JPH0449736B2 - - Google Patents
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- JPH0449736B2 JPH0449736B2 JP22241183A JP22241183A JPH0449736B2 JP H0449736 B2 JPH0449736 B2 JP H0449736B2 JP 22241183 A JP22241183 A JP 22241183A JP 22241183 A JP22241183 A JP 22241183A JP H0449736 B2 JPH0449736 B2 JP H0449736B2
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- Japan
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は平面型表示装置の電極の製造方法に関
する。
する。
従来例の構成とその問題点
まず、本発明の製造方法により製造する平面型
表示装置の構成について簡単に説明する。平面型
表示装置の概略を第１図〜第５図に示す。第１図
において１は螢光体面、２はカソード、３は結合
スペーサ、４は電極である。カソード２を発した
電子ビームは種々の電極４により水平、垂直偏向
されおよび輝度変調されて、螢光体面１に至つて
これを発光させる。
表示装置の構成について簡単に説明する。平面型
表示装置の概略を第１図〜第５図に示す。第１図
において１は螢光体面、２はカソード、３は結合
スペーサ、４は電極である。カソード２を発した
電子ビームは種々の電極４により水平、垂直偏向
されおよび輝度変調されて、螢光体面１に至つて
これを発光させる。
電極４は、その性能により第２図に示す様な矢
印Ｘ方向に対して剛性のある電極５と剛性のない
電極６とに分類できる。各電極は第４図に示す様
なガラス質で被覆されかつ接合用フリツトを塗布
したスペーサ７を介して絶縁と所定の間隔を保つ
た結合固定される。この電極焼成方法は第５図に
示す様に焼成治具８上にて矢印Ｘ方向に対して剛
性のある電極９と矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１０の間にスペーサ１１を挿入し、それぞれ
の位置決めをピン１２にて行ない矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１０に伸び調整用スペーサ１
３を隣接させ、スタンパー１４により矢印Ｚ方向
より加圧し、スペーサ１１の表面に塗布された接
着用フリツトの溶融温度まで加熱し、スペーサ１
１と電極９，１０の接合を行なう。１５は焼成治
具８及びスタンパー１４を保護するためのシート
である。焼成時において矢印Ｘ方向に対して剛性
のある電極９はＸ方向についてはその素材である
42−６合金の熱膨張係数に従つた膨張をするが、
矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０はＸ方向
についてほとんど膨張しない。このため焼成終了
後に矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極９と矢印
Ｘ方向に対して剛性のない電極１０のＸ方向につ
いての位置ズレが生じる。この位置ズレ防止対策
として矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０に
伸び調整用スペーサ１３を隣接させ、伸び調整用
スペーサ１３が加熱されて熱膨張する場合に矢印
Ｘ方向に対して剛性のない電極１０を摩擦力によ
りＸ方向に熱膨させる。この様なメカニズムによ
りＸ方向に対して剛性のある電極９とＸ方向に対
して剛性のない電極１０とのＸ方向における位置
を合わせる。このため矢印Ｘ方向に対して剛性の
ない電極１０の熱膨張量は伸び調整用スペーサ１
３の熱膨張量に関係し、伸び調整用スペーサの熱
膨張係数を所定の値に調整する必要がある。この
方法として第６図に示す様に42−６合金素材１６
表面にガラス層１７を形成し、ガラス層１７の厚
さを調整することにより伸び調整用スペーサの熱
膨張係数を所定の値とする。この表面にガラス層
１７を形成した調整用スペーサの面粗さは Rmax10μm以上となる。このため第５図に示す
様に焼成工程において矢印Ｘ方向に対して剛性の
ない電極１０に伸び調整用スペーサ１３を隣接さ
せスタンパー１４で矢印Ｚ方向より加圧するため
矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０は隣接す
る伸び調整用スペーサ１３の面粗さに沿うため矢
印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０に矢印Ｚ方
向の段差が生じる。このため電極相互の位置ズレ
をなくすと同時に矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１０の矢印Ｚ方向の段差をなくすことができ
なかつた。
印Ｘ方向に対して剛性のある電極５と剛性のない
電極６とに分類できる。各電極は第４図に示す様
なガラス質で被覆されかつ接合用フリツトを塗布
したスペーサ７を介して絶縁と所定の間隔を保つ
た結合固定される。この電極焼成方法は第５図に
示す様に焼成治具８上にて矢印Ｘ方向に対して剛
性のある電極９と矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１０の間にスペーサ１１を挿入し、それぞれ
の位置決めをピン１２にて行ない矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１０に伸び調整用スペーサ１
３を隣接させ、スタンパー１４により矢印Ｚ方向
より加圧し、スペーサ１１の表面に塗布された接
着用フリツトの溶融温度まで加熱し、スペーサ１
１と電極９，１０の接合を行なう。１５は焼成治
具８及びスタンパー１４を保護するためのシート
である。焼成時において矢印Ｘ方向に対して剛性
のある電極９はＸ方向についてはその素材である
42−６合金の熱膨張係数に従つた膨張をするが、
矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０はＸ方向
についてほとんど膨張しない。このため焼成終了
後に矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極９と矢印
Ｘ方向に対して剛性のない電極１０のＸ方向につ
いての位置ズレが生じる。この位置ズレ防止対策
として矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０に
伸び調整用スペーサ１３を隣接させ、伸び調整用
スペーサ１３が加熱されて熱膨張する場合に矢印
Ｘ方向に対して剛性のない電極１０を摩擦力によ
りＸ方向に熱膨させる。この様なメカニズムによ
りＸ方向に対して剛性のある電極９とＸ方向に対
して剛性のない電極１０とのＸ方向における位置
を合わせる。このため矢印Ｘ方向に対して剛性の
ない電極１０の熱膨張量は伸び調整用スペーサ１
３の熱膨張量に関係し、伸び調整用スペーサの熱
膨張係数を所定の値に調整する必要がある。この
方法として第６図に示す様に42−６合金素材１６
表面にガラス層１７を形成し、ガラス層１７の厚
さを調整することにより伸び調整用スペーサの熱
膨張係数を所定の値とする。この表面にガラス層
１７を形成した調整用スペーサの面粗さは Rmax10μm以上となる。このため第５図に示す
様に焼成工程において矢印Ｘ方向に対して剛性の
ない電極１０に伸び調整用スペーサ１３を隣接さ
せスタンパー１４で矢印Ｚ方向より加圧するため
矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０は隣接す
る伸び調整用スペーサ１３の面粗さに沿うため矢
印Ｘ方向に対して剛性のない電極１０に矢印Ｚ方
向の段差が生じる。このため電極相互の位置ズレ
をなくすと同時に矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１０の矢印Ｚ方向の段差をなくすことができ
なかつた。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するものであ
り、電極の位置精度の向上をはかるものである。
り、電極の位置精度の向上をはかるものである。
発明の構成
本発明の平面型表示装置の電極の製造方法は、
カソードと螢光体の間に構造上一定方向に熱膨張
する電極と熱膨張しない電極を結合スペーサを介
して複数個設け、これらを焼成して固定するに際
し、前記熱膨張しない電極に面粗さRmax1μm以
下の線材を一定方向に並列して隣接させ、かつ前
記線材の熱膨張方向と前記熱膨張する電極の熱膨
張する電極の熱膨張方向とが所定の傾きをもつ様
に配置されているため電極相互の熱膨張量をそろ
えることができ電極精度の向上がはかれるもので
ある。
カソードと螢光体の間に構造上一定方向に熱膨張
する電極と熱膨張しない電極を結合スペーサを介
して複数個設け、これらを焼成して固定するに際
し、前記熱膨張しない電極に面粗さRmax1μm以
下の線材を一定方向に並列して隣接させ、かつ前
記線材の熱膨張方向と前記熱膨張する電極の熱膨
張する電極の熱膨張方向とが所定の傾きをもつ様
に配置されているため電極相互の熱膨張量をそろ
えることができ電極精度の向上がはかれるもので
ある。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例を第７図〜第９図に
もとづいて説明する。第７図は、本発明の一実施
例の製造方法を示すもので、複数の電極を所定の
間隔を保つて焼成固定する際、１８は矢印Ｘ方向
に対して剛性のある電極、１９は矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極で両者の間にスペーサ２０が
挿入されている。２１は電極１８と電極１９及び
スペーサ２０を接合固定するための接合層であ
り、スペーサの表裏に塗布されている。２２は伸
び調整用線材で表面の面粗さはRmax1μm以下に
仕上げられている。前記伸び調整用線材２２は前
記矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９に隣接
し、矢印Ｘ方向に対してθ度傾けて配置されてい
る。接合層２１を溶融・再結晶させて、スペーサ
２０と電極１８，１９を焼成固定するため紙面に
垂直方向に伸び調整用スペーサ２２側から電極１
９側へスタンパー平面で電極１８側から電極１９
側へ焼成治具平面にて加圧し加熱するのである
が、矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極１８はＸ
方向に対してその素材の熱膨張係数である42−６
合金の熱膨張係数αで熱膨する。矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１９は加熱された場合Ｘ方向
に対して自ら膨張することができずこれに隣接し
た伸び調整用線材２２の熱膨張の影響を受け、伸
び調整用線材２２との間に生じた摩擦力によりＸ
方向に膨張する。伸び調整用線材２２は矢印Ｘ方
向に対してθ度傾けて配置されているため電極焼
成固定のため加熱された場合矢印X′方向に伸び
調整用線材２２の素材の熱膨張係数はα′で膨張す
る。このため、伸び調整用線材２２の矢印Ｘ方向
の膨張量Ｌは、矢印X′方向の単位長さをｌとし
加熱温度をＴとした場合 Ｌ＝ｌ・Ｔ・α′・cosθ となる。このことは矢印Ｘ方向に対して熱膨張係
数がα′・cosθの伸び調整用線材を隣接させたこと
と同じになり、伸び調整用線材の熱膨張係数α′と
矢印Ｘ方向に対する傾きθを変化させることによ
り伸び調整用線材のＸ方向の熱膨張量を調整する
ことができる。伸び調整用線材２２の矢印Ｘ方向
に対する傾きθの矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１９の伸び調整の影響をみるため、矢印Ｘ方
向に対して剛性のある電極１８と矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１９の素材として42Ni−6Cr
−Fe合金を使用し、伸び調整用線材２２の素材
として42Ni−6Cr−Fe合金を使用し伸び調整用線
材２２の矢印Ｘ方向に対する傾きθを変化させて
電極の焼成固定を行なつた場合の、矢印Ｘ方向に
対して剛性のある電極１８に対する矢印Ｘ方向に
対して剛性のない電極１９の伸び状態を実験によ
り求めた結果を第８図に示す。この結果より伸び
調整用線材２２の矢印Ｘ方向に対する傾きθを変
化させることにより矢印Ｘ方向に対して剛性のな
い電極の伸びを調整できることが判明した。電極
の素材として42Ni−6Cr−Fe合金を使用し、伸び
調整用線材の素材として42Ni−6Cr−Fe合金を使
用した場合には伸び調整用線材の矢印Ｘ方向に対
する傾きθを15度とすることにより矢印Ｘ方向に
対して剛性のある電極１８と矢印Ｘ方向に対して
剛性のない電極１９の伸びを同一にすることがで
きた。また伸び調整用線材２２の面粗さは
Rmax1μm以下であるため、第７図に示す様にこ
れに隣接する矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極
１９の紙面に対して垂直方向の段差である隣接間
段差も5μm以下とすることができた。第７図にお
いて矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極１８と矢
印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９の素材とし
て42Ni−Fe合金、50Ni−Fe合金、42Ni−6Cr−
Fe合金を使用し、伸び調整用線材２２の素材と
して42Ni−6Cr−Fe合金、SUS430を使用した各
場合における矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極
１８と矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９の
伸びを同一にするための伸び調整用線材２２の矢
印Ｘ方向に対する傾きθを求めた実験結果を第９
図に示す。この様に電極の素材が異つても伸び調
整用線材のＸ方向に対する傾きθを変化させるこ
とにより矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９
の伸びを調整することができるということが判明
した。
もとづいて説明する。第７図は、本発明の一実施
例の製造方法を示すもので、複数の電極を所定の
間隔を保つて焼成固定する際、１８は矢印Ｘ方向
に対して剛性のある電極、１９は矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極で両者の間にスペーサ２０が
挿入されている。２１は電極１８と電極１９及び
スペーサ２０を接合固定するための接合層であ
り、スペーサの表裏に塗布されている。２２は伸
び調整用線材で表面の面粗さはRmax1μm以下に
仕上げられている。前記伸び調整用線材２２は前
記矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９に隣接
し、矢印Ｘ方向に対してθ度傾けて配置されてい
る。接合層２１を溶融・再結晶させて、スペーサ
２０と電極１８，１９を焼成固定するため紙面に
垂直方向に伸び調整用スペーサ２２側から電極１
９側へスタンパー平面で電極１８側から電極１９
側へ焼成治具平面にて加圧し加熱するのである
が、矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極１８はＸ
方向に対してその素材の熱膨張係数である42−６
合金の熱膨張係数αで熱膨する。矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１９は加熱された場合Ｘ方向
に対して自ら膨張することができずこれに隣接し
た伸び調整用線材２２の熱膨張の影響を受け、伸
び調整用線材２２との間に生じた摩擦力によりＸ
方向に膨張する。伸び調整用線材２２は矢印Ｘ方
向に対してθ度傾けて配置されているため電極焼
成固定のため加熱された場合矢印X′方向に伸び
調整用線材２２の素材の熱膨張係数はα′で膨張す
る。このため、伸び調整用線材２２の矢印Ｘ方向
の膨張量Ｌは、矢印X′方向の単位長さをｌとし
加熱温度をＴとした場合 Ｌ＝ｌ・Ｔ・α′・cosθ となる。このことは矢印Ｘ方向に対して熱膨張係
数がα′・cosθの伸び調整用線材を隣接させたこと
と同じになり、伸び調整用線材の熱膨張係数α′と
矢印Ｘ方向に対する傾きθを変化させることによ
り伸び調整用線材のＸ方向の熱膨張量を調整する
ことができる。伸び調整用線材２２の矢印Ｘ方向
に対する傾きθの矢印Ｘ方向に対して剛性のない
電極１９の伸び調整の影響をみるため、矢印Ｘ方
向に対して剛性のある電極１８と矢印Ｘ方向に対
して剛性のない電極１９の素材として42Ni−6Cr
−Fe合金を使用し、伸び調整用線材２２の素材
として42Ni−6Cr−Fe合金を使用し伸び調整用線
材２２の矢印Ｘ方向に対する傾きθを変化させて
電極の焼成固定を行なつた場合の、矢印Ｘ方向に
対して剛性のある電極１８に対する矢印Ｘ方向に
対して剛性のない電極１９の伸び状態を実験によ
り求めた結果を第８図に示す。この結果より伸び
調整用線材２２の矢印Ｘ方向に対する傾きθを変
化させることにより矢印Ｘ方向に対して剛性のな
い電極の伸びを調整できることが判明した。電極
の素材として42Ni−6Cr−Fe合金を使用し、伸び
調整用線材の素材として42Ni−6Cr−Fe合金を使
用した場合には伸び調整用線材の矢印Ｘ方向に対
する傾きθを15度とすることにより矢印Ｘ方向に
対して剛性のある電極１８と矢印Ｘ方向に対して
剛性のない電極１９の伸びを同一にすることがで
きた。また伸び調整用線材２２の面粗さは
Rmax1μm以下であるため、第７図に示す様にこ
れに隣接する矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極
１９の紙面に対して垂直方向の段差である隣接間
段差も5μm以下とすることができた。第７図にお
いて矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極１８と矢
印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９の素材とし
て42Ni−Fe合金、50Ni−Fe合金、42Ni−6Cr−
Fe合金を使用し、伸び調整用線材２２の素材と
して42Ni−6Cr−Fe合金、SUS430を使用した各
場合における矢印Ｘ方向に対して剛性のある電極
１８と矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９の
伸びを同一にするための伸び調整用線材２２の矢
印Ｘ方向に対する傾きθを求めた実験結果を第９
図に示す。この様に電極の素材が異つても伸び調
整用線材のＸ方向に対する傾きθを変化させるこ
とにより矢印Ｘ方向に対して剛性のない電極１９
の伸びを調整することができるということが判明
した。
発明の効果
この様に、本発明の平面型表示装置の電極の製
造方法は加熱すると構造上一定方向に素材自身の
熱膨張係数で膨張する電極と膨張しない電極を焼
成固定する場合において膨張しない電極に面粗さ
Rmax1μm以下で仕上げた伸び調整用線材２を隣
接させなおかつこれを膨張する電極の熱膨張方向
に対して傾きをもつて配置し、この傾き度合によ
つて膨張する電極に対する膨張しない電極の伸び
を調整することができる。このため電極相互の位
置ズレを長さ180mmについて30μm以下とすること
ができた。また前記伸び調整用線材の面粗さを
Rmax1μm以下としているためにこれと隣接する
膨張しない電極の平面度を5μm以下に保つことが
できた。このことにより電子ビームランデイング
精度向上がはかれ平面型表示装置の画質向上に多
大な貢献ができるようになつた。
造方法は加熱すると構造上一定方向に素材自身の
熱膨張係数で膨張する電極と膨張しない電極を焼
成固定する場合において膨張しない電極に面粗さ
Rmax1μm以下で仕上げた伸び調整用線材２を隣
接させなおかつこれを膨張する電極の熱膨張方向
に対して傾きをもつて配置し、この傾き度合によ
つて膨張する電極に対する膨張しない電極の伸び
を調整することができる。このため電極相互の位
置ズレを長さ180mmについて30μm以下とすること
ができた。また前記伸び調整用線材の面粗さを
Rmax1μm以下としているためにこれと隣接する
膨張しない電極の平面度を5μm以下に保つことが
できた。このことにより電子ビームランデイング
精度向上がはかれ平面型表示装置の画質向上に多
大な貢献ができるようになつた。
第１図は平面型表示装置の構成を示す側面図、
第２図、第３図は同装置に用いられる剛性の大き
い電極と小さい電極の平面図、第４図は同装置に
用いられる結合スペーサの平面図、第５図は平面
型表示装置の焼成工程における側面図、第６図は
スペーサの断面図、第７図は本発明の一実施例に
より得た電極及びスペーサの一部を破断した平面
図、第８図は伸び調整用線材の傾きと電極の位置
精度を示す特性図、第９図は電極素材及び伸び調
整用線材の素材と変更した場合の実験結果を示す
特性表である。 １……螢光体、２……カソード、３……結合ス
ペーサ、４……電極、１８……矢印Ｘ方向に対し
て剛性のある電極、１９……矢印Ｘ方向に対して
剛性のない電極、２０……スペーサ、２１……接
合層、２２……伸び調整用線材。
第２図、第３図は同装置に用いられる剛性の大き
い電極と小さい電極の平面図、第４図は同装置に
用いられる結合スペーサの平面図、第５図は平面
型表示装置の焼成工程における側面図、第６図は
スペーサの断面図、第７図は本発明の一実施例に
より得た電極及びスペーサの一部を破断した平面
図、第８図は伸び調整用線材の傾きと電極の位置
精度を示す特性図、第９図は電極素材及び伸び調
整用線材の素材と変更した場合の実験結果を示す
特性表である。 １……螢光体、２……カソード、３……結合ス
ペーサ、４……電極、１８……矢印Ｘ方向に対し
て剛性のある電極、１９……矢印Ｘ方向に対して
剛性のない電極、２０……スペーサ、２１……接
合層、２２……伸び調整用線材。
Claims (1)
- １ カソードと螢光体の間に構造上一定方向に熱
膨張する電極と熱膨張しない電極を結合スペーサ
を介して複数個設け、これらを焼成して固定する
に際し、前記熱膨張しない電極に面粗さ
Rmax1μm以下の線材を一定方向に並列して隣接
させ、かつ前記線材の熱膨張方向と前記熱膨張す
る電極の熱膨張方向とが所定の傾きをもつ様に配
置した平面型表示装置の電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22241183A JPS60115125A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 平面型表示装置の電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22241183A JPS60115125A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 平面型表示装置の電極の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60115125A JPS60115125A (ja) | 1985-06-21 |
| JPH0449736B2 true JPH0449736B2 (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=16781958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22241183A Granted JPS60115125A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 平面型表示装置の電極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60115125A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105439A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-10 | Canon Inc | マルチ電子ビ−ム撮像管 |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP22241183A patent/JPS60115125A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60115125A (ja) | 1985-06-21 |
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