JPH05126107A - 弁組装置 - Google Patents

弁組装置

Info

Publication number
JPH05126107A
JPH05126107A JP4115536A JP11553692A JPH05126107A JP H05126107 A JPH05126107 A JP H05126107A JP 4115536 A JP4115536 A JP 4115536A JP 11553692 A JP11553692 A JP 11553692A JP H05126107 A JPH05126107 A JP H05126107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
valve
negative pressure
connection pipe
valve assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4115536A
Other languages
English (en)
Inventor
Wolf-Dieter Goedecke
ヴオルフ‐デイーター・ゲーデツケ
Victor Cohanciuc
ヴイクトル・コハンチユク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vodafone GmbH
Original Assignee
Mannesmann AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mannesmann AG filed Critical Mannesmann AG
Publication of JPH05126107A publication Critical patent/JPH05126107A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0832—Modular valves
    • F15B13/0839—Stacked plate type valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/0853—Electric circuit boards
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/0857—Electrical connecting means, e.g. plugs, sockets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/086—Sensing means, e.g. pressure sensors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0875—Channels for electrical components, e.g. for cables or sensors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Servomotors (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 例えばガス状媒体のための弁組装置におい
て、弁の開ループ制御ばかりでなく、閉ループ制御を可
能にする。 【構成】 少なくとも１つの切換弁のための枠体（１）
が、少なくとも１つのサーボ弁のための枠体（４）に組
合せられ、双方の枠体の外側輪郭（２）が一致し、切換
弁のための枠体（１）の中に１つ又は複数のサーボ弁
（１４）が互いに隣接して配置され、枠体（１）の中に
組込まれている圧力センサ（１８）を介して出口接続管
（Ａ１，Ａ２）に接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多角形の外側輪郭を有
し密封されて互いに隣接して配置されることが可能な多
数の枠体からなる弁組装置であって、端面に配置されて
いる終端プレートを具備し、各枠体には複数の電気的に
作動可能な弁が設けられ、それらの弁は窓状凹部の中に
設けられることが可能であり、各弁は枠体の厚さより小
さい直径を有し、それぞれ１つの側面（側面とは上面又
は下面又は両側面のうちのいずれかの面のことである）
に配置されている媒体接続管を更に具備し、それぞれ１
つの下部の側面すなわち下面に配置されかつ各弁に対応
配置されている媒体出口接続管を有し、出口接続管から
出発し枠体の端面に平行に走行するチャネルがすべての
弁の圧力供給のための入口チャネルを接続し、窓状凹部
の中で各弁からの導電線が統合され多極形信号線中央接
続装置により導出されている、例えばガス状媒体のため
の、弁組装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような弁組装置はドイツ特許出願第
３９１７２４２号公報から公知である。しかしこの公知
の弁組装置は、方向制御弁のみしか収容していない枠体
を使用している。このような弁組装置は高さが低く、流
量が大きく、重量が比較的小さく、僅かな切換時間しか
保証しない。厚さの薄い枠体の中に制御可能な行程弁を
組込むために、流量が非常に大きい小型の電磁弁の開発
が必要であった。このような弁組装置は、単純かつ高速
の圧力媒体系を導入し、例えば把持装置、シリンダ、回
転駆動装置、マニピュレータ等を制御することを可能に
する。しかし、方向制御弁（切換弁）のみによる弁組装
置は、ある場合には必要な開ループ制御には十分であ
る。しかし、閉ループ制御すなわちサーボ制御を行うこ
とはまったくできない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、更に
多くの機能特に閉ループ制御機能すなわちサーボ制御も
実行することが可能なように公知の弁組装置を改善する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、サーボ弁用枠体が１つ又は複数のサーボ弁を収容
し、負圧装置用枠体が負圧装置を収容し、少なくともサ
ーボ弁用枠体は少なくとも負圧装置用枠体に閉ループ制
御技術的に接続され、負圧装置用枠体の端面又は側面の
上に圧縮空気接続管が配置されていることと、負圧装置
用枠体の窓状凹部の中に負圧装置が配置されていること
とにより解決される。
【０００５】本発明の１つの重要な利点は、弁組装置が
実行することのできる機能の数が増加され、方向制御弁
を有する枠体による流れ方向切換機能の他に、閉ループ
制御機能が実行可能であり、しかも小型、大きい流量、
比較的小さい重量、切換時間は維持されることにある。
【０００６】本発明の１つの重要な利点は圧力センサが
サーボ弁用枠体の中に組込まれていることにある。従来
の技術ではサーボ弁は枠体外部に設けられ、圧力センサ
のみが枠体の中に組込まれているにすぎない。従って本
発明の弁組装置は、負圧の正確な調整、負圧の迅速な調
節を付加的に可能にし、従って本発明の弁組装置は、箔
帯の引っ張り制御装置、駆動力を制御される駆動装置、
密封性検査装置、噴射制御装置等として使用されること
が可能である。異なる負圧は特に、異なる形状及び／又
は異なる重量の加工物の迅速な交換に用いられる。
【０００７】請求項２に記載の実施例ではそれぞれのサ
ーボ弁用枠体に、側面の中に連通する排気導管が設けら
れている。
【０００８】別の有利な実施例では、サーボ弁用枠体に
おいて圧力センサからの導電線と電磁石からの導電線と
が多極丸形プラグに案内され、多極丸形プラグは上部の
側面に配置されている。
【０００９】別の有利な実施例では、サーボ弁用枠体に
おいて双方の圧力媒体接続管の圧力供給系がチャネルに
より互いに接続されていることと、それぞれ１つのサー
ボ弁に接続されているそれぞれの圧力媒体出口接続管に
それぞれ１つの固有の圧力センサが接続されている。
【００１０】
【実施例】次に本発明を実施例に基づき図を参照しなが
ら説明する。１つの弁組装置に所属する多角形の、換言
すれば図示のように方形の外側輪郭２を有する、枠体１
は、一方の又は両方の端面３に配置されている負圧装置
用枠体４と統合されている。端面３、正確には端面３の
中に連通している接続チャネル３ａは圧力供給のために
密封されている。枠体１および負圧装置枠体４からなる
弁組装置の両端は終端プレート５により終端されてい
る。終端プレート５は弁組装置を固定している。
【００１１】各枠体１は１つ又は複数（この場合には２
つ）の電気的に作動可能な弁６を有する。弁６は、窓状
の凹部７の中に設けられることが可能である。弁６は、
枠体１の厚さ８より小さい直径を有する。側面９には圧
力媒体接続管Ｐが配置されている。別々の側面９から排
気接続管Ｒ１及びＲ２が導出されている。下部の側面に
は、各弁６に割当てられている圧力媒体出口接続管Ａ１
及びＡ２が設けられている。圧力媒体接続管Ｐから出発
して端面３に平行に走行するチャネル１１は、すべての
弁６の圧力供給のための入口チャネル１２を接続してい
る。弁６のための導電線は窓状の凹部７の中で統合さ
れ、多極形信号線中央接続装置１３により枠体１から導
出される。
【００１２】枠体１の特徴は、サーボ弁１４を収容して
いることである。枠体１及び４の外側輪郭２は同一であ
る。窓状凹部７は種々異なって形成されることが可能で
ある。すなわち窓状凹部７は、サーボ弁の外法、数、形
状に依存する。サーボ弁１４は互いに隣接して配置され
ている。
【００１３】側面１０には出口接続管Ａ１及びＡ２が連
通している。出口接続管Ａ１，Ａ２につながる圧力導管
１７の途中には圧力センサ１８が接続されている。圧力
センサ１８からの導電線１９は多極丸形プラグ１３につ
ながっている。多極丸形プラグ１３は上部の側面２１の
上に配置されている。サーボ弁１４の制御可能な電磁石
２３からの導電線２２もこの多極丸形プラグ１３につな
がっている。電磁石２３の端子と端子との間には整流器
ダイオード２３ａが挿入接続されている。
【００１４】図２及び図３には音響ダンパ、排気管Ｒ
１，Ｒ２、印刷回路基板２５、端子盤２５、電磁石へ電
力を供給する導電線２７及び２８が示されている。印刷
回路基板２５は溝２９の中で固定されている。側面２１
の上には丸形１３ａの他に発光ダイオード３０も配置さ
れている。それぞれの発光ダイオード３０はそれぞれ１
つのサーボ弁１４に対応配置されている。
【００１５】図１では窓状凹部７の中に負圧装置３１が
収容されている。中央の圧力媒体接続管３２はチャネル
系３３に接続され、例えば圧縮空気が供給される。導管
３５の中に負圧が発生するように、圧縮空気が導管３４
を流れる。これにより吸込把持装置３６は加工物をつか
み、搬送中に固定保持する。負圧の制御は空圧切換素子
３８、３９、４０により行われる。切換素子３８は負圧
センサから成る。切換素子３９は噴射空気のために設け
られている。切換素子４０も負圧センサから成る。
【００１６】切換素子３８から４０の上には印刷回路基
板２５が設けられている。印刷回路基板２５からの導電
線２２が丸形プラグ１３ａへつながっている。
【００１７】サーボ弁用枠体１は、負圧装置用枠体４か
ら完全に分離して作動されることが可能である。しか
し、サーボ弁用枠体１が負圧装置用枠体４に制御技術的
に前述のように接続され、これによりサーボ弁用枠体１
の中の圧力調整と負圧装置用枠体４の中の圧力調整とが
相関的に行われ、これにより圧力調整が微細に行われ、
測定可能に異なる負圧が短時間で発生されることが可能
であると有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】負圧装置を有する枠体の斜視側面図である。
【図２】サーボ弁を有する枠体の斜視側面図である。
【図３】電子式又は空圧式圧力制御の図２に所属するブ
ロック回路図である。
【符号の説明】
１ サーボ弁用枠体 ２ 外側輪郭 ３ 端面 ４ 負圧装置用枠体 ５ 終端プレート ６ 弁 ７ 凹部 ８ 厚さ ９ 側面 １０ 下部の側面 Ａ１，Ａ２ 圧力媒体出口接続管 １１ チャネル １２ 入口チャネル １３ 信号線端子プラグ １４ サーボ弁 １７ 圧力導管 １８ 圧力センサ １９ 導電線 ２１ 側面 ２２ 導電線 ２３ 電磁石 ２３ａ 整流器ダイオード Ｒ１，Ｒ２ 排気導管 ２６ 端子盤 ２７、２８ 導電線 ２９ 溝 ３１ 負圧装置 ３２ 圧力媒体接続管 ３３ チャネル系 ３４ 導管 ３５ 導管 ３６ 吸込把持装置 ３７ 加工物 ３８、３９、４０ 切換素子

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多角形の外側輪郭を有し密封されて互い
    に隣接して配置されることが可能な多数の枠体からなる
    弁組装置であって、それぞれの端面に配置されている終
    端プレートを具備し、各枠体には複数の電気的に作動可
    能な弁が設けられ、それらの弁は窓状凹部の中に設けら
    れることが可能であり、各弁は枠体の厚さより小さい直
    径を有し、それぞれ１つの側面に配置されている媒体接
    続管を更に具備し、それぞれ１つの下部の側面に配置さ
    れかつ各弁に対応配置されている媒体出口接続管を有
    し、出口接続管から出発し枠体端面に平行に走行するチ
    ャネルがすべての弁の圧力供給のための入口チャネルを
    接続し、窓状凹部の中で各弁からの導電線が統合され多
    極形信号線中央接続装置により導出されている弁組装置
    において、少なくとも１つ又は複数のサーボ弁（１４）
    を収容している少なくとも１つのサーボ弁用枠体（１）
    が、負圧装置（３１）を収容している少なくとも１つの
    負圧装置用枠体（４）に閉ループ制御技術的に接続さ
    れ、負圧装置用枠体（４）の端面（３）又は側面（９）
    の上に圧縮空気接続管（９）が配置されていることと、
    負圧装置用枠体（４）の窓状凹部（７）の中に負圧装置
    （４０）が配置されていることとを特徴とする弁組装
    置。
  2. 【請求項２】 サーボ弁用枠体（１）に、それぞれの側
    面（９）の中にそれぞれ連通している排気導管（Ｒ１，
    Ｒ２）が設けられていることを特徴とする請求項１に記
    載の弁組装置。
  3. 【請求項３】 サーボ弁用枠体（１）の中に組込まれて
    いる圧力センサ（１８）からの導電線（１９）と電磁石
    （２３）からの導電線（２２）とが多極丸形プラグ（１
    ３）に案内され、多極丸形プラグ（１３）は上部の側面
    に配置されていることを特徴とする弁組装置。
  4. 【請求項４】 サーボ弁用枠体（１）において双方の圧
    力媒体接続管（Ｐ）の圧力供給系がチャネル（１１）に
    より互いに接続されていることと、それぞれ１つのサー
    ボ弁（１４）に接続されているそれぞれの圧力媒体出口
    接続管（Ａ１及びＡ２）にそれぞれ１つの固有の圧力セ
    ンサ（１８）が接続されていることを特徴とする請求項
    １から請求項３のうちのいずれか１つの請求項に記載の
    弁組装置。
JP4115536A 1991-04-09 1992-04-08 弁組装置 Pending JPH05126107A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4111890.1 1991-04-09
DE4111890A DE4111890C2 (de) 1991-04-09 1991-04-09 Ventilbatterie, insbesondere für gasförmige Medien

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05126107A true JPH05126107A (ja) 1993-05-21

Family

ID=6429394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4115536A Pending JPH05126107A (ja) 1991-04-09 1992-04-08 弁組装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5184647A (ja)
JP (1) JPH05126107A (ja)
CH (1) CH685451A5 (ja)
DE (1) DE4111890C2 (ja)
FR (1) FR2675216B1 (ja)
GB (1) GB2254909B (ja)
IT (1) IT1258496B (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4111893C2 (de) * 1991-04-09 1995-04-13 Mannesmann Ag Ventil-Grundplatte, insbesondere für gasförmige Medien
US5320497A (en) * 1991-06-26 1994-06-14 Smc Kabushiki Kaisha Vacuum feeding apparatus
GB9224041D0 (en) * 1992-11-16 1993-01-06 Portsmouth Tech Consult Vaccum gripper devices
US5363738A (en) * 1993-08-02 1994-11-15 Vickers, Incorporated Portable electrohydraulic trainer
DE4404224A1 (de) * 1994-02-10 1995-08-17 Danfoss As Hydraulische Funktionseinheit
DE4412247A1 (de) * 1994-04-06 1995-10-12 Mannesmann Ag Wegeventil in Grundplattenausführung
DE4413657C1 (de) * 1994-04-20 1995-11-02 Festo Kg Ventilanordnung
SE510780C2 (sv) 1996-07-22 1999-06-21 Mecman Ab Rexroth Anordning för alstring av undertryck samt ramparrangemang med en dylik anordning
DE19637822C1 (de) * 1996-09-17 1998-03-26 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Mikromechanisches Werkzeug
DE19723388C1 (de) * 1997-06-04 1998-07-02 Draegerwerk Ag Modulare Piezoventilanordnung
DE19732056A1 (de) * 1997-07-25 1999-01-28 Schuler Pressen Gmbh & Co Vakuumsystem für ein Transfersystem
DE29909529U1 (de) * 1999-06-01 1999-08-12 Festo AG & Co, 73734 Esslingen Fluidtechnisches Steuergerät
US7990083B2 (en) * 2005-10-13 2011-08-02 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method and system for variable color lighting
US8219253B2 (en) 2007-03-29 2012-07-10 Festo Ag & Co. Kg Regulator module for a valve cluster
DE102014019116A1 (de) * 2014-12-19 2016-06-23 Knorr-Bremse Systeme für Nutzfahrzeuge GmbH Druckluftmitteleinrichtung mit aufgrund von Formdichtungen variablen Strömungsverbindungen
DE102016120027A1 (de) * 2016-10-20 2018-04-26 Bürkert Werke GmbH Ventilanordnung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4078574A (en) * 1976-10-22 1978-03-14 Modular Controls Corporation Modular control valve
FR2548329B1 (fr) * 1983-06-30 1986-06-20 Bosteels Michel Dispositif de commande de debits calibres de fluide
JPS619599U (ja) * 1984-06-20 1986-01-21 株式会社 妙徳 エゼクタポンプ
JPS61104516A (ja) * 1984-10-29 1986-05-22 株式会社　妙徳 負圧スイツチ装置
DE3522955A1 (de) * 1985-06-27 1987-01-08 Festo Kg Anordnung von ventilgehaeusen
JPH0353039Y2 (ja) * 1987-05-30 1991-11-19
DE3917242A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-04 Antriebs Steuerungstech Ges Magnetventilbatterie

Also Published As

Publication number Publication date
GB9207719D0 (en) 1992-05-27
DE4111890A1 (de) 1992-10-15
FR2675216B1 (fr) 1994-04-29
US5184647A (en) 1993-02-09
GB2254909A (en) 1992-10-21
CH685451A5 (de) 1995-07-14
DE4111890C2 (de) 1995-04-20
GB2254909B (en) 1994-10-12
FR2675216A1 (fr) 1992-10-16
IT1258496B (it) 1996-02-26
ITMI920808A1 (it) 1993-10-03
ITMI920808A0 (it) 1992-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05126107A (ja) 弁組装置
JPH05126109A (ja) 弁用枠体
US6024340A (en) Valve assembly
US6109298A (en) Sealed transfer valve assembly
JP2616013B2 (ja) マグネットチャック
IT9067954A1 (it) Elettrovalvola a tre vie ad alta velocita' per un fluido in pressione, ad esempio per circuiti di aria compressa
US20030234050A1 (en) Manifold value having position detecting mechanism
CA2243239A1 (en) Actuator and holding device
JPS5847594B2 (ja) 搾乳装置のパルセ−タのための電動空気弁制御装置
JP4665226B2 (ja) 電気式流体圧サーボ弁およびその製造方法
JPH05126108A (ja) 弁組装置
KR100656835B1 (ko) 픽 앤드 플레이스 스핀들 조립체를 위한 일체화된 공기유동 제어
US4512362A (en) Pneumatic control valve manifold interface
US4530636A (en) Device for operating a hand of an industrial robot
US4557660A (en) Robot hand
US5558122A (en) Electric signals supplying device in solenoid valve
US4561345A (en) Pneumatic setting device
JP3623317B2 (ja) パイロット排気集中化構造
CN219102208U (zh) 一种多路进气的真空发生模块
EP0323216A3 (en) Reciprocating device and switching mechanism therefor
CN220749200U (zh) 混压流体控制阀装置以及流体阀座模块
JP2667780B2 (ja) パイロット式電磁弁
JP2597407Y2 (ja) ダブルパイロット形電磁弁
CN116518148A (zh) 一种多路进气的真空发生模块
JPH102432A (ja) マニホールド