CN220749200U - 混压流体控制阀装置以及流体阀座模块 - Google Patents

混压流体控制阀装置以及流体阀座模块 Download PDF

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倪家禾
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Abstract

本实用新型公开一种混压流体控制阀装置以及流体阀座模块。混压流体控制阀装置包括流体阀座模块、多个第一控制阀模块以及多个第二控制阀模块。流体阀座模块具有多个传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个传输孔组包括多个连接孔,多个连接孔与多个传输通道相通,且每一个气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组之间。多个第一控制阀模块与多个第二控制阀模块连接于流体阀座模块。借此,本实用新型的混压流体控制阀装置以及流体阀座模块可缩短电磁阀组件间的反应时间。

Description

混压流体控制阀装置以及流体阀座模块
技术领域
本实用新型涉及一种控制阀装置以及阀座模块,特别是涉及一种混压流体控制阀装置以及流体阀座模块。
背景技术
在传统的电磁阀设备中,电磁阀组是采用串接的方式,会需要较多的空间配置,同时也会有最短配管的管路限制(约7公分),故其气体反应时间(如正压转负压,或负压转正压),会被局限在40毫秒(ms)。因此,若应用于高速机种的规格要求,则会被限制住。
故,如何通过结构设计的改良,来克服上述的缺陷,已成为本技术领域所欲解决的重要课题之一。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,针对现有技术的不足提供一种混压流体控制阀装置以及流体阀座模块。
为了解决上述的技术问题,本实用新型所采用的其中一技术方案是提供一种混压流体控制阀装置,包括流体阀座模块、多个第一控制阀模块以及多个第二控制阀模块。流体阀座模块具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个第一连接孔与第一传输通道相通,每一个第二连接孔、每一个第四连接孔以及第二传输通道相通,每一个第三连接孔与第三传输通道相通,每一个第五连接孔与其中一个第四传输通道相通,多个气体隔离元件设置在第二传输通道,每一个气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组之间。多个第一控制阀模块连接于流体阀座模块,每一个第一控制阀模块与其中一个传输孔组的第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔连接。多个第二控制阀模块连接于流体阀座模块,每一个第二控制阀模块与其中一个传输孔组的第四连接孔以及第五连接孔连接。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,第三传输通道连接第一外部供气端,每一个第四传输通道连接于第二外部供气端;其中,第一外部供气端为正压气体供应端,第二外部供气端为负压气体供应端。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组所对应的第一控制阀模块处于运作状态且所对应的第二控制阀模块处于停止状态时,流体阀座模块处于正压状态。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组所对应的第二控制阀模块处于运作状态时,流体阀座模块处于负压状态。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,多个第一控制阀模块与多个第二控制阀模块为三口二位的电磁阀件。
为了解决上述的技术问题,本实用新型所采用的另外一技术方案是提供一种流体阀座模块,具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个第一连接孔与第一传输通道相通,每一个第二连接孔、每一个第四连接孔以及第二传输通道相通,每一个第三连接孔与第三传输通道相通,每一个第五连接孔与其中一个第四传输通道相通,多个气体隔离元件设置在第二传输通道,每一个气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组之间。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,第三传输通道连接第一外部供气端,每一个第四传输通道连接于第二外部供气端;其中,第一外部供气端为正压气体供应端,第二外部供气端为负压气体供应端。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,每一个传输孔组的第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔被配置成用于与第一外部控制阀件连接,每一个传输孔组的第四连接孔以及第五连接孔被配置成用于与第二外部控制阀件连接。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组所对应的第一外部控制阀件处于运作状态且所对应的第二外部控制阀件处于停止状态时,流体阀座模块处于正压状态。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组所对应的第二外部控制阀件处于运作状态时,流体阀座模块处于负压状态。
本实用新型的其中一有益效果在于,本实用新型所提供的混压流体控制阀装置,能通过“流体阀座模块具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个第一连接孔与第一传输通道相通,每一个第二连接孔、每一个第四连接孔以及第二传输通道相通,每一个第三连接孔与第三传输通道相通,每一个第五连接孔与其中一个第四传输通道相通,多个气体隔离元件设置于第二传输通道,每一个气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组之间”、“多个第一控制阀模块连接于流体阀座模块,每一个第一控制阀模块与其中一个传输孔组的第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔连接”以及“多个第二控制阀模块连接于流体阀座模块,每一个第二控制阀模块与其中一个传输孔组的第四连接孔以及第五连接孔连接”的技术方案,以缩短电磁阀组件间的反应时间,而提升电磁阀组件间的反应速度。
本实用新型的另外一有益效果在于,本实用新型所提供的流体阀座模块,能通过“具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个第一连接孔与第一传输通道相通,每一个第二连接孔、每一个第四连接孔以及第二传输通道相通,每一个第三连接孔与第三传输通道相通,每一个第五连接孔与其中一个第四传输通道相通,多个气体隔离元件设置在第二传输通道,每一个气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组之间”的技术方案,以缩短电磁阀组件间的反应时间,而提升电磁阀组件间的反应速度。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,然而所提供的附图仅用于提供参考与说明,并非用来对本实用新型加以限制。
附图说明
图1为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的其中一个视角的立体示意图。
图2为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的另外一个视角的立体示意图。
图3为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的其中一个视角的部分分解示意图。
图4为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的另外一个视角的部分分解示意图。
图5为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的流体阀座模块的其中一个视角的部分剖面示意图。
图6为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的流体阀座模块的另外一个视角的其中一个位置的部分剖面示意图。
图7为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的流体阀座模块的另外一个视角的另外一个位置的部分剖面示意图。
附图标记:
Z:混压流体控制阀装置;1:流体阀座模块;11:第一传输通道;12:第二传输通道;13:第三传输通道;14:第四传输通道;15:传输孔组;151:第一连接孔;152:第二连接孔;153:第三连接孔;154:第四连接孔;155:第五连接孔;16:气体隔离元件;17:安装孔;18:止泄件;2:第一控制阀模块;3:第二控制阀模块;30:外接孔;Gs1:第一外部供气端;Gs2:第二外部供气端;h:预定距离。
具体实施方式
以下是通过特定的具体实施例来说明本实用新型所公开有关“混压流体控制阀装置以及流体阀座模块”的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的优点与效果。本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用,本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用,在不背离本实用新型的构思下进行各种修改与变更。另外,本实用新型的附图仅为简单示意说明,并非依实际尺寸的描绘,事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容,但所公开的内容并非用以限制本实用新型的保护范围。
应当可以理解的是,虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种元件,但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一元件与另一元件。另外,本文中所使用的术语“或”,应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
实施例
请参阅图1至图7,分别为本实用新型实施例的混压流体控制阀装置的其中一个视角的立体示意图、另外一个视角的立体示意图、其中一个视角的部分分解示意图、另外一个视角的部分分解示意图、流体阀座模块的其中一个视角的部分剖面示意图、流体阀座模块的另外一个视角的第一部分剖面示意图、流体阀座模块的另外一个视角的其中一个位置的部分剖面示意图、以及流体阀座模块的另外一个视角的另外一个位置的部分剖面示意图。如上述图式所示,本实用新型实施例提供一种混压流体控制阀装置Z,包括流体阀座模块1、多个第一控制阀模块2以及多个第二控制阀模块3。
配合图1至图7所示,本实用新型的流体阀座模块1可具有第一传输通道11、第二传输通道12、第三传输通道13、多个第四传输通道14、多个传输孔组15以及多个气体隔离元件16。每一个传输孔组15可包括第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153、第四连接孔154以及第五连接孔155。每一个第一连接孔151与第一传输通道11相通,每一个第二连接孔152、每一个第四连接孔154以及第二传输通道12相通,每一个第三连接孔153与第三传输通道13相通,每一个第五连接孔155与其中一个第四传输通道14相通。多个气体隔离元件16可设置在第二传输通道12,每一个气体隔离元件16可拆卸地设置在每两个相邻的该传输孔组15之间。
举例来说,流体阀座模块1可为长形的中空阀座结构。第一传输通道11、第二传输通道12与第三传输通道13三者可相互平行且不相通;然而,在其他的实施例中,第一传输通道11、第二传输通道12与第三传输通道13三者也可相互不平行,或者仅其中两者相互平行。第一传输通道11、第二传输通道12与第三传输通道13三者可等间距或不等间距设置在流体阀座模块1中。而多个第四传输通道14可等间距或不等间距设置在流体阀座模块1中,且多个第四传输通道14穿设在流体阀座模块1的一底面。每一个第四传输通道14与第一传输通道11、第二传输通道12与第三传输通道13三者相互不平行且不相通。并且,第三传输通道13的其中一端可连接于第一外部供气端Gs1;其中,第一外部供气端Gs1可为正压气体供应端。每一个第四传输通道14的其中一端可连接于同一个或不同的第二外部供气端Gs2;其中,第二外部供气端Gs2可为负压气体供应端。
并且,配合图3、图5至图7所示,第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153、第四连接孔154以及第五连接孔155穿设在流体阀座模块1的其中一面。每一个传输孔组15的第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153与第四连接孔154四者可相互平行且不相通;然而,在其他的实施例中,第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153与第四连接孔154四者也可相互不平行,或者仅其中的至少两者相互平行。而第五连接孔155与第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153与第四连接孔154四者相互不平行且不相通。并且,每一个传输孔组15的第三连接孔153通过第三传输通道13彼此相通。进一步来说,每一个的传输孔组15的第二连接孔152与第四连接孔154的中心之间可具有预定距离h,预定距离h可介于1公分至1.5公分,优选可为1公分。
而气体隔离元件16可为盲栓或其他类型的栓塞。其中,流体阀座模块1还可具有贯穿本体的多个安装孔17,多个安装孔17穿设在流体阀座模块1的另外一面;因此,用户可通过安装孔17而将气体隔离元件16设置在流体阀座模块1中且阻隔部分的第二传输通道12。此外,流体阀座模块1还可具有多个止泄件18,止泄件18可为盲栓或其他类型的栓塞。多个止泄件18分别可拆卸地设置在第一传输通道11的其中一端、第二传输通道12的另外一端以及第三传输通道13的另外一端。
接着,配合图1至图7所示,多个第一控制阀模块2可连接于流体阀座模块1,每一个第一控制阀模块2与其中一个传输孔组15的第一连接孔151、第二连接孔152以及第三连接孔153连接。举例来说,第一控制阀模块2可为三口二位的电磁阀件。多个第一控制阀模块2可相隔地设置在流体阀座模块1的其中一面。
接着,配合图1至图7所示,多个第二控制阀模块3可连接于流体阀座模块1,每一个第二控制阀模块3与其中一个传输孔组15的第四连接孔154以及第五连接孔155连接。举例来说,第二控制阀模块3可为三口二位的电磁阀件。多个第二控制阀模块3可相隔地设置在流体阀座模块1的其中一面,每一个第二控制阀模块3对应其中一个第一控制阀模块2,且位在所对应的第一控制阀模块2的一侧。
因此,当至少一个传输孔组15所对应的该第一控制阀模块2处于一运作状态且所对应的第二控制阀模块3处于停止状态时,流体阀座模块1处于正压状态。而当至少一个传输孔组15所对应的第二控制阀模块3处于运作状态时,流体阀座模块1处于负压状态。
举例来说,配合图1至图7所示,当用户操作本实用新型的混压流体控制阀装置Z时,可通过至少一个第二外部供气端Gs2提供一负压气体到流体阀座模块1的至少一个第四传输通道14中,并驱使第二控制阀模块3运作(此时所对应的第一控制阀模块2处于停止状态)。接着,接收到负压气体的第四传输通道14会将负压气体传输到所对应的第五连接孔155;此时,第五连接孔155会将负压气体提供给所对应的第二控制阀模块3,且流体阀座模块1处于负压状态。接下来,第二控制阀模块3可将负压气体提供给拾取设备(例如吸取头组件,但不以此为限),以使拾取设备能吸取物件(例如晶片,但不以此为限)。其中,每一个第二控制阀模块3背对流体阀座模块1的一面可具有外接孔30,每一个外接孔30可用于与拾取设备连接。值得注意的是,在上述操作流程中,若所对应的第一控制阀模块2同时运作、或者第一外部供气端Gs1也提供正压气体到第一传输通道11中时,流体阀座模块1也是处于负压状态。
而当用户通过第一外部供气端Gs1提供正压气体到流体阀座模块1的第一传输通道11中,并驱使第一控制阀模块2(其对应于上述的第二控制阀模块3)运作(此时第二控制阀模块3处于停止状态)时,第一传输通道11会通过第三连接孔153将正压气体提供上述运作的第一控制阀模块2。接着,第一控制阀模块2可通过将正压气体传输到第二连接孔152,使得正压气体可依序通过第二传输通道12与第四连接孔154而传输到第二控制阀模块3;此时,流体阀座模块1处于正压状态。接下来,第二控制阀模块3可将正压气体提供给拾取设备,而使得拾取设备能将所吸取的物件释放(即进行摆放动作)。
值得一提的是,当第一控制阀模块2与第二控制阀模块3都处于停止状态时,可通过第一连接孔151与第一传输通道11进行排气,将流体阀座模块1内部气体排到外部。
借此,本实用新型的混压流体控制阀装置Z通过上述的技术方案,利用流体阀座模块1的结构设计,即每一个的传输孔组15的第二连接孔152与第四连接孔154之间的预定距离h介于1公分至1.5公分,以使得相对的第一控制阀模块2与第二控制阀模块3之间的联通道仅约1公分至1.5公分,而使得本实用新型的每一组的电磁阀组件(即每一个第一控制阀模块2与所对应的第二控制阀模块3)的反应时间相较于传统电磁阀设备的电磁阀组件可缩短50%以上,进而提升反应速度。
此外,根据上述内容,本实用新型再提出一种流体阀座模块1。配合图1至图7所示,流体阀座模块1可具有第一传输通道11、第二传输通道12、第三传输通道13、多个第四传输通道14、多个传输孔组15以及多个气体隔离元件16,每一个传输孔组15包括第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153、第四连接孔154以及第五连接孔155,每一个第一连接孔151与第一传输通道11相通,每一个第二连接孔152、每一个第四连接孔154以及第二传输通道12相通,每一个第三连接孔153与第三传输通道13相通,每一个第五连接孔155与其中一个第四传输通道14相通,多个气体隔离元件16设置在第二传输通道12,每一个气体隔离元件16可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组15之间。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,第三传输通道13连接第一外部供气端Gs1,每一个第四传输通道14连接于第二外部供气端Gs2;其中,第一外部供气端Gs1为正压气体供应端,第二外部供气端Gs2为负压气体供应端。其中,具体实施方式已于上述中提及,故在此不再赘述。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,每一个传输孔组15的第一连接孔151、第二连接孔152以及第三连接孔153被配置成用于与第一外部控制阀件(例如上述的第一控制阀模块2)连接,每一个传输孔组15的第四连接孔154以及第五连接孔155被配置成用于与第二外部控制阀件(例如上述的第二控制阀模块3)连接。其中,具体实施方式已于上述中提及,故在此不再赘述。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组15所对应的第一外部控制阀件处于运作状态且所对应的第二外部控制阀件处于停止状态时,流体阀座模块1处于正压状态。其中,具体实施方式已于上述中提及,故在此不再赘述。
在其中一个可行的或者优选的实施例中,当至少一个传输孔组15所对应的第二外部控制阀件处于运作状态时,流体阀座模块1处于负压状态。其中,具体实施方式已于上述中提及,故在此不再赘述。
然而,上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
实施例的有益效果
本实用新型的其中一有益效果在于,本实用新型所提供的混压流体控制阀装置Z,能通过“流体阀座模块1具有第一传输通道11、第二传输通道12、第三传输通道13、多个第四传输通道14、多个传输孔组15以及多个气体隔离元件16,每一个传输孔组15包括第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153、第四连接孔154以及第五连接孔155,每一个第一连接孔151与第一传输通道11相通,每一个第二连接孔152、每一个第四连接孔154以及第二传输通道12相通,每一个第三连接孔153与第三传输通道13相通,每一个第五连接孔155与其中一个第四传输通道14相通,多个气体隔离元件16设置在第二传输通道12,每一个气体隔离元件16可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组15之间”、“多个第一控制阀模块2连接于流体阀座模块1,每一个第一控制阀模块2与其中一个传输孔组15的第一连接孔151、第二连接孔152以及第三连接孔153连接”以及“多个第二控制阀模块3连接于流体阀座模块1,每一个第二控制阀模块3与其中一个传输孔组15的第四连接孔154以及第五连接孔155连接”的技术方案,以缩短电磁阀组件间的反应时间,而提升电磁阀组件间的反应速度。
本实用新型的另外一有益效果在于,本实用新型所提供的流体阀座模块1,能通过“具有第一传输通道11、第二传输通道12、第三传输通道13、多个第四传输通道14、多个传输孔组15以及多个气体隔离元件16,每一个传输孔组15包括第一连接孔151、第二连接孔152、第三连接孔153、第四连接孔154以及第五连接孔155,每一个第一连接孔151与第一传输通道11相通,每一个第二连接孔152、每一个第四连接孔154以及第二传输通道12相通,每一个第三连接孔153与第三传输通道13相通,每一个第五连接孔155与其中一个第四传输通道14相通,多个气体隔离元件16设置在第二传输通道12,每一个气体隔离元件16可拆卸地设置在每两个相邻的传输孔组15之间”的技术方案,以缩短电磁阀组件间的反应时间,而提升电磁阀组件间的反应速度。
更进一步来说,本实用新型的混压流体控制阀装置Z通过上述的技术方案,利用流体阀座模块1的结构设计,即每一个的传输孔组15的第二连接孔152与第四连接孔154之间的预定距离h介于1公分至1.5公分,以使得相对的第一控制阀模块2与第二控制阀模块3之间的联通道仅约1公分至1.5公分,而使得本实用新型的每一组的电磁阀组件(即每一个第一控制阀模块2与所对应的第二控制阀模块3)的反应时间相较于传统电磁阀设备的电磁阀组件可缩短50%以上,进而提升反应速度。
以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例,并非因此局限本实用新型的权利要求书的保护范围,所以凡是运用本实用新型说明书及附图内容所做的等效技术变化,均包含于本实用新型的权利要求书的保护范围内。

Claims (10)

1.一种混压流体控制阀装置,其特征在于,包括:
流体阀座模块,所述流体阀座模块具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个所述传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个所述第一连接孔与所述第一传输通道相通,每一个所述第二连接孔、每一个所述第四连接孔以及所述第二传输通道相通,每一个所述第三连接孔与所述第三传输通道相通,每一个所述第五连接孔与其中一所述第四传输通道相通,所述多个气体隔离元件设置在所述第二传输通道,每一个所述气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的所述传输孔组之间;
多个第一控制阀模块,所述多个第一控制阀模块连接于所述流体阀座模块,每一个所述第一控制阀模块与其中一个所述传输孔组的所述第一连接孔、所述第二连接孔以及所述第三连接孔连接;以及
多个第二控制阀模块,所述多个第二控制阀模块连接于所述流体阀座模块,每一个所述第二控制阀模块与其中一个所述传输孔组的所述第四连接孔以及所述第五连接孔连接。
2.根据权利要求1所述的混压流体控制阀装置,其特征在于,所述第三传输通道连接第一外部供气端,每一个所述第四传输通道连接于一第二外部供气端;其中,所述第一外部供气端为正压气体供应端,所述第二外部供气端为负压气体供应端。
3.根据权利要求2所述的混压流体控制阀装置,其特征在于,当至少一个所述传输孔组所对应的所述第一控制阀模块处于运作状态且所对应的所述第二控制阀模块处于停止状态时,所述流体阀座模块处于正压状态。
4.根据权利要求2所述的混压流体控制阀装置,其特征在于,当至少一个所述传输孔组所对应的所述第二控制阀模块处于运作状态时,所述流体阀座模块处于负压状态。
5.根据权利要求1所述的混压流体控制阀装置,其特征在于,所述多个第一控制阀模块与所述多个第二控制阀模块为三口二位的电磁阀件。
6.一种流体阀座模块,其特征在于,具有第一传输通道、第二传输通道、第三传输通道、多个第四传输通道、多个传输孔组以及多个气体隔离元件,每一个所述传输孔组包括第一连接孔、第二连接孔、第三连接孔、第四连接孔以及第五连接孔,每一个所述第一连接孔与所述第一传输通道相通,每一个所述第二连接孔、每一个所述第四连接孔以及所述第二传输通道相通,每一个所述第三连接孔与所述第三传输通道相通,每一个所述第五连接孔与其中一个所述第四传输通道相通,所述多个气体隔离元件设置于所述第二传输通道,每一个所述气体隔离元件可拆卸地设置在每两个相邻的所述传输孔组之间。
7.根据权利要求6所述的流体阀座模块,其特征在于,所述第三传输通道连接第一外部供气端,每一个所述第四传输通道连接于第二外部供气端;其中,所述第一外部供气端为正压气体供应端,所述第二外部供气端为负压气体供应端。
8.根据权利要求6所述的流体阀座模块,其特征在于,每一个所述传输孔组的所述第一连接孔、所述第二连接孔以及所述第三连接孔被配置成用于与第一外部控制阀件连接,每一个所述传输孔组的所述第四连接孔以及所述第五连接孔被配置成用于与第二外部控制阀件连接。
9.根据权利要求8所述的流体阀座模块,其特征在于,当至少一个所述传输孔组所对应的所述第一外部控制阀件处于运作状态且所对应的所述第二外部控制阀件处于停止状态时,所述流体阀座模块处于正压状态。
10.根据权利要求8所述的流体阀座模块,其特征在于,当至少一个所述传输孔组所对应的所述第二外部控制阀件处于运作状态时,所述流体阀座模块处于负压状态。
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