JPS61132812A - 変位検出装置 - Google Patents

変位検出装置

Info

Publication number
JPS61132812A
JPS61132812A JP25467184A JP25467184A JPS61132812A JP S61132812 A JPS61132812 A JP S61132812A JP 25467184 A JP25467184 A JP 25467184A JP 25467184 A JP25467184 A JP 25467184A JP S61132812 A JPS61132812 A JP S61132812A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
slit
displacement
slit plate
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP25467184A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0467601B2 (ja
Inventor
Toshiki Ito
俊樹 伊藤
Takeshi Fukada
毅 深田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NipponDenso Co Ltd filed Critical NipponDenso Co Ltd
Priority to JP25467184A priority Critical patent/JPS61132812A/ja
Publication of JPS61132812A publication Critical patent/JPS61132812A/ja
Publication of JPH0467601B2 publication Critical patent/JPH0467601B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、車両のスロットル弁の開度、ステアリングハ
ンドルの操舵角等を変位角として検出したり、リニヤア
クチュエータ等の直線的可動部の変位長を変位位置とし
て検出するに通した変位検出装置に関する。
〔従来技術〕
従来、この種の変位検出装置においては、例えば、車両
のスロットル弁のスロットル軸に同軸的に回転可能に連
結したスリット板と、このスリット板の一例表面に対向
して配置されて同一側表面に投光する投光素子と、前記
スリット板の他側表面に対向して同スリット板と同軸的
に配置した環状の受光素子とを備えて、この受光素子が
前記投光素子から前記スリット板のスリットを通して受
光したときこの受光部分に対応する角度位置に基き前記
スロットル弁の変位角をその開度として検 。
出するようにしたものがある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、このような構成においては、通常、上述の環
状の受光素子が、環状の光導電膜の外周縁部に環状の抵
抗を設けるとともに、同光導電膜の内周縁部に環状の電
極を設けて、前記抵抗と電極との間に形成される前記光
導電膜の環状受光部が受光したときこの受光部分との関
連にて上述のごとくスロットル弁の開度を検出するよう
にしであるため、上述した抵抗と電極を前記光導電膜に
設けるにあたり、抵抗と電極との間隔、即ち前記環状受
光部の幅を狭くすることができず、このことが、この種
変位検出装置における検出応答速度の低下を招く要因と
なっていた。
本発明は、このようなことに対処すべく、変位検出装置
において、その光導電膜の肉厚の薄さをを効に活用して
検出応答速度を高めようとするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
かかる問題の解決にあたり、本発明の構成上の特徴は、
被検出体の変位に連動するように同被検出体に連結され
るスリット板と、このスリ・ノド板の一側に配置されて
同スリット板に投光する投光手段と、前記スリット板の
他側に配置されて前記投光手段からの光を前記スリット
板のスリットを通しスポット光として受光したときこの
受光部分に対応する位置に基き前記被検出体の変位を受
光信号として検出する帯状の受光手段とを備えた変位検
出装置において、前記スリット板の他側に配置されて前
記スポット光を受光する帯状の第1部材と、光導電材料
により帯状に形成されて前記第1部材に重合した光導電
膜と、この光導電膜に重合した帯状の第2部材とにより
前記受光手段を構成し、前記第1部材を電極材料及び抵
抗材料の一方により形成し、前記第2部材を前記電極材
料及び抵抗材料の他方により形成し、かつ前記第1部材
を形成する材料にさらに透過光性をもたせて、前記光導
電膜が前記第1部材を通し前記スポット光を受光するこ
とによりその受光部分にて光電変換作用を生じたとき前
記第1と第2の部材が前記受光部分との各重合部分にて
当該受光部分により短絡されてこの短絡部分により規定
される抵抗値に基き前記被検出体の変位を前記受光信号
として検出するようにしたことにある。
〔発明の作用効果〕
しかして、このように構成した本発明においては、前記
光導電膜を介する前記第1と第2の部材の重合により、
これら第1と第2の部材間の間隔が前記光導電膜の肉厚
に基いて定まり非常に狭くなるため、前記光導電膜が前
記第1部材を通し前記スリット板のスリットから前記ス
ポット光を受光したときこの光導電膜の受光部分に対す
る前記第1及び第2の部材の各重合部分が前記受光部分
の光電変換作用のもとに速い応答速度にて互いに短絡さ
れることとなり、その結果、この種変位検出装置の検出
応答速度を大幅に向上させ得る。また、このような作用
効果は、前記光導電膜を高抵抗の光導電材料により形成
しても、同様に達成し得ることは勿論である。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面により説明すると、第1
図は、本発明に係る変位検出装置が車両用エンジンのス
ロットル弁の開度検出に通用される例を示しており、こ
の変位検出装置は、前記スロットル弁の近傍にて前記エ
ンジンの一部に固定したケーシング10内にスリット円
板20、投光器30及び受光器40を組付けて構成され
ている。
スリット円板20は、ケーシング10の段付内孔11の
大径部内に位置して、その回転軸21にてケーシング1
0の前壁12の中央に軸受13を介し回転自在に軸支さ
れており、スリット円板20の外周縁部には円形状のス
リット22が穿設されている。なお、スリット円板20
の回転軸21はその外端にて前記スロットル弁のスロッ
トル軸に連結されている。
投光器30は、凹面鏡31を有しており、この凹面鏡3
1は、その開口部にて、スリット円板20に対向するよ
うにケーシング10の段付内孔11の小径部内に嵌装さ
れている。凹面鏡31の中央部には、発光素子32がそ
の発光面32aを凹面鏡31内に露呈させるようにして
嵌着されており、この発光素32は、グロメット14を
通し外方へ延出するリード線32bにて外部回路から駆
動信号を受けて凹面鏡31内に発光する。
受光器40は、その円環状の絶縁板41 (ガラス、セ
ラミックス等の材料からなる)にて、ケーシング10の
段付内孔11の大径部内において前壁12に回転軸21
と同心的に固着されており、絶縁板41の表面には、略
円環状の電極42が、第1図及び第2図に示すごと(、
その裏面に゛て絶縁板41と同心的に固着されている。
光導電膜43は、高内部抵抗値ををする光導電材料(例
えば、a−3i:)lのごときアモルファスシリコン系
統等のシリコンをベースとする非晶質半導体)を電極4
2の表面に円環膜状に蒸着して形成されており、この光
導電膜43は、受光したときその受光部分にて光電変換
作用を生じ、かかる受光部分の内部抵抗値を非受光部分
の内部抵抗値の1/1000程度に減少させる。なお、
光導電膜43の肉厚は、例えば、5000 X 10 
  (am)である。
抵抗44は、透明抵抗材料(E n203 、  S 
no2等)により略円環状に形成されており、この抵抗
44は、その裏面にて光導電膜43の表面に同光導電膜
43と同心的に固着されている(第1図及び第2図参照
)。かかる場合、抵抗44の半径方向幅は光導電膜43
の半径方向幅より狭くなっており、また、抵抗44の円
環状表面は、スリット円板20の回転下にてスリット2
2が描く円環状軌跡領域に対向している。しかして、こ
のように構成した受光器40においては、抵抗44が凹
面鏡31からの光をスリット円板20のスリット22を
通しスポット光F(第2図参照)として受光したとき、
光導電膜43が抵抗44を通してスポット光Fを受光し
この受光部分に対する抵抗44及び電極42の各重合部
分を互いに短絡させて、スポット光Fに対応゛する半径
線OQrと基線OQIとの間の変位角θに相当する抵抗
44の抵抗値を前記スロットル軸の回転角、即ち前記ス
ロットル弁の変位角(即ち、開度)として検出する。
なお、抵抗44は両電極端子44a、441)にてそれ
ぞれリード線j21.i2を介しバッテリBの両端子に
接続され、また電極42はその端子42aによてリード
線β3に接続されている。また、第2図にて符号φは、
基、線σてゴと半径線OQ2との間の変位角(抵抗44
の最大抵抗値に対応する)を示す。
以上のように構成した本実施例において、本発明装置を
作動状態におけば、投光器30の発光素子32の発光面
32aからの光が凹面鏡31の反射鏡面全体に広がり反
射されてスリット円板20に入射する。すると、この入
射光の一部がスリット円板20のスリット22を通りス
ポット光Fとして受光器40の抵抗44に入射する。つ
いで、光導電膜43が抵抗44を通しスポット光Fを受
光し、この受光部分にて光電変換作用を生じその内部抵
抗値を上述のごとく減少させ、同受光部分に対する抵抗
44及び電極42の各重合部分を互いに短絡させる。こ
れにより、抵抗44における電極42との短絡部分と基
線OQ1との間の変位角に相当する抵抗値が、前記スロ
ットル弁の開度として両リード線β1.13間から検出
される。
かかる場合、上述のごとく、光導電膜43が抵抗44と
電極42との間に重合されているので、これら抵抗44
と電極42との間の間隔が光導電膜43の肉厚により決
定されて非常に狭くなることとなり、その結果、光導電
膜43のスポット光Fに対する受光部分の光電変換作用
による抵抗44と電極42との各対応部分間の短絡を高
速にて行い得る。このことは、本発明装置が、光導電膜
43が高内部抵抗値を有するものであっても、前  。
記スロットル弁の開度を高速にて検出し得ることを意味
する。また、抵抗44と電極4,2との間隔を狭くする
にあたり、上述のごとく光導電膜43を抵抗44と電極
42との間に重合するのみでよいので、上述した作用効
果を有するこの種の変位検出装置を容易に製作できる。
なお、前記実施例においては、本発明装置をエンジンの
スロットル弁の開度検出に適用した例について説明した
が、これに限らず、車両のステプリングハンドルの操舵
角等の各種の変位角の検出に本発明を通用し得るのは勿
論のこと、リニヤアクチュエータ等の直線的可動部の変
位長の検出にも本発明を通用し得る。かかる場合、上述
した絶縁板41.電極42.光導電膜43及び抵抗44
をそれぞれ直線帯状に形成すればよい。
また、前記実施例においては、受光器40の絶縁板41
に電極42.光導電膜43及び抵抗44の順に重合して
、抵抗44を透明抵抗材料により形成した例について説
明したが、これに代えて、絶縁板41に抵抗44、光導
電膜43及び電極42の順に重合して、電極42を透明
電極材料によって形成して、前記実施例と実質的に同様
の作用効果を達成し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図は
第1図における受光器をスリ・ノド円板側から見た図で
ある。 符号の説明 20・・・スリット円板、30・・・投光器、40・・
・受光器、42・・・電極、43・・・光導電膜、44
・・・抵抗、F・・・スボ・ノド光。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検出体の変位に連動するように同被検出体に連結され
    るスリット板と、このスリット板の一側に配置されて同
    スリット板に投光する投光手段と、前記スリット板の他
    側に配置されて前記投光手段からの光を前記スリット板
    のスリットを通しスポット光として受光したときこの受
    光部分に対応する位置に基き前記被検出体の変位を受光
    信号として検出する帯状の受光手段とを備えた変位検出
    装置において、前記スリット板の他側に配置されて前記
    スポット光を受光する帯状の第1部材と、光導電材料に
    より帯状に形成されて前記第1部材に重合した光導電膜
    と、この光導電膜に重合した帯状の第2部材とにより前
    記受光手段を構成し、前記第1部材を電極材料及び抵抗
    材料の一方により形成し、前記第2部材を前記電極材料
    及び抵抗材料の他方により形成し、かつ前記第1部材を
    形成する材料にさらに透過光性をもたせて、前記光導電
    膜が前記第1部材を通し前記スポット光を受光すること
    によりその受光部分にて光電変換作用を生じたとき前記
    第1と第2の部材が前記受光部分との各重合部分にて当
    該受光部分により短絡されてこの短絡部分により規定さ
    れる抵抗値に基き前記被検出体の変位を前記受光信号と
    して検出するようにしたことを特徴とする変位検出装置
JP25467184A 1984-11-30 1984-11-30 変位検出装置 Granted JPS61132812A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25467184A JPS61132812A (ja) 1984-11-30 1984-11-30 変位検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25467184A JPS61132812A (ja) 1984-11-30 1984-11-30 変位検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61132812A true JPS61132812A (ja) 1986-06-20
JPH0467601B2 JPH0467601B2 (ja) 1992-10-28

Family

ID=17268241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25467184A Granted JPS61132812A (ja) 1984-11-30 1984-11-30 変位検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61132812A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6332305A (ja) * 1986-07-25 1988-02-12 Komatsu Ltd 光位置検出素子
JPS63180817A (ja) * 1987-01-22 1988-07-25 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 光エンコ−ダ
EP1071929A1 (en) 1998-04-17 2001-01-31 Cambridge Technology, Inc. Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element
WO2001096816A1 (en) * 2000-06-15 2001-12-20 Scanlab Ag A position detector for a scanning device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6332305A (ja) * 1986-07-25 1988-02-12 Komatsu Ltd 光位置検出素子
JPS63180817A (ja) * 1987-01-22 1988-07-25 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 光エンコ−ダ
EP1071929A1 (en) 1998-04-17 2001-01-31 Cambridge Technology, Inc. Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element
EP1071929B2 (en) 1998-04-17 2011-10-26 Cambridge Technology, Inc. Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element
WO2001096816A1 (en) * 2000-06-15 2001-12-20 Scanlab Ag A position detector for a scanning device
US6921893B1 (en) 2000-06-15 2005-07-26 Scanlab Ag Position detector for a scanning device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0467601B2 (ja) 1992-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06265370A (ja) 光学式回転角度検出装置
JPS61132812A (ja) 変位検出装置
JPS6047917A (ja) 回転角度検出装置
JPH049446B2 (ja)
JPS6047916A (ja) 回転数検出装置
JP6684631B2 (ja) 位置変換器
JP2783242B2 (ja) 回転検出装置
JPH06341859A (ja) 光学式sin/cos関数出力ポテンショメータ
JPH0579854A (ja) 光学式回転角度検出装置
JP3195655B2 (ja) 光学式変位検出装置
JPS61207921A (ja) 位置検出装置
JP2568601B2 (ja) 回転角度検出装置
JPS622845A (ja) 電動機
JP2004317451A (ja) 角度検出装置
JPS6126818A (ja) 回転角検出装置
JPS61124821A (ja) 回転角検出装置
JPH04152208A (ja) 防爆型光学式エンコーダ
JPH10253396A (ja) ロータリエンコーダ
JPH0571954A (ja) 日射センサ
JPS59212713A (ja) 回転角度検出装置
JPH022376B2 (ja)
JPS61167815A (ja) 光学式ロ−タリエンコ−ダ
JPS6336111A (ja) 光学式エンコ−ダ
JPH10141998A (ja) オプティカルエンコーダ
JPH04340430A (ja) トルク検出装置