JPS61161781A - レ−ザ−調整装置 - Google Patents
レ−ザ−調整装置Info
- Publication number
- JPS61161781A JPS61161781A JP60002493A JP249385A JPS61161781A JP S61161781 A JPS61161781 A JP S61161781A JP 60002493 A JP60002493 A JP 60002493A JP 249385 A JP249385 A JP 249385A JP S61161781 A JPS61161781 A JP S61161781A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- luminous flux
- splitting member
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えば眼科治療用ＹＡＧレーザ−・加工用Ｙ
ＡＧレーザ−・Ｃ０２レーザー等の諸種のレーザー装置
において１発射されるレーザー光束の出力の大きさを計
測すると共に、アライメント、フォー宿ス等の調整を可
能としたレーザー調整装置に関するものである。
ＡＧレーザ−・Ｃ０２レーザー等の諸種のレーザー装置
において１発射されるレーザー光束の出力の大きさを計
測すると共に、アライメント、フォー宿ス等の調整を可
能としたレーザー調整装置に関するものである。
［従来の技術］
一般に、赤外レーザｍ−パルスレーザー等の不可視光を
発射するレーザー装置では１例えばＨｅ−Ｈｅレーザー
のような可視光のガイド光源を用いて、予めレーザー作
用点を確認することが必要とされている。このため、レ
ーザー光源とガイド光源との位置関係を精密に調整して
、レーザー作用点を正確に表示させることが要求され、
また発射されるレーザー光束の出力の大きさを予め計測
することも極めて重要である。
発射するレーザー装置では１例えばＨｅ−Ｈｅレーザー
のような可視光のガイド光源を用いて、予めレーザー作
用点を確認することが必要とされている。このため、レ
ーザー光源とガイド光源との位置関係を精密に調整して
、レーザー作用点を正確に表示させることが要求され、
また発射されるレーザー光束の出力の大きさを予め計測
することも極めて重要である。
しかし、従来から実用化されているレーザー装置では、
概ねレーザー出力を単一の受光素子で計測しているだけ
であり、アライメント、フォーカス等を容易にかつ正確
に実施できないという欠点を持っている。
概ねレーザー出力を単一の受光素子で計測しているだけ
であり、アライメント、フォーカス等を容易にかつ正確
に実施できないという欠点を持っている。
［発明の目的］
本発明の目的は、単一の受光素子でレーザー出力を計測
すると共に、アライメント或いはフォーカスを正確に実
施できるようにし、比較的容易な構成で高度の調整機能
を備えたレーザー調整装置を提供することにある。
すると共に、アライメント或いはフォーカスを正確に実
施できるようにし、比較的容易な構成で高度の調整機能
を備えたレーザー調整装置を提供することにある。
［発明の概要〕
上述の目的を達成するための本発明の要旨は、光分割部
材によってガイド光源から出射した光束をレーザー光路
に導いて、レーザー作用点を表示させるレーザー調整装
置において、前記光分割部材に関してレーザー光路に共
役な測定光路内に複数個の要素素子から成る受光素子を
配置し、これら複数個の要素素子の出力関係からレーザ
ー光束の出力の大きさを求めると共に、アライメント又
はフォーカス調整を行うことを特徴とするレーザー調整
装置である。
材によってガイド光源から出射した光束をレーザー光路
に導いて、レーザー作用点を表示させるレーザー調整装
置において、前記光分割部材に関してレーザー光路に共
役な測定光路内に複数個の要素素子から成る受光素子を
配置し、これら複数個の要素素子の出力関係からレーザ
ー光束の出力の大きさを求めると共に、アライメント又
はフォーカス調整を行うことを特徴とするレーザー調整
装置である。
［発明の実施例］
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第１図は本発明を適用した眼科治療用のレーザー装置の
一実施例を示し、ｌは例えばＹＡＧレーザー光束Ｌｌを
発射するレーザー光源であろうこのレーザー光束Ｌ１と
直交する方向にガイド光束Ｌ２を発射し、レーザー光源
ｌとの位置関係が厳密に調整されているガイド光源２が
配置され１両光束Ｌ１． Ｌ２の交叉点には光分割部材
３が配置されている。ガイド光束Ｌ２は例えばＨｓ−Ｎ
ｅレーザー算の可視光から成り、光分割部材３はガイド
光束Ｌ２の一部をレーザー光束Ｌｌのレーザー光路に導
くようになっている。また、レーザー光束Ｌｌの一部も
光分割部材３によりガイド光束Ｌ２の延長上の測定光路
に導かれるようになっている。そして、レーザー光路に
は集光レンズ４が配置され、測定光路には球面レンズ５
、円柱レンズ６、複数側の要素素子から成る受光素子７
が順次に配列されている。
一実施例を示し、ｌは例えばＹＡＧレーザー光束Ｌｌを
発射するレーザー光源であろうこのレーザー光束Ｌ１と
直交する方向にガイド光束Ｌ２を発射し、レーザー光源
ｌとの位置関係が厳密に調整されているガイド光源２が
配置され１両光束Ｌ１． Ｌ２の交叉点には光分割部材
３が配置されている。ガイド光束Ｌ２は例えばＨｓ−Ｎ
ｅレーザー算の可視光から成り、光分割部材３はガイド
光束Ｌ２の一部をレーザー光束Ｌｌのレーザー光路に導
くようになっている。また、レーザー光束Ｌｌの一部も
光分割部材３によりガイド光束Ｌ２の延長上の測定光路
に導かれるようになっている。そして、レーザー光路に
は集光レンズ４が配置され、測定光路には球面レンズ５
、円柱レンズ６、複数側の要素素子から成る受光素子７
が順次に配列されている。
レーザー光源ｌから発射されたレーザー光束Ｌ１は２光
分割部材３を透過し集光レンズ４により作用点Ｓに焦点
を結ぶことになるが、これは目視することができない、
一方、ガイド光源２から出射したガイド光束Ｌ２の一部
は、光分割部材３により反射されてレーザー光路に入り
、同じ作用点Ｓに結像するので、操作者は予め作用点Ｓ
でガイド光束Ｌ２を目視により確認した上で、レーザー
光束Ｌ１を発射させることができる。
分割部材３を透過し集光レンズ４により作用点Ｓに焦点
を結ぶことになるが、これは目視することができない、
一方、ガイド光源２から出射したガイド光束Ｌ２の一部
は、光分割部材３により反射されてレーザー光路に入り
、同じ作用点Ｓに結像するので、操作者は予め作用点Ｓ
でガイド光束Ｌ２を目視により確認した上で、レーザー
光束Ｌ１を発射させることができる。
レーザー光束Ｌｌ及びガイド光束Ｌ２の一部は、光分割
部材３を介してレーザー光路に共役な測定光路の球面レ
ンズ５、円柱レンズ６を介して受光素子７に導かれる。
部材３を介してレーザー光路に共役な測定光路の球面レ
ンズ５、円柱レンズ６を介して受光素子７に導かれる。
測定光路上の光学系の焦点位置は、円柱レンズ６゛の母
線方向とそれに垂直な方向では異なるが、その平均的焦
点位置に受光素子７が配置されている。この複数個の要
素素子から成る受光素子７は、例えば第２図に例示する
ような４個の四分円に分割された要素素子７ａ〜７ｄか
ら構成されている。
線方向とそれに垂直な方向では異なるが、その平均的焦
点位置に受光素子７が配置されている。この複数個の要
素素子から成る受光素子７は、例えば第２図に例示する
ような４個の四分円に分割された要素素子７ａ〜７ｄか
ら構成されている。
平均的焦点位置では、受光素子７上におけるガイド光束
Ｌ２のスポラ）Ｌは第２図（ａ）に示すように真円形で
ある。ここで、レーザー光源ｌ、ガイド光源２が動いて
アライメントが崩れると、受光素子７上においてスポッ
トＬがずれるのでその程度を確認できる。この場合に、
スポラ）Ｌは第２図（ｂ）に示すように中心からずれる
ので、各要素素子７ａ〜７ｄの出力のバランスを見れば
ずれの大きさと方向、つまりアライメントの程度を知る
こともできる。
Ｌ２のスポラ）Ｌは第２図（ａ）に示すように真円形で
ある。ここで、レーザー光源ｌ、ガイド光源２が動いて
アライメントが崩れると、受光素子７上においてスポッ
トＬがずれるのでその程度を確認できる。この場合に、
スポラ）Ｌは第２図（ｂ）に示すように中心からずれる
ので、各要素素子７ａ〜７ｄの出力のバランスを見れば
ずれの大きさと方向、つまりアライメントの程度を知る
こともできる。
また何らかの理由、例えばレーザーキャビティ内の熱作
用等によって焦点が光軸方向にずれた場合には、要素素
子７ａ〜７ｄ上のスポットＬは第２図（ｃ） 、 （ｄ
）に示すように楕円状になるので。
用等によって焦点が光軸方向にずれた場合には、要素素
子７ａ〜７ｄ上のスポットＬは第２図（ｃ） 、 （ｄ
）に示すように楕円状になるので。
フォーカスについても各要素素子７ａ〜７ｄの出力関係
から容易に検知できる。更に、レーザー出力の大きさの
測定については各要素素子７ａ〜７ｄの出力の和として
求められる。
から容易に検知できる。更に、レーザー出力の大きさの
測定については各要素素子７ａ〜７ｄの出力の和として
求められる。
上述の実施例では、光分割部材３をレーザー光路の光束
平行部に配置したが、ガイド光源としてレーザーでない
通常の発散光源を使用する場合は、ビームエキスパンダ
内のような光束発散部に光分割部材３を配設することが
好都合である。この場合も、光学系５，６と蛍光素子７
は、第１図の場合と同様に光分割部材３に間してレーザ
ー光路に共役な位置、即ち第１図における測定光路上に
配設される。
平行部に配置したが、ガイド光源としてレーザーでない
通常の発散光源を使用する場合は、ビームエキスパンダ
内のような光束発散部に光分割部材３を配設することが
好都合である。この場合も、光学系５，６と蛍光素子７
は、第１図の場合と同様に光分割部材３に間してレーザ
ー光路に共役な位置、即ち第１図における測定光路上に
配設される。
！ｓ３図は第２の実施例を示し、第１図と同等の部材は
同一の符号で表示されている。この実施例では、レーザ
ー光束Ｌ１を透過しガイド光束を反射するミラー８がレ
ーザー光源１に取り付けられている。また、ガイド光束
Ｌ２を部分的に反射し、レーザー光束Ｌ１を透過する波
長選択性を有するミラー９が受光素子７の前面に取り付
けられており、その他の構成は第１図の場合と同様であ
る。
同一の符号で表示されている。この実施例では、レーザ
ー光束Ｌ１を透過しガイド光束を反射するミラー８がレ
ーザー光源１に取り付けられている。また、ガイド光束
Ｌ２を部分的に反射し、レーザー光束Ｌ１を透過する波
長選択性を有するミラー９が受光素子７の前面に取り付
けられており、その他の構成は第１図の場合と同様であ
る。
第４図はこの実施例における受光素子７とスポットとの
関係を示している。第３図のガイド光源２から出射した
ガイド光束Ｌ２は、光分割部材３で一部が反射してミラ
ー９に至り、その中の一部はミラー９を透過して第４図
に示すスポラ） Ｌ２’となり、残りの光束はミラー９
で反射してミラー８に戻り、更にミラー８で反射された
一部が受光素子７上でスポットＬ２”となる。
関係を示している。第３図のガイド光源２から出射した
ガイド光束Ｌ２は、光分割部材３で一部が反射してミラ
ー９に至り、その中の一部はミラー９を透過して第４図
に示すスポラ） Ｌ２’となり、残りの光束はミラー９
で反射してミラー８に戻り、更にミラー８で反射された
一部が受光素子７上でスポットＬ２”となる。
レーザー光ｆＲ１、ガイド光源２が傾いていない場合に
は、スポラ） Ｌ２’ とＬ２”は第４図（ａ）に示す
ように合致するが、レーザー光源ｌ、ガイド光ｓ２が傾
いていると、第４１！［ｂ）に示すようにずれることに
なる。この場合は各要素素子７ａ〜７ｄの出力バランス
を見れば、傾きの大きさ及び方向を検知できる。ただし
、第３図に示す実施例においては、フォーカスについて
は検知することはできない、なお、レーザー光束Ｌ２の
出力については、先の第１の実施例と同様にして求めれ
ばよい。
は、スポラ） Ｌ２’ とＬ２”は第４図（ａ）に示す
ように合致するが、レーザー光源ｌ、ガイド光ｓ２が傾
いていると、第４１！［ｂ）に示すようにずれることに
なる。この場合は各要素素子７ａ〜７ｄの出力バランス
を見れば、傾きの大きさ及び方向を検知できる。ただし
、第３図に示す実施例においては、フォーカスについて
は検知することはできない、なお、レーザー光束Ｌ２の
出力については、先の第１の実施例と同様にして求めれ
ばよい。
上述の各実施例では、受光素子７として４個の要素素子
７ａ〜７ｄを組合わせた場合を示したが、−次元的調整
のみを必要とする場合には要素素子は２偏だけでも充分
である。
７ａ〜７ｄを組合わせた場合を示したが、−次元的調整
のみを必要とする場合には要素素子は２偏だけでも充分
である。
［発明の効果１
以上説明したように本発明に係るレーザー調整装置は、
受光素子によってレーザー光の出力を計測するだけでな
く、比較的簡単な構成で装置の７ライメント、フォーカ
ス等を調整することが可能になる。
受光素子によってレーザー光の出力を計測するだけでな
く、比較的簡単な構成で装置の７ライメント、フォーカ
ス等を調整することが可能になる。
図面は本発明に係るレーザー調整装置の実施例を示すも
のであり、第１図は第１の実施例の構成図、第２図は受
光素子とスポットとの関係の説明図、第３図は第２の実
施例の構成図、第４図は受光素子とスポットとの関係の
説明図である。 符号ｌはレーザー光源、２はガイド光源、３は光分割部
材、４は集光レンズ、５は球面レンズ。 ６は円柱レンズ、７は受光素子、７ａ〜７ｄは要素素子
、８．９はミラーである。 特許出願人 キャノン株式会社 Ｗ＆１回 第２図
のであり、第１図は第１の実施例の構成図、第２図は受
光素子とスポットとの関係の説明図、第３図は第２の実
施例の構成図、第４図は受光素子とスポットとの関係の
説明図である。 符号ｌはレーザー光源、２はガイド光源、３は光分割部
材、４は集光レンズ、５は球面レンズ。 ６は円柱レンズ、７は受光素子、７ａ〜７ｄは要素素子
、８．９はミラーである。 特許出願人 キャノン株式会社 Ｗ＆１回 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光分割部材によってガイド光源から出射した光束を
レーザー光路に導いて、レーザー作用点を表示させるレ
ーザー調整装置において、前記光分割部材に関してレー
ザー光路に共役な測定光路内に複数個の要素素子から成
る受光素子を配置し、これら複数個の要素素子の出力関
係からレーザー光束の出力の大きさを求めると共に、ア
ライメント又はフォーカス調整を行うことを特徴とする
レーザー調整装置。 ２、前記受光素子と前記光分割部材との間の測定光路内
に配設した球面レンズと円柱レンズから成る光学系の平
均的焦点位置に、前記受光素子を配置した特許請求の範
囲第１項に記載のレーザー調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60002493A JPS61161781A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | レ−ザ−調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60002493A JPS61161781A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | レ−ザ−調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61161781A true JPS61161781A (ja) | 1986-07-22 |
Family
ID=11530884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60002493A Pending JPS61161781A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | レ−ザ−調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61161781A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7633033B2 (en) * | 2004-01-09 | 2009-12-15 | General Lasertronics Corporation | Color sensing for laser decoating |
| US7800014B2 (en) | 2004-01-09 | 2010-09-21 | General Lasertronics Corporation | Color sensing for laser decoating |
| CN105728937A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-06 | 付淑珍 | 一种新型的激光模板切割机焦点位置调整机构 |
| US9895771B2 (en) | 2012-02-28 | 2018-02-20 | General Lasertronics Corporation | Laser ablation for the environmentally beneficial removal of surface coatings |
| US10086597B2 (en) | 2014-01-21 | 2018-10-02 | General Lasertronics Corporation | Laser film debonding method |
| US11045900B2 (en) | 2010-07-09 | 2021-06-29 | General Lasertronics Corporation | Coating ablating apparatus with coating removal detection |
-
1985
- 1985-01-10 JP JP60002493A patent/JPS61161781A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7633033B2 (en) * | 2004-01-09 | 2009-12-15 | General Lasertronics Corporation | Color sensing for laser decoating |
| US7800014B2 (en) | 2004-01-09 | 2010-09-21 | General Lasertronics Corporation | Color sensing for laser decoating |
| US11045900B2 (en) | 2010-07-09 | 2021-06-29 | General Lasertronics Corporation | Coating ablating apparatus with coating removal detection |
| US11819939B2 (en) | 2010-07-09 | 2023-11-21 | General Lasertronics Corporation | Coating ablating apparatus with coating removal detection |
| US9895771B2 (en) | 2012-02-28 | 2018-02-20 | General Lasertronics Corporation | Laser ablation for the environmentally beneficial removal of surface coatings |
| US11338391B2 (en) | 2012-02-28 | 2022-05-24 | General Lasertronics Corporation | Laser ablation for the environmentally beneficial removal of surface coatings |
| US10086597B2 (en) | 2014-01-21 | 2018-10-02 | General Lasertronics Corporation | Laser film debonding method |
| CN105728937A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-06 | 付淑珍 | 一种新型的激光模板切割机焦点位置调整机构 |
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