JPH04353613A - ダブルアジマス磁気ヘッドおよびその製造方法並びに磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＶＴＲなどの磁気記録
再生装置に使用されるダブルアジマス磁気ヘッドおよび
その製造方法並びにこの磁気ヘッドを用いた磁気記録再
生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＶＴＲなどの磁気記録再生装置に
おいては、高密度記録化が要求され、それに伴い磁気ヘ
ッドも狭トラック化、狭ギャップ化したものが要求され
ている。また、記録方式も狭トラック化に対応するため
アジマス記録という手法で隣接トラック間のクロストー
クを軽減している。

【０００３】従来の家庭用および業務放送用ＶＴＲにお
いては、特殊再生機能（スロー、スチル、高速サーチ等
）やＹＣ分離記録等の使途が実用化されており、複数個
の記録再生ヘッドが必要となってきている。

【０００４】以下、従来の単一ヘッドベースの先端に２
個のヘッドチップを固定した磁気ヘッドについて図６を
用いて説明する。

【０００５】図６（ａ）はヘッドベースを含めた全体の
平面図であり、図６（ｂ）はヘッド摺動面から見た正面
図を表す。図６では、ヘッドチップ２３、２４を個別に
作製し、スリット２５が設けてあるヘッドベース３に接
着している。図６（ｂ）において、４はヘッドギャップ
、５はフェライトから成るヘッドコア、６はモールドガ
ラス、ＴＷ１はヘッドチップ２３のトラック幅、ＴＷ２
はヘッドチップ２４のトラック幅である。通常、ＴＷ１
＞ＴＷ２で、ＴＷ１は標準記録モ−ド、ＴＷ２は長時間
記録モ−ドに使用されている。

【０００６】また、図６（ｂ）で、ギャップ間距離Ｘを
調整装置にて所定寸法に規制し、ヘッドチップ２３、２
４をそれぞれ接着し、ヘッドベース３をシリンダに取り
付ける面Ｓｙからのトラック位置Ｈ１、Ｈ２を最終的に
調整するにあたっては、スリット２５の左右でヘッドベ
ース３を弾性変形させて調整している。さらに、ヘッド
チップ２３、２４はそれぞれアジマスθ１、θ２をもち
、θ１とθ２は正負逆のアジマスであるために一般にダ
ブルアジマスヘッドと呼ばれている。その一例として特
開昭６０−８３２１２号公報に記載のものなどがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術の延長で、ヘッドチップを１つ１つ個別に作製しヘ
ッドベースに接着し、複数のヘッドについてトラック位
置Ｈ１＋ＴＷ１／２、Ｈ２＋ＴＷ２／２を調整していく
ことは非常に困難であるという課題を有していた。本発
明は、トラック高さ精度の揃ったダブルアジマス磁気ヘ
ッド並びにそのヘッドを精度良く、容易に製造できる製
造方法、更には、その磁気ヘッドを用いた磁気記録再生
装置の提供を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のダブルアジマス磁気ヘッドは、Ｃコア半
体ギャップ面の高さ方向となる位置に、巻線窓の鋭角方
向がそれぞれ逆方向になるように２ケ以上の巻線用の溝
を施し、そのＣコア半体とＩコア半体とを接合しギャッ
プドバーを形成し、トラックにアジマスを付けて切断し
、巻線窓ごとにヘッドチップを切断し、ヘッドトラック
高さの揃った２ケ以上のダブルアジマス（正のアジマス
と負のアジマス）磁気ヘッドを作製し、一つのヘッドベ
ースの先端にその磁気ヘッドを固定し、一体型２アジマ
ス磁気ヘッドとする。

【０００９】使用するヘッドチップはバルクタイプ、Ｍ
ＩＧタイプ、積層タイプのいずれかとする。

【００１０】

【作用】本発明は上記した構成によって、トラック幅が
同一で、ギャップドバ−でアジマスを付けているために
、正のアジマスヘッドチップと負のアジマスヘッドチッ
プとでトラック高さの揃ったダブルアジマス磁気ヘッド
とすることができる。

【００１１】また、本発明のダブルアジマス磁気ヘッド
の製造方法はヘッドチップ群のトラック高さ加工精度を
向上することができ、ヘッドチップはバルクタイプ、Ｍ
ＩＧタイプ、積層タイプのいずれでも実現できる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

【００１３】図１は本発明のダブルアジマス磁気ヘッド
の実施例例を示したものである。図１（ａ）はヘッドベ
ース３の先端にヘッドチップ１、２が搭載されている２
アジマス磁気ヘッドの平面図である。ヘッド摺動面から
見たヘッド構成の例としては、例えば図１（ｂ）〜図１
（ｄ）に示す様なものがあげられる。

【００１４】図１（ｂ）において１、２はフェライト、
センダストなどの軟磁性ブロック５からなるヘッドチッ
プで、６はモールドガラス、４はヘッドギャップであり
、Ｔｗはトラック幅を示している。ここで、ヘッドベー
スの左右で正のアジマス＋θ、負のアジマス−θとして
いる。また、ヘッドベース３をシリンダに取り付けると
きの基準面Ｓｙ（≒ヘッドチップの側面端）からのトラ
ック位置をＨで同一寸法としている。

【００１５】図１（ｃ）は、図１（ｂ）中のフェライト
５のギャップ４近傍に高飽和磁束密度の軟磁性薄膜７を
配したいわゆるＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ−ｉｎ−ｇａｐ）タ
イプのヘッドチップで構成されているダブルアジマス磁
気ヘッドの一例である。

【００１６】図１（ｄ）は、非磁性の基板１５で主コア
となる軟磁性薄膜１４を挟持し、軟磁性薄膜１４の中に
絶縁層１７を配した積層コア１８から成る積層タイプの
ダブルアジマス磁気ヘッドの一例であり、１６は非磁性
の基板１５と軟磁性薄膜１４と絶縁層１７からなる主コ
アを接合する接着層である。

【００１７】本発明のダブルアジマス磁気ヘッドの構成
は、正のアジマスを有するヘッドチップと負のアジマス
を有するヘッドチップとの間で、それぞれのヘッドチッ
プの側面端トラック幅中心までの距離が同一で、且つ、
トラック幅が同一であることを特徴とした一体型２アジ
マス磁気ヘッドである。この磁気ヘッドを用いれば、正
のアジマスヘッドで映像信号を、負のアジマスヘッドで
音声信号をそれぞれ同一テープトラック上にオフトラッ
ク無しで多重周波数記録（磁気テープへの深層記録）を
することができる磁気記録再生装置が実現できる。

【００１８】次に図２により本発明のダブルアジマス磁
気ヘッドの製造方法の一実施例について説明する。

【００１９】図２（ａ）〜図２（ｇ）は、その製造工程
を順次示している。 図２（ａ）は、フェライトからなる一体の大きな軟磁性
体ブロックｂである。

【００２０】図２（ｂ）は、その磁性体ブロックｂから
Ｃコア半体９とＩコア半体１０とを切り出し、それぞれ
のギャップ面となる面にそれぞれ同一ピッチでトラック
幅Ｔｗを規制する溝８を形成する。

【００２１】図２（ｃ）は、Ｃコア半体９にはギャップ
面の高さ方向にヘッドのフロントディプスを規制する巻
線窓の鋭角方向がそれぞれ上下になるように２ケの巻線
用のＣ窓溝１２、１３を施したところを示している。

【００２２】図２（ｄ）は、前記トラック幅Ｔｗを規制
する溝８とＴｗを基準に、Ｃコア半体９とＩコア半体１
０とをガラスとＳｉＯ２から成る空隙材１１を介してヘ
ッドギャップ４を形成し、トラック幅規制の溝８にモー
ルド用のガラス６を流し込みギャップドバーｇを得たと
ころである。このとき矢印Ａ（上方）と矢印Ｂ（下方）
との両側からトラックの突き合わせを見ている。

【００２３】図２（ｅ）は、ギャップドバ−ｇを一点鎖
線Ｌ１のようにアジマスθをつけてスライスする。

【００２４】図２（ｆ）は、スライスされた２体のヘッ
ドチップ１、２を示しており、これを一点鎖線Ｌ２のよ
うに巻線窓ごとにスライスし個別のヘッドチップとする
。

【００２５】図２（ｇ）は、第２図（ｆ）から個別にし
たヘッドチップである。図２（ｆ）で巻線窓が上下逆に
設けてあるので、矢印Ａと矢印Ｂとから見たヘッドチッ
プ１、２は、それぞれ図２（ｇ）のようになり、両者は
アジマスが＋θと−θとなり、トラック高さＨが等しく
、さらに、トラック幅Ｔｗも揃ったダブルアジマス磁気
ヘッドチップができる。この２チップをヘッドベ−スに
貼り付けると図１（ｂ）のようなダブルアジマス磁気ヘ
ッドとなる。

【００２６】次に図３を参照しながら本発明のダブルア
ジマス磁気ヘッドの製造方法の他の実施例について説明
する。

【００２７】図３では、図２で説明した製造方法の図２
（ａ）〜図２（ｃ）までは同様の工程であるが、トラッ
ク幅規制を施した後のギャップ面に、高飽和磁束密度の
軟磁性薄膜４をスパッタリング法で図３（ａ）のように
所定の厚さ形成する。本実施例では、この薄膜４にＦｅ
−Ａｌ−Ｓｉ合金薄膜を使用した。この薄膜４の上から
ガラスとＳｉＯ２から成る空隙材１１を介してヘッドギ
ャップ４を形成し、トラック幅規制の溝にモールド用の
ガラス６を流し込みギャップドバーｇを得る。このとき
矢印Ａ（上方）と矢印Ｂ（下方）との両側からトラック
の突き合わせを見ている。

【００２８】さらに、図３（ａ）で、ギャップドバ−ｇ
を一点鎖線Ｌ１のようにアジマスθをつけてスライスし
、また一点鎖線Ｌ２のように巻線窓ごとにスライスする
と図３（ｂ）のような個別のヘッドチップ１、２が得ら
れる。図３（ｂ）は、図３（ａ）から個別にしたヘッド
チップである。図３（ｂ）で巻線窓が上下逆に設けてあ
るので、矢印Ａと矢印Ｂとから見たヘッドチップ１、２
は、それぞれアジマスが＋θと−θとなり、トラック高
さＨが等しく、さらに、トラック幅Ｔｗも揃ったＭＩＧ
タイプのダブルアジマス磁気ヘッドチップとなる。

【００２９】次に積層タイプのヘッドチップを搭載した
多チャンネル磁気ヘッドの製造方法について図面を参照
しながら説明する。

【００３０】図４（ａ）〜図４（ｅ）は、その製造工程
を順次示している。 図４（ａ）は、非磁性の基板１５上にスパッタリング法
で軟磁性薄膜１４と絶縁層１７とを交互に形成して主コ
アとなる積層磁性膜を形成しａ１基板とする。また、同
様にａ２、ａ３、・・・と積層磁性膜を形成した基板を
複数枚作製する。ここで、１６はガラスなどの接着層で
、１８は積層された主コアである。本実施例では、この
軟磁性薄膜１４にＣｏを主成分とするアモルファス合金
薄膜を使用し、絶縁層１７にはＳｉＯ２薄膜を用いた。

【００３１】図４（ｂ）は、積層磁性膜の面ともう一方
の非磁性の基板の面とを接着層１６を用いて接着し一体
の多層ブロックａを形成したところである。ここで、１
９は軟磁性薄膜１４と絶縁層１７と接着層１６とを表わ
している。

【００３２】図４（ｃ）は、一体の多層ブロックａから
積層Ｃコア半体２０と積層Ｉコア半体２１とを切り出し
、積層Ｃコア半体２０にはギャップ面の高さ方向にヘッ
ドのフロントディプスを規制する巻線窓の鋭角方向がそ
れぞれ上下になるように２ケの巻線用のＣ窓溝１２、１
３を施したところを示している。ここで、トラック幅Ｔ
ｗは軟磁性薄膜１４と絶縁層１７とを交互に配して形成
された主コア１８の幅となる。

【００３３】図４（ｄ）は、積層Ｃコア半体と積層Ｉコ
ア半体とをガラスとＳｉＯ２から成る空隙材１１を介し
てヘッドギャップ４を形成し、巻線窓に接着用のガラス
２６を流し込みギャップドバーｇを得たところである。 さらに、図４（ｄ）でギャップドバ−ｇを一点鎖線Ｌ１
のようにアジマスθをつけてスライスし、また一点鎖線
Ｌ２のように巻線窓ごとにスライスすると第４図（ｅ）
のような個別のヘッドチップ１、２が得られる。図４（
ｅ）は、図４（ｄ）から個別にしたヘッドチップである
。図４（ｄ）で巻線窓が上下逆に設けてあるので、矢印
Ａと矢印Ｂとから見たヘッドチップ１、２は、それぞれ
アジマスが＋θと−θとなり、トラック高さＨが等しく
、さらに、トラック幅Ｔｗも揃った積層タイプのダブル
アジマス磁気ヘッドチップとなる。

【００３４】次に、本発明の製造方法で造られたダブル
アジマス磁気ヘッドを用いて、これを磁気記録再生装置
へ搭載したときの一実施例について図面を参照しながら
説明する。

【００３５】図５（ａ）、（ｂ）は本発明のダブルアジ
マス磁気ヘッドを磁気記録再生装置に搭載する場合のヘ
ッドベ−スユニットの一例を示したものである。

【００３６】図５（ａ）はヘッドベース３の先端にヘッ
ドチップ１、２が搭載されているダブルアジマス磁気ヘ
ッドの平面図である。図５（ａ）において、ヘッドベ−
ス３の先端にはあらかじめトラック幅Ｔｗの厚み分の段
差２２が設けてある。図５（ｂ）は、図５（ａ）をヘッ
ド摺動面から見た正面図である。

【００３７】本発明のダブルアジマス磁気ヘッドチップ
は、トラック高さＨが等しく、さらに、トラック幅Ｔｗ
も同じヘッドなので、ヘッドベ−スにあらかじめ所定の
段差を設けておけば１トラックピッチ分ずれ、それぞれ
アジマスが＋θと−θのダブルアジマス磁気ヘッドとな
り、これを磁気記録再生装置に搭載し同時アジマス記録
することができる。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明のダブルアジマス磁
気ヘッドは、一つのヘッドベースの先端にヘッドチップ
のアジマスが＋θと−θで、トラック高さＨが等しく、
さらに、トラック幅Ｔｗも揃ったダブルアジマス磁気ヘ
ッドの構成としているので、正のアジマスヘッドで映像
信号を、負のアジマスヘッドで音声信号をそれぞれ同一
テープトラック上にオフトラック無しで多重周波数記録
をすることができる。

【００３９】また、本発明のダブルアジマス磁気ヘッド
の製造方法によれば、Ｃコア半体ギャップ面の高さ方向
となる位置に、ヘッドチップのフロントディプスを規制
する巻線窓の鋭角方向がそれぞれ逆方向になるような２
つの巻線窓を形成して、そのＣコア半体とＩコア半体と
を接合しギャップドバ−を造り、トラックにアジマスを
付けて切断し、さらに、巻線窓ごとにヘッドチップを切
断することにより、アジマスが＋θと−θで、トラック
高さＨが等しく、さらに、トラック幅Ｔｗも揃ったダブ
ルアジマス磁気ヘッドが得られる。これにより、ヘッド
チップのトラック高さ精度がたいへん向上し、従来のよ
うにヘッドベ−スを弾性変形させてトラック高さを調整
する必要がなくなる。

【００４０】本発明のダブルアジマス磁気ヘッドチップ
は、トラック高さＨが等しく、さらに、トラック幅Ｔｗ
も同じヘッドなので、ヘッドベ−スにあらかじめ所定の
段差を設けておけば１トラックピッチ分ずれ、それぞれ
アジマスが＋θと−θのダブルアジマス磁気ヘッドとな
り、これによりトラックピッチの精度に優れ、多チャン
ネル記録および高転送レート化に対応したダブルアジマ
ス磁気ヘッドとして磁気記録再生装置に搭載することで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明のダブルアジマス磁気ヘッドの
実施例の側面図 （ｂ）は本発明のダブルアジマス磁気ヘッドの実施例の
ヘッド摺動面構成を示す正面図 （ｃ）は本発明のダブルアジマス磁気ヘッドの実施例の
他のヘッド摺動面構成を示す正面図 （ｄ）は本発明のダブルアジマス磁気ヘッドの実施例の
更に他のヘッド摺動面構成を示す正面図

【図２】（ａ）
は、図１の実施例磁気ヘッドの製造工程で用いる軟磁性
体ブロックの外観図 （ｂ）は、軟磁性体ブロックへのトラック加工工程図（
ｃ）は、巻線用の窓加工の工程図 （ｄ）は、ギャップドバー形成工程図 （ｅ）は、ギャップドバ−のスライス工程図（ｆ）は、
一対のヘッドチップの分離を行なう工程図（ｇ）は、本
実施例の製造方法により得られたダブルアジマス磁気ヘ
ッドの外観図

【図３】（ａ）は、本発明のダブルアジマス磁気ヘッド
の製造方法の他の実施例におけるギャップドバ−のスラ
イス工程図。 （ｂ）は、同実施例により得れれたダブルアジマス磁気
ヘッドの外観図

【図４】（ａ）は、本発明のダブルアジマス磁気ヘッド
の製造方法の他の実施例において用いる主コアの外観図
。 （ｂ）は、同実施例における主コアの積層による多層ブ
ロックの形成工程図。 （ｃ）は、積層ブロックからの半体コアの形成工程図。 （ｄ）は、ギャップドバーの形成工程と、スライス工程
の説明図。 （ｅ）は、同実施例により得られたヘッドチップの外観
図

【図５】（ａ）は本発明のダブルアジマス磁気ヘッドを
磁気記録再生装置に搭載するためのヘッドベ−スユニッ
トの側面図 （ｂ）は図５（ａ）のヘッドベースユニットの正面図

【
図６】（ａ）は従来の磁気ヘッドの平面図（ｂ）は図６
（ａ）のヘッド摺動面から見た正面図

【符号の説明】

１、２、２３、２４　　ヘッドチップ ３　　ヘッドベース ４　　ヘッドギャップ ５　　フェライトコア ６　　モールドガラス ７、１４　　軟磁性薄膜 ８　　トラック規制用の溝 ９、２０　　Ｃコア半体 １０　　Ｉコア半体 １１　　空隙材 １２、１３　　巻線用の溝 １５　　非磁性基板 １６　　接着層 １７　　絶縁層 １８　　積層主コア １９　　軟磁性薄膜１４と絶縁層１７と接着層１６２０
　　積層Ｃコア半体 ２１　　積層Ｉコア半体 ２２　　ヘッドベース上の段差 ２５　　ヘッドベースのスリット ２６　　接着用ガラス Ｔｗ　　トラック幅 θ　　アジマス角 Ｈ　　トラック高さ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ヘッドベ−スの先端に、正のアジマス
   を有するヘッドチップと負のアジマスを有するヘッドチ
   ップとの間で、それぞれのヘッドチップの側面端トラッ
   ク幅中心までの距離が同一で、且つ、トラック幅が同一
   であることを特徴としたヘッドチップ群を搭載したダブ
   ルアジマス磁気ヘッド。
2. 【請求項２】　　ヘッドチップが、フェライト、センダ
   ストなどの軟磁性ブロックを用いたバルクタイプ、主コ
   アがフェライトでギャップ近傍に高飽和磁束密度の軟磁
   性薄膜を設けたメタル・イン・ギャップ（ＭＩＧ）タイ
   プおよび主コアが軟磁性薄膜と絶縁薄膜が積層された積
   層タイプの少なくとも一つからなる請求項１記載のダブ
   ルアジマス磁気ヘッド。
3. 【請求項３】　　磁性体ブロックからＣコア半体とＩコ
   ア半体とを形成する工程と、Ｃコア半体とＩコア半体と
   のギャップ面にそれぞれ同一ピッチでトラック幅規制を
   施す工程と、Ｃコア半体ギャップ面の高さ方向となる位
   置に、ヘッドチップのフロントディプスを規制する巻線
   窓の鋭角方向がそれぞれ逆方向になるように２ケ以上の
   巻線用の溝を形成する工程と、ギャップ面に非磁性材を
   介してＣコア半体とＩコア半体とを接合しギャップドバ
   ーを形成する工程と、ギャップドバーをトラックにアジ
   マスを付けて切断する工程と、さらに巻線窓ごとに切断
   しバルクタイプのヘッドチップ単体を形成する工程と、
   そのヘッドチップ単体をヘッドベースに固定する工程と
   からなるダブルアジマス磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】　　磁性体ブロックからＣコア半体とＩコ
   ア半体とを形成する工程と、Ｃコア半体とＩコア半体と
   のギャップ面にそれぞれ同一ピッチでトラック幅規制を
   施す工程と、Ｃコア半体ギャップ面の高さ方向となる位
   置に、ヘッドチップのフロントディプスを規制する巻線
   窓の鋭角方向がそれぞれ逆方向になるように２ケ以上の
   巻線用の溝を形成する工程と、ギャップ面上に軟磁性薄
   膜を形成する工程と、その軟磁性薄膜上に非磁性薄膜を
   形成する工程と、その非磁性薄膜を介してＣコア半体と
   Ｉコア半体とを接合しギャップドバーを形成する工程と
   、ギャップドバーをトラックにアジマスを付けて切断す
   る工程と、さらに巻線窓ごとに切断しＭＩＧタイプのヘ
   ッドチップ単体を形成する工程と、そのヘッドチップ単
   体をヘッドベースに固定する工程とからなるダブルアジ
   マス磁気ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】　　非磁性の基板上に軟磁性薄膜と絶縁層
   を交互に配し主コアとなる積層磁性膜を形成する工程と
   、その積層磁性膜の面ともう一方の非磁性の基板の面と
   を接着し一体の多層ブロックを形成する工程と、その多
   層ブロックからＣコア半体とＩコア半体とを形成する工
   程と、Ｃコア半体ギャップ面の高さ方向となる位置に、
   ヘッドチップのフロントディプスを規制する巻線窓の鋭
   角方向がそれぞれ逆方向になるように２ケ以上の巻線用
   の溝を形成する工程と、ギャップ面に非磁性材を介して
   Ｃコア半体とＩコア半体とを接合しギャップドバーを形
   成する工程と、ギャップドバーをトラックにアジマスを
   付けて切断する工程と、さらに巻線窓ごとに切断し積層
   タイプのヘッドチップ単体を形成する工程と、そのヘッ
   ドチップ単体をヘッドベースに固定する工程とからなる
   ダブルアジマス磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】　　軟磁性薄膜としてＦｅを主成分とする
   合金薄膜およびＣｏを主成分とする合金薄膜およびＮｉ
   を主成分とする合金薄膜のいずれかを用いたことを特徴
   とする請求項１もしくは請求項３乃至５の何れかに記載
   のダブルアジマス磁気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】　　請求項３乃至５のいずれかに記載の製
   造方法で製造されたダブルアジマス磁気ヘッドを、あら
   かじめ段差を設けたヘッドベ−スに接着し、正のアジマ
   スヘッドと負のアジマスヘッドとでトラック位置を任意
   間隔に固定したダブルアジマス磁気ヘッドを搭載した磁
   気記録再生装置。