JPH049757A - フッ素またはフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析方法およびその装置 - Google Patents
フッ素またはフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析方法およびその装置Info
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- JPH049757A JPH049757A JP11354390A JP11354390A JPH049757A JP H049757 A JPH049757 A JP H049757A JP 11354390 A JP11354390 A JP 11354390A JP 11354390 A JP11354390 A JP 11354390A JP H049757 A JPH049757 A JP H049757A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、フッ素またはフン化塩素中の微量不純物の分
析方法に関するものであり、さらに詳しくは、エキシマ
レーザ−用、クリーニング用等、種々の用途に有用なフ
ッ素またはフン化塩素ガス中の窒素、水素、酸素、−酸
化炭素、二酸化炭素等の微量不純物の分析方法ならびに
その装置に関するものである。
析方法に関するものであり、さらに詳しくは、エキシマ
レーザ−用、クリーニング用等、種々の用途に有用なフ
ッ素またはフン化塩素ガス中の窒素、水素、酸素、−酸
化炭素、二酸化炭素等の微量不純物の分析方法ならびに
その装置に関するものである。
[従来技術]
フッ素、フッ化塩素ガスは、最近の電子産業の発展に伴
いエキシマレーザ−用、CVD装置のクリーニング用等
、様々な用途に使用されるようになってきており、その
用途も年々法がってきてぃる。しかし、これらのガスは
非常に腐食性が激しいため取扱いにくり、組成分析を行
う場合でもそれに耐えうる材質の装置や分離用充填剤等
がなく、ガスクロマトグラフィー等により簡単にその不
純物濃度を測定することはできない。
いエキシマレーザ−用、CVD装置のクリーニング用等
、様々な用途に使用されるようになってきており、その
用途も年々法がってきてぃる。しかし、これらのガスは
非常に腐食性が激しいため取扱いにくり、組成分析を行
う場合でもそれに耐えうる材質の装置や分離用充填剤等
がなく、ガスクロマトグラフィー等により簡単にその不
純物濃度を測定することはできない。
主要成分のガス量を測定する方法としては、検知器にテ
フロンコーティングを施しその他のガスが接触する部分
には耐食性の材料を使用した耐食性ガスクロマドグラブ
イーを用いる方法等があるが、各成分を分けるための適
当な充填剤がないため、微量成分を分析することはでき
ず、未だに適当な分析方法が殆どないのが現状である。
フロンコーティングを施しその他のガスが接触する部分
には耐食性の材料を使用した耐食性ガスクロマドグラブ
イーを用いる方法等があるが、各成分を分けるための適
当な充填剤がないため、微量成分を分析することはでき
ず、未だに適当な分析方法が殆どないのが現状である。
[問題点を解決するための具体的手段]本発明者らは、
上記のような現状からフッ素またはフッ化塩素ガス中の
微量不純物の測定方法について鋭意検討した結果、フッ
素、フッ化塩素を食塩のような塩化物により一旦塩素ガ
スに変換した後、吸着等の手段により塩素ガスだけを完
全に除去することにより、前記層を通過する水素、窒素
、酸素等の微量成分をガスクロマトグラフィーにより測
定できることを見い出し、本発明に到達したものである
。
上記のような現状からフッ素またはフッ化塩素ガス中の
微量不純物の測定方法について鋭意検討した結果、フッ
素、フッ化塩素を食塩のような塩化物により一旦塩素ガ
スに変換した後、吸着等の手段により塩素ガスだけを完
全に除去することにより、前記層を通過する水素、窒素
、酸素等の微量成分をガスクロマトグラフィーにより測
定できることを見い出し、本発明に到達したものである
。
すなわち本発明は、F2 、CIF、 CIF3、C
IF5のうち少なくとも1種類以上のガスを含有するフ
ッ化塩素ガスを塩化物充填層を通して塩素ガスに変換し
た後、塩素ガスを完全に除去し、その後ガスクロマトグ
ラフィーにより分析することを特徴とするフッ化塩素ガ
ス中の微量不純物の分析方法、および塩化物充填層を有
する管、一定容積のサンプリング管、排気管および塩素
除去管と三方コックが付設されたガスクロマトグラフが
流路の切り替え可能なロータリーパルプにより連結され
ており、その連結方法として初め分析用ガスが塩化物充
填層、サンプソング管、排気管を順次通過する流路とな
り、ロータリーバルブを切り替えることによりガスクロ
マトグラフのキャリヤーガスがサンプリング管を通過し
た後に塩素除去管、三方コックを通過し、さらにガスク
ロマトグラフを通過するように設置されたフッ化塩素ガ
ス中の微量不純物の分析装置を提供するものである。
IF5のうち少なくとも1種類以上のガスを含有するフ
ッ化塩素ガスを塩化物充填層を通して塩素ガスに変換し
た後、塩素ガスを完全に除去し、その後ガスクロマトグ
ラフィーにより分析することを特徴とするフッ化塩素ガ
ス中の微量不純物の分析方法、および塩化物充填層を有
する管、一定容積のサンプリング管、排気管および塩素
除去管と三方コックが付設されたガスクロマトグラフが
流路の切り替え可能なロータリーパルプにより連結され
ており、その連結方法として初め分析用ガスが塩化物充
填層、サンプソング管、排気管を順次通過する流路とな
り、ロータリーバルブを切り替えることによりガスクロ
マトグラフのキャリヤーガスがサンプリング管を通過し
た後に塩素除去管、三方コックを通過し、さらにガスク
ロマトグラフを通過するように設置されたフッ化塩素ガ
ス中の微量不純物の分析装置を提供するものである。
本発明で分析することのできるガスは、F2、CIF、
、CIF3、CIF5であり、それらの混合ガスもその
組成がわかっていれば、塩素に変換された時の容量の変
化が計算できるので不純物濃度を測定できる。塩化物充
填層11において塩素に変換せしめるための充填剤とし
ては、塩化物を使用するが、アルカリ金属やアルカリ土
類金属の塩化物が使用でき、その中でも塩化ナトリウム
または塩化カリウムが塩素への定量的な変換という点か
らも好ましい。
、CIF3、CIF5であり、それらの混合ガスもその
組成がわかっていれば、塩素に変換された時の容量の変
化が計算できるので不純物濃度を測定できる。塩化物充
填層11において塩素に変換せしめるための充填剤とし
ては、塩化物を使用するが、アルカリ金属やアルカリ土
類金属の塩化物が使用でき、その中でも塩化ナトリウム
または塩化カリウムが塩素への定量的な変換という点か
らも好ましい。
塩化ナトリウムを充填剤として使用した場合の化学的変
化を式で表わすと、下記のようになる。
化を式で表わすと、下記のようになる。
F2 + 2NaC1→C12+2NaF (a
)CIF + NaCl →C12+ NaF
(alCIF3 + 3 NaCl −2C
12+ 3 NaF (blCIF5 +5 N
aCl →3 C12+ 5 NaF (cl
従って、F2、CIFを使用した場合は、塩素に変換さ
れた後も容量変化が無く、ClF3の場合は2倍、Cl
F5の場合は3倍に容量が変化することになる。
)CIF + NaCl →C12+ NaF
(alCIF3 + 3 NaCl −2C
12+ 3 NaF (blCIF5 +5 N
aCl →3 C12+ 5 NaF (cl
従って、F2、CIFを使用した場合は、塩素に変換さ
れた後も容量変化が無く、ClF3の場合は2倍、Cl
F5の場合は3倍に容量が変化することになる。
これは、アルカリ土類金属の塩化物を用いた場合も同様
である。また、フッ化塩素ガスが上記ガスの混合ガスの
場合は、F2を1(νoH)、C[Fをm (volχ
)、ClF3をn (volχ)、ClF5をp (v
o1%)とすると、その容量変化は充填剤通過前のガス
量に比べて(0,01jl! +0.01m + 0.
02n + 0.03p )倍となる。勿論この際、水
素、窒素、酸素等の微量成分はそのまま通過するので、
その後ガスクロマトグラフに導入して分離、定量すれば
よい。
である。また、フッ化塩素ガスが上記ガスの混合ガスの
場合は、F2を1(νoH)、C[Fをm (volχ
)、ClF3をn (volχ)、ClF5をp (v
o1%)とすると、その容量変化は充填剤通過前のガス
量に比べて(0,01jl! +0.01m + 0.
02n + 0.03p )倍となる。勿論この際、水
素、窒素、酸素等の微量成分はそのまま通過するので、
その後ガスクロマトグラフに導入して分離、定量すれば
よい。
塩素除去管17では、上記ガス中の主成分である塩素の
みを完全に除去すればよく、そのためには塩素を吸収す
るかまたは吸着するような物質を含有する層を通過せし
めればよい。上記目的に使用できるものとしては、アル
カリ金属の水酸化物の水溶液、Si+ Mg+ Mn、
Ge、 Fe+ Cr、 Co+ Zn、 P b等
の金属、いわゆるポーラスポリマーと呼ばれる比表面積
が100 rrr/g以上と表面積の大きい樹脂等があ
る。アルカリ金属水酸化物の溶液としては、苛性ソーダ
や苛性カリの水溶液を用いることができ、上記溶液中に
ガスを吹き込むことにより吸収され次亜塩素酸塩となる
。
みを完全に除去すればよく、そのためには塩素を吸収す
るかまたは吸着するような物質を含有する層を通過せし
めればよい。上記目的に使用できるものとしては、アル
カリ金属の水酸化物の水溶液、Si+ Mg+ Mn、
Ge、 Fe+ Cr、 Co+ Zn、 P b等
の金属、いわゆるポーラスポリマーと呼ばれる比表面積
が100 rrr/g以上と表面積の大きい樹脂等があ
る。アルカリ金属水酸化物の溶液としては、苛性ソーダ
や苛性カリの水溶液を用いることができ、上記溶液中に
ガスを吹き込むことにより吸収され次亜塩素酸塩となる
。
次に、前記した金属の場合はこれらを塩素と反応しやす
いような粉末の形にし、金属によっては反応しやすいよ
うに温度を上げて塩素との反応を行う。またこの際生成
した塩化物の沸点があまり高くない場合は、冷却トラッ
プ等を設置することにより、固化させて除去することが
できる。
いような粉末の形にし、金属によっては反応しやすいよ
うに温度を上げて塩素との反応を行う。またこの際生成
した塩化物の沸点があまり高くない場合は、冷却トラッ
プ等を設置することにより、固化させて除去することが
できる。
塩素除去の目的に使用される物質としては、ポーラスポ
リマーが最も好ましい。このポーラスポリマーは、ガス
クロマトグラフ用ポーラスポリマービーズという名前で
も使用されており、上記したように比表面積が大きいも
のであり、使われている樹脂としては、ビニールピロリ
ドン、ビニルピロリジン、エチルビニールベンゼンージ
ビニールベンゼンの共重合体および該重合体の表面がシ
ラン化されたもの等で、その粒度としては50〜120
メツシユのものが好ましい。このポーラスポリマーの例
としては、米国ウォータース社よりボラパックの商品名
で販売されている。1例として、ボラバックRと呼ばれ
るビニールピロリドンを使用した場合は、0℃程度まで
冷却することにより塩素のみを吸着し、しかもその他の
不純物ガスである水素、酸素、窒素、−酸化炭素の混合
ガスと二酸化炭素が分離された形で充填層から出てくる
。
リマーが最も好ましい。このポーラスポリマーは、ガス
クロマトグラフ用ポーラスポリマービーズという名前で
も使用されており、上記したように比表面積が大きいも
のであり、使われている樹脂としては、ビニールピロリ
ドン、ビニルピロリジン、エチルビニールベンゼンージ
ビニールベンゼンの共重合体および該重合体の表面がシ
ラン化されたもの等で、その粒度としては50〜120
メツシユのものが好ましい。このポーラスポリマーの例
としては、米国ウォータース社よりボラパックの商品名
で販売されている。1例として、ボラバックRと呼ばれ
るビニールピロリドンを使用した場合は、0℃程度まで
冷却することにより塩素のみを吸着し、しかもその他の
不純物ガスである水素、酸素、窒素、−酸化炭素の混合
ガスと二酸化炭素が分離された形で充填層から出てくる
。
従って、これらの不純物ガスを分MIFJなしでガスク
ロマトグラフの検出器により直接分析すれば、水素、酸
素、窒素、−酸化炭素の合計量と二酸化炭素の容量を測
定することができる。一方、モレキュラーシーブ5Aの
ようなガスクロマトグラフィー用の充填剤を用いて分析
すれば、水素、酸素、窒素、−酸化炭素の各成分を分離
できるので、それぞれの容量を測定することができる。
ロマトグラフの検出器により直接分析すれば、水素、酸
素、窒素、−酸化炭素の合計量と二酸化炭素の容量を測
定することができる。一方、モレキュラーシーブ5Aの
ようなガスクロマトグラフィー用の充填剤を用いて分析
すれば、水素、酸素、窒素、−酸化炭素の各成分を分離
できるので、それぞれの容量を測定することができる。
不純物ガス成分の量がνolppmオーダーと微量であ
る場合は、感度の良いヘリウムイオン化検出器(以下、
HIDと略記する。)を内蔵したガスクロマトグラフを
使用することにより定量性よく測定できる。
る場合は、感度の良いヘリウムイオン化検出器(以下、
HIDと略記する。)を内蔵したガスクロマトグラフを
使用することにより定量性よく測定できる。
以上のような方法を用いて、フッ素またはフッ化塩素中
の不純物ガスの分析を行うわけであるが、その装置とし
ては以下に記述するものを使用するのが適当である。す
なわち、まず初めに原料ガスの主成分を塩素に変換した
後、一定量をサンプリングするための流路を確保する設
備が必要となる。
の不純物ガスの分析を行うわけであるが、その装置とし
ては以下に記述するものを使用するのが適当である。す
なわち、まず初めに原料ガスの主成分を塩素に変換した
後、一定量をサンプリングするための流路を確保する設
備が必要となる。
原料ガスまたは塩素ガスに接触する部分は、ニッケルの
ような耐腐食性の材質である必要があり、塩化物充填層
を有する管およびサンプリング管I3はニッケル製が好
ましい。また、塩化物充填層11で塩素への変換を10
0%にするためには、加熱を行うのが好ましく、通常塩
化ナトリウムの場合は100℃以上にするのが好ましい
。
ような耐腐食性の材質である必要があり、塩化物充填層
を有する管およびサンプリング管I3はニッケル製が好
ましい。また、塩化物充填層11で塩素への変換を10
0%にするためには、加熱を行うのが好ましく、通常塩
化ナトリウムの場合は100℃以上にするのが好ましい
。
サンプリング管13の容量は数mllあればよい。サン
プリング管で主成分が塩素に変換され、他の系から混入
するガスを含まないガスをサンプリングするためには、
サンプリング管内のエヤーや他の分析で該当するガスを
完全に排気する必要があり、そのためサンプルガスの流
路をヘリウム等の不活性ガスで数回置換しながら真空ポ
ンプで排気する操作を数回繰り返す。その後、サンプル
ガスボンベよりガスを導入してその時の真空度を正確に
真空針により読み取ってサンプル量を決定する。そのた
め初めフッ素またはフン化塩素ガスが塩化物充填層、ロ
ータリーバルブ、サンプリング管、ロータリーバルブ、
排気管を順次通過する流路となるようロータリーバルブ
により結合されており、必要な個所はバルブが配置され
ている。ロータリーバルブはお互いに連絡した3対の通
路を切り替えて使用するようになっており、上記した状
態では、残った1対の通路はガスクロマトグラフに結合
して、キャリヤーガスが流れるようになっている。
プリング管で主成分が塩素に変換され、他の系から混入
するガスを含まないガスをサンプリングするためには、
サンプリング管内のエヤーや他の分析で該当するガスを
完全に排気する必要があり、そのためサンプルガスの流
路をヘリウム等の不活性ガスで数回置換しながら真空ポ
ンプで排気する操作を数回繰り返す。その後、サンプル
ガスボンベよりガスを導入してその時の真空度を正確に
真空針により読み取ってサンプル量を決定する。そのた
め初めフッ素またはフン化塩素ガスが塩化物充填層、ロ
ータリーバルブ、サンプリング管、ロータリーバルブ、
排気管を順次通過する流路となるようロータリーバルブ
により結合されており、必要な個所はバルブが配置され
ている。ロータリーバルブはお互いに連絡した3対の通
路を切り替えて使用するようになっており、上記した状
態では、残った1対の通路はガスクロマトグラフに結合
して、キャリヤーガスが流れるようになっている。
次に、ロータリーバルブエ4を切り替えると、流路が変
化し、ガスクロマトグラフからのキャリヤーガスは、サ
ンプリング管に入ってサンプリングしたガスを押出し、
再びガスクロマトグラフの配管に戻って塩素除去管17
と三方コック18を通りガスクロマトグラフ内のガスク
ロマトグラフ用カラム、検出器を通過して系外に排出さ
れる。この際、塩素除去管を通過したガスは、主成分の
塩素が吸収または吸着することにより除去される。管を
通過した水素、酸素、窒素、−酸化炭素、二酸化炭素等
は、ガスクロカラムに入り、充填剤によって分離され、
検出器で検出される。
化し、ガスクロマトグラフからのキャリヤーガスは、サ
ンプリング管に入ってサンプリングしたガスを押出し、
再びガスクロマトグラフの配管に戻って塩素除去管17
と三方コック18を通りガスクロマトグラフ内のガスク
ロマトグラフ用カラム、検出器を通過して系外に排出さ
れる。この際、塩素除去管を通過したガスは、主成分の
塩素が吸収または吸着することにより除去される。管を
通過した水素、酸素、窒素、−酸化炭素、二酸化炭素等
は、ガスクロカラムに入り、充填剤によって分離され、
検出器で検出される。
上記ガスを分離する充填剤としてはモレキュラーシーブ
5Aが好ましい。この場合、二酸化炭素は吸収されるの
で、他の充填剤で分離する遼・要があるが、塩素の吸着
用として使用できる上述のポーラスポリマーのボラバッ
クRと呼ばれるビニルとロリドン製の充填剤は、二酸化
炭素と他のガス成分を分離することができるので、これ
を使用できる。ガスクロマトグラフの検出器としては無
機元素にたいして感度のよいHIDが好ましく、その他
の一酸化炭素や二酸化炭素を検出する場合は水素炎イオ
ン化検出器(以下、FIDと略記する。)を用いてもよ
い。
5Aが好ましい。この場合、二酸化炭素は吸収されるの
で、他の充填剤で分離する遼・要があるが、塩素の吸着
用として使用できる上述のポーラスポリマーのボラバッ
クRと呼ばれるビニルとロリドン製の充填剤は、二酸化
炭素と他のガス成分を分離することができるので、これ
を使用できる。ガスクロマトグラフの検出器としては無
機元素にたいして感度のよいHIDが好ましく、その他
の一酸化炭素や二酸化炭素を検出する場合は水素炎イオ
ン化検出器(以下、FIDと略記する。)を用いてもよ
い。
塩素除去管で吸着または吸収した塩素は、吸着の場合は
管内の温度を上げることにより脱着させて、三方コック
を切り替えることによりガスクロマトグラフの分財剤を
含むカラムを通過させずに塩素ガスを排気すればよく、
吸収(反応)したものは管内の充填物を取り換えればよ
い。
管内の温度を上げることにより脱着させて、三方コック
を切り替えることによりガスクロマトグラフの分財剤を
含むカラムを通過させずに塩素ガスを排気すればよく、
吸収(反応)したものは管内の充填物を取り換えればよ
い。
上記装置の配管は、上述した塩化物充填層を有する管お
よびサンプリング管以外は、ステンレス製の配管でよく
、その径は3〜10mmφ程度のものを使用すればよい
。上述したような装置の一例として第1図に示すような
ものである。ここで、1〜9はバルブ、10は原料ガス
ボンベ、11.12は塩化物充填層、13はサンプリン
グ管、14はロータリーバルブ、15は真空計、16は
真空ポンプ、17は塩素除去管、18は三方バルブ、1
9はガスクロマトグラフ配管、20はガスクロマトグラ
フ、21はレコーダーである。
よびサンプリング管以外は、ステンレス製の配管でよく
、その径は3〜10mmφ程度のものを使用すればよい
。上述したような装置の一例として第1図に示すような
ものである。ここで、1〜9はバルブ、10は原料ガス
ボンベ、11.12は塩化物充填層、13はサンプリン
グ管、14はロータリーバルブ、15は真空計、16は
真空ポンプ、17は塩素除去管、18は三方バルブ、1
9はガスクロマトグラフ配管、20はガスクロマトグラ
フ、21はレコーダーである。
本発明の方法および装置により、不純物量としてそれぞ
れ数volppmのオーダー以上の量を測定することが
できる。
れ数volppmのオーダー以上の量を測定することが
できる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例1
第1図に示すClF3ボンベ10を装置の配管に接続し
、まずロータリーバルブ14を図示した状態にセットす
る。またヘリウムガスボンベをバルブ8カラ伸ヒるライ
ンに接続する。次にサンプルを採取するため真空ポンプ
を作動し、バルブ1〜9をすべて開け、バルブ9を開閉
しながら真空引きとヘリウムガス置換を繰り返して行い
、系内の空気を完全にパージする。系内を最終的に真空
引きした後、バルブ4〜7を閉じる。ClF3ボンベの
バルブを徐々に開け、NaClを充填したカラム11.
12内にClF3ガスを導入する。真空計の目盛りを見
ながらバルブ4を徐々にあけていき、200〜300m
mHgの範囲内で正確に真空度を測定しながらサンプリ
ング管内にCIF 3ガスを導入する。
、まずロータリーバルブ14を図示した状態にセットす
る。またヘリウムガスボンベをバルブ8カラ伸ヒるライ
ンに接続する。次にサンプルを採取するため真空ポンプ
を作動し、バルブ1〜9をすべて開け、バルブ9を開閉
しながら真空引きとヘリウムガス置換を繰り返して行い
、系内の空気を完全にパージする。系内を最終的に真空
引きした後、バルブ4〜7を閉じる。ClF3ボンベの
バルブを徐々に開け、NaClを充填したカラム11.
12内にClF3ガスを導入する。真空計の目盛りを見
ながらバルブ4を徐々にあけていき、200〜300m
mHgの範囲内で正確に真空度を測定しながらサンプリ
ング管内にCIF 3ガスを導入する。
ガスクロマトグラフ20からでるラインには図の矢印で
に示したような方向にヘリウムキャリヤーガスが流れて
いる。そこで、ロータリーバルブ14を切り替えてヘリ
ウムガスがサンプリング管13を通過するように設定し
、サンプリング管中のガスをガスクロマトグラフ20に
導入する。サンプリング管を出たガスは、塩素除去管1
7に入るが、塩素除去管はボラパックR(ウォーターズ
社製)が充填されており、氷を投入した水によって冷却
されている。ここで主成分の塩素は吸着し、除去され、
残った水素、酸素、窒素、−酸化炭素がガスクロマトグ
ラフ20に入り、カラム中の充填剤(モレキュラーシー
ブ5A)により分離され、HID検出器により検出され
てピーク面積が記録される。
に示したような方向にヘリウムキャリヤーガスが流れて
いる。そこで、ロータリーバルブ14を切り替えてヘリ
ウムガスがサンプリング管13を通過するように設定し
、サンプリング管中のガスをガスクロマトグラフ20に
導入する。サンプリング管を出たガスは、塩素除去管1
7に入るが、塩素除去管はボラパックR(ウォーターズ
社製)が充填されており、氷を投入した水によって冷却
されている。ここで主成分の塩素は吸着し、除去され、
残った水素、酸素、窒素、−酸化炭素がガスクロマトグ
ラフ20に入り、カラム中の充填剤(モレキュラーシー
ブ5A)により分離され、HID検出器により検出され
てピーク面積が記録される。
測定後の塩素の除去は、三方コックI8を切り替えてキ
ャリヤーガスがガスクロマトグラフ内20に入らず直接
系外に出るようにしておき、塩素除去管17を180〜
190°Cに加熱して吸着した塩素を系外に排出する。
ャリヤーガスがガスクロマトグラフ内20に入らず直接
系外に出るようにしておき、塩素除去管17を180〜
190°Cに加熱して吸着した塩素を系外に排出する。
次に、サンプルを測定したのと全く同様の操作で、その
含有量(νolppm)が既知の標準混合ガスのピーク
面積を測定し、次式により各成分の含有量を算出する。
含有量(νolppm)が既知の標準混合ガスのピーク
面積を測定し、次式により各成分の含有量を算出する。
すなわち、ClF3の場合はガス量が2倍になると考え
てよいので、 各成分(volppm) =標準値(volppm)
X [サンプルのピーク面積/標準ガスのピーク面積]
×2ガスクロマトグラフ内のカラムに充填剤を充填せず
、同様の測定を行うと、塩素除去管内17の充基剤によ
り、二酸化炭素と他のガス成分が分離されて検出器に入
るので、二酸化炭素量の測定ができる。その量の社葬方
法も同じである。
てよいので、 各成分(volppm) =標準値(volppm)
X [サンプルのピーク面積/標準ガスのピーク面積]
×2ガスクロマトグラフ内のカラムに充填剤を充填せず
、同様の測定を行うと、塩素除去管内17の充基剤によ
り、二酸化炭素と他のガス成分が分離されて検出器に入
るので、二酸化炭素量の測定ができる。その量の社葬方
法も同じである。
ガス量の求め方としては、その他社めに各成分の量とピ
ーク面積の関係を描いた検量線のグラフを作成しておく
こともできる。
ーク面積の関係を描いた検量線のグラフを作成しておく
こともできる。
[発明の効果]
本発明の方法および装置は、フッ素またはフッ化塩素ガ
ス中の水素、酸素、窒素、−酸化炭素、二酸化炭素等の
微量不純物を簡単にかつ精度よく分析できるという極め
て優れた効果を奏するものである。
ス中の水素、酸素、窒素、−酸化炭素、二酸化炭素等の
微量不純物を簡単にかつ精度よく分析できるという極め
て優れた効果を奏するものである。
第1図は、本発明のフッ素またはフッ化塩素ガス中の微
量不純物の分析装置を示す図である。 18二三方バルブ 19;ガスクロマトグラフ配管20
:ガスクロマトグラフ 21ニレコーダー1〜9:パル
7’IO:M粗ガスボンベ11.12 :塩化物充填層
13:サンプリング管14:ロータリーバルブ 15
:真空計16:真空ポンプ 17:塩素除去管
量不純物の分析装置を示す図である。 18二三方バルブ 19;ガスクロマトグラフ配管20
:ガスクロマトグラフ 21ニレコーダー1〜9:パル
7’IO:M粗ガスボンベ11.12 :塩化物充填層
13:サンプリング管14:ロータリーバルブ 15
:真空計16:真空ポンプ 17:塩素除去管
Claims (2)
- (1)F_2、CIF、CIF_3、CIF_5のうち
少なくとも1種類以上のガスからなり、そのガス中に不
純物を含有するガスを塩化物充填層を通して塩素ガスに
変換した後、塩素ガスを完全に除去し、その後ガスクロ
マトグラフィーにより分析することを特徴とするフッ化
塩素ガス中の微量不純物の分析方法。 - (2)塩化物充填層を有する管、一定容積のサンプリン
グ管、排気管および塩素除去管と三方コックが付設され
たガスクロマトグラフが流路の切り替え可能なロータリ
ーバルブにより連結されており、その連結方法として初
めF_2、CIF、CIF_3、CIF_5のうち少な
くとも1種類以上のガスからなり、そのガス中に不純物
を含有するガスが塩化物充填層、サンプリング管、排気
管を順次通過する流路となり、ロータリーバルブを切り
替えることによりガスクロマトグラフのキャリヤーガス
がサンプリング管を通過した後に塩素除去管、三方コッ
クを通過し、さらにガスクロマトグラフを通過するよう
に配管されたフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11354390A JP2725876B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | フッ素またはフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析方法およびその装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11354390A JP2725876B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | フッ素またはフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH049757A true JPH049757A (ja) | 1992-01-14 |
JP2725876B2 JP2725876B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=14614979
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11354390A Expired - Fee Related JP2725876B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | フッ素またはフッ化塩素ガス中の微量不純物の分析方法およびその装置 |
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Country | Link |
---|---|
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014716A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Showa Denko Kk | 高純度フッ素ガス中の微量不純物の分析方法 |
WO2006035609A1 (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-06 | Showa Denko K.K. | 微量成分の分析方法およびその分析装置 |
JP2007057371A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Showa Denko Kk | フッ素ガス中の含有ガス成分の定量分析方法およびこれに用いる装置 |
CN104678034A (zh) * | 2013-11-27 | 2015-06-03 | 上海宝钢工业技术服务有限公司 | 测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法 |
CN105510503A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-04-20 | 上海正帆科技股份有限公司 | 一种电子级氯气的分析装置和方法 |
CN106896179A (zh) * | 2015-12-21 | 2017-06-27 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种氟化工行业的环境在线监测系统和在线监测方法 |
CN109115919A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-01-01 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 气体中痕量氢气、氧气和氮气的气相色谱分析装置和分析方法 |
WO2020129726A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
CN112858553A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-28 | 四川红华实业有限公司 | 一种腐蚀性气体分析色谱仪及分析方法 |
CN114411174A (zh) * | 2022-03-01 | 2022-04-29 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 | 一种低温制备高纯氟气的电解工艺 |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11354390A patent/JP2725876B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104678034A (zh) * | 2013-11-27 | 2015-06-03 | 上海宝钢工业技术服务有限公司 | 测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法 |
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CN109115919A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-01-01 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 气体中痕量氢气、氧气和氮气的气相色谱分析装置和分析方法 |
CN109115919B (zh) * | 2018-10-29 | 2021-07-27 | 国家能源投资集团有限责任公司 | 气体中痕量氢气、氧气和氮气的气相色谱分析装置和分析方法 |
WO2020129726A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
KR20210087083A (ko) * | 2018-12-21 | 2021-07-09 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 할로겐 불화물의 제거 방법 및 할로겐 불화물 혼합가스 중의 함유 가스 성분의 정량 분석 방법, 정량 분석 장치 |
JPWO2020129726A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2021-11-04 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
US11779877B2 (en) | 2018-12-21 | 2023-10-10 | Resonac Corporation | Method for removing halogen fluoride, quantitative analysis method for gas component contained in halogen fluoride mixed gas, and quantitative analyzer |
CN112858553A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-28 | 四川红华实业有限公司 | 一种腐蚀性气体分析色谱仪及分析方法 |
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CN114411174A (zh) * | 2022-03-01 | 2022-04-29 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 | 一种低温制备高纯氟气的电解工艺 |
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Publication number | Publication date |
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JP2725876B2 (ja) | 1998-03-11 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |