JPH0517109A - 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム粉末及びその製造方法Info
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- JPH0517109A JPH0517109A JP17030591A JP17030591A JPH0517109A JP H0517109 A JPH0517109 A JP H0517109A JP 17030591 A JP17030591 A JP 17030591A JP 17030591 A JP17030591 A JP 17030591A JP H0517109 A JPH0517109 A JP H0517109A
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- nitride powder
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 平均粒子径０．５〜１μｍ、１．５μｍ以上
の粗粒の割合が１５％以下、０．４μｍ以下の微粒の割
合が１５％以下、ＢＥＴ比表面積４〜８ｍ2 ／ｇで、か
つ酸素含有量が１．５％〜３．０％であることを特徴と
する窒化アルミニウム粉末；及び、平均粒子径０．１５
μｍ〜０．５μｍのアルミナ粉末とカーボン粉末を混合
し、窒素雰囲気下１４００℃〜１７００℃で窒化し、つ
いで該窒化後の粉末を５〜３０重量％のカーボン存在下
に粉砕した後、余剰のカーボンを燃焼除去することを特
徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法。 【効果】 焼結助剤を用いなくても、常圧、１８００℃
程度で焼結可能な窒化アルミニウム粉末の供給を可能と
した。
の粗粒の割合が１５％以下、０．４μｍ以下の微粒の割
合が１５％以下、ＢＥＴ比表面積４〜８ｍ2 ／ｇで、か
つ酸素含有量が１．５％〜３．０％であることを特徴と
する窒化アルミニウム粉末；及び、平均粒子径０．１５
μｍ〜０．５μｍのアルミナ粉末とカーボン粉末を混合
し、窒素雰囲気下１４００℃〜１７００℃で窒化し、つ
いで該窒化後の粉末を５〜３０重量％のカーボン存在下
に粉砕した後、余剰のカーボンを燃焼除去することを特
徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法。 【効果】 焼結助剤を用いなくても、常圧、１８００℃
程度で焼結可能な窒化アルミニウム粉末の供給を可能と
した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒で凝集粒が少なく、
成形性、安定性に優れ、かつ無助剤で常圧焼結可能な窒
化アルミニウム（以下、ＡｌＮと称する場合がある）粉
末およびその製造方法に関する。
成形性、安定性に優れ、かつ無助剤で常圧焼結可能な窒
化アルミニウム（以下、ＡｌＮと称する場合がある）粉
末およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】窒化アルミニウムは熱伝導性が良く、放
熱性に優れているため、一般的にＩＣパッケージや基板
材料として使用されている。また、窒化アルミニウムは
高温機械特性が良く、溶融金属との濡れ性が悪いため、
高温部材、あるいは坩堝材としてもその使用が期待され
ている。しかしながら、ＡｌＮ粉末は、焼結性があまり
良くないため、通常、常圧で焼結する場合には焼結助剤
を添加するか、無助剤の場合にはホットプレスにより焼
結されている。
熱性に優れているため、一般的にＩＣパッケージや基板
材料として使用されている。また、窒化アルミニウムは
高温機械特性が良く、溶融金属との濡れ性が悪いため、
高温部材、あるいは坩堝材としてもその使用が期待され
ている。しかしながら、ＡｌＮ粉末は、焼結性があまり
良くないため、通常、常圧で焼結する場合には焼結助剤
を添加するか、無助剤の場合にはホットプレスにより焼
結されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】成形に際し、焼結助剤
を添加する場合には半導体用の坩堝であるとか、その他
高純度を必要とする用途には使用できない。またホット
プレスを採用する場合には、大きく複雑な形状のものが
でき難く、製造コストが高くなる。また焼結性に優れた
粉末を得るためには粒子が小さい方がよいということは
セラミック原料粉末一般に言えることではあるが、Ａｌ
Ｎ粉末の場合粒子径が小さくなると、表面が活性になり
空気中の水分等と反応しやすく著しく安定性に欠ける等
種々の問題が生じる。
を添加する場合には半導体用の坩堝であるとか、その他
高純度を必要とする用途には使用できない。またホット
プレスを採用する場合には、大きく複雑な形状のものが
でき難く、製造コストが高くなる。また焼結性に優れた
粉末を得るためには粒子が小さい方がよいということは
セラミック原料粉末一般に言えることではあるが、Ａｌ
Ｎ粉末の場合粒子径が小さくなると、表面が活性になり
空気中の水分等と反応しやすく著しく安定性に欠ける等
種々の問題が生じる。
【０００４】本発明はこれらの欠点を解決し、常圧でし
かも通常の助剤添加による焼成条件で、助剤を添加する
ことなく焼成しても、成形性、焼結性ともに優れた窒化
アルミニウム粉末およびその製法を提供することにあ
る。
かも通常の助剤添加による焼成条件で、助剤を添加する
ことなく焼成しても、成形性、焼結性ともに優れた窒化
アルミニウム粉末およびその製法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる事情に鑑み、本発
明者らは成形性、安定性に優れ、常圧焼結可能な窒化ア
ルミニウム粉末について検討を行った結果、平均粒径、
粒径範囲、酸素含有量、ＢＥＴ比表面積を特定範囲に調
整する場合には上記条件を満足するＡｌＮ粉末が得られ
ることを見いだし、本発明を完成するに至った。
明者らは成形性、安定性に優れ、常圧焼結可能な窒化ア
ルミニウム粉末について検討を行った結果、平均粒径、
粒径範囲、酸素含有量、ＢＥＴ比表面積を特定範囲に調
整する場合には上記条件を満足するＡｌＮ粉末が得られ
ることを見いだし、本発明を完成するに至った。
【０００６】すなわち、本発明は平均粒子径０．５〜１
μｍ、１．５μｍ以上の粗粒の割合が１５％以下、０．
４μｍ以下の微粒の割合が１５％以下、ＢＥＴ比表面積
４〜８ｍ2 ／ｇで、かつ酸素含有量が１．５％〜３．０
％であることを特徴とする窒化アルミニウム粉末を提供
するにある。
μｍ、１．５μｍ以上の粗粒の割合が１５％以下、０．
４μｍ以下の微粒の割合が１５％以下、ＢＥＴ比表面積
４〜８ｍ2 ／ｇで、かつ酸素含有量が１．５％〜３．０
％であることを特徴とする窒化アルミニウム粉末を提供
するにある。
【０００７】さらに本発明は、平均粒子径０．１５μｍ
〜０．５μｍのアルミナ粉末とカーボン粉末を混合し、
窒素雰囲気下１４００℃〜１７００℃で窒化し、ついで
該窒化後の粉末を５〜３０重量％のカーボン存在下に粉
砕した後、余剰のカーボンを燃焼除去することを特徴と
する窒化アルミニウム粉末の製造方法を提供するにあ
る。
〜０．５μｍのアルミナ粉末とカーボン粉末を混合し、
窒素雰囲気下１４００℃〜１７００℃で窒化し、ついで
該窒化後の粉末を５〜３０重量％のカーボン存在下に粉
砕した後、余剰のカーボンを燃焼除去することを特徴と
する窒化アルミニウム粉末の製造方法を提供するにあ
る。
【０００８】以下本発明を更に詳細に説明する。本発明
のＡｌＮ粉末の平均粒子径の範囲は０．５μｍ〜１μｍ
である。粒子径が１μｍを越えると焼結助剤なしでは、
通常の焼結助剤を添加した焼結体の焼結温度である約１
８００℃付近で焼結が進まないので好ましくない。他方
平均粒子径が０．５μｍ未満になると成形密度が下がり
成形性が悪くなるので好ましくない。
のＡｌＮ粉末の平均粒子径の範囲は０．５μｍ〜１μｍ
である。粒子径が１μｍを越えると焼結助剤なしでは、
通常の焼結助剤を添加した焼結体の焼結温度である約１
８００℃付近で焼結が進まないので好ましくない。他方
平均粒子径が０．５μｍ未満になると成形密度が下がり
成形性が悪くなるので好ましくない。
【０００９】１．５μｍ以上の粗粒の割合は１５％以
下、好ましくは１０％以下である。粗粒の割合が増える
と焼結が阻害され易く好ましくない。また０．４μｍ以
下の微粒の割合は１５％以下、好ましくは１０％以下で
ある。微粒の割合が増加すると空気中の水分と反応し経
時変化しやすく安定性に欠け、物性のバラつきが生ずる
ので好ましくない。
下、好ましくは１０％以下である。粗粒の割合が増える
と焼結が阻害され易く好ましくない。また０．４μｍ以
下の微粒の割合は１５％以下、好ましくは１０％以下で
ある。微粒の割合が増加すると空気中の水分と反応し経
時変化しやすく安定性に欠け、物性のバラつきが生ずる
ので好ましくない。
【００１０】酸素含有量は１．５％から３．０％の範囲
で、好ましくは１．５％から２．５％の範囲である。
１．５％未満の場合には焼結が進みにくく、３．０％を
越えると熱伝導度等の物性が著しく悪くなるので好まし
くない。
で、好ましくは１．５％から２．５％の範囲である。
１．５％未満の場合には焼結が進みにくく、３．０％を
越えると熱伝導度等の物性が著しく悪くなるので好まし
くない。
【００１１】比表面積は４ｍ2 ／ｇから８ｍ2 ／ｇで、
好ましくは４．５から７ｍ2 ／ｇである。４ｍ2 ／ｇ未
満では焼結が進まず、８ｍ2 ／ｇを越えると空気中の水
分と反応するなど安定性が悪くなるので好ましくない。
好ましくは４．５から７ｍ2 ／ｇである。４ｍ2 ／ｇ未
満では焼結が進まず、８ｍ2 ／ｇを越えると空気中の水
分と反応するなど安定性が悪くなるので好ましくない。
【００１２】以下に本発明の窒化アルミニウム粉末の製
造方法について説明する。本発明はまず還元窒化法によ
りアルミナ粉末とカーボン粉末の混合粉末を窒素を含む
雰囲気中、１４００〜１７００℃で２〜１０時間反応さ
せて窒化アルミニウム粉末を合成する。
造方法について説明する。本発明はまず還元窒化法によ
りアルミナ粉末とカーボン粉末の混合粉末を窒素を含む
雰囲気中、１４００〜１７００℃で２〜１０時間反応さ
せて窒化アルミニウム粉末を合成する。
【００１３】本発明に使用するアルミナ粉末は平均粒子
径０．１５μ以上〜０．５μ以下で、好ましくは０．２
μ以上０．４μ以下である。０．１５μ未満の場合には
窒化後の粒径が０．５μ未満となる傾向にあり、また
０．４μ以下の微粒の割合が１５％以上となる傾向とな
るため好ましくない。他方、アルミナの平均粒径が０．
５μを越える場合には得られるＡｌＮ粉末の粗粒が多く
なり焼結が阻害されやすくなるので好ましくない。
径０．１５μ以上〜０．５μ以下で、好ましくは０．２
μ以上０．４μ以下である。０．１５μ未満の場合には
窒化後の粒径が０．５μ未満となる傾向にあり、また
０．４μ以下の微粒の割合が１５％以上となる傾向とな
るため好ましくない。他方、アルミナの平均粒径が０．
５μを越える場合には得られるＡｌＮ粉末の粗粒が多く
なり焼結が阻害されやすくなるので好ましくない。
【００１４】原料カーボン粉末はできるだけ高純度で微
粉のものを用いることが好ましい。より好ましくは一次
粒子径が１μ以下、灰分が０．３重量％以下の粉末が使
用される。このようなカーボン粉末としてはアセチレン
ブラック、チャンネルブラック、ファーネスブラック等
が挙げられる。この中でもより高純度という点でアセチ
レンブラックが好ましい。
粉のものを用いることが好ましい。より好ましくは一次
粒子径が１μ以下、灰分が０．３重量％以下の粉末が使
用される。このようなカーボン粉末としてはアセチレン
ブラック、チャンネルブラック、ファーネスブラック等
が挙げられる。この中でもより高純度という点でアセチ
レンブラックが好ましい。
【００１５】また取扱いの点から分散が容易であれば、
０．３〜１．５ｍｍに造粒した粒状のものや、プレス圧
縮した粉状のものを用いるのが有利である。アルミナ粉
末とカーボン粉末を混合分散する方法としては公知の方
法であればよく、特に制限されないが例えばボールミ
ル、パーチカルグラニュレーター等の各種混合機を用い
ることができる。
０．３〜１．５ｍｍに造粒した粒状のものや、プレス圧
縮した粉状のものを用いるのが有利である。アルミナ粉
末とカーボン粉末を混合分散する方法としては公知の方
法であればよく、特に制限されないが例えばボールミ
ル、パーチカルグラニュレーター等の各種混合機を用い
ることができる。
【００１６】混合物の乾燥方法としては通常の工業的方
法を用いることができるが、混合時のスラリー粘度が低
く乾燥時にアルミナ粉末とカーボン粉末の分離が生じる
おそれのある時は、スプレードライ、凍結乾燥、ロータ
リーエバポレータ等の方法を用いるのが好ましい。
法を用いることができるが、混合時のスラリー粘度が低
く乾燥時にアルミナ粉末とカーボン粉末の分離が生じる
おそれのある時は、スプレードライ、凍結乾燥、ロータ
リーエバポレータ等の方法を用いるのが好ましい。
【００１７】乾燥物は次いで窒素雰囲気下１４００℃〜
１７００℃で窒化する。窒化は通常の方法で完全に窒化
するまで行う。還元窒化反応を完結しやすくするため、
通常アルミナ粉末に対し反応当量以上のカーボン粉末が
用いられる。アルミナ粉末とカーボン粉末の混合比率は
カーボン／アルミナのモル比で３．５〜５．０の範囲が
好ましい。該モル比が３未満のときは未反応のアルミナ
が残存し、他方多過ぎる場合にはカーボンの除去費用が
嵩み経済的でなくなる。
１７００℃で窒化する。窒化は通常の方法で完全に窒化
するまで行う。還元窒化反応を完結しやすくするため、
通常アルミナ粉末に対し反応当量以上のカーボン粉末が
用いられる。アルミナ粉末とカーボン粉末の混合比率は
カーボン／アルミナのモル比で３．５〜５．０の範囲が
好ましい。該モル比が３未満のときは未反応のアルミナ
が残存し、他方多過ぎる場合にはカーボンの除去費用が
嵩み経済的でなくなる。
【００１８】還元窒化反応は窒化後の粉末中に５％〜３
０重量％のカーボンが存在している状態、好ましくは１
０％〜２０％重量％存在している状態で反応をやめ、該
混合物を粉砕する。混合物中の残留カーボンがこの範囲
にあれば問題ないが範囲外であれば粉末中に存在するカ
ーボンの割合が５％〜３０重量％になるよう焼成或いは
外部添加によりカーボン量の調整を行った後粉砕する。
０重量％のカーボンが存在している状態、好ましくは１
０％〜２０％重量％存在している状態で反応をやめ、該
混合物を粉砕する。混合物中の残留カーボンがこの範囲
にあれば問題ないが範囲外であれば粉末中に存在するカ
ーボンの割合が５％〜３０重量％になるよう焼成或いは
外部添加によりカーボン量の調整を行った後粉砕する。
【００１９】カーボンの量が上記範囲の場合には得られ
る窒化アルミニウム粉末は０．５μ未満の微粒子の発生
を防ぎ、また再凝集による粗粒子の発生を防ぐ効果を有
する。粉砕に使用する機器はボールミル、振動ミル等公
知のものが使用される。また粉砕条件は使用する機器に
より異なるが、混合粉末中の窒化アルミニウムの平均粒
子径が０．５μｍ〜１μｍで１．５μｍ以上の粗粒の割
合が１５％以下になるよう予備実験でその条件を確認し
選定すればよい。粉砕後の混合物はついで６００℃〜９
００℃で空気中でカーボンを燃焼することにより目的の
窒化アルミニウム粉末を得ることができる。
る窒化アルミニウム粉末は０．５μ未満の微粒子の発生
を防ぎ、また再凝集による粗粒子の発生を防ぐ効果を有
する。粉砕に使用する機器はボールミル、振動ミル等公
知のものが使用される。また粉砕条件は使用する機器に
より異なるが、混合粉末中の窒化アルミニウムの平均粒
子径が０．５μｍ〜１μｍで１．５μｍ以上の粗粒の割
合が１５％以下になるよう予備実験でその条件を確認し
選定すればよい。粉砕後の混合物はついで６００℃〜９
００℃で空気中でカーボンを燃焼することにより目的の
窒化アルミニウム粉末を得ることができる。
【００２０】
【実施例】以下実施例により本発明の内容を具体的に説
明するが、本発明は下記実施例により制限されるもので
はない。なお、粉末の特性は以下の装置及び方法により
測定した。
明するが、本発明は下記実施例により制限されるもので
はない。なお、粉末の特性は以下の装置及び方法により
測定した。
【００２１】(1) 平均粒子径および粒径０．５μ未満の
割合： マイクロメトリックス社製、セディグラフ Ｅ
５０００
割合： マイクロメトリックス社製、セディグラフ Ｅ
５０００
【００２２】(2) ＢＥＴ比表面積
マイクロメトリックス社製、ＢＥＴ比表面積測定装置
マイクロソーブII ２３００
【００２３】(3) 酸素量
株式会社堀場製作所製、セラミックス中酸素窒素分析装
置ＥＭＧＡ−２８００
置ＥＭＧＡ−２８００
【００２４】(4) 成形密度
直径２０ｍｍ用の一軸成形金型を使用し、窒化アルミニ
ウム粉末３ｇをバインダー等の添加無しで１０００ｋｇ
／ｃｍ2 の圧力を加えてペレット状に成形し、寸法と重
さから密度を算出した。
ウム粉末３ｇをバインダー等の添加無しで１０００ｋｇ
／ｃｍ2 の圧力を加えてペレット状に成形し、寸法と重
さから密度を算出した。
【００２５】(5) 安定性
湿度８０％の空気中に暴露し、１ヶ月後の酸素含有量の
増加率％で評価した。 （１ヶ月後の酸素含有量−現在の酸素含有量）／現在の
酸素含有量×１００
増加率％で評価した。 （１ヶ月後の酸素含有量−現在の酸素含有量）／現在の
酸素含有量×１００
【００２６】(6) 熱伝導度
レーザーフラッシュ法にて測定した。
【００２７】（実施例１）水２０００ｇに第一工業製薬
株式会社のノイゲンＥＡ−１３７を８．３ｇ、硝酸アル
ミニウムを１２．５ｇ（無水物換算）、ポリエチレング
リコール＃１０００を２９．４ｇ溶解させ、平均粒子径
が０．２５μで１μ以上の粗粒割合が実質的に零の高純
度アルミナ粉末２０００ｇを加えて３０分間の超音波処
理により分散させた。このようにして得られたアルミナ
スラリーとカーボン粉末９４１ｇを混合造粒機を使用し
て約２０分間混合し、生成した該混合物を１２０℃で１
５時間乾燥させて窒化反応用原料を得た。該窒化反応用
原料４００ｇをグラファイト製のトレー上に厚さ１５ｍ
ｍとなるように仕込み、窒素気流中１５５０℃にて８時
間焼成し窒化反応を行った。窒化反応後の残留炭素量は
１２．５％であった。
株式会社のノイゲンＥＡ−１３７を８．３ｇ、硝酸アル
ミニウムを１２．５ｇ（無水物換算）、ポリエチレング
リコール＃１０００を２９．４ｇ溶解させ、平均粒子径
が０．２５μで１μ以上の粗粒割合が実質的に零の高純
度アルミナ粉末２０００ｇを加えて３０分間の超音波処
理により分散させた。このようにして得られたアルミナ
スラリーとカーボン粉末９４１ｇを混合造粒機を使用し
て約２０分間混合し、生成した該混合物を１２０℃で１
５時間乾燥させて窒化反応用原料を得た。該窒化反応用
原料４００ｇをグラファイト製のトレー上に厚さ１５ｍ
ｍとなるように仕込み、窒素気流中１５５０℃にて８時
間焼成し窒化反応を行った。窒化反応後の残留炭素量は
１２．５％であった。
【００２８】この粉末１００ｇを１リットルの容積のボ
ールミルに充填し、径１５ｍｍのアルミナボール１ｋｇ
を入れ、約６時間粉砕した。次いでこの処理粉末を空気
中で７００℃にて２時間焼成し、カーボンを除去した。
得られた窒化アルミニウム粉末の物性を表１に示す。
ールミルに充填し、径１５ｍｍのアルミナボール１ｋｇ
を入れ、約６時間粉砕した。次いでこの処理粉末を空気
中で７００℃にて２時間焼成し、カーボンを除去した。
得られた窒化アルミニウム粉末の物性を表１に示す。
【００２９】このようにして得られた粉末２０ｇを、ｎ
−ブタノール４０ｇに分散剤として第一工業製薬株式会
社製セラモＤ−１８を０．１０ｇ、バインダーとしてア
クリル樹脂を０．２０ｇ溶解したものと同時に２５０ｍ
ｌポリエチレン製広口瓶に供給し、直径１５ｍｍの鉄芯
入りプラスチックボール４０個を使用してボールミル混
合を４時間行った後、乾燥させた。
−ブタノール４０ｇに分散剤として第一工業製薬株式会
社製セラモＤ−１８を０．１０ｇ、バインダーとしてア
クリル樹脂を０．２０ｇ溶解したものと同時に２５０ｍ
ｌポリエチレン製広口瓶に供給し、直径１５ｍｍの鉄芯
入りプラスチックボール４０個を使用してボールミル混
合を４時間行った後、乾燥させた。
【００３０】該乾燥後の混合物を金型を使用して３００
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で直径１３ｍｍ、厚さ１０ｍｍのペ
レット状にプレス成形し、さらにラバープレスにより１
５００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形を行い成形体を作製し
た。得られた成形体の成形密度を表２に示す。次いで該
成形体を窒素雰囲気中カーボン製の二重容器中で、１８
００℃で５時間保持して常圧焼結を行った。得られた焼
結体の物性を表２に示す。
ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で直径１３ｍｍ、厚さ１０ｍｍのペ
レット状にプレス成形し、さらにラバープレスにより１
５００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で成形を行い成形体を作製し
た。得られた成形体の成形密度を表２に示す。次いで該
成形体を窒素雰囲気中カーボン製の二重容器中で、１８
００℃で５時間保持して常圧焼結を行った。得られた焼
結体の物性を表２に示す。
【００３１】（比較例１）実施例１と同様の原料、方法
で混合し、同様の方法で窒化した。次いでこの粉末を粉
砕処理することなく、空気中で７００℃にて２時間焼成
し、カーボンを除去した。得られた窒化アルミニウム粉
末の物性を表１に示す。また実施例１と同様の方法で焼
結したときの物性を表２に示す。
で混合し、同様の方法で窒化した。次いでこの粉末を粉
砕処理することなく、空気中で７００℃にて２時間焼成
し、カーボンを除去した。得られた窒化アルミニウム粉
末の物性を表１に示す。また実施例１と同様の方法で焼
結したときの物性を表２に示す。
【００３２】（比較例２）実施例１で得られた窒化アル
ミニウム粉末１００ｇを更に１リットルの容積のボール
ミルに充填し、径１５ｍｍのアルミナボール１ｋｇを入
れ、約６時間粉砕した。得られた窒化アルミニウム粉末
の物性を表１に示す。また実施例１と同様の方法で焼結
したときの物性を表２に示す。
ミニウム粉末１００ｇを更に１リットルの容積のボール
ミルに充填し、径１５ｍｍのアルミナボール１ｋｇを入
れ、約６時間粉砕した。得られた窒化アルミニウム粉末
の物性を表１に示す。また実施例１と同様の方法で焼結
したときの物性を表２に示す。
【００３３】（比較例３）原料アルミナとして平均粒子
径が０．６μのアルミナを使用した他は実施例１と全く
同様の方法で粉末を合成し、同様の方法で焼結した。得
られた結果を表１及び表２に示す。
径が０．６μのアルミナを使用した他は実施例１と全く
同様の方法で粉末を合成し、同様の方法で焼結した。得
られた結果を表１及び表２に示す。
【００３４】
【表１】
【００３５】
【表２】
【００３６】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば微粒で凝集
粒が少なく、成形性、安定性に優れ、かつ無助剤で常圧
焼結が可能な窒化アルミニウム粉末の供給を可能ならし
めるもので、その工業的価値は頗る大である。
粒が少なく、成形性、安定性に優れ、かつ無助剤で常圧
焼結が可能な窒化アルミニウム粉末の供給を可能ならし
めるもので、その工業的価値は頗る大である。
Claims (2)
- 【請求項１】 平均粒子径０．５〜１μｍ、１．５μｍ
以上の粗粒の割合が１５％以下、０．４μｍ以下の微粒
の割合が１５％以下、ＢＥＴ比表面積４〜８ｍ2 ／ｇ
で、かつ酸素含有量が１．５％〜３．０％であることを
特徴とする窒化アルミニウム粉末。 - 【請求項２】 平均粒子径０．１５μｍ〜０．５μｍの
アルミナ粉末とカーボン粉末を混合し、窒素雰囲気下１
４００℃〜１７００℃で窒化し、ついで該窒化後の粉末
を５〜３０重量％のカーボン存在下に粉砕した後、余剰
のカーボンを燃焼除去することを特徴とする窒化アルミ
ニウム粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17030591A JPH0517109A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17030591A JPH0517109A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0517109A true JPH0517109A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15902511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17030591A Pending JPH0517109A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517109A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021161883A1 (ja) | 2020-02-10 | 2021-08-19 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末および製造方法 |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP17030591A patent/JPH0517109A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021161883A1 (ja) | 2020-02-10 | 2021-08-19 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末および製造方法 |
| KR20220138379A (ko) | 2020-02-10 | 2022-10-12 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 질화알루미늄 분말 및 제조 방법 |
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