JPH0517681Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルームの予定走行路に沿つ
て移動する無人搬送台車に係り、特に走行状態の
変化により発生する塵芥を低減するのに好適な無
人搬送台車の発塵吸収装置に関するものである。

〔従来の技術〕

クリーンルーム内の搬送装置としては各種のも
のが知られている。この中で、クリーンルームの
通路上に貼付された反射テープに沿つて誘導走行
する無人搬送台車では、塵芥を発生する車輪部、
駆動機構部および台車全体部の塵芥低減を図つた
構造のものがある。

このような無人搬送台車から発生する塵芥を外
部に放出するのを防止する技術は、実開昭60−
55575号、実開昭60−55576号に開示されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、無人搬送台車の車輪部、駆動
機構部および車体下部の全体にわたつて遮へい材
を垂設し、排風装置や塵芥除去フイルタで塵芥を
外部へ排出するため、車体上に設置する排風機の
大容量化が必要となり、走行中連続して排風機を
動作させなければならないのでバツテリの消費を
早めると共に、床上に付着した塵芥を吸引するこ
とができない等の問題があつた。

本考案の目的は、クリーンルーム内で誘導走行
して自動搬送する無人搬送台車からの発塵粒子を
低減させることを、走行状態に基づき起動停止す
る掃除装置で行ない、かつ、省エネルギー化を図
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的は、無人搬送台車の急激な走行状態
変化、すなわち直進走行から旋回・分岐・合流走
行又はその逆の走行並びに加減速等の状態に基づ
き、発生する塵芥粒子を吸引する掃除装置の起
動・停止動作を制御することにより達成される。

〔作用〕

クリーンルーム内を誘導走行する無人搬送台車
が直進走行、一定速度の走行、グレーテイング上
の走行およびクリーン度の低いクリーンルーム内
での走行の場合では、発生する塵芥粒子数が減少
するため低発塵化に関して問題にならない。

しかし、逆に旋回・分岐・合流、加減速および
クリーン度の高いクリーンルーム内での走行の場
合では発生する塵芥粒子数が増加し、低発塵化が
問題となる。

このような、無人搬送台車の急激な走行状態の
変化に基づき掃除装置の吸引駆動を実施する。す
なわち、前者では停止動作を行ない、後者では起
動動作を実施することにより、無人搬送台車から
発生する塵芥粒子の低減を行なうと共に、省エネ
ルギーを図ることができる。

〔実施例〕

以下、本考案を具体的な実施例に基づき詳細に
説明する。

まず、第２図により無人搬送台車の全体構成を
説明する。

無人搬送台車１０は、荷物を積載してクリーン
ルームの床１１０上を走行するもので、床１１０
上に貼付した反射テープ１２０を誘導標識として
誘導走行する移動体である。しかして、無人搬送
台車１０は台車本体２０と、駆動車輪兼操舵車輪
３０（以下、車輪と略）と、従属輪４０と、走行
機構５０と、操舵機構６０と、誘導検出器７０
と、塵芥発生部８０と、掃除装置８１と、バツテ
リ９０と、制御装置１００とを具備している。こ
の場合、車輪３０は１輪であり、従属輪４０は左
右に２輪配置される。従属輪４０は、走行方向の
後側で台車本体２０に設けられている。

車輪３０は、走行方向の前側で台車本体２０に
回転自在に設けられている。走行機構５０を駆動
する走行モータ５１（第１図示）は走行方向の前
側で、かつ車輪３０の前部で台車本体２０に取付
けられている。操舵機構６０は車輪３０の上方位
置で操舵モータ６１（第１図示）の回転により該
車輪３０を操舵可能にし、台車本体２０に設けら
れている。誘導検出器７０は走行モータ５１の下
部にあり、車輪３０に設けられている。塵芥発生
部８０は車輪３０、走行機構５０、操舵機構６
０、誘導検出器７０等の空間を遮へいした室であ
り、掃除装置８１により床１１０上の発塵粒子を
取り、台車本体２０に設けられている。バツテリ
９０は従属輪４０と車輪３０との間の位置で台車
本体２０に設けられている。制御装置１００は走
行方向の最後部で台車本体２０内に収納かつ取り
出し可能な構造であり、誘導検出器７０からの車
体状態量の入力信号により演算や判断処理を行
い、制御信号を走行モータ５１や操舵モータ６１
に出力するものである。この場合、車輪３０と従
属輪４０とが床１１０と接触可能に設けられ、他
のものは床１１０および反射テープ１２０と接触
しないように設けられている。無人搬送台車１０
が走行する際に生じる発塵粒子は塵芥発生部８０
から発生し、他部に移らなくて床１１０上に落下
する傾向にある。

次に、このような無人搬送台車が誘導走行する
ことにより生じる発塵粒子を吸収する本考案の一
実施例を第１図により説明する。

第１図で発塵する箇所は、操舵機構６０、走行
機構５０および車輪接地部である。その操舵機構
６０は、例えば操舵モータ６１と、大プーリ６２
と、小プーリ６３と、操舵ベルト６４とで構成さ
れている。操舵モータ６１はモータ軸６５の上部
を台車本体２０から突出させて設けられている。
小プーリ６３はモータ軸６５の上部に設けられて
いる。大プーリ６２は台車本体２０に回転自在
で、その上部を突出して設けられた操作軸４１の
上部に設けられている。大プーリ６２と小プーリ
６３との取付け垂直レベルはほぼ同一レベルにあ
り、操舵ベルト６４は大プーリ６２と小プーリ６
３とに無端に巻掛けられている。

走行機構５０は例えば操舵機構６０の構成と同
じく、走行モータ５１と、走行ベルト５２を含む
減速機５３，５３′と、速度検出器５４とで構成
されている。

塵芥発生部８０は、操舵機構６０、走行機構５
０および車輪３０から発生する発塵粒子の浮遊空
間である。

掃除装置８１は塵芥発生部８０内に設置されて
おり、吸込部８２と、吸込パイプ８３と、排風機
８４と、排風モータ８５と、排気パイプ８６と、
塵芥除去フイルタ８７および遮へい部材８８とで
構成されている。その動作は、排風モータ８５を
駆動することより床１１０上に付着した塵芥を吸
込部８２で真空吸引し、吸込パイプ８３を介して
排風機８４で排気パイプ８６へ送り込み、塵芥除
去フイルタ８７で発塵粒子を除去して外部へ清浄
空気として排出させるものである。本装置は走行
方向に対して車輪３０の後側に設置してあり、車
輪３０と床１１０間で発生する発塵粒子をも吸引
できる構成である。したがつて、塵芥発生部８０
内で発生した塵芥は垂設した遮へい部材８８で外
部と隔離され、塵芥の沈降現象により床１１０上
に落下され、上述の掃除装置８１の作用により吸
収される。

第３図は掃除装置の制御ブロツク図で、制御装
置１００は汎用のマイクロコンピユータであり、
検出される車体状態量又は外部から伝達される指
令信号を用いて後述する方法により、排風モータ
８５の制御信号を演算して出力する。入力制御部
１０１は、上位計算機１３０からの運行指令（例
えば、地点Ａから地点Ｂへ荷物を搬送する指令）
を伝送手段等を介して入力するための制御を行
う。さらに、入力制御部１０１は無人搬送台車１
０に取付けられた誘導検出器７０や速度検出器５
４からの検出値を入力するための制御をも行う。
演算部１０２は、通常中央処理装置（CPU）で
あり、メモリ１０４に記憶されたプログラムに応
じてデータの入力、演算および出力の各処理を行
う。出力制御部１０３は、演算部１０２の演算結
果である制御信号を走行モータ５１、操舵モータ
６１および排風モータ８５に出力する制御を行
う。メモリ１０４は、制御装置１００の動作に必
要なプログラムや入力されてくる各種データ、演
算結果等を記憶するものである。

第３図における制御装置１００の動作を第４図
のフローチヤートに沿つて説明する。

まず、最初に電源が投入されると同時に初期条
件の設定を行い、メモリ１０４上のデータをゼロ
クリアする。以下、ステツプ(a)〜(g)の動作が繰り
返えされる。

ステツプ(a)…無人搬送台車１０の走行状態を検出
するブロツクであり、例えば誘導検出器７０
で床１１０上に貼付されている反射テープ１
２０を認識して、直進走行か旋回、分岐、合
流等の走行であるかを把握すると共に、速度
検出器５４で一定速度の走行、加減速走行、
停止位置決め等の走行状態を判別するもので
ある。

ステツプ(b)…直進走行であれば、操舵機構６０や
車輪３０と床１１０との間から発生する発塵
粒子数が少ないことにより、次の動作ステツ
プ(c)へ進む。もし、旋回、分岐、合流等のよ
うに急激な状態変化があると発塵粒子数が多
くなることから、排風モータ８５へ起動信号
を出力して掃除装置８１を作動する動作ステ
ツプ(f)へジヤンプする。

ステツプ(c)…加減速走行や停止位置決め動作であ
れば、走行機構５０や車輪３０と床１１０と
の間から発生する発塵粒子数が多いことによ
り、前述と同様な動作を行うための操作ステ
ツプ(f)へ進む。一方、一定速度でかつ操舵動
作が小さい走行動作の場合では、塵芥発生部
８０内での空間で発塵粒子が舞い上がらずに
発塵粒子数が少ないことにより、排風モータ
８５へ停止信号を出力する次の動作ステツプ
(g)へジヤンプする。

ステツプ(d)…速度検出器５４の出力信号からの推
定値（速度−積載物荷重特性）により、無人
搬送台車１０上に積載物がある場合では、走
行機構５０並びに操舵機構６０に加わるトル
クが大となるため発塵粒子数が増大するの
で、排風モータ８５へ起動信号を出力するス
テツプ(f)へジヤンプする。そうでなければ、
次の動作ステツプ(e)へ進む。

ステツプ(e)…無人搬送台車１０が高速走行した場
合ではステツプ(f)へ進み、そうでなければ、
次の動作ステツプ(g)へジヤンプする。

ステツプ(f)…無人搬送台車１０の走行状態に急激
な変化が生じる場合では、塵芥発生部８０内
で生じた発塵粒子が増大し、さらに垂設した
遮へい部材８８で囲われた室内において発塵
粒子が舞い上がるので発塵粒子数が急増する
傾向にあるため、掃除装置８１を作動させる
排風モータ８５を起動する制御信号を出力す
る。

ステツプ(g)…無人搬送台車１０の走行状態の変化
が小さい場合では、塵芥発生部８０内で生じ
る発塵粒子数が減少するため、掃除装置８１
を停止させる排風モータ８５を停止する制御
信号を出力する。

このように、第１図の実施例において無人搬送
台車１０は、その走行状態変化に基づいて、塵芥
発生部８０から発生される発塵粒子を掃除装置で
低減するように作動することができる。

これによつて、クリーンルームなどの発塵粒子
数が制限される空間の走行路を誘導走行する無人
搬送台車では、塵芥発生部から生じる発塵粒子を
走行状態に基づいて制御することができるので、
掃除装置の小型化やバツテリの省エネルギー化が
図れる。

第５図は本考案の他の実施例であり、クリーン
ルーム内での走行状態によつて排風モータの起動
停止を実施するものである。

ステツプ(イ)…上位計算機１３０を通じて、無人搬
送台車１０の制御装置１００へクリーンルー
ム内での走行状態を把握させる。把握させる
ものは、例えば、無人搬送台車１０の誘導走
行するクリーンルーム内のクリーン度やグレ
ーテイング上での走行状態の有無並びに気流
方向の情報である。

ステツプ(ロ)…クリーン度が高い場合では、無人搬
送台車１０が誘導走行することでクリーンル
ーム内での発塵粒子数を増加する。このた
め、極力発塵粒子数を押える必要があるの
で、ステツプ(ホ)へジヤンプして排風モータ８
５を起動する制御信号を出力する。一方、ク
リーン度が低い場合では、クリーンルーム内
での無人搬送台車１０の誘導走行による発塵
粒子数があまり変化しないためステツプ(ヘ)へ
ジヤンプし、排風モータ８５を停止させる制
御信号を出力する。

ステツプ(ハ)…無人搬送台車１０がグレーテイング
上を走行している場合では、誘導走行により
発生する発塵粒子数がグレーテイング下に落
下されるため、ステツプ(ヘ)へジヤンプする。
そうでなければ、ステツプ(ホ)へジヤンプす
る。

ステツプ(ニ)…無人搬送台車１０がクリーンルーム
内での気流方向に対して反対方向に誘導走行
する場合ではステツプ(ホ)へジヤンプし、そう
でなければステツプ(ヘ)へ進む。特に、気流方
向に対して反対方向に誘導走行する場合では
クリーンルーム内での発塵粒子数が増大する
傾向がある。したがつて、排風モータ８５を
起動して発塵粒子数を減少させる。

これによつて、無人搬送台車がクリーンルーム
内を誘導走行する場合の発塵粒子数を制御するこ
とができるので、掃除装置の省エネルギー化と共
にクリーン度の制御も可能になる。

〔考案の効果〕

本考案によれば、小型の掃除装置の起動停止動
作で無人搬送台車の走行状態変化に対応して発塵
粒子数を低減することができ、かつ省エネルギー
化を実現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す側面図、第２
図は本考案を適用した無人搬送台車の一実施例を
示す斜視構成図、第３図は掃除装置の制御ブロツ
ク図、第４図は掃除装置の制御ブロツク図、第５
図は他の制御手段を示した制御ブロツク図であ
る。 １０……無人搬送台車、３０……車輪、５０…
…走行機構、５４……速度検出器、６０……操舵
機構、７０……誘導検出器、８０……塵芥発生
部、８１……掃除装置、８２……吸込部、８４…
…排風機、８５……排風モータ、８７……塵芥除
去フイルタ、１００……制御装置、１３０……上
位計算機。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 クリーンルーム内の走行路上を誘導走行する無
   人搬送台車の発塵吸収装置において、 前記発塵吸収装置は、排風機と、該排風機の吸
   入側に接続したものであつて車輪の後方の近傍に
   おいて走行路側に向けてに開口した吸込部と、前
   記排風機の吐出側に接続した塵埃除去フイルタと
   からなり、 旋回および加減速走行の場合に前記発塵吸収装
   置を起動させる制御装置を備えたこと、 を特徴とする無人搬送台車の発塵吸収装置。