JPH05133798A - レーザパワー測定装置 - Google Patents
レーザパワー測定装置Info
- Publication number
- JPH05133798A JPH05133798A JP3294706A JP29470691A JPH05133798A JP H05133798 A JPH05133798 A JP H05133798A JP 3294706 A JP3294706 A JP 3294706A JP 29470691 A JP29470691 A JP 29470691A JP H05133798 A JPH05133798 A JP H05133798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- laser
- laser beam
- output
- photo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】実際に出射されるレーザ光のパワーを正確、簡
単に求める。 【構成】レーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光
学部品、とくに出射対物レンズでの反射光を受ける光セ
ンサと；この光センサの出力から、予め検定された光セ
ンサ出力−出射レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ
光のパワーを求める演算器と；を備える。
単に求める。 【構成】レーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光
学部品、とくに出射対物レンズでの反射光を受ける光セ
ンサと；この光センサの出力から、予め検定された光セ
ンサ出力−出射レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ
光のパワーを求める演算器と；を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、実際に出射されるレ
ーザ光のパワーを正確、簡単に求めることができるレー
ザパワー測定装置に関する。
ーザ光のパワーを正確、簡単に求めることができるレー
ザパワー測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、その構成図である図３
を参照しながら説明する。図３において、レーザ発振器
８から出射されるレーザ光が、光ガイドとしての光ケー
ブル２で導かれた後に、ハーフミラー15をへて出射（対
物）レンズで集光されてワーク９を照射する。ここで、
ワーク９はハンダ付け部分をもち、レーザ光の照射熱に
よってハンダが溶かされ導通接合される。さて、レーザ
発振器１は主として、距離を隔てて対向配置される２個
の反射ミラー11,12 と、これらの中間に設置されるレー
ザ媒体であるＹＡＧレーザロッド13とからなる。なお、
反射ミラー11は全反射形、反射ミラー12は半透過形であ
る。
を参照しながら説明する。図３において、レーザ発振器
８から出射されるレーザ光が、光ガイドとしての光ケー
ブル２で導かれた後に、ハーフミラー15をへて出射（対
物）レンズで集光されてワーク９を照射する。ここで、
ワーク９はハンダ付け部分をもち、レーザ光の照射熱に
よってハンダが溶かされ導通接合される。さて、レーザ
発振器１は主として、距離を隔てて対向配置される２個
の反射ミラー11,12 と、これらの中間に設置されるレー
ザ媒体であるＹＡＧレーザロッド13とからなる。なお、
反射ミラー11は全反射形、反射ミラー12は半透過形であ
る。
【０００３】このようなレーザ・ハンダ付け装置におい
て、出射レーザ光のパワー( 以下、レーザパワーとい
う) を適正値に維持することは、ハンダ付けの成否をき
める重要な因子であり、そのための測定が必要になる。
レーザパワーは、パワーモニタによって測定される。通
常、パワーモニタは、図３における３箇所のいずれかに
設置される。すなわち、第１のパワーモニタ10は、反射
ミラー11の背後に設置されて、その中心孔を通過したわ
ずかなレーザ光を受ける。第２のパワーモニタ20は、反
射ミラー12と光ケーブル２の入口との中間に設置される
ハーフミラー14によって部分的に反射, 分岐されたレー
ザ光を受ける。第３のパワーモニタ30は、光ケーブル２
の出口と出射レンズ16との中間に設置されるハーフミラ
ー15によって部分的に反射, 分岐されたレーザ光を受け
る。
て、出射レーザ光のパワー( 以下、レーザパワーとい
う) を適正値に維持することは、ハンダ付けの成否をき
める重要な因子であり、そのための測定が必要になる。
レーザパワーは、パワーモニタによって測定される。通
常、パワーモニタは、図３における３箇所のいずれかに
設置される。すなわち、第１のパワーモニタ10は、反射
ミラー11の背後に設置されて、その中心孔を通過したわ
ずかなレーザ光を受ける。第２のパワーモニタ20は、反
射ミラー12と光ケーブル２の入口との中間に設置される
ハーフミラー14によって部分的に反射, 分岐されたレー
ザ光を受ける。第３のパワーモニタ30は、光ケーブル２
の出口と出射レンズ16との中間に設置されるハーフミラ
ー15によって部分的に反射, 分岐されたレーザ光を受け
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来例では次のような
欠点がある。すなわち、第１のパワーモニタ10は、そこ
で測定されるレーザパワーの値が実際にワーク９に照射
されるパワー値と差異がある。第３のパワーモニタ30
は、レーザ光を部分的に反射，分岐させるのにハーフミ
ラー15を用いるため、その厚さに応じた光軸偏位やパワ
ー損失を招き、結果的に適正なハンダ付け条件を阻害
し、さらにコスト増をもたらす。第２のパワーモニタ20
は、第１のパワーモニタ10と、第３のパワーモニタ30と
の欠点をともにもつことになる。
欠点がある。すなわち、第１のパワーモニタ10は、そこ
で測定されるレーザパワーの値が実際にワーク９に照射
されるパワー値と差異がある。第３のパワーモニタ30
は、レーザ光を部分的に反射，分岐させるのにハーフミ
ラー15を用いるため、その厚さに応じた光軸偏位やパワ
ー損失を招き、結果的に適正なハンダ付け条件を阻害
し、さらにコスト増をもたらす。第２のパワーモニタ20
は、第１のパワーモニタ10と、第３のパワーモニタ30と
の欠点をともにもつことになる。
【０００５】この発明の課題は、従来の技術がもつ以上
の問題点を解消し、実際に出射されるレーザ光のパワー
を正確、簡単に求めることができるレーザパワー測定装
置を提供することにある。
の問題点を解消し、実際に出射されるレーザ光のパワー
を正確、簡単に求めることができるレーザパワー測定装
置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係るレーザパ
ワー測定装置は、レーザ光の、出射ヘッドにおけるいず
れかの光学部品での反射光を受ける光センサと；この光
センサの出力から、予め検定された光センサ出力−出射
レーザ光パワー特性に基づいて、前記レーザ光のパワー
を求める演算器と；を備える。
ワー測定装置は、レーザ光の、出射ヘッドにおけるいず
れかの光学部品での反射光を受ける光センサと；この光
センサの出力から、予め検定された光センサ出力−出射
レーザ光パワー特性に基づいて、前記レーザ光のパワー
を求める演算器と；を備える。
【０００７】請求項２に係るレーザパワー測定装置は、
請求項１に記載の装置において、光センサの受ける反射
光が、出射対物レンズからのものである。
請求項１に記載の装置において、光センサの受ける反射
光が、出射対物レンズからのものである。
【０００８】
【作用】請求項１に係るレーザパワー測定装置では、レ
ーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光学部品、た
とえば請求項２におけるように、出射対物レンズでの反
射光が光センサに入射し、その光センサの出力が演算器
に入力され、そこで予め検定された光センサ出力−出射
レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ光のパワーが求
められる。
ーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光学部品、た
とえば請求項２におけるように、出射対物レンズでの反
射光が光センサに入射し、その光センサの出力が演算器
に入力され、そこで予め検定された光センサ出力−出射
レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ光のパワーが求
められる。
【０００９】
【実施例】この発明に係るレーザパワー測定装置の実施
例について、以下に図１，図２を参照しながら説明す
る。図１は実施例の構成を示す斜視図、図２は実施例の
要部の断面図である。図１において、レーザ発振器１か
ら出射されたレーザ光は、光ケーブル２によって導かれ
た後に、出射ヘッド３で絞り込みされてワーク９に照射
される。詳しくは後述するが、出射ヘッド３には、光セ
ンサ６が設けられ、その出力が演算器７に入力され、こ
こで演算された結果がレーザパワーを表す信号として出
力される。なお、レーザ発振器１には、図３のレーザ発
信器８においてハーフミラー14と各パワーモニタ10,20
とがなく、反射ミラー11の中心部の通過孔がない。
例について、以下に図１，図２を参照しながら説明す
る。図１は実施例の構成を示す斜視図、図２は実施例の
要部の断面図である。図１において、レーザ発振器１か
ら出射されたレーザ光は、光ケーブル２によって導かれ
た後に、出射ヘッド３で絞り込みされてワーク９に照射
される。詳しくは後述するが、出射ヘッド３には、光セ
ンサ６が設けられ、その出力が演算器７に入力され、こ
こで演算された結果がレーザパワーを表す信号として出
力される。なお、レーザ発振器１には、図３のレーザ発
信器８においてハーフミラー14と各パワーモニタ10,20
とがなく、反射ミラー11の中心部の通過孔がない。
【００１０】図２において、出射ヘッド３は主として、
筒体４と、出射（対物）レンズ５とからなり、筒体４の
上部に光センサ６が設置される。この光センサ６は、光
ケーブル２から投光されるレーザ光の、出射レンズ５の
上面での反射光を受光し、その光強度に応じた信号を出
力する。演算器７は、光センサ６の出力から、予め検定
された光センサ出力−出射レーザパワー特性に基づい
て、レーザ光のパワーを求める。すなわち、出射レンズ
５でのレーザ反射光の強度と、そのレーザ光のパワーと
の関係（特性）を予め検定しておき、実際の光センサ出
力から、それに対応する出射レーザパワーを求めるわけ
である。その意味では、演算器７は、光センサ出力をレ
ーザパワーに変換または換算する変換器または換算器と
言える。
筒体４と、出射（対物）レンズ５とからなり、筒体４の
上部に光センサ６が設置される。この光センサ６は、光
ケーブル２から投光されるレーザ光の、出射レンズ５の
上面での反射光を受光し、その光強度に応じた信号を出
力する。演算器７は、光センサ６の出力から、予め検定
された光センサ出力−出射レーザパワー特性に基づい
て、レーザ光のパワーを求める。すなわち、出射レンズ
５でのレーザ反射光の強度と、そのレーザ光のパワーと
の関係（特性）を予め検定しておき、実際の光センサ出
力から、それに対応する出射レーザパワーを求めるわけ
である。その意味では、演算器７は、光センサ出力をレ
ーザパワーに変換または換算する変換器または換算器と
言える。
【００１１】ところで、設計上の留意事項について述べ
ると、第１に、出射レンズ５でのレーザ反射光の強度
と、その出射レーザ光のパワーとの関係は、できるだけ
直線性であるのが望ましいから、その直線性が維持され
るように、測定範囲での反射光の強度を適宜、抑制する
フィルタを光センサ６の前に設置する。第２に、実施例
における出射ヘッド３には、光学部品として出射レンズ
５だけが設けられるが、一般には複数の光学レンズが組
合わされて設置される。したがって、一般的に、光学レ
ンズの内で、反射光が取り出しやすいレンズが選ばれる
ことになる。当然ながら、図２における出射レンズ５か
ら反射光を取り出すのが、実際に出射されるレーザパワ
ーを正確に測定することになり望ましい。
ると、第１に、出射レンズ５でのレーザ反射光の強度
と、その出射レーザ光のパワーとの関係は、できるだけ
直線性であるのが望ましいから、その直線性が維持され
るように、測定範囲での反射光の強度を適宜、抑制する
フィルタを光センサ６の前に設置する。第２に、実施例
における出射ヘッド３には、光学部品として出射レンズ
５だけが設けられるが、一般には複数の光学レンズが組
合わされて設置される。したがって、一般的に、光学レ
ンズの内で、反射光が取り出しやすいレンズが選ばれる
ことになる。当然ながら、図２における出射レンズ５か
ら反射光を取り出すのが、実際に出射されるレーザパワ
ーを正確に測定することになり望ましい。
【００１２】
【発明の効果】請求項１に係るレーザパワー測定装置で
は、レーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光学部
品、たとえば請求項２におけるように、出射対物レンズ
での反射光が光センサに入射し、その光センサの出力が
演算器に入力され、そこで予め検定された光センサ出力
−出射レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ光のパワ
ーが求められる。
は、レーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれかの光学部
品、たとえば請求項２におけるように、出射対物レンズ
での反射光が光センサに入射し、その光センサの出力が
演算器に入力され、そこで予め検定された光センサ出力
−出射レーザ光パワー特性に基づいて、レーザ光のパワ
ーが求められる。
【００１３】したがって、実際に出射されるレーザ光の
パワーが、正確かつ簡単に、本来のレーザ光の光軸
偏位やパワーの損失を来すことなく、言いかえれば加工
条件を阻害することなく測定でき、省スペースとコス
ト低減が図れる──という効果がある。とくに請求項２
に係るレーザパワー測定装置では、「実際に出射される
レーザ光のパワーを正確に」という点がさらに支援され
る。
パワーが、正確かつ簡単に、本来のレーザ光の光軸
偏位やパワーの損失を来すことなく、言いかえれば加工
条件を阻害することなく測定でき、省スペースとコス
ト低減が図れる──という効果がある。とくに請求項２
に係るレーザパワー測定装置では、「実際に出射される
レーザ光のパワーを正確に」という点がさらに支援され
る。
【図１】本発明に係る実施例の構成を示す斜視図
【図２】実施例の要部の断面図
【図３】従来例の構成図
１ レーザ発振器 ２ 光ケーブル ３ 出射ヘッド ４ 筒体 ５ 出射レンズ ６ 光センサ ７ 演算器 ９ ワーク
Claims (2)
- 【請求項１】レーザ光の、出射ヘッドにおけるいずれか
の光学部品での反射光を受ける光センサと；この光セン
サの出力から、予め検定された光センサ出力−出射レー
ザ光パワー特性に基づいて、前記レーザ光のパワーを求
める演算器と；を備えることを特徴とするレーザパワー
測定装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、光センサ
が受ける反射光は、出射対物レンズからのものである。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3294706A JPH05133798A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | レーザパワー測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3294706A JPH05133798A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | レーザパワー測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133798A true JPH05133798A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17811251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3294706A Pending JPH05133798A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | レーザパワー測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05133798A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010100898A1 (ja) | 2009-03-04 | 2010-09-10 | 三菱電機株式会社 | レーザ光源装置及び画像表示装置 |
| CN109738064A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-05-10 | 厦门盈趣科技股份有限公司 | 脉冲激光的脉冲功率测量方法 |
| WO2021235195A1 (ja) * | 2020-05-19 | 2021-11-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP3294706A patent/JPH05133798A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010100898A1 (ja) | 2009-03-04 | 2010-09-10 | 三菱電機株式会社 | レーザ光源装置及び画像表示装置 |
| CN109738064A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-05-10 | 厦门盈趣科技股份有限公司 | 脉冲激光的脉冲功率测量方法 |
| WO2021235195A1 (ja) * | 2020-05-19 | 2021-11-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ加工装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2007115154A (ru) | Оптическое измерительное устройство для измерения характеристик нескольких поверхностей объекта измерения | |
| JP3406944B2 (ja) | レンズ測定装置 | |
| NO883924L (no) | Optikk for maaling av krummingsvariasjon. | |
| JPH05133798A (ja) | レーザパワー測定装置 | |
| DE69214340D1 (de) | Elektrooptisches Messgerät | |
| JP3285769B2 (ja) | 屈折率測定方法及びその装置 | |
| JPS61161781A (ja) | レ−ザ−調整装置 | |
| JP2838441B2 (ja) | オプトエレクトロニクス記録装置 | |
| JPS6125011A (ja) | 光学式距離測定装置 | |
| JPH09196630A (ja) | 光学定数測定装置および顕微鏡 | |
| JP3216506B2 (ja) | 測定領域確認機能付き光学特性測定装置 | |
| JPS6015528A (ja) | レ−ザビ−ム特性測定方法 | |
| JPS5887526A (ja) | 内視鏡光源装置 | |
| JPH05302825A (ja) | アライメント方法とその装置 | |
| JP3241991B2 (ja) | 距離計 | |
| JPH1030959A (ja) | 屈折率測定方法及びその装置 | |
| JPS60151507A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0433381B2 (ja) | ||
| JPH0426685B2 (ja) | ||
| JPH0534437A (ja) | レーザ測距装置 | |
| JPS5497469A (en) | Laser speed measuring apparatus | |
| JP3110139B2 (ja) | 光ファイバ温度センサ | |
| JP3325648B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP2828559B2 (ja) | 位置ずれ検出装置 | |
| JPH0476071B2 (ja) |