JPH05128476A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】非磁性基板上に、非磁性下地層、磁気記録層、
保護層を積層した磁気記録媒体で、磁気記録層が、下記
の組成式で表される合金の薄膜からなる磁気記録媒体。 Ｃｏ_{（１００−ｘ−ｙ−ｚ）}Ｃｒ_ｘＲｅ_ｙＰｔ_ｚ （但し、３≦ｘ≦１５、０．５≦ｙ≦５、１≦ｚ≦１８
（原子％）） 【効果】この磁気記録媒体は、高保磁力を持ち、高い生
産性で得ることができる。 又、磁気記録層をこの構成
とすることにより、記録層の成膜前の到達真空度が低い
場合でも、高保磁力を持つ媒体が得られ、磁気特性の到
達真空度依存性の小さい磁気記録媒体である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュ−タ等の外部
記憶装置（磁気ディスク装置）において、磁気記憶体と
して用いられる磁気ディスク等に使用される高密度記録
用の磁気記録媒体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、コンピュ−タ等の記憶媒体として
は、磁性粉を塗布したテ−プ等が広く用いられている。
しかし、この記憶テ−プ方式では、記憶密度が小さくア
クセス時間が長いなどの欠点がある。このため、最近で
は、ランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディスクが
広く用いられており、なかでも、基板にアルミ合金等を
用いた磁気ディスク、いわゆるハ−ドディスクが使用さ
れるようになってきている。

【０００３】この磁気ディスクは、一般に、２ｍｍ程度
の堅い基板上に、厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成す
ることにより構成され、磁気記録層としては、一般に、
γ−Ｆｅ_２Ｏ_３等の磁性粉をバインダと混合し、これを
ディスク基板上にスピンコ−ト等の手法で塗布したもの
が用いられてきた。しかし、この方法で得られる磁気デ
ィスクは、飽和磁化の大きさに限界があり、高密度記録
媒体としての使用には制限がある。

【０００４】そこで、より高密度記録が可能な媒体を得
るために、高保磁力を有するＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金薄膜
を、真空蒸着、スパッタリング等の真空成膜技術によ
り、ディスク基板上あるいは基板上に形成された下地層
上に形成したものが使用され始めている。

【０００５】しかしながら、上記のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合
金薄膜を用いる磁気記録媒体は、高密度記録を達成する
ために必要な高保磁力を得るためには、成膜直前の真空
槽内の到達真空度を１０^−７ｔｏｒｒ台以下に制御しな
ければならず、また、磁気特性の到達真空度依存性が強
いことから、安定した生産性を維持すること、更にそれ
を向上させることが困難となるなどの問題点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題点に鑑み、成膜前の到達真空度が低い状態で成膜し
ても、高保磁力を達成できる生産性に優れた磁気記録媒
体を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため、特に磁気記録層を構成する成分に関し
て鋭意検討を行った結果、磁気記録層に、下記の式で示
される組成の金属薄膜を用いると、低い到達真空度でも
高保磁力を有する生産性に優れた磁気記録媒体を得るこ
とができることを見出した。

【０００８】即ち本発明は、非磁性基板上に、非磁性下
地層を介して磁性金属薄膜からなる磁気記録層及び該磁
気記録層を保護するための保護層を設けてなる磁気記録
媒体において、該磁気記録層が、下記組成式で表される
組成の金属薄膜からなることを特徴とする磁気記録媒体
に関するものである。

【０００９】 Ｃｏ_{（１００−ｘ−ｙ−ｚ）}Ｃｒ_ｘＲｅ_ｙＰｔ_ｚ 但し、ｘ、ｙ、およびｚは、それぞれ原子％で、３≦ｘ
≦１５、０．５≦ｙ≦５、１．５≦ｚ≦１８であり、好
ましくは、６≦ｘ≦１２、１≦ｙ≦４、１≦ｚ≦１５で
ある。

【００１０】本発明の媒体の磁気記録層は、コバルト、
クロム、レニウム、白金の４元素より構成されることが
特徴である。これら４元素の量的割合が、前記範囲を外
れ、クロム、レニウム、白金の量的割合が少なすぎた場
合においては、本発明による効果が得られなくなるか、
もしくは保磁力が低下するおそれがある。

【００１１】又、同じく量的割合が多すぎた場合には同
様に本発明による効果が得られないか、もしくは保磁力
および飽和磁化が低下するおそれがある。なかでも、白
金の含有量を多くした場合には経済面で実用的ではな
い。

【００１２】本発明での磁気記録層の厚さは、１００〜
２０００Ａ、より好ましくは３００〜１５００Ａであ
る。

【００１３】以下、図面に基づき本発明を詳細に説明す
る。図１は、本発明による磁気記録媒体の一実施態様を
示す部分断面図である。基板としての下地体１は、Ｎｉ
−Ｐメッキ膜、陽極酸化アルマイト膜等を被覆したアル
ミニウム合金、窒化硅素焼結体、酸化アルミニウム焼結
体等のセラミックス、ステンレス、チタン合金等の金
属、ガラス、プラスチック等が用いられる。又、下地層
２として、クロム等の非磁性薄膜を５００〜５０００Ａ
の厚さに成膜したものが通常用いられる。

【００１４】この下地層上に本発明による、Ｃｏ−Ｃｒ
−Ｒｅ−Ｐｔ系組成の金属薄膜からなる磁気記録層３を
形成する。さらにこの層の上に、炭素、酸化アルミニウ
ム、酸化ジルコニウム等の無機物質からなる保護層５を
形成する。この保護層の厚みは５０〜４００Ａが適当で
ある。また、必要に応じて磁気記録層３と保護層５の間
に表面層４を加えてもよい。この表面層は、クロム、チ
タン、バナジウム等の金属薄膜からなりその厚みは５０
〜２００Ａが適当である。

【００１５】なお、磁気記録層３の構成成分としてタン
タル０．５〜５原子％を加えることにより、記録媒体の
ノイズを低減させることも可能である。

【００１６】以上の通り得られた磁気記録媒体の使用に
あたっては、必要に応じて保護層５の上に液体潤滑剤、
または固体潤滑剤、あるいはこれらの複合潤滑剤を塗布
して潤滑層６を形成して使用することができる。

【００１７】図１に於ける２〜５の各層の形成方法は特
に制限されないが、通常実施されているスパッタリング
法、真空蒸着方等の真空成膜技術等により成膜すること
ができ、潤滑層６の形成についても同じくスパッタリン
グ法、真空蒸着法、スピンコ−ティング法、ディッピン
グ法等の通常の方法を用いることができる。

【００１８】

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、高保磁力を持
ち、高い生産性で得ることができる。又、本発明の構成
とすることにより、記録媒体の成膜前の到達真空度が低
い場合においても、高保磁力を持つ媒体が得られ、磁気
特性の到達真空度依存性の小さい磁気記録媒体である。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例と比較例につ
いて説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定され
るものではない。

【００２０】実施例１ 図１に示した構成の磁気記録媒体を作製した。下地体１
は、平均表面粗さ１００Ａに研磨したＮｉ−Ｐメッキ膜
被覆のアルミニウム合金を用いた。この下地体の上に下
地層２として厚さ３０００Ａのクロム膜および、磁気記
録層３として、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｅ−Ｐｔ合金薄膜（但
し、Ｃｒ：１２原子％、Ｒｅ：２原子％、Ｐｔ：５原子
％とし、残部Ｃｏ）６００Ａを、共にＤＣスパッタリン
グ法により、同一チャンバ−内で成膜した。

【００２１】更にこの層の上に、保護層５として炭素膜
をＤＣスパッタ法により３００Ａの厚みに形成した。下
地層２を成膜する直前の真空槽内の到達真空度を変化さ
せた時の保磁力の変化を図２に示した。図２から保磁力
は到達真空度によらずほぼ一定となることがわかる。

【００２２】実施例２ 到達真空度を、５×１０^−７ｔｏｒｒ（図３（ａ））、
５×１０^−６ｔｏｒｒ（図３（ｂ））とし、磁気記録層
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｅ−Ｐｔ膜のＣｒの含有量を１２原子
％、Ｒｅの含有量を２原子％とし、Ｐｔの含有量を図に
示したように変化させた以外は、実施例１と同様の方法
で磁気記録媒体を得た。

【００２３】図３に保磁力のＰｔ含有量依存性を示し
た。図３によれば、磁気特性を損なわずに本発明の効果
を得ることができるＰｔ含有量（ｚ）の範囲は１≦ｚ≦
１８原子％であることがわかる。

【００２４】実施例３ 磁気記録層Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｅ−Ｐｔ膜のＣｒ含有量を１
２原子％、Ｐｔの含有量を５原子％とし、Ｒｅの含有量
を図に示したように変化させた以外は、実施例２と同様
の方法で磁気記録媒体を得た。

【００２５】図４に保磁力のＲｅ含有量依存性を示す。
図４によれば磁気特性を損なわずに、本発明の効果を得
ることができるＲｅの含有量（ｙ）の範囲は０．５≦ｙ
≦５原子％であることがわかる。

【００２６】実施例４ 磁気記録層Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｅ−Ｐｔ膜のＲｅ含有量を２
原子％、Ｐｔの含有量を５原子％とし、Ｃｒの含有量を
図に示したように変化させた以外は、実施例２と同様の
方法で磁気記録媒体を得た。

【００２７】図５に保磁力のＣｒ含有量依存性を示す。
図５によれば磁気特性を損なわずに、本発明の効果を得
ることができるＣｒの含有量（ｘ）の範囲は３≦ｘ≦１
５原子％であることがわかる。

【００２８】比較例１ 磁気記録層３をＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ（但し、Ｃｒ：１２原
子％、Ｐｔ：５原子％、残部Ｃｏ）とした以外は実施例
１と同様の方法で磁気ディスクを作製した。このとき成
膜直前の到達真空度を変化させて磁気記録媒体を作製し
た。

【００２９】図６に、保磁力の到達真空度依存性を示
す。図６によれば、保磁力は到達真空度が悪くなるのに
伴い低下する傾向にあることがわかる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体を用いて得た磁気記録媒
体の一例を示す部分断面図。

【図２】磁気記録層にＣｏ_８１−Ｃｒ_１２−Ｒｅ_２−Ｐ
ｔ_５（原子％）膜を用いた時の、保磁力の到達真空度依
存性を示す図。

【図３】磁気記録層にＣｏ_{（１００−１２−２−ｚ）}−
Ｃｒ_１２−Ｒｅ_２−Ｐｔ_ｚ（原子％）膜を用いた時の、
保磁力のＰｔ濃度依存性を示す図。

【図４】磁気記録層にＣｏ_{（１００−１２−５−ｙ）}−
Ｃｒ_１２−Ｒｅ_ｙ−Ｐｔ_５（原子％）膜を用いた時の、
保磁力のＲｅ濃度依存性を示す図。

【図５】磁気記録層にＣｏ_{（１００−２−５−ｘ）}−Ｃ
ｒ_ｘ−Ｒｅ_２−Ｐｔ_５（原子％）膜を用いた時の、保磁
力のＣｒ濃度依存性を示す図。

【図６】磁気記録層にＣｏ_８３−Ｃｒ_１２−Ｐｔ_５（原
子％）膜を用いた時の、保磁力の到達真空度依存性を示
す図。

【符号の説明】

１：下地体 ２：下地層 ３：磁気記録層 ４：表面層 ５：保護層 ６：潤滑層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】非磁性基板上に、非磁性下地層を介して磁
   性金属薄膜からなる磁気記録層及び該磁気記録層を保護
   するための保護層を設けてなる磁気記録媒体において、
   該磁気記録層が、下記組成式 Ｃｏ_{（１００−ｘ−ｙ−ｚ）}Ｃｒ_ｘＲｅ_ｙＰｔ_ｚ （但し、ｘ、ｙ、ｚはそれぞれ原子％で、３≦ｘ≦１
   ５、０．５≦ｙ≦５、１≦ｚ≦１８である）で表される
   組成の金属薄膜からなることを特徴とする磁気記録媒
   体。