JPH0467601B2 - - Google Patents
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- JPH0467601B2 JPH0467601B2 JP25467184A JP25467184A JPH0467601B2 JP H0467601 B2 JPH0467601 B2 JP H0467601B2 JP 25467184 A JP25467184 A JP 25467184A JP 25467184 A JP25467184 A JP 25467184A JP H0467601 B2 JPH0467601 B2 JP H0467601B2
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- Japan
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- light
- slit plate
- displacement
- photoconductive film
- slit
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、車両のスロツトル弁の開度、ステア
リングハンドルの操舵角等を変位角として検出し
たり、リニヤアクチユエータ等の直線的可動部の
変位長を変位位置として検出するに適した変位検
出装置に関する。
リングハンドルの操舵角等を変位角として検出し
たり、リニヤアクチユエータ等の直線的可動部の
変位長を変位位置として検出するに適した変位検
出装置に関する。
従来、この種の変位検出装置においては、例え
ば、車両のスロツトル弁のスロツトル軸に同軸的
に回転可能に連結したスリツト板と、このスリツ
ト板の一側表面に対向して配置されて同一側表面
に投光する投光素子と、前記スリツト板の他側表
面に対向して同スリツト板と同軸的に配置した環
状の受光素子とを備えて、この受光素子が前記投
光素子から前記スリツト板のスリツトを通して受
光したときこの受光部分に対応する角度位置に基
き前記スロツトル弁の変位角をその開度として検
出するようにしたものがある。
ば、車両のスロツトル弁のスロツトル軸に同軸的
に回転可能に連結したスリツト板と、このスリツ
ト板の一側表面に対向して配置されて同一側表面
に投光する投光素子と、前記スリツト板の他側表
面に対向して同スリツト板と同軸的に配置した環
状の受光素子とを備えて、この受光素子が前記投
光素子から前記スリツト板のスリツトを通して受
光したときこの受光部分に対応する角度位置に基
き前記スロツトル弁の変位角をその開度として検
出するようにしたものがある。
ところで、このような構成においては、通常、
上述の環状の受光素子が、環状の光導電膜の外周
縁部に環状の抵抗を設けるとともに、同光導電膜
の内周縁部に環状の電極を設けて、前記抵抗と電
極との間に形成される前記光導電膜の環状受光部
が受光したときこの受光部分との関連にて上述の
ごとくスロツトル弁の開度を検出するようにして
あるため、上述した抵抗と電極を前記光導電膜に
設けるにあたり、抵抗と電極との間隔、即ち前記
環状受光部の幅を狭くすることができず、このこ
とが、この種変位検出装置における検出応答速度
の低下を招く要因となつていた。
上述の環状の受光素子が、環状の光導電膜の外周
縁部に環状の抵抗を設けるとともに、同光導電膜
の内周縁部に環状の電極を設けて、前記抵抗と電
極との間に形成される前記光導電膜の環状受光部
が受光したときこの受光部分との関連にて上述の
ごとくスロツトル弁の開度を検出するようにして
あるため、上述した抵抗と電極を前記光導電膜に
設けるにあたり、抵抗と電極との間隔、即ち前記
環状受光部の幅を狭くすることができず、このこ
とが、この種変位検出装置における検出応答速度
の低下を招く要因となつていた。
本発明は、このようなことに対処すべく、変位
検出装置において、その光導電膜の膜厚の薄さを
有効に活用して検出応答速度を高めようとするも
のである。
検出装置において、その光導電膜の膜厚の薄さを
有効に活用して検出応答速度を高めようとするも
のである。
上記課題の解決にあたり、本発明の構成上の特
徴は、被検出体の変位に連動するように同被検出
体に連結されるスリツト板と、このスリツト板の
一側に配置されて同スリツト板に投光する投光手
段と、前記スリツト板の他側に配置されて前記投
光手段からの光を前記スリツト板のスリツトを通
しスポツト光として受光したときこの受光部分に
対応する位置に基き前記被検出体の変位を受光信
号として検出する帯状の受光手段とを備えた変位
検出装置において、前記スリツト板の他側に配置
されて前記スポツト光を受光する帯状の第１部材
と、前記第１部材の幅よりも広い幅を有し、光導
電材料であるアモルフアスシリコンよりなる帯状
に形成されて前記第１部材に前記スリツト板とは
反対側から重合した光導電膜と、この光導電膜を
介し前記第１部材に重合した帯状の第２部材とに
より前記受光手段を構成し、前記第１部材を電極
材料及び抵抗材料の一方により形成し、前記第２
部材を前記電極材料及び抵抗材料の他方により形
成し、かつ前記第１部材を形成する材料にさらに
透過光性をもたせて、前記光導電膜が前記第１部
材を通し前記スポツト光を受光することによりそ
の受光部分にて光電変換作用を生じたとき前記第
１と第２の部材が前記受光部分との各重合部分に
て当該受光部分により短絡されてこの短絡部分に
より規定される抵抗値に基き前記被検出体の変位
を前記受光信号として検出するようにしたことに
ある。
徴は、被検出体の変位に連動するように同被検出
体に連結されるスリツト板と、このスリツト板の
一側に配置されて同スリツト板に投光する投光手
段と、前記スリツト板の他側に配置されて前記投
光手段からの光を前記スリツト板のスリツトを通
しスポツト光として受光したときこの受光部分に
対応する位置に基き前記被検出体の変位を受光信
号として検出する帯状の受光手段とを備えた変位
検出装置において、前記スリツト板の他側に配置
されて前記スポツト光を受光する帯状の第１部材
と、前記第１部材の幅よりも広い幅を有し、光導
電材料であるアモルフアスシリコンよりなる帯状
に形成されて前記第１部材に前記スリツト板とは
反対側から重合した光導電膜と、この光導電膜を
介し前記第１部材に重合した帯状の第２部材とに
より前記受光手段を構成し、前記第１部材を電極
材料及び抵抗材料の一方により形成し、前記第２
部材を前記電極材料及び抵抗材料の他方により形
成し、かつ前記第１部材を形成する材料にさらに
透過光性をもたせて、前記光導電膜が前記第１部
材を通し前記スポツト光を受光することによりそ
の受光部分にて光電変換作用を生じたとき前記第
１と第２の部材が前記受光部分との各重合部分に
て当該受光部分により短絡されてこの短絡部分に
より規定される抵抗値に基き前記被検出体の変位
を前記受光信号として検出するようにしたことに
ある。
しかして、このように構成した本発明において
は、光導電材料であるアモルフアスシリコンより
なる前記光導電膜を採用したので、前記光導電膜
を介して第１と第２の部材を重合し、これら第１
と第２の部材の間隔を前記光導電膜の膜厚に基づ
いて非常に狭く定めることができたので、前記光
導電膜が前記第１部材を通し前記スリツト板のス
リツトから前記スポツト光を受光したときこの光
導電膜の受光部分に対する前記第１及び第２の部
材の各重合部分が前記受光部分の光電変換作用の
もとに速い応答速度にて互いに短絡されることと
なり、その結果、このため変位検出装置の検出応
答速度を大幅に向上させ得る。また、前記光導電
膜を前記第１と第２の部材間に重合するのみでよ
いので、前記受光手段が透過する前記光導電膜の
断面が精度よく形成され得る。
は、光導電材料であるアモルフアスシリコンより
なる前記光導電膜を採用したので、前記光導電膜
を介して第１と第２の部材を重合し、これら第１
と第２の部材の間隔を前記光導電膜の膜厚に基づ
いて非常に狭く定めることができたので、前記光
導電膜が前記第１部材を通し前記スリツト板のス
リツトから前記スポツト光を受光したときこの光
導電膜の受光部分に対する前記第１及び第２の部
材の各重合部分が前記受光部分の光電変換作用の
もとに速い応答速度にて互いに短絡されることと
なり、その結果、このため変位検出装置の検出応
答速度を大幅に向上させ得る。また、前記光導電
膜を前記第１と第２の部材間に重合するのみでよ
いので、前記受光手段が透過する前記光導電膜の
断面が精度よく形成され得る。
さらにまた、本発明では、アモルフアスシリコ
ンよりなる光導電膜を採用したので、光導電膜を
非常に薄くすることができたが、単に光導電膜を
薄くするのみでは、光導電膜が薄いことにより起
因する第１部材と第２部材との間に生じる電流の
リークという問題が生じやすくなる。しかし、本
発明では、光導電膜の幅を第１部材の幅よりも広
い幅とすることができたので、第１部材と第２部
材との間の電流のリークの発生を防止することが
できた。
ンよりなる光導電膜を採用したので、光導電膜を
非常に薄くすることができたが、単に光導電膜を
薄くするのみでは、光導電膜が薄いことにより起
因する第１部材と第２部材との間に生じる電流の
リークという問題が生じやすくなる。しかし、本
発明では、光導電膜の幅を第１部材の幅よりも広
い幅とすることができたので、第１部材と第２部
材との間の電流のリークの発生を防止することが
できた。
以下、本発明の一実施例を図面により説明する
と、第１図は、本発明に係る変位検出装置が車両
用エンジンのスロツトル弁の開度検出に適用され
る例を示しており、この変位検出装置は、前記ス
ロツトル弁の近傍にて前記エンジンの一部に固定
したケーシング１０内にスリツト円板２０、投光
器３０及び受光器４０を組付けて構成されてい
る。スリツト円板２０は、ケーシング１０の段付
内孔１１の大径部内に位置して、その回転軸２１
にてケーシング１０の前壁１２の中央に軸受１３
を介し回転自在に軸支されており、スリツト円板
２０の外周縁部には円形状のスリツト２２が穿設
されている。なお、スリツト円板２０の回転軸２
１はその外端にて前記スロツトル弁のスロツトル
軸に連結されている。
と、第１図は、本発明に係る変位検出装置が車両
用エンジンのスロツトル弁の開度検出に適用され
る例を示しており、この変位検出装置は、前記ス
ロツトル弁の近傍にて前記エンジンの一部に固定
したケーシング１０内にスリツト円板２０、投光
器３０及び受光器４０を組付けて構成されてい
る。スリツト円板２０は、ケーシング１０の段付
内孔１１の大径部内に位置して、その回転軸２１
にてケーシング１０の前壁１２の中央に軸受１３
を介し回転自在に軸支されており、スリツト円板
２０の外周縁部には円形状のスリツト２２が穿設
されている。なお、スリツト円板２０の回転軸２
１はその外端にて前記スロツトル弁のスロツトル
軸に連結されている。
投光器３０は、凹面鏡３１を有しており、この
凹面鏡３１は、その開口部にて、スリツト円板２
０に対向するようにケーシング１０の段付内孔１
１の小径部内に嵌装されている。凹面鏡３１の中
央部には、発光素子３２がその発光面３２ａを凹
面鏡３１内に露呈させるようにして嵌着されてお
り、この発光素子３２は、グロメツト１４を通し
外方へ延出するリード線３２ｂにて外部回路から
駆動信号を受けて凹面鏡３１のに発光する。
凹面鏡３１は、その開口部にて、スリツト円板２
０に対向するようにケーシング１０の段付内孔１
１の小径部内に嵌装されている。凹面鏡３１の中
央部には、発光素子３２がその発光面３２ａを凹
面鏡３１内に露呈させるようにして嵌着されてお
り、この発光素子３２は、グロメツト１４を通し
外方へ延出するリード線３２ｂにて外部回路から
駆動信号を受けて凹面鏡３１のに発光する。
受光器４０は、その円環状の絶縁板４１（ガラ
ス、セラミツクス等の材料からなる）にて、ケー
シング１０の段付内孔１１の大径部内において前
壁１２に回転軸２１と同心的に固着されており、
絶縁板４１の表面には、略円環状の電極４２が、
第１図及び第２図に示すごとく、その裏面にて絶
縁板４１と同心的に固着されている。光導電膜４
３は、高内部抵抗値を有する例えばａ−Si：Ｈの
ようなアモルフアスシリコン系材料よりなる光導
電材料を電極４２の表面に円環膜状に蒸着して形
成されており、この光導電膜４３は、受光したと
きその受光部分にて光電変換作用を生じ、かかる
受光部分の内部抵抗値を非受光部分の内部抵抗値
の１／1000程度に減少させる。なお、光導電膜４
３の膜厚は、例えば、5000×10-8（cm）である。
ス、セラミツクス等の材料からなる）にて、ケー
シング１０の段付内孔１１の大径部内において前
壁１２に回転軸２１と同心的に固着されており、
絶縁板４１の表面には、略円環状の電極４２が、
第１図及び第２図に示すごとく、その裏面にて絶
縁板４１と同心的に固着されている。光導電膜４
３は、高内部抵抗値を有する例えばａ−Si：Ｈの
ようなアモルフアスシリコン系材料よりなる光導
電材料を電極４２の表面に円環膜状に蒸着して形
成されており、この光導電膜４３は、受光したと
きその受光部分にて光電変換作用を生じ、かかる
受光部分の内部抵抗値を非受光部分の内部抵抗値
の１／1000程度に減少させる。なお、光導電膜４
３の膜厚は、例えば、5000×10-8（cm）である。
抵抗４４は、透明抵抗材料（In2O3，SnO2等）
により略円環状に形成されており、この抵抗４４
は、その裏面にて光導電膜４３の表面に同光導電
膜４３と同心的に固着されている（第１図及び第
２図参照）。かかる場合、抵抗４４の半径方向幅
は光導電膜４３の半径方向幅より狭くなつてお
り、また、抵抗４４の円環状表面は、スリツト円
板２０の回転下にてスリツト２２が描く円環状軌
跡領域に対向している。しかして、このように構
成した受光器４０においては、抵抗４４が凹面鏡
３１からの光をスリツト円板２０のスリツト２２
を通しスポツト光Ｆ（第２図参照）として受光し
たとき、光導電膜４３が抵抗４４を通してスポツ
ト光Ｆを受光しこの受光部分に対する抵抗４４及
び電極４２の各重合部分を互いに短絡させて、ス
ポツト光Ｆに対応する半径線と基線1との
間の変位角θに相当する抵抗４４の抵抗値を前記
スロツトル軸の回転角、即ち前記スロツトル弁の
変位角（即ち、開度）として検出する。なお、抵
抗４４は両電極端子４４ａ，４４ｂにてそれぞれ
リード線l1，l2を介しバツテリＢの両端子に接続
され、また電極４２はその端子４２ａによてリー
ド線l3に接続されている。また、第２図にて符号
φは、基線1と半径線2との間の変位角
（抵抗４４の最大抵抗値に対応する）を示す。さ
らに、受光器４０の抵抗４４は、半径方向幅が光
導電膜４３の半径方向幅よりも狭くなつているた
めに、抵抗４４と電極４２の間に生じる電流のリ
ークの防止ができる。
により略円環状に形成されており、この抵抗４４
は、その裏面にて光導電膜４３の表面に同光導電
膜４３と同心的に固着されている（第１図及び第
２図参照）。かかる場合、抵抗４４の半径方向幅
は光導電膜４３の半径方向幅より狭くなつてお
り、また、抵抗４４の円環状表面は、スリツト円
板２０の回転下にてスリツト２２が描く円環状軌
跡領域に対向している。しかして、このように構
成した受光器４０においては、抵抗４４が凹面鏡
３１からの光をスリツト円板２０のスリツト２２
を通しスポツト光Ｆ（第２図参照）として受光し
たとき、光導電膜４３が抵抗４４を通してスポツ
ト光Ｆを受光しこの受光部分に対する抵抗４４及
び電極４２の各重合部分を互いに短絡させて、ス
ポツト光Ｆに対応する半径線と基線1との
間の変位角θに相当する抵抗４４の抵抗値を前記
スロツトル軸の回転角、即ち前記スロツトル弁の
変位角（即ち、開度）として検出する。なお、抵
抗４４は両電極端子４４ａ，４４ｂにてそれぞれ
リード線l1，l2を介しバツテリＢの両端子に接続
され、また電極４２はその端子４２ａによてリー
ド線l3に接続されている。また、第２図にて符号
φは、基線1と半径線2との間の変位角
（抵抗４４の最大抵抗値に対応する）を示す。さ
らに、受光器４０の抵抗４４は、半径方向幅が光
導電膜４３の半径方向幅よりも狭くなつているた
めに、抵抗４４と電極４２の間に生じる電流のリ
ークの防止ができる。
以上のように構成した本実施例において、本発
明装置を作動状態におけば、投光器３０の発光素
子３２の発光面３２ａからの光が凹面鏡３１の反
射鏡面全体に広がり反射されてスリツト円板２０
に入射する。すると、この入射光の一部がスリツ
ト円板２０のスリツト２２を通りスポツト光Ｆと
して受光器４０の抵抗４４に入射する。ついで、
光導電膜４３が抵抗４４を通しスポツト光Ｆを受
光し、この受光部分にて光電変換作用を生じその
内部抵抗値を上述のごとく減少させ、同受光部分
に対する抵抗４４及び電極４２の各重合部分を互
いに短絡させる。これにより、抵抗４４における
電極４２との短絡部分と基線1との間の変位
角に相当する抵抗値が、前記スロツトル弁の開度
として両リード線l1，l3間から検出される。
明装置を作動状態におけば、投光器３０の発光素
子３２の発光面３２ａからの光が凹面鏡３１の反
射鏡面全体に広がり反射されてスリツト円板２０
に入射する。すると、この入射光の一部がスリツ
ト円板２０のスリツト２２を通りスポツト光Ｆと
して受光器４０の抵抗４４に入射する。ついで、
光導電膜４３が抵抗４４を通しスポツト光Ｆを受
光し、この受光部分にて光電変換作用を生じその
内部抵抗値を上述のごとく減少させ、同受光部分
に対する抵抗４４及び電極４２の各重合部分を互
いに短絡させる。これにより、抵抗４４における
電極４２との短絡部分と基線1との間の変位
角に相当する抵抗値が、前記スロツトル弁の開度
として両リード線l1，l3間から検出される。
かかる場合、上述のごとく、光導電膜４３が抵
抗４４と電極４２との間に重合されているので、
これら抵抗４４と電極４２との間の間隔が光導電
膜４３の膜厚により決定されて非常に狭くなるこ
ととなり、その結果、光導電膜４３のスポツト光
Ｆに対する受光部分の光電変換作用による抵抗４
４と電極４２との各対応部分間の短絡を高速にて
行い得る。このことは、本発明装置が、光導電膜
４３が高内部抵抗値を有するものであつても、前
記スロツトル弁の開度を高速にて検出し得ること
を意味する。また、抵抗４４と電極４２との間隔
を狭くするにあたり、上述のごとく光導電膜４３
を抵抗４４と電極４２との間に重合するのみでよ
いので、上述した作用効果を有するこの種の変位
検出装置を容易に製作できる。
抗４４と電極４２との間に重合されているので、
これら抵抗４４と電極４２との間の間隔が光導電
膜４３の膜厚により決定されて非常に狭くなるこ
ととなり、その結果、光導電膜４３のスポツト光
Ｆに対する受光部分の光電変換作用による抵抗４
４と電極４２との各対応部分間の短絡を高速にて
行い得る。このことは、本発明装置が、光導電膜
４３が高内部抵抗値を有するものであつても、前
記スロツトル弁の開度を高速にて検出し得ること
を意味する。また、抵抗４４と電極４２との間隔
を狭くするにあたり、上述のごとく光導電膜４３
を抵抗４４と電極４２との間に重合するのみでよ
いので、上述した作用効果を有するこの種の変位
検出装置を容易に製作できる。
なお、前記実施例においては、本発明装置をエ
ンジンのスロツトル弁の開度検出に適用した例に
ついて説明したが、これに限らず、車両のステア
リングハンドルの操舵角等の各種の変位角の検出
に本発明を適用し得るのは勿論のこと、リニヤア
クチユエータ等の直線的可動部の変位長の検出に
も本発明を適用し得る。かかる場合、上述した絶
縁板４１、電極４２、光導電膜４３及び抵抗４４
をそれぞれ直線帯状に形成すればよい。
ンジンのスロツトル弁の開度検出に適用した例に
ついて説明したが、これに限らず、車両のステア
リングハンドルの操舵角等の各種の変位角の検出
に本発明を適用し得るのは勿論のこと、リニヤア
クチユエータ等の直線的可動部の変位長の検出に
も本発明を適用し得る。かかる場合、上述した絶
縁板４１、電極４２、光導電膜４３及び抵抗４４
をそれぞれ直線帯状に形成すればよい。
また、前記実施例においては、受光器４０の絶
縁板４１に電極４２、光導電膜４３及び抵抗４４
の順に重合して、抵抗４４を透明抵抗材料により
形成した例について説明したが、これに代えて、
絶縁板４１に抵抗４４、光導電膜４３及び電極４
２の順に重合して、電極４２を透明電極材料によ
つて形成して、前記実施例と実質的に同様の作用
効果を達成し得る。
縁板４１に電極４２、光導電膜４３及び抵抗４４
の順に重合して、抵抗４４を透明抵抗材料により
形成した例について説明したが、これに代えて、
絶縁板４１に抵抗４４、光導電膜４３及び電極４
２の順に重合して、電極４２を透明電極材料によ
つて形成して、前記実施例と実質的に同様の作用
効果を達成し得る。
第１図は、本発明の一実施例を示す縦断面図、
第２図は第１図における受光器をスリツト円板側
から見た図である。 符号の説明、２０……スリツト円板、３０……
投光器、４０……受光器、４２……電極、４３…
…光導電膜、４４……抵抗、Ｆ……スポツト光。
第２図は第１図における受光器をスリツト円板側
から見た図である。 符号の説明、２０……スリツト円板、３０……
投光器、４０……受光器、４２……電極、４３…
…光導電膜、４４……抵抗、Ｆ……スポツト光。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検出体の変位に連動しするように同被検出
体に連結されるスリツト板と、 このスリツト板の一側に配置されて同スリツト
板に投光する投光手段と、 前記スリツト板の他側に配置されて前記投光手
段からの光を他側スリツト板のスリツトを通しス
ポツト光として受光したときこの受光部分に対応
する位置に基き前記被検出体の変位を受光信号と
して検出する帯状の受光手段とを備えた変位検出
装置において、 前記スリツト板の他側に配置されて前記スポツ
ト光を受光する帯状の第１部材と、 前記第１部材の幅よりも広い幅を有し、光導電
材料であるアモルフアスシリコンよりなる帯状に
形成されて前記第１部材に前記スリツト板とは反
対側から重合した光導電膜と、 この光導電膜を介し前記第１部材に重合した帯
状の第２部材とにより前記受光手段を構成し、 前記第１部材を電極材料及び抵抗材料の一方に
より形成し、かつ前記第１部材を形成する材料に
さらに透過性をもたせて、前記光導電膜が前記第
１部材を通し前記スポツト光を受光することによ
りその受光部分にて光電変換作用を生じたとき、
前記第１と前記第２の部材が前記受光部分との各
重合部分にて当該受光部分により短絡されて、こ
の短絡部分により規定される抵抗値に基き前記被
検出体の変位を前記受光信号として検出するよう
にしたことを特徴とする変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25467184A JPS61132812A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25467184A JPS61132812A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132812A JPS61132812A (ja) | 1986-06-20 |
| JPH0467601B2 true JPH0467601B2 (ja) | 1992-10-28 |
Family
ID=17268241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25467184A Granted JPS61132812A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61132812A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0820210B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1996-03-04 | 株式会社小松製作所 | 光位置検出素子 |
| JPS63180817A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-25 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光エンコ−ダ |
| US5844673A (en) † | 1998-04-17 | 1998-12-01 | Cambridge Technology, Inc. | Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element |
| JP3884707B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2007-02-21 | スカンラブ アーゲー | スキャンニング装置用の位置検出器 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25467184A patent/JPS61132812A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61132812A (ja) | 1986-06-20 |
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