JPH047330A - 分子末端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体およびその製造方法 - Google Patents
分子末端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体およびその製造方法Info
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- JPH047330A JPH047330A JP10708090A JP10708090A JPH047330A JP H047330 A JPH047330 A JP H047330A JP 10708090 A JP10708090 A JP 10708090A JP 10708090 A JP10708090 A JP 10708090A JP H047330 A JPH047330 A JP H047330A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、分子末端に不飽和基を含有する新規なオキシ
プロピレン重合体およびその製造方法に関する。
プロピレン重合体およびその製造方法に関する。
[従来の技術及び発明が解決しようとする課題]従来よ
り、分子鎖の末端に不飽和基を有するオキシプロピレン
重合体が知られている。
り、分子鎖の末端に不飽和基を有するオキシプロピレン
重合体が知られている。
しかしながら、従来、分子量分布の狭い(単分散性の大
きい)高分子量のポリオキシプロピレンの製造が困難で
あったため、末端に不飽和基を含有するポリオキシプロ
ピレンにおいても、分子量分布の広い(多分散性の大き
い)重合体しか知られていなかった。
きい)高分子量のポリオキシプロピレンの製造が困難で
あったため、末端に不飽和基を含有するポリオキシプロ
ピレンにおいても、分子量分布の広い(多分散性の大き
い)重合体しか知られていなかった。
最近、分子量分布の狭いポリオキシプロピレンが得られ
ることが報告されている。本発明者らは分子量分布の狭
いポリオキシプロピレンを主鎖として用い末端に不飽和
基を導入した重合体は、硬化前において粘度が低く、取
扱いが容易であり、硬化後のゴム状硬化物はすぐれた引
張り特性のほか、耐薬品性、耐水性を有することを見出
し本発明に至った。
ることが報告されている。本発明者らは分子量分布の狭
いポリオキシプロピレンを主鎖として用い末端に不飽和
基を導入した重合体は、硬化前において粘度が低く、取
扱いが容易であり、硬化後のゴム状硬化物はすぐれた引
張り特性のほか、耐薬品性、耐水性を有することを見出
し本発明に至った。
[課題を解決するための手段及び作用コ本発明の分子末
端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体は、重
合主鎖が本質的にCH3 式 −CH−CH,、−0− で示される繰り返し単位からなり、末端基の70%以上
が式(1): %式%(1) [式中、R1は水素原子、/XXロジン子また1よ炭素
数が1〜10の置換もしくは非置換の1価の脂肪族炭化
水素基、Zは−R2 II ’ II
1l−R20C−−R−C−−R2NHC−C− NEC− または −C−NHC− (R2は炭素数1〜20の2価の炭化水素基から選ばれ
た同種または異種の基)、aは0または1である] で示される不飽和基である、数平均分子量が3゜000
以上テM w / M nが1.5以下のオキシプロピ
レン重合体である。
端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体は、重
合主鎖が本質的にCH3 式 −CH−CH,、−0− で示される繰り返し単位からなり、末端基の70%以上
が式(1): %式%(1) [式中、R1は水素原子、/XXロジン子また1よ炭素
数が1〜10の置換もしくは非置換の1価の脂肪族炭化
水素基、Zは−R2 II ’ II
1l−R20C−−R−C−−R2NHC−C− NEC− または −C−NHC− (R2は炭素数1〜20の2価の炭化水素基から選ばれ
た同種または異種の基)、aは0または1である] で示される不飽和基である、数平均分子量が3゜000
以上テM w / M nが1.5以下のオキシプロピ
レン重合体である。
また、本発明の製造方法は、M w / M nが1゜
5以下で1末端水酸基当りの数平均分子量か1゜500
以上であるオキシプロピレン重合体と、水酸基と反応し
うる官能基および末端不飽和基を有する化合物とを反応
させることを特徴とする。
5以下で1末端水酸基当りの数平均分子量か1゜500
以上であるオキシプロピレン重合体と、水酸基と反応し
うる官能基および末端不飽和基を有する化合物とを反応
させることを特徴とする。
本発明の重合体における重合主鎖を構成するオキシプロ
ピレン重合体は、本質的に CH3 式 −CH−CH2−0− て示される繰り返し単位からなるものである。
ピレン重合体は、本質的に CH3 式 −CH−CH2−0− て示される繰り返し単位からなるものである。
このオキシプロピレン重合体は、直鎖状であっても分枝
状であってもよく、あるいは、これらの混合物であって
もよい。また、少量の他の単量体単位等が含まれていて
もよい。
状であってもよく、あるいは、これらの混合物であって
もよい。また、少量の他の単量体単位等が含まれていて
もよい。
このオキシプロピレン重合体の数平均分子量としては3
.000以上のものが有効に使用されうるが、好ましく
は、直鎖状のものは3,000以上、分岐を有する重合
体は5.000以上のものがよい。より好ましくは、6
,000〜30.000の数平均分子量を有するものが
よい。さらに、このオキシプロピレン重合体においては
、重量平均分子量と数平均分子量との比(M w /
M n )が1.5以下であり、極めて分子量分布が狭
い(単分散性が大きい)。Mw/ 1iT nの値は好
ましくは1.4以下であり、さらに好ましくは1.3以
下である。分子量分布は、各種の方法で測定可能である
が、通常ゲル浸透クロマトグラフィ(GPC)法での測
定が一般的である。このように数平均分子量が大きいに
もかかわらず分子量分布が狭いので、本発明の重合体は
、硬化前においては粘度が低く取扱いが容易であり、硬
化後においては良好なゴム状弾性挙動を示す。
.000以上のものが有効に使用されうるが、好ましく
は、直鎖状のものは3,000以上、分岐を有する重合
体は5.000以上のものがよい。より好ましくは、6
,000〜30.000の数平均分子量を有するものが
よい。さらに、このオキシプロピレン重合体においては
、重量平均分子量と数平均分子量との比(M w /
M n )が1.5以下であり、極めて分子量分布が狭
い(単分散性が大きい)。Mw/ 1iT nの値は好
ましくは1.4以下であり、さらに好ましくは1.3以
下である。分子量分布は、各種の方法で測定可能である
が、通常ゲル浸透クロマトグラフィ(GPC)法での測
定が一般的である。このように数平均分子量が大きいに
もかかわらず分子量分布が狭いので、本発明の重合体は
、硬化前においては粘度が低く取扱いが容易であり、硬
化後においては良好なゴム状弾性挙動を示す。
本発明のオキシプロピレン重合体の末端基の70%以上
は式(1)で示される不飽和基である。
は式(1)で示される不飽和基である。
CH−C−Z+0+−−−−(1)
a
(式中、RzSaはそれぞれ前記と同じである。)
このように、本発明の重合体は末端に式(1)で示され
る不飽和基を含有しているので、電子線や紫外線で架橋
・硬化させることができる。
る不飽和基を含有しているので、電子線や紫外線で架橋
・硬化させることができる。
また、この末端不飽和基を他のより活性な官能基に変換
することができる。
することができる。
この末端不飽和基としては、アリルオキシ基、アクリロ
イルオキシ基、メタクリロイルオキシ基が好ましい。
イルオキシ基、メタクリロイルオキシ基が好ましい。
本発明の末端不飽和基含有オキシプロピレン重合体を製
造するには、末端に水酸基を有するオキシプロピレン重
合体に、この水酸基に対して反応性を示す官能基及び末
端不飽和基を有する化合物を反応させればよい。
造するには、末端に水酸基を有するオキシプロピレン重
合体に、この水酸基に対して反応性を示す官能基及び末
端不飽和基を有する化合物を反応させればよい。
この末端に水酸基を有するオキシプロピレン重合体とし
ては、M w / M nが1.5以下で1末端水酸基
当りの数平均分子量が1,500以上であるオキシプロ
ピレン重合体を用いる。
ては、M w / M nが1.5以下で1末端水酸基
当りの数平均分子量が1,500以上であるオキシプロ
ピレン重合体を用いる。
また、水酸基と反応しうる官能基及び末端不飽和基を有
する化合物としては、アリルクロライド、アリルブロマ
イド、アリルアイオダイドなどのようなアリルハロゲン
化合物類;ビニルベンジルクロライド、アリルベンジル
クロライドなどのような不飽和ベンジルハロゲン化合物
類;アクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライド、
ビニル安息香酸クロライド、クロロギ酸アリルなどのよ
うな不飽和酸ハロゲン化合物類;β−イソシアネートエ
チルメタクリレート、β−イソシアネートエチルアクリ
レート、メタクリロイルイソシアネート、アクリロイル
イソシアネート、m−イソプロペニル−α、α−ジメチ
ルベンジルイソシアネートなどのようなイソシアネート
基含有不飽和化合物類などが具体的に例示されうるが、
これらに限定されるものではない。
する化合物としては、アリルクロライド、アリルブロマ
イド、アリルアイオダイドなどのようなアリルハロゲン
化合物類;ビニルベンジルクロライド、アリルベンジル
クロライドなどのような不飽和ベンジルハロゲン化合物
類;アクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライド、
ビニル安息香酸クロライド、クロロギ酸アリルなどのよ
うな不飽和酸ハロゲン化合物類;β−イソシアネートエ
チルメタクリレート、β−イソシアネートエチルアクリ
レート、メタクリロイルイソシアネート、アクリロイル
イソシアネート、m−イソプロペニル−α、α−ジメチ
ルベンジルイソシアネートなどのようなイソシアネート
基含有不飽和化合物類などが具体的に例示されうるが、
これらに限定されるものではない。
なお、アリルハロゲン化合物、不飽和ベンジルハロゲン
化合物、不飽和酸ハロゲン化合物などの不飽和活性ハロ
ゲン化合物と反応させる場合には、予め、反応に用いる
オキシプロピレン重合体の末端の水酸基をアルカリ金属
またはアルカリ金属化合物と反応させてアルコキシド基
に変換しておくのが好ましい。このようなアルカリ金属
またはアルカリ金属化合物としては、金属ナトリウム、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、ナトリウムメチラ
ートなどが具体的に例示されうる。
化合物、不飽和酸ハロゲン化合物などの不飽和活性ハロ
ゲン化合物と反応させる場合には、予め、反応に用いる
オキシプロピレン重合体の末端の水酸基をアルカリ金属
またはアルカリ金属化合物と反応させてアルコキシド基
に変換しておくのが好ましい。このようなアルカリ金属
またはアルカリ金属化合物としては、金属ナトリウム、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、ナトリウムメチラ
ートなどが具体的に例示されうる。
本発明の末端不飽和基含有オキシプロピレン重合体は、
電子線や紫外線で硬化させることができ、接着剤、塗料
、ゴム材料などとして使用可能である。また、他のポリ
マーにブレンドして、架橋性の改質剤または可塑剤とし
ても有効である。さらに、分子末端の不飽和基を他のよ
り活性な官能基に変換し、種々の用途に使用しうる。
電子線や紫外線で硬化させることができ、接着剤、塗料
、ゴム材料などとして使用可能である。また、他のポリ
マーにブレンドして、架橋性の改質剤または可塑剤とし
ても有効である。さらに、分子末端の不飽和基を他のよ
り活性な官能基に変換し、種々の用途に使用しうる。
[発明の効果]
以上のように、本発明の末端不飽和基含有オキシプロピ
レン重合体は、数平均分子量が大きいにもかかわらず分
子量分布が狭いので、硬化前においては、同一分子量で
分子量分布の広い従来の重合体と比べて粘度が低く取扱
いが容易である。
レン重合体は、数平均分子量が大きいにもかかわらず分
子量分布が狭いので、硬化前においては、同一分子量で
分子量分布の広い従来の重合体と比べて粘度が低く取扱
いが容易である。
硬化後においては、架橋網目が均一となり伸び特性が向
上するなどの良好なゴム状弾性挙動を示す。
上するなどの良好なゴム状弾性挙動を示す。
さらに、耐酸性などの耐薬品性が予想外に大幅に改善さ
れている。
れている。
このように、本発明の末端不飽和基含有オキシプロピレ
ン重合体は極めて実用価値の高いものである。
ン重合体は極めて実用価値の高いものである。
また、本発明の製造方法は、分子末端に不飽和基を簡便
に導入することのできる優れた方法である。
に導入することのできる優れた方法である。
[実施例]
本発明をより一層明らかにするために、以下に実施例を
掲げる。
掲げる。
実施例1
1.5g耐圧ガラス製反応容器に分子量15゜000の
ポリオキシプロピレントリオール(Mw/Mn−1,3
8、粘度89ポイズ)401g (0,081当量)を
仕込み、窒素雰囲気下にした。
ポリオキシプロピレントリオール(Mw/Mn−1,3
8、粘度89ポイズ)401g (0,081当量)を
仕込み、窒素雰囲気下にした。
137℃で、滴下漏斗からナトリウムメトキシドの28
%メタノール溶液19.1g (0,09g当量)を滴
下し、5時間反応させた後、減圧脱揮した。窒素雰囲気
下にもどし塩化アリル9.Og (0,118当量)を
滴下、1.5時間反応させた後、さらにナトリウムメト
キシドの28%メタノール溶液5.6g (0,02g
当量)と塩化アリル2.7g (0,035当量)を用
いてアリル化をおこなった。
%メタノール溶液19.1g (0,09g当量)を滴
下し、5時間反応させた後、減圧脱揮した。窒素雰囲気
下にもどし塩化アリル9.Og (0,118当量)を
滴下、1.5時間反応させた後、さらにナトリウムメト
キシドの28%メタノール溶液5.6g (0,02g
当量)と塩化アリル2.7g (0,035当量)を用
いてアリル化をおこなった。
この反応物をヘキサンに溶かしケイ酸アルミニウムで吸
着処理した後、ヘキサンを減圧除去すると311gの黄
色透明なポリマーが得られた(粘度68ポイズ)。
着処理した後、ヘキサンを減圧除去すると311gの黄
色透明なポリマーが得られた(粘度68ポイズ)。
このポリプロピレンオキシドの数平均分子量(Fa n
)と分子量分布(M w / M n )をGPCで
測定したところ、数平均分子量(M n )が1゜7X
10’と高いにもかかわらず、Q w / V nが1
.4と分子量分布が非常に狭いことがわかった。GPC
は、ポリスチレンゲル(東ソー株式会社製)を充填した
カラムに留出溶媒としてテトラヒドロフランを用いて、
オーブン温度40℃で分析した。
)と分子量分布(M w / M n )をGPCで
測定したところ、数平均分子量(M n )が1゜7X
10’と高いにもかかわらず、Q w / V nが1
.4と分子量分布が非常に狭いことがわかった。GPC
は、ポリスチレンゲル(東ソー株式会社製)を充填した
カラムに留出溶媒としてテトラヒドロフランを用いて、
オーブン温度40℃で分析した。
また、このポリプロピレンオキシドの末端基分析をlH
−NMRでおこなった。アリルオキシ基(CH2−CH
−CH20−)に相当する(a) (b)
(c) 共鳴吸収が、(a)炭素につくプロトンで約δ5゜0〜
5.3ppmに、(b)炭素につくプロトンで約δ5.
7〜5.9ppmに、(c)炭素につくプロトンで約6
3.9〜4.lppmに観測された。ポリプロピレンオ
キシド中の主鎖メチル基のプロトンの共鳴吸収が約61
.0〜1゜lppmにでたが、このメチル基とアリルオ
キシ基の(a)炭素上のプロトンとの積分比の比率より
、末端不飽和基の含量を計算した。この値と原料のポリ
オキシプロピレントリオールの末端水酸基の含量の比か
ら、末端の95%がアリル化されたことがわかった。
−NMRでおこなった。アリルオキシ基(CH2−CH
−CH20−)に相当する(a) (b)
(c) 共鳴吸収が、(a)炭素につくプロトンで約δ5゜0〜
5.3ppmに、(b)炭素につくプロトンで約δ5.
7〜5.9ppmに、(c)炭素につくプロトンで約6
3.9〜4.lppmに観測された。ポリプロピレンオ
キシド中の主鎖メチル基のプロトンの共鳴吸収が約61
.0〜1゜lppmにでたが、このメチル基とアリルオ
キシ基の(a)炭素上のプロトンとの積分比の比率より
、末端不飽和基の含量を計算した。この値と原料のポリ
オキシプロピレントリオールの末端水酸基の含量の比か
ら、末端の95%がアリル化されたことがわかった。
実施例2
2411反応容器に、数平均分子量15.000のポリ
オキシプロピレントリオール(N w / Mn−1,
38、粘度89ポイズ)400g (0゜081当量)
およびジラウリン酸ジブチルスズ0.04gを仕込み、
窒素雰囲気下にした。これに、β−イソシアネートエチ
ルメタクリレート12.7g (0,081当量)を室
温で滴下し、滴下終了後75℃で1.5時間反応させた
。
オキシプロピレントリオール(N w / Mn−1,
38、粘度89ポイズ)400g (0゜081当量)
およびジラウリン酸ジブチルスズ0.04gを仕込み、
窒素雰囲気下にした。これに、β−イソシアネートエチ
ルメタクリレート12.7g (0,081当量)を室
温で滴下し、滴下終了後75℃で1.5時間反応させた
。
IRスペクトルを測定し、2260cm−’のNGO吸
収の消失と1630〜1640cm−’のメタクリロイ
ルオキシ基の吸収を確認した後、反応を終了させた。3
90gのポリマーが得られた(粘度140ポイズ)。
収の消失と1630〜1640cm−’のメタクリロイ
ルオキシ基の吸収を確認した後、反応を終了させた。3
90gのポリマーが得られた(粘度140ポイズ)。
このポリマーについても実施例1と同様にGPCと ’
H−NMRで分析をおこなった。
H−NMRで分析をおこなった。
GPC分析では、数平均分子量(F71 n )が1゜
8X10’と高いにもかかわらず、F71 w / N
nが1.4と分子量分布が非常に狭いことがわかった
。
8X10’と高いにもかかわらず、F71 w / N
nが1.4と分子量分布が非常に狭いことがわかった
。
■
また、 H−NMRによる末端基の分析では、メタクリ
ロイルオキシ基 Hが約δ5.lppmに、Hbが約5.3〜5.4pp
mに観測され、H+Hbの積分強度と主鎖のメチル基の
積分強度の比から、末端不飽和基の含量を計算した。こ
の値と原料のポリオキシプロピレントリオールの末端水
酸基の含量の比から、末端の92%がアリル化されたこ
とがわかった。
ロイルオキシ基 Hが約δ5.lppmに、Hbが約5.3〜5.4pp
mに観測され、H+Hbの積分強度と主鎖のメチル基の
積分強度の比から、末端不飽和基の含量を計算した。こ
の値と原料のポリオキシプロピレントリオールの末端水
酸基の含量の比から、末端の92%がアリル化されたこ
とがわかった。
比較例1
数平均分子量が3,000のポリオキシプロピレングリ
コール420gと数平均分子量が3゜000のポリオキ
シプロピレントリオール80gとを、窒素置換された耐
圧ガラス製反応容器に仕込んだ。水酸化ナトリウム40
gを加え、60℃で13時間反応させた後、ブロモクロ
ルメタン19gを60℃で10時間反応させた。
コール420gと数平均分子量が3゜000のポリオキ
シプロピレントリオール80gとを、窒素置換された耐
圧ガラス製反応容器に仕込んだ。水酸化ナトリウム40
gを加え、60℃で13時間反応させた後、ブロモクロ
ルメタン19gを60℃で10時間反応させた。
(得られたポリマーのViw/Mnは2.1であり、粘
度は385ポイズであった。) 続いて、塩化アリル15gを加え36時間反応をおこな
った。反応終了後、減圧にして揮発物質を除去した。
度は385ポイズであった。) 続いて、塩化アリル15gを加え36時間反応をおこな
った。反応終了後、減圧にして揮発物質を除去した。
内容物をビーカーにとり出しへキサンに溶かした。ケイ
酸アルミニウムで吸着処理した後、ヘキサンを減圧除去
した。
酸アルミニウムで吸着処理した後、ヘキサンを減圧除去
した。
得られたポリマーについて、実施fq1と同様にして、
GPCによる測定と IH−NMRによる末端基分析を
実施した結果、数平均分子量(M n )が1.7X1
0’、分子量分布(M w/ M n )が2.2、末
端の96%がアリル基であることがわかった。
GPCによる測定と IH−NMRによる末端基分析を
実施した結果、数平均分子量(M n )が1.7X1
0’、分子量分布(M w/ M n )が2.2、末
端の96%がアリル基であることがわかった。
実施例1.2および比較例1の結果を表−1にまとめて
示す。
示す。
表−1
合体100重量部に、クメンハイドロパーオキサイド2
.5重量部、ナフテン酸鉄0.1重量部を混練し、厚さ
2龍のシート状に流延した後、60℃で1時間、さらに
100℃で1時間加熱硬化させた。
.5重量部、ナフテン酸鉄0.1重量部を混練し、厚さ
2龍のシート状に流延した後、60℃で1時間、さらに
100℃で1時間加熱硬化させた。
このシートから縦1cm、横1(至)、厚さ2■mの小
片を切りとり、重量を測定した後に10%塩iEtlO
m、l!に浸し、23℃で2週間放置した。
片を切りとり、重量を測定した後に10%塩iEtlO
m、l!に浸し、23℃で2週間放置した。
2週間経過後に観測したところ、比較例2の小片は表面
がべとべとしており、重量の減少がみられた。一方、実
施例3.4の小片はほとんど重量変化がなかった。従っ
て、本発明によって耐酸性が大きく改善されたことがわ
かる。
がべとべとしており、重量の減少がみられた。一方、実
施例3.4の小片はほとんど重量変化がなかった。従っ
て、本発明によって耐酸性が大きく改善されたことがわ
かる。
ばか1名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、重合主鎖が本質的に 式▲数式、化学式、表等があります▼ で示される繰り返し単位からなり、末端基の70%以上
が式(1): ▲数式、化学式、表等があります▼…(1) [式中、R^1は水素原子、ハロゲン原子または炭素数
が1〜10の置換もしくは非置換の1価の脂肪族炭化水
素基、Zは−R^2−、 −R^2OC−、−R^2−C−、−R^2NHC−、
▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼ または▲数式、化学式、表等があります▼ (R^2は炭素数1〜20の2価の炭化水素基から選ば
れた同種または異種の基)、aは0または1である] で示される不飽和基である、数平均分子量が3,000
以上で@M@w/@M@nが1.5以下であるオキシプ
ロピレン重合体。 2、末端基の不飽和基がアリルオキシ基である請求項1
記載のオキシプロピレン重合体。3、末端基の不飽和基
がアクリロイルオキシ基である請求項1記載のオキシプ
ロピレン重合体。 4、末端基の不飽和基がメタクリロイルオキシ基である
請求項1記載のオキシプロピレン重合体。 5、@M@w/@M@nが1.5以下で1末端水酸基当
りの数平均分子量が1,500以上であるオキシプロピ
レン重合体と、 水酸基と反応しうる官能基および末端不飽和基を有する
化合物とを 反応させることを特徴とする分子末端に不飽和基を含有
するオキシプロピレン重合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10708090A JPH047330A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 分子末端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10708090A JPH047330A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 分子末端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH047330A true JPH047330A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14449976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10708090A Pending JPH047330A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 分子末端に不飽和基を含有するオキシプロピレン重合体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH047330A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9919990B2 (en) | 2013-08-09 | 2018-03-20 | Daikin Industries, Ltd. | Method for manufacturing methyl fluoride |
US10011553B2 (en) | 2012-11-14 | 2018-07-03 | Daikin Industries, Ltd. | Method for producing dry etching gas |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP10708090A patent/JPH047330A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10011553B2 (en) | 2012-11-14 | 2018-07-03 | Daikin Industries, Ltd. | Method for producing dry etching gas |
US9919990B2 (en) | 2013-08-09 | 2018-03-20 | Daikin Industries, Ltd. | Method for manufacturing methyl fluoride |
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