JPH0461011A - アジマス磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）等の磁気記
録再生装置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に
関するものである。

（従来の技術） ＶＴＲ用の磁気ヘッドにおいては、高画質を実現するべ
く所謂アジマス記録方式が採用されている。又、基板上
に、薄膜形成技術、フォトリソグラフィー等を用いて磁
気コア、コイル等を形成した所謂薄膜磁気ヘッドが知ら
れている。

第１１図はアジマス記録方式を採用した薄膜磁気ヘッド
（例えば特開平１−２６３９０６　〔Ｇ１１ＢＳ／３１
３参照）を示しており、ヘッドベース（６）にヘッドチ
ップ（ｌＯ）が固定されており、該ヘッドチップ（１０
）は、一対の基板部（１３）（１４）の突合せ部に、下
部磁性層（３０）、磁気ギャップ部（２０）及び上部磁
性層（４０）からなる薄膜磁気ヘッド素子を具えると共
に、該ヘッド素子を包囲して設けた接合層（５０）によ
って両基板部（１３）　（１４）を互いに固定している
。磁気ギャップ部（２０）の形成面は、磁気テープの信
号トラック（１００）の幅方向に対して、所定のアジマ
ス角度θだけ傾斜している。

上記ヘッドチップ（１０）は、第１２図及び第１３図に
示すヘッドブロック（７４）を鎖線に沿って切断するこ
とにより製造されている。該ヘッドブロック（７４）は
、第１の基板（７５）上に、下部磁性層（３０）、ギャ
ップスペーサ（２２）及び上部磁性層（４０）からなる
薄膜磁気ヘッド素子（８）を形成すると共に、該ヘッド
素子上に接合層（５２）を介して第２の基板（７６）を
固定して構成される。

上記ヘッドブロック（７４）の切断には、ワイヤーソー
、ダイシングソー等の切断装置（図示省略）が用いられ
る。ヘッドブロック（７４）は、切断装置に固定された
カーボン、ガラス等からなる治具（９３）の表面に、接
着層（９０）によって図示の如く取り付けられる。この
際、矢印六方向から薄膜磁気ヘッド素子（８）のギャッ
プ部を顕微鏡で観察して、矢印Ｂで示す切断刃の切込み
方向か、基板（７５）に対して所定のアジマス角度θだ
け傾斜する様、ヘッドブロック（７４）の取付は姿勢が
設定される。

上記切断工程を経て第１１図に示すヘッドチップ（ＪＯ
）か作製され、前記切断面を図示の如くヘッドベース（
６）に密着させて固定される。これによって、磁気ギャ
ップ部（２０）は、信号記録或いは再生時に、磁気テー
プの信号トラック（１００）に対して所定のアジマス角
度θを為すことになる。

（解決しようとする課題） しかし、第１１図の磁気ヘッドにおいては、基板部（１
３）（１４）のトラック長手方向の両端面（１３ａ）（
１４ａ）が、トラック幅方向に対してアジマス角度θに
一致する角度だけ傾斜することになるから、両基板部（
１３）（１４）に鋭角部（１３ｂ）　（１４ｂ）が形成
される。この様な鋭角部（１３ｂ）（１４，ｂ）は、磁
気テープとの摺接状態に悪影響を及ぼし、画質低下の原
因となる問題があった。

又、第１２図及び第１３図に示す切断工程では、治具（
９３）に対するヘッドブロック（７４）の接着面積は、
第１基板（７５）の端面の面積に過ぎないがら、十分な
接着強度が得られない問題があった。然も、矢印Ｂ方向
へ切断刃が切り込まれるがら、第２基板（７６）が切断
される際、第２基板（７６）を第１基板（７５）から分
離せしめる方向の力が作用し、これによって製造歩留り
が低下する問題があった。

切断工程上の問題を解決するには、第１４図及び第１５
図に示す様に、所定のアジマス角度θ傾斜した表面を具
えた補助スペーサ（９２）を用い、該補助スヘーサ（９
２〕上に接着層（９１）を介してヘッドブロック（７４
）の第１基板（７５）の下面を固定する方法が有効であ
る。この場合、図中の矢印Ａ方向の観察によって、ヘッ
ドブロック（７４）を鎖線に沿って矢印Ｂ方向から切断
すればよいから、前述の様な第２基板（７６）に対する
分離力は作用しない。又、ヘッドブロック（７４）の補
助スペーサ（９２）に対する接着強度、及び補助スペー
サ（９２）の切断装置に対す得る接着強度は、第１２図
の場合に比べて十分に大きく、歩留り低下の問題は解消
される。

しかし、第１４図に示す切断工程は、補助スペーサ（９
２）をヘッドブロック（７４）に固定する必要があるか
ら、これによって工数が増加するばかりでなく、ヘッド
ブロック（７４）の位置決め精度の低下を招き、然も、
最終的に得られるヘッドチップ（１０）に第１１図の鋭
角部（１３ｂ）　（１４ｂ）が形成されることは避けら
れないから、画質低下の問題が残る。

本発明の目的は、上記切断工程上の問題を一挙に解決出
来、然も記録媒体との良好な摺接状態が得られるアジマ
ス磁気ヘッド及びその製造方法を提供することである。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係るアジマス磁気ヘッドは、第１図に示す如く
磁気ギャップ部（２）を挟んで信号トラック長手方向の
両側に一対の基板部（１１）　（１２）を具え、両基板
部（１１）　（ｉ２）の信号トラック長手方向の両端面
（１１ａ）　（１２ａ）は、信号トラック長手方向に直
交して形成されている。

又、本発明に係るアジマス磁気ヘッドの製造方法は、第
５図の如く第１の基板（７１）上に複数のヘッド素子（
８）を間隔をおいて配設する第１工程と、第６図の如く
第１基板（７１）のヘッド素子（８）上に接合層（５１
）を介して第２の基板（７２）を接合固定して、一体の
ヘッドブロック（７３）を作製する第２工程と、該ヘッ
ドブロック（７３）をヘッド素子（８）毎に切断して、
複数のヘッドチップを作製する第３工程とを具えている
。前記第１及び第２基板（７１）（７２）は夫々、ヘッ
ド素子（８）と対向すべき内面（７１ａ）　（７２ａ）
が、該内面とは反対側の外面（７１ｂ）　（７２ｂ）に
対して夫々所定のアジマス角度θだけ傾斜している。

前記第１工程にて、第１基板（７１）の傾斜面（７１ａ
）上に、該傾斜方向へ並ぶ複数のヘッド素子（８）を形
成する。前記第２工程では、第１基板（７１）の傾斜面
（７１ａ）上に、該傾斜面とは傾斜方向が逆関係となる
向きで第２基板（７２）の傾斜面（７２ａ）を対向せし
め、両基板（７１）（７２）の外面（７１ｂ）　（７２
ｂ）が互いに平行となるヘッドブロック（７３）を作製
する。そして、前記第３工程では、前記ヘッドブロック
（７３）に対し、両基板（７１）　（７２）の外面（７
１ｂ）　（７２ｂ）とは垂直な切断面に沿って、基板外
面に沿う方向へ切断刃の切込みを与える。

（作　用） 上記アジマス磁気ヘッドにおいては、一対の基板部（１
１）（１２）の信号トラック長手方向の両端面（１１，
ａ）　（１２ａ）が、信号トラック長手方向とは直交し
ているから、両基板部（１１）（１２）に従来の如き鋭
角部は形成されない。

又、上記アジマス磁気ヘッドの製造方法においては、第
１及び第２工程を経て作製されたヘッドブロック（７３
）は、第７図の如く切断装置の治具（９３）に第１基板
（７１）の下面を密着して取付けられ、矢印入方向から
観察しながら、矢印Ｂ方向へ切断刃の切込みが与えれる
。この際、第１基板（７１）の治具（９３）に対する接
着面積は十分に広く、高い接着強度が得られるばかりで
なく、両基板（７１）（７２）が同時に切断されるから
、一方の基板を他方の基板から分離する力は作用しない
。

又、第３工程にて切断されるべきヘッドブロック（７３
）は、第８図の如く両基板（７１）　（７２）の内面（
７１ａ）　（７２ａ）が、外面（７ｌｂ）　（７２ｂ）
に対して夫々所定のアジマス角度θだけ傾斜し、これに
よってギャップスペーサ（２１）に対してアジマス角度
か付与される一方、外面（７１ｂ）　（７２ｂ）は互い
に平行に形成される。従って、該ヘッドブロック（７３
）をヘッド素子（８）毎に切断する際、切断線は外面（
７１ｂ）（７２ｂ）に対して直角に設定出来、これによ
って得られたヘッドチップ（１）には、従来の如き鋭角
部は形成されず、上記の本発明に係るアジマス磁気ヘッ
ドが得られる。

（発明の効果） 本発明に係るアジマス磁気ヘッド及びその製造方法によ
れば、製造工程においては高い歩留りが実現出来、然も
記録再生時には、記録媒体との良好な摺接状態により、
高い画質が得られる。

（実施例） 以下、本発明をＶＴＲ用の薄膜磁気ヘッドに実施した一
例について説明する。尚、実施例は本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。

第２図の如く、磁気ギャップ部（２）を具えたヘッドチ
ップ（１）がヘッドベース（６）に固定され、磁気ヘッ
ドアセンブリか構成されている。

ヘッドチップ（１）は、第１図に示す如く、非磁性資材
から形成された一対の基板部（１１）（１２）の突合せ
部に、下部磁性層（３）、磁気ギャップ部（２）及び上
部磁性層（４）からなる薄膜磁気ヘッド素子を介装し、
該ヘッド素子を覆って両基板部（１１）（１２）を互い
に接合固定する接合層（５）が設けられている。磁気ギ
ャップ部（２）は、磁気テープに形成されるべき信号ト
ラック（１００）の幅方向に対して所定のアジマス角度
θ（例えば５〜１０度）だけ傾斜している。

両基板部（１１）　（１２）のトラック（１００）長手
方向の両端面（１１ａ）　（１２ａ）は、トラック長手
方向に対し直交して形成されている。

次に上記ヘッドチップ（１）の製造方法について説明す
る。

先ず、第３図に示す様に、非磁性ウェハ（７）の表面に
所定のアジマス角度θ傾斜した斜面（７０）を形成し、
該斜面上に、複数の薄膜磁気ヘッド素子（８）を周知の
薄膜形成技術、フォトソグラフィ技術等によって形成す
る。

薄膜磁気ヘッド素子（８）は例えば第４図に示す如き構
造を具え、下部磁性層（３）上にギャップスペーサ（２
１）を介して下部磁性層（３）を具えると共に、下部磁
性層（３）と上部磁性層（４）との連結部を包囲して、
薄膜コイル（８１）が渦巻き状に形成されている。該薄
膜コイル（８１）にはターミナル部（８２）（８３）が
設けられる。

第３図のウェハ（７）を破線に沿って切断し、第５図に
示す第１基板（７１）を作製する。

又、前記同様の非磁性ウェハを切断して、第５図に示す
第２基板（７２）を作製する。該第２基板（７２）は、
第１基板（７１）よりも狭い幅を有すると共に、第１基
板（７１）と対向する内面（７２ａ）が、第１基板（７
１）の内面（７１ａ）とは逆向きに傾斜し、傾斜角度は
アジマス角度θに一致している。

上記第１及び第２基板（７１）　（７２）を接合層（５
１）を介して接合し、第６図の如く一体のヘッドブロッ
ク（７３）を作製する。これによって、ヘッドブロック
（７３）の両基板（７１）（７２）の外面（７１ｂ）　
（７２ｂ）は互いに平行に設定されると共に、第１基板
（７１）の内面（７１ａ）上には、第２基板（７２）の
後方から薄膜磁気ヘッド素子（８）の端部、即ち第７図
に示す一対のターミナル部（８２）　（８３）が露出す
ることになる。

上記ヘッドブロック（７３）を、第７図及び第８図に鎖
線で示す切断線に沿って切断し、複数のヘッドチップを
作製する。第８図の破線は切断しろを示している。該切
断工程においては、第７図の如く、切断装置（図示省略
）に設けた治具（９３）上に接着層（９）を介してヘッ
ドブロック（７３）が固定され、該ヘッドブロック（７
３）を矢印六方向から観察し、一対のターミナル部（８
２）　（８３）の位置を参照して、鎖線で示す切断線の
位置決めが行なわれる。そして、矢印Ｂで示す方向へ切
断刃（図示省略）の切込みが与えられる。これによって
、ヘッドブロック（７３）は、第８図の如く両基板（７
１）　（７２）の外面（７１ｂ）（７２ｂ）とは垂直な
切断面に沿って切断され、複数のヘッドチップが得られ
る。

該ヘッドチップに必要な整形加工を施した後、第１図の
如くヘッドベース（６）にヘッドチップ（１）を貼着固
定して、第２図に示す磁気ヘッドアセンブリを完成する
。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形か可能である
ことは勿論である。

例えば上記実施例では、ヘッドベース（６）上に単一の
ヘッドチップ（１）を固定しているが、第９図の如くア
ジマス角度θが左右対称関係の一対のヘッドチップ（１
）（１’）を所定間隔で設置したダブルアジマス薄膜磁
気ヘッドを構成することも可能である。又第１０図の如
く、両ヘッドチップ（１）（１′）間に平行板のスペー
サ（１５）を介装すれば、両磁気ギャップ部（２）　（
２）の間隔調整を容易且つ高精度に行なうことが出来る
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るアジマス磁気ヘッドの平面図、第
２図はヘッドチップをヘッドベースに固定した磁気ヘッ
ドアセンブリの斜視図、第３図乃至第８図は本発明に係
るアジマス磁気ヘッドの製造方法を示す工程図であって
、第３図は薄膜磁気ヘッド素子が配設されたウェハの斜
視図、第４図は薄膜磁気ヘッド素子の拡大斜視図、第５
図は第１及び第２基板の斜視図、第６図はヘッドブロッ
クの斜視図、第７図及び第８図は夫々ヘッドブロックの
切断工程を示す拡大斜視図及び拡大正面図、第９図及び
第１０図は本発明に係るアジマス磁気ヘッドの他の実施
例を示す平面図、第１１図は従来のアジマス磁気ヘッド
の平面図、第１２図及び第１３図は従来の磁気ヘッド製
造工程を示すヘッドブロックの斜視図及び平面図、第１
４図及び第１５図は従来の他の磁気ヘッド製造工程を示
す同上の斜視図及び正面図である。 （７３）・・・ヘッドブロック

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］記録媒体に形成されるべき信号トラックの幅方向
   に対して所定のアジマス角度θだけ傾斜する磁気ギャッ
   プ部（２）を具えたアジマス磁気ヘッドにおいて、磁気
   ギャップ部（２）を挟んで信号トラック長手方向の両側
   に一対の基板部（１１）（１２）を具え、両基板部（１
   １）（１２）の信号トラック長手方向の両端面（１１ａ
   ）（１２ａ）は、信号トラック長手方向とは直交して形
   成されていることを特徴とするアジマス磁気ヘッド。 ［２］記録媒体に形成されるべき信号トラックの幅方向
   に対して所定のアジマス角度θだけ傾斜する磁気ギャッ
   プ部（２）を具えたアジマス磁気ヘッドの製造方法であ
   って、第１の基板（７１）上に複数のヘッド素子（８）
   を間隔をおいて配設する第１工程と、第１基板（７１）
   のヘッド素子（８）上に接合層（５１）を介して第２の
   基板（７２）を接合固定して、一体のヘッドブロック（
   ７３）を作製する第２工程と、該ヘッドブロック（７３
   ）をヘッド素子（８）毎に切断して、複数のヘッドチッ
   プを作製する第３工程とを具え、前記第１及び第２基板
   （７１）（７２）は夫々、ヘッド素子（８）と対向すべ
   き内面（７１ａ）（７２ａ）が、該内面とは反対側の外
   面（７１ｂ）（７２ｂ）に対して夫々所定のアジマス角
   度θだけ傾斜し、前記第１工程にて、第１基板（７１）
   の傾斜面（７１ａ）上に、該傾斜方向に並ぶ複数のヘッ
   ド素子（８）を形成し、前記第２工程にて、第１基板（
   ７１）の傾斜面（７１ａ）上に、該傾斜面とは傾斜方向
   が逆関係となる向きで第２基板（７２）の傾斜面（７２
   ａ）を対向せしめて、両基板（７１）（７２）の外面（
   ７１ｂ）（７２ｂ）が互いに平行となるヘッドブロック
   （７３）を作製し、前記第３工程では、前記ヘッドブロ
   ック（７３）に対し、両基板（７１）（７２）の外面（
   ７１ｂ）（７２ｂ）とは垂直な切断面に沿って、基板外
   面に沿う方向へ切断刃の切込みを与えることを特徴とす
   るアジマス磁気ヘッドの製造方法。