送ラインにおけるリー
   ドフレームに対して移送供給するピツクアツプコ
   レツトと、前記ウエハーシートの表面側に位置し
   当該ウエハーシートの表面における半導体ペレツ
   トを前記ピツクアツプ台と同一軸線上において検
   出するようにした認識センサーとを備えて成る半
   導体ペレツトの供給装置において、前記ウエハー
   トレーを、前記搬送ラインの側方の部位において
   そのウエハーシートを平面視で前記リードフレー
   ムの搬送方向と平行にし、且つ、側面視で鉛直に
   するようにして前記XYテーブルに装着する一
   方、前記ピツクアツプコレツトを、基端を回動自
   在に枢着したピツクアツプヘツドアームの先端
   に、当該ピツクアツプヘツドアームの回動によつ
   て、前記ウエハーシートに向つて水平横向きにな
   る位置と前記リードフレームに向つて鉛直下向き
   になる位置とに上下回動するように装着したこと
   を特徴とするリードフレームに対する半導体ペレ
   ツトの供給装置。