JPH05121846A - ヒートパイプ内蔵基板とその製造方法 - Google Patents

ヒートパイプ内蔵基板とその製造方法

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JPH05121846A
JPH05121846A JP28169391A JP28169391A JPH05121846A JP H05121846 A JPH05121846 A JP H05121846A JP 28169391 A JP28169391 A JP 28169391A JP 28169391 A JP28169391 A JP 28169391A JP H05121846 A JPH05121846 A JP H05121846A
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heat
heat pipe
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Naoya Yamazaki
直哉 山▲崎▼
Yasushi Kojima
康 小島
Misao Kikuchi
美佐男 菊池
Katsuki Matsunaga
勝樹 松永
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
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    • H05K1/0201Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は発熱部品から放出された熱を効率的
に外部に放出するヒートパイプ内蔵基板とその製造方法
を提供することを目的とする。 【構成】 表面に回路パターン18,20が形成される
絶縁シート13,27と、均熱用の金属板15,24
と、絶縁板22とを積層一体化する際に、融着部材30
がコーティングされているヒートパイプの吸熱部17a
を絶縁板22内に埋め込んでホットプレスし、ヒートパ
イプの吸熱部17aと金属板15,24とを融着部材3
0により融着した構造のヒートパイプ内蔵基板を構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はヒートパイプ内蔵基板と
その製造方法に係り、特に、放熱効果の高いヒートパイ
プ内蔵基板及びその製造法に関する。
【0002】近年、ICチップは小型化のために高集積
化し、また高速化のために消費電力が大きくなってい
る。そのため、ICチップでの発熱量が多くなってお
り、より放熱効果の高い基板が必要となってきている。
【0003】
【従来の技術】電子機器において発熱量の大きい部品を
冷却する方法として、ヒートパイプを用いること、及び
プリント基板パッケージを薄型化するために図2に示し
たように、ヒートパイプをプリント基板に内蔵する技術
が知られている。
【0004】図7は従来例として特願平2−24864
4号記載のヒートパイプ内蔵基板の構成を示す。
【0005】この回路基板11は、基板18の両面に回
路パターン18,20を有するタイプで、表面に回路パ
ターン18を有する絶縁シート13と、接着材層14
と、均熱用の金属板15と、接着材層21と、絶縁板2
2と、接着材層23と、均熱用の金属板24と、接着材
層25と、表面(下面側)に回路パターン20を有する
絶縁シート27とが積層一体化され、絶縁板22と接着
材層21,23で構成される絶縁基板16内に、基板2
9面と平行な平面を有するように偏平に成形されたヒー
トパイプの吸熱部17aが埋め込まれているものであ
る。
【0006】ヒートパイプの吸熱部17aは従来同様、
発熱部品実装部12aの直下に埋め込まれ、放熱部(図
示せず)は外部に露出させてある。また下面側の回路パ
ターン26にも発熱部品実装部が設けられることもあ
る。
【0007】以上の構成からなるヒートパイプ内蔵基板
において、発熱部品実装部18aに搭載されたICチッ
プ(図示せず)から放出された熱は、矢印60で示すよ
うに、発熱部品実装部18a,絶縁シート13,接着材
層14,金属板15,接着材層21を通過してヒートパ
イプの吸熱部17aに吸収される。
【0008】そしてこの熱はヒートパイプの放熱部17
b(図示せず)に移送され、外部に放出されるようにな
り回路基板11及び発熱部品の温度上昇を抑制してい
る。
【0009】次に上記のようなヒートパイプ内蔵基板の
製造方法を図8(A)及び(B)とともに説明する。
尚、図7と同じ構成部品には同一符号を付しその説明は
省略する。
【0010】ヒートパイプ17は埋め込み前は断面円形
のもので、圧潰を容易にするため予め焼鈍されている。
絶縁板22はヒートパイプ17の吸熱部17aが偏平に
圧潰されたときの厚さと同等の厚さを有するガラスエポ
キシ基板、紙フェノール基板等からなるもので、ヒート
パイプの吸熱部17aが入る凹部28が形成されてい
る。このような絶縁板22を使用すると、ホットプレス
時にヒートパイプ17を定位置に位置決めすることがで
きると共に、吸熱部17aが絶縁板22の厚さ以下には
圧潰されず、偏平に成形した後の厚さを一定にできると
いう利点がある。
【0011】絶縁板22の凹部28にヒートパイプ17
の吸熱部17aを挿入した状態で、図8(A)に示すよ
うに、その上側に、接着材シート21,金属板15,接
着材シート14,絶縁シート13と銅箔12の張り合わ
せ体を積層し、同様に下側にも、接着材シート23,金
属板24,接着材シート25,絶縁シート27と銅箔2
6の張り合わせ体を積層する。各接着材シートとしては
プリプレグシート等が使用される。
【0012】以上のような積層体をホットプレス31に
より加熱加圧する。するとヒートパイプの吸熱部17a
が絶縁板22の厚さまで圧潰されて偏平になると共に、
各接着材シートが溶融して全体が接着一体化される。こ
のホットプレス作業は基板内にボイドができないように
真空中で行うことが好ましい。ヒートパイプの吸熱部1
7aと絶縁板22との隙間は接着材シート21,23か
ら流れ出す樹脂で埋められる。
【0013】ホットプレス終了後、両面の銅箔12,2
6をパターンエッチングして回路パターンを形成すれ
ば、図7に示すようなヒートパイプ内蔵基板が得られ
る。
【0014】なお、以上のような方法でヒートパイプ内
蔵基板を製造すると、図7に示すように、ヒートパイプ
の吸熱部17aは、偏平にはなるが、その上下面が平面
にならず、上下面の中央部が若干へこんだ形(略まゆ
形)になる場合もある。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】従来のヒートパイプ内
蔵基板は、ヒートパイプと金属板との間に接着材層が介
在している。また、ヒートパイプの吸熱部の外周部は、
ホットプレス時に接着材層からにじみ出た樹脂によって
覆われている。
【0016】この樹脂は熱伝導性が悪いため、発熱部品
の実装部からの熱がこの接着材層と樹脂部分を通過する
際の熱抵抗となり、効率的な熱の移送ができないという
問題がある。
【0017】さらに、発熱部品実装部と金属板との間に
も、絶縁シートと接着材層が介在しているため、この部
分での熱抵抗も効率的な熱の移送を阻止しているという
問題がある。
【0018】本発明は上記課題に鑑みなされたもので、
発熱部品から放出された熱を効率的に外部に放出するヒ
ートパイプ内蔵基板とその製造方法を提供することを目
的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記課題は、表面に回路
パターンと、その内部に積層した金属板を有する基板内
にヒートパイプの吸熱部を内蔵してなるヒートパイプ内
蔵基板において、前記ヒートパイプの吸熱部と、前記金
属板15を少なくとも樹脂より熱伝導性の良好な融着部
材により融着した構造とすることにより解決される。
【0020】そしてその構造は、前記ヒートパイプの吸
熱部17aの外周にあらかじめ融着部材を所定量コーテ
ィングしておき、前記金属板と前記ヒートパイプの吸熱
部とを前記融着部材により融着するようにホットプレス
で加熱することにより製造される。
【0021】また、表面に回路パターンを有した絶縁シ
ート13と、接着材層と金属板を有する基板内にヒート
パイプの吸熱部を内蔵してなるヒートパイプ内蔵基板に
おいて、発熱部品を実装する実装部31を、前記絶縁シ
ートと接着材層の一部を除去し、前記金属板の表面が一
部露出した構造とすることによっても放熱効果は高ま
る。
【0022】さらに、表面に回路パターンを有した絶縁
シートと、接着材層と、金属板15を有する基板内にヒ
ートパイプの吸熱部を内蔵してなるヒートパイプ内蔵基
板において、前記ヒートパイプの吸熱部と、前記金属板
15を熱伝導性の良好な融着部材により融着した構造と
するとともに、発熱部品を実装する実装部を、前記絶縁
シートと接着材層の一部を除去し、前記金属板の表面が
一部露出する構造とすれば放熱効果は大となる。
【0023】
【作用】ヒートパイプの吸熱部と金属板を熱伝導性の良
好な融着部材で融着した構造は前記金属板からヒートパ
イプの吸熱部までの熱抵抗を小さくする。
【0024】そして、前記ヒートパイプの吸熱部にあら
かじめ融着部材を所定量コーティングしておくことはホ
ットプレス時にその融着部材が溶融し、前記ヒートパイ
プの吸熱部と金属板を融着するよう作用する。
【0025】また発熱部品の実装部を金属板の表面とし
た構造は発熱部品から金属板までの熱抵抗を低減する。
【0026】さらにヒートパイプの吸熱部と金属板を熱
伝導性の良好な融着部材で融着するとともに発熱部品の
実装部を金属板表面とした構造は発熱部品からヒートパ
イプ吸熱部までの熱抵抗を低減するように作用する。
【0027】
【実施例】図1は本発明の第1実施例の構成を示す部分
断面図である。その断面方向はヒートパイプの長手方向
に対して直角になっている。
【0028】同図に示した回路基板11は、基板29の
両面に回路パターン18,20を有したものである。
【0029】その構造は、表面に回路パターン18を有
する絶縁シート13と、接着材層14と、均熱用の金属
板15と、接着材層21と、絶縁板22と接着材層23
と、均熱用の金属板24と、接着材層25と、表面(下
側面)に回路パターン20を有する絶縁シート27とが
積層一体化され構成されている。
【0030】そして、前記絶縁板22は、図4に示すよ
うに、ヒートパイプの吸熱部17aが入り込むように切
除された切除部22aを有している。また前記接着材層
21,23も前記絶縁板22と同様な形状に切除されて
いる。
【0031】そして、前記絶縁板22の切除部22aと
金属板15,24とで形成した空間には、基板29面と
平行な平面を有するように偏平に成形されたヒートパイ
プの吸熱部17aが配置され、前記金属板15,24と
ヒートパイプの吸熱部17aとは、融着部材30により
融着された状態となっている。
【0032】この融着部材30は熱伝導性が良好な材料
で出来ている。
【0033】そして、前記ヒートパイプの吸熱部17a
は発熱部品実装部18aの直下に埋め込まれ、放熱部
(図示せず)は外部に露出させてある。発熱部品実装部
は下面側の回路パターン20にも設けられることもあ
る。
【0034】発熱部品実装部18aには発熱部品が実装
されるわけであるが、この熱は図1の放熱を示す矢印6
0に示すように、熱抵抗の小さい前記金属板15,融着
部材30を通過してヒートパイプの吸熱部17aに吸収
される。
【0035】従って、本実施例によるヒートパイプ内蔵
基板は、従来のヒートパイプ内蔵基板より効率的に放熱
し、発熱部品及び基板の温度上昇を抑制することができ
る。
【0036】次に上記のようなヒートパイプ内蔵基板の
製造方法を、図3及び図4とともに説明する。
【0037】図3は図1に示す回路基板11を積層一体
化する前の構成を示す図であり、図4は接着材層21,
絶縁板22,接着材層23の平面図である。両図とも図
1と同じ構成部品には同一符号を付しその説明は省略す
る。
【0038】ヒートパイプ17の吸熱部17aは略絶縁
板22の厚さに圧潰されており、その周部には所定量の
融着部材30(例えば融点150℃以下の3元素系のは
んだ)がコーティングされている。
【0039】絶縁板22はガラスエポキシ基板、フェノ
ール基板等からなるもので、融着部材のコーティングさ
れたヒートパイプの吸熱部17aが入る切除部22aが
形成されている。
【0040】このような絶縁板22を使用すると、ホッ
トプレス時にヒートパイプ17を定位置に位置決めする
ことができる。
【0041】また、接着材層21,23はプリプレグシ
ート等よりなるもので、前記絶縁板22と同じ形状に切
除部21a,23a(図示せず)が形成されている。
【0042】絶縁板22の切除部22aにヒートパイプ
17の吸熱部17aを挿入した状態で、図3に示すよう
に、その上側に接着材層21,金属板15,接着材層1
4,絶縁シート13と銅箔12の張り合わせ体を積層
し、同様に下側にも、接着材層23,金属板24,接着
材層25,絶縁シート27と銅箔26の張り合わせ体を
積層する。
【0043】以上のような積層体をホットプレス32に
より加熱加圧する。すると各接着材層は溶融し、全体が
接着一体化されるとともに、ヒートパイプの吸熱部17
aの周部にコーティングされていた前記融着部材30
は、ホットプレスによる加熱のため溶融する。
【0044】この溶融した前記融着部材30は、前記絶
縁板22の切除部22aと前記金属板15,24とで形
成する空間を埋めるように流れ、前記ヒートパイプの吸
熱部17aと前記金属板15,24とを融着する。
【0045】ホットプレス終了後、両面の銅箔12,2
6をパターンエッチングして回路パターンを形成すれ
ば、図1に示すようなヒートパイプ内蔵基板が得られ
る。
【0046】次に本発明の第2実施例を図5とともに説
明する。同図中、図1に示す第1実施例と同じ構成部品
には、同一符号を付し、その説明は省略する。
【0047】図5に示した回路基板11は、図7に示し
た従来例と同様に成形したものであるが、絶縁シート1
3,27,及び接着材層14,24は、あらかじめ発熱
部品実装予定位置が切除されているため、発熱部品実装
部31が露出して成形されている。
【0048】この発熱部品実装部31に、ベアチップな
どのCOB(チップ・オンボード)タイプのLSI(大
規模集積回路)41を、導電ペースト等を介して搭載す
る。
【0049】これにより、前記LSI41と金属板15
の間の熱抵抗は減少し、図5の放熱を示す矢印60で示
した放熱は効率的になる。
【0050】次に本発明の第3実施例を図6とともに説
明する。同図中、図1に示す第1実施例と同じ構成部品
には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0051】図6に示した回路基板11は、図1に示し
た第1実施例と同様に成形したものであるが、絶縁シー
ト13,27,及び接着材層14,24は、あらかじめ
発熱部品実装予定位置が切除されているため、発熱部品
実装部31が露出して成形されている。
【0052】この発熱部品実装部31に、ベアチップな
どのCOB(チップ・オン・ボード)タイプのLSI
(大規模集積回路)41を、導電ペースト等を介して搭
載する。 これにより、前記LSI41と金属板15の
間の熱抵抗は減少し、さらに、このLSIによる放熱は
熱抵抗の小さい前記金属板15,融着部材30を通過し
てヒートパイプの吸熱部17aに吸収されるため、上述
の第1実施例と第2実施例の放熱効果を合わせ持った非
常に温度上昇抑制効果の高い回路基板となる。
【0053】
【発明の効果】以上説明した様に、請求項1の発明によ
れば、発熱部品からの熱を導伝性の良好な融着部材を介
して金属板からヒートパイプの吸熱部に吸収させること
により発熱部品の熱を効率的に放熱させることができ
る。
【0054】これによって発熱量の多い部品も十分に放
熱させることができ、温度の上昇を抑制できる。
【0055】請求項1に記載の基板構造は、請求項2に
記載したように、ヒートパイプ吸熱部に融着部材をコー
ティングしてホットプレスすることにより容易に製造可
能となる。
【0056】また、請求項3の発明によれば、COBタ
イプのLSIを、効率良く放熱することができる。
【0057】さらに、請求項4の発明によれば、COB
タイプのLSIからヒートパイプ吸熱部までの熱抵抗が
非常に小さくなり放熱性が格段、上昇する。
【0058】また、従来の技術では放熱が困難といわれ
ていたベアチップの冷却方法としては非常に効果的であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図2】従来例の全体構成を示す図である。
【図3】第1実施例の製造方法を説明する図である。
【図4】第1実施例の構成部品を説明する図である。
【図5】本発明の第2実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図6】本発明の第3実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図7】従来例の構成を示す断面図である。
【図8】従来例の製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
11 回路基板 13 絶縁シート 14,21 接着材層 15 金属板 17a 吸熱部 18a,31 発熱部品実装部 22 絶縁板 30 融着部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松永 勝樹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面に回路パターン(18)と、その内
    部に積層した金属板(15)を有する基板内にヒートパ
    イプの吸熱部(17a)を内蔵してなるヒートパイプ内
    蔵基板において、 前記ヒートパイプの吸熱部(17a)と、前記金属板
    (15)を少なくとも樹脂より熱伝導性の良好な融着部
    材(30)により融着した構造としたことを特徴とする
    ヒートパイプ内蔵基板。
  2. 【請求項2】 金属板(15)を含んだ回路基板の材料
    を内部にヒートパイプの吸熱部(17a)を挟んだ状態
    で積層し、ホットプレスにより加熱加圧することによっ
    てヒートパイプ内蔵基板を製造する方法において、 前記ヒートパイプの吸熱部(17a)の外周にあらかじ
    め融着部材(30)を所定量コーティングしておき、前
    記金属板(15)と前記ヒートパイプの吸熱部(17
    a)とを前記融着部材(30)により融着するように前
    記ホットプレスで加熱することを特徴としたヒートパイ
    プ内蔵基板の製造方法。
  3. 【請求項3】 表面に回路パターン(18)を有した絶
    縁シート(13)と接着材層(14)と金属板(15)
    を有する基板内にヒートパイプの吸熱部(17a)を内
    蔵してなるヒートパイプ内蔵基板において、 発熱部品を実装する実装部(31)を、前記絶縁シート
    (13)と接着材層(14)の一部を除去し、前記金属
    板(15)の表面が一部露出した構造としたことを特徴
    としたヒートパイプ内蔵基板。
  4. 【請求項4】 表面に回路パターン(18)を有した絶
    縁シート(13)と、接着材層(14)と、金属板(1
    5)を有する基板内にヒートパイプ吸熱部(17a)を
    内蔵してなるヒートパイプ内蔵基板において、 前記ヒートパイプの吸熱部(17a)と、前記金属板
    (15)を熱伝導性の良好な融着部材(30)により融
    着した構造とするとともに、 発熱部品を実装する実装部(31)を、前記絶縁シート
    (13)と接着材層(14)の一部を除去し、前記金属
    板(15)の表面が一部露出した構造としたことを特徴
    としたヒートパイプ内蔵基板。
JP28169391A 1991-10-28 1991-10-28 ヒートパイプ内蔵基板とその製造方法 Withdrawn JPH05121846A (ja)

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