JPH05129539A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH05129539A
JPH05129539A JP3286205A JP28620591A JPH05129539A JP H05129539 A JPH05129539 A JP H05129539A JP 3286205 A JP3286205 A JP 3286205A JP 28620591 A JP28620591 A JP 28620591A JP H05129539 A JPH05129539 A JP H05129539A
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mos transistor
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voltage
input
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Shigeru Fujii
滋 藤井
Masaya Kitagawa
雅也 北川
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は半導体集積回路に関し、ゲート酸化
膜を薄くしつつ、充分な耐圧を備える半導体集積回路を
提供することを目的としている。 【構成】 外部からの信号を入力する入力端子と該信号
を入力すべき内部回路との間に、ゲートに所定電圧が印
加されるMOSトランジスタを直列に接続し、該入力端
子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベルの信号が入力す
る際、該MOSトランジスタにより最大電圧レベルを該
ゲートに印加される所定電圧値に抑えるように構成す
る。また、外部からの信号を入力する入力端子と該信号
を入力すべき内部回路との間に、ゲートを該入力端子と
接続したMOSトランジスタを直列に接続し、該入力端
子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベルの信号が入力す
る際、該ゲートに印加される電圧レベルによって、最大
電圧レベルを所定値以下に抑えるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路に係
り、詳しくは、高集積化・高速度化を図った半導体集積
回路に関する。近年、半導体集積回路の高集積化・高速
度化を図るため、MOSトランジスタにあっては、ゲー
ト幅を細くしたり、酸化膜の厚みを通常よりも薄く、例
えば、130〜140Å以下にしたMOS型LSI(La
rge Scale Integrated circuit)が数多く開発されてい
る。
【0002】しかし、近時におけるMOS型LSIの電
源電圧としては5Vの電圧値が主流であり、消費電力の
低減化が必要な分野においては5V以下、例えば、3.
3Vといった電源電圧が用いられているため、主流であ
る5Vの電源電圧で使用されるLSIと混在させる場
合、MOS回路の耐圧の関係からそのままの状態では用
いることができない。
【0003】そこで、基準電圧以下の耐圧をもつLSI
を回路中に混在させた場合の対策がなされた半導体集積
回路が必要となる。
【0004】
【従来の技術】従来、高耐圧が必要な分野の半導体集積
回路においては、以下に述べるような対策が施されてい
る。すなわち、ソース・ドレイン間の耐圧をゲート酸化
膜の耐圧とともに向上させるため、ゲート酸化膜Tox
を厚くし、拡散層の電界Eを低くしたり(E=V/
ox)、拡散層を深くし、拡散層にかかる電界Eを低
くする。
【0005】けれども、速度の向上を図るためには、使
用されるMOSトランジスタのゲート酸化膜厚を通常よ
りも薄くしたりするため、この場合、高電圧が印加され
る部分の酸化膜だけを厚くする技術が用いられる。これ
を詳しく説明すると、まず、一度酸化膜を形成した後、
必要部分の酸化膜を除去して再度酸化することで酸化膜
を2度つくり、通常よりも厚い酸化膜を形成するもので
ある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の半導体集積回路にあっては、酸化膜を2度つ
くることで通常よりも厚い酸化膜を形成するという構成
となっていたため、以下に述べるような問題点があっ
た。すなわち、 1.一度つけた酸化膜を除去して再度酸化するため、最
初につけた酸化膜に汚染が発生する。
【0007】2.エッチング時に微細な穴が形成され、
耐圧の低下を招く。 3.製造工程が複雑になるため、製造コストが上昇す
る。 また、拡散層を深くすることにより、横方向にも拡散層
が広がってゲート幅が広がってしまうため、速度及び集
積度が低下し、高集積・高速度化が達成できないという
問題点があった。
【0008】[目的]そこで本発明は、ゲート酸化膜を
薄くしつつ、充分な耐圧を備える半導体集積回路を提供
することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明による半導体集積
回路は上記目的達成のため、外部からの信号を入力する
入力端子と該信号を入力すべき内部回路との間に、ゲー
トに所定電圧が印加されるMOSトランジスタを直列に
接続し、該入力端子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベ
ルの信号が入力する際、該MOSトランジスタにより最
大電圧レベルを該ゲートに印加される所定電圧値に抑え
るように構成している。
【0010】また、外部からの信号を入力する入力端子
と該信号を入力すべき内部回路との間に、ゲートを該入
力端子と接続したMOSトランジスタを直列に接続し、
該入力端子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベルの信号
が入力する際、該ゲートに印加される電圧レベルによっ
て、最大電圧レベルを所定値以下に抑えるように構成し
ている。
【0011】この場合、前記MOSトランジスタのゲー
トと入力端子との間に、コンデンサ、及び抵抗からなる
CR時定数回路を設けることは有効であり、また、前記
MOSトランジスタと並列に、ゲートに所定電圧が印加
される第2のMOSトランジスタを設けることが好まし
い。
【0012】
【作用】本発明では、入力端子と内部回路との間に設け
たMOSトランジスタによって、入力端子に内部回路の
耐圧以上の電圧レベルの信号が入力される場合であって
も、最大電圧レベルがMOSトランジスタのゲートに印
加される所定電圧値に抑えられる。
【0013】すなわち、高速性を重視して半導体集積回
路内部のゲート酸化膜が薄く形成されても、充分な耐圧
が確保される。
【0014】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
1〜4は本発明に係る半導体集積回路の実施例1を示す
図であり、図1はその要部構成を示す回路図、図2は図
1の各ノードにおける特性を示す図、図3,4は図2の
要部拡大図である。
【0015】まず、構成を説明する。本実施例の半導体
集積回路は、大別して、入力端子であるパッド1、入力
保護回路であるESD保護回路2、レベル変換回路3、
内部回路であるインバータ4からなり、レベル変換回路
3は、NチャネルMOSトランジスタ5から、また、イ
ンバータ4はPチャネルMOSトランジスタ6、及びN
チャネルMOSトランジスタ7から構成されている。
【0016】なお、図1中の〜は各点におけるノー
ドを示す。レベル変換回路3をなすNチャネルMOSト
ランジスタ5は、パッド1、ESD保護回路2とインバ
ータ4との間に直列に接続して設けられ、そのゲートに
は3.3Vの電圧が印加されている。次に本実施例の作
用を図2〜4に基づいて説明する。
【0017】図1中の各ノード〜における特性は図
2に示すようなものとなり、図3は図2中、区間Aで示
す部分の拡大図、図4は図2中、区間Bで示す部分の拡
大図である。まず、パッド1から入力された“L”=0
V,“H”=5Vの入力信号がESD保護回路2を介し
てレベル変換回路3に入力される。
【0018】レベル変換回路3では、ゲートに内部回路
であるインバータの動作電圧3.3Vと同じ電位が印加
されており、ノードにおける“L”=0V,“H”=
5Vの電圧は、図2のノードの波形に示すように、レ
ベル変換回路3により“L”=0V,“H”=3.3V
−Vth≒2.4Vの電圧レベルに変換され、インバータ
4により規定の“L”=0V,“H”=3.3Vの電圧
値が得られる。
【0019】このように本実施例では、レベル変換回路
3をなすNチャネルMOSトランジスタ5のゲートとノ
ードとの間の電位差と、同じくゲートとノードとの
間の電位差とは共に最大で3Vで耐圧以下に抑えること
ができ、高速性を重視して内部回路のゲート酸化膜を薄
く形成しても充分な耐圧を確保することができる。図5
〜8は本発明に係る半導体集積回路の実施例2を示す図
であり、図5はその要部構成を示す回路図、図6は図5
の各ノードにおける特性を示す図、図7,8は図6の要
部拡大図である。
【0020】なお、図5において、図1に示した実施例
1に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実施
例におけるレベル変換回路3をなすNチャネルMOSト
ランジスタ5は、パッド1、ESD保護回路2とインバ
ータ4との間に直列に接続して設けられ、そのゲートは
ドレインと接続されるとともに、バックゲートはソース
と接続されている。
【0021】次に本実施例の作用を図6〜8に基づいて
説明する。図5中の各ノード〜における特性は図6
に示すようなものとなり、図7は図6中、区間Cで示す
部分の拡大図、図8は図6中、区間Dで示す部分の拡大
図である。まず、前述の実施例と同様に、パッド1から
入力された“L”=0V,“H”=5Vの入力信号がE
SD保護回路2を介してレベル変換回路3に入力され
る。
【0022】レベル変換回路3では、ゲートに入力端側
と同一の電位が印加されており、ノードにおける
“L”=0V,“H”=5Vの電圧は、図6のノード
の波形に示すように、レベル変換回路3により“L”=
0.7V,“H”=5V−Vth≒4.2Vの電圧レベル
に変換され、インバータ4により規定の“L”=0V,
“H”=3.3Vの電圧値が得られる。
【0023】このように本実施例では、レベル変換回路
3をなすNチャネルMOSトランジスタ5は3極管と同
様の動作を行う。一般に、3極管動作時のMOSトラン
ジスタは、ゲート下のシリコン表面にチャネル、及び空
乏層ができて電界が分散するため、5Vの電位は直接ゲ
ートとチャネル間とには印加されない。
【0024】すなわち、NチャネルMOSトランジスタ
5がオンした後、ノードの電位は上昇し、ゲートとの
間の電位差は小さくなる。図9〜12は本発明に係る半
導体集積回路の実施例3を示す図であり、図9はその要
部構成を示す回路図、図10は図9の各ノードにおける
特性を示す図、図11,12は図10の要部拡大図であ
る。
【0025】なお、図9において、図5に示した実施例
2に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実施
例におけるレベル変換回路3をなすNチャネルMOSト
ランジスタ5は、パッド1、ESD保護回路2とインバ
ータ4との間に直列に接続して設けられ、そのゲートは
抵抗8を介してドレインと接続されるとともに、コンデ
ンサ9を介して低電位電源に接続されている。すなわ
ち、前述の実施例2のレベル変換回路3にCR時定数回
路が付加された構成となっている。なお、本実施例にお
ける抵抗8の抵抗値は4kΩ、コンデンサ9の容量値は
0.2pFである。
【0026】次に本実施例の作用を図10〜12に基づ
いて説明する。図9中の各ノード〜における特性は
図10に示すようなものとなり、図11は図10中、区
間Eで示す部分の拡大図、図12は図10中、区間Fで
示す部分の拡大図である。まず、前述の実施例と同様
に、パッド1から入力された“L”=0V,“H”=5
Vの入力信号がESD保護回路2を介してレベル変換回
路3に入力される。
【0027】レベル変換回路3では、CR時定数回路に
よりゲートに入力端側と同一の電位が所定時間遅延され
て印加され、ノードにおける“L”=0V,“H”=
5Vの電圧は、図10のノードの波形に示すように、
レベル変換回路3により“L”=0V,“H”=5V−
th≒4.2Vの電圧レベルに変換され、インバータ4
により規定の“L”=0V,“H”=3.3Vの電圧値
が得られる。
【0028】このように本実施例では、前述の実施例2
と比較して、“L”を0Vとすることができ、また、C
R時定数回路における時定数を変更することで、任意の
出力波形を得ることができる。さらに、図13に示す実
施例2のノードの立ち上がり波形は、図14に示す本
実施例のノードの立ち上がりよりも急峻なため、ゲー
トに対して瞬間的に5Vの電位が印加され、破壊が生ず
るおそれがあったが、本実施例ではCR時定数回路によ
りノードの立ち上がり波形を鈍らせることで瞬間的に
ゲートに5Vの電位が印加されるのが防止されている。
【0029】図15〜18は本発明に係る半導体集積回
路の実施例4を示す図であり、図15はその要部構成を
示す回路図、図16は図15の各ノードにおける特性を
示す図、図17,18は図16の要部拡大図である。な
お、図15において、図5に示した実施例2に付された
番号と同一番号は同一部分を示す。
【0030】本実施例におけるレベル変換回路3は、パ
ッド1、ESD保護回路2とインバータ4との間に直列
に接続して設けられており、レベル変換回路3内は、ゲ
ートがドレインと接続されるとともに、バックゲートが
ソースと接続されたNチャネルMOSトランジスタ5
と、ゲートに3.3Vの所定電圧が印加された第2のM
OSトランジスタであるNチャネルMOSトランジスタ
10とが並列に接続されて構成されている。
【0031】すなわち、本実施例のレベル変換回路3
は、前述の実施例1と実施例2とを組み合せたものとな
っており、これによって、図16〜18に示すように、
実施例1と実施例2との長所であるローレベル時の電
圧、及びハイレベル時の電圧特性が改善される。このよ
うに上記実施例では、高集積、かつ、高速なデバイスを
製造する工程において、ゲート酸化膜の耐圧以上の入力
電圧を入力可能な回路を得ることができ、従来からのイ
ンターフェース電圧である5V電源を採用したLSI中
にも混在して組み込むことができる。
【0032】なお、上記実施例は、現在主流である5V
の電源電圧で動作する半導体集積回路中に、3.3Vの
電源電圧で動作する半導体集積回路を混在させる場合に
ついて説明したが、これに限らず、将来、3〜3.3V
の電源電圧が主流となった場合においては、3V以下の
耐圧を有する半導体集積回路を混在させる場合にも適用
でき、すなわち、所定の電源電圧で動作する半導体集積
回路中に、これ以下の耐圧の半導体集積回路を混在させ
るような場合に適用可能である。
【0033】
【発明の効果】本発明では、入力端子と内部回路との間
に設けたMOSトランジスタによって、入力端子に内部
回路の耐圧以上の電圧レベルの信号を入力する場合であ
っても、最大電圧レベルをMOSトランジスタのゲート
に印加される所定電圧値に抑えることができる。
【0034】したがって、高速性を重視して半導体集積
回路内部のゲート酸化膜を薄く形成しても、充分な耐圧
を確保でき、高集積・高速度化を図る半導体集積回路を
提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の要部構成を示す回路図である。
【図2】図1の各ノードにおける特性を示す図である。
【図3】図2の区間Aの拡大図である。
【図4】図2の区間Bの拡大図である。
【図5】実施例2の要部構成を示す回路図である。
【図6】図5の各ノードにおける特性を示す図である。
【図7】図6の区間Cの拡大図である。
【図8】図6の区間Dの拡大図である。
【図9】実施例3の要部構成を示す回路図である。
【図10】図9の各ノードにおける特性を示す図であ
る。
【図11】図10の区間Eの拡大図である。
【図12】図10の区間Fの拡大図である。
【図13】実施例2における立ち上がり波形を示す図で
ある。
【図14】実施例3における立ち上がり波形を示す図で
ある。
【図15】実施例4の要部構成を示す回路図である。
【図16】図15の各ノードにおける特性を示す図であ
る。
【図17】図16の区間Gの拡大図である。
【図18】図16の区間Hの拡大図である。
【符号の説明】
1 パッド(入力端子) 2 ESD保護回路(入力保護回路) 3 レベル変換回路 4 インバータ(内部回路) 5 NチャネルMOSトランジスタ 6 PチャネルMOSトランジスタ 7 NチャネルMOSトランジスタ 8 抵抗 9 コンデンサ 10 NチャネルMOSトランジスタ(第2のMOS
トランジスタ)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部からの信号を入力する入力端子と該信
    号を入力すべき内部回路との間に、ゲートに所定電圧が
    印加されるMOSトランジスタを直列に接続し、 該入力端子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベルの信号
    が入力する際、該MOSトランジスタにより最大電圧レ
    ベルを該ゲートに印加される所定電圧値に抑えることを
    特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】外部からの信号を入力する入力端子と該信
    号を入力すべき内部回路との間に、ゲートを該入力端子
    と接続したMOSトランジスタを直列に接続し、 該入力端子に該内部回路の耐圧以上の電圧レベルの信号
    が入力する際、該ゲートに印加される電圧レベルによっ
    て、最大電圧レベルを所定値以下に抑えることを特徴と
    する半導体集積回路。
  3. 【請求項3】前記MOSトランジスタのゲートと入力端
    子との間に、コンデンサ、及び抵抗からなるCR時定数
    回路を設けることを特徴とする請求項2記載の半導体集
    積回路。
  4. 【請求項4】前記MOSトランジスタと並列に、ゲート
    に所定電圧が印加される第2のMOSトランジスタを設
    けることを特徴とする請求項2、または3記載の半導体
    集積回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003504860A (ja) * 1999-06-29 2003-02-04 コックレア リミティド 標準cmosプロセスの高電圧保護回路
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