JPH0447540Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0447540Y2 JPH0447540Y2 JP1986170034U JP17003486U JPH0447540Y2 JP H0447540 Y2 JPH0447540 Y2 JP H0447540Y2 JP 1986170034 U JP1986170034 U JP 1986170034U JP 17003486 U JP17003486 U JP 17003486U JP H0447540 Y2 JPH0447540 Y2 JP H0447540Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floor panel
- panel
- floor
- shutter member
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Floor Finish (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、クリーンルーム用床パネルに関す
る。
る。
クリーンルームでは、一例として第4図に示す
ように室内へ強制送風する天井部にごみをこし取
る高性能エアフイルタ1を設け、このフイルタ1
を介して室内へ流れ込む空気を逃がすために床に
は空気が通る床パネル2を用いている。このよう
に室内への空気をどこへ返すかでクリーンルーム
の清浄度が左右されるが、床パネル2に単に透孔
を形成したので床面全体が均一の透過性を発揮
し、上部の送風機の位置と室の大きさの関係でか
えつて偏差を生じ、適正な気流が得られないこと
がある。
ように室内へ強制送風する天井部にごみをこし取
る高性能エアフイルタ1を設け、このフイルタ1
を介して室内へ流れ込む空気を逃がすために床に
は空気が通る床パネル2を用いている。このよう
に室内への空気をどこへ返すかでクリーンルーム
の清浄度が左右されるが、床パネル2に単に透孔
を形成したので床面全体が均一の透過性を発揮
し、上部の送風機の位置と室の大きさの関係でか
えつて偏差を生じ、適正な気流が得られないこと
がある。
そこで、床面に抵抗を付けて気流を制御するこ
とが行われ、その手段として床パネル2の下方に
シヤツター部材が設けられる。
とが行われ、その手段として床パネル2の下方に
シヤツター部材が設けられる。
第5図はその従来例を示すもので、床パネル2
は鋼製又はアルミダイキヤスト製の格子部材であ
り、その端部を平板状のスペーサゴム板3を介し
て根太4に置敷する。
は鋼製又はアルミダイキヤスト製の格子部材であ
り、その端部を平板状のスペーサゴム板3を介し
て根太4に置敷する。
これに対し、図中5は鋼板製のシヤツター部材
で、端部を根太4上又は根太4から突設した支持
金具上に載置したトレー形状の本体5aとその内
側に摺動自在に置かれた内板5bからなり、その
両方に適宜透孔を形成してある。
で、端部を根太4上又は根太4から突設した支持
金具上に載置したトレー形状の本体5aとその内
側に摺動自在に置かれた内板5bからなり、その
両方に適宜透孔を形成してある。
このようにして、必要に応じてシヤツター部材
5の内板5bを適宜移動させ、本体5aとの透孔
同士の合致割合で空気流量を調整する。
5の内板5bを適宜移動させ、本体5aとの透孔
同士の合致割合で空気流量を調整する。
しかし、前記第5図に示したような従来のシヤ
ツター部材5では床パネル2の下面との間に隙間
を存して置かれているものであり、シヤツター部
材相互間や該シヤツター部材端の載置部も含めて
遮閉性能がきわめて悪いものであつた。
ツター部材5では床パネル2の下面との間に隙間
を存して置かれているものであり、シヤツター部
材相互間や該シヤツター部材端の載置部も含めて
遮閉性能がきわめて悪いものであつた。
本考案の目的は前記従来例の不都合を解消し、
シヤツター部材による遮蔽性能を目地を含めて、
簡単な構造で高めることができるクリーンルーム
用床パネルを提供することにある。
シヤツター部材による遮蔽性能を目地を含めて、
簡単な構造で高めることができるクリーンルーム
用床パネルを提供することにある。
本考案は前記目的を達成するため、多数の小孔
を形成した金属製床パネルの裏面に、薄板からな
り前記床パネルと同形の小孔を形成したシヤツタ
ー部材を該床パネルの裏面端付近に取付けた板バ
ネを介して摺動自在に密接して床パネルを構成
し、この床パネルの端部を根太上にゴム板を介し
て載置し、該ゴム板の中央に一体的に突設した突
条を床パネル間の目地内にその外側面が床パネル
の端面に当接するように挿入したことを要旨とす
るものである。
を形成した金属製床パネルの裏面に、薄板からな
り前記床パネルと同形の小孔を形成したシヤツタ
ー部材を該床パネルの裏面端付近に取付けた板バ
ネを介して摺動自在に密接して床パネルを構成
し、この床パネルの端部を根太上にゴム板を介し
て載置し、該ゴム板の中央に一体的に突設した突
条を床パネル間の目地内にその外側面が床パネル
の端面に当接するように挿入したことを要旨とす
るものである。
本考案によれば、シヤツター部材は板バネによ
り床パネル裏面に摺動自在に密着する。そして、
このシヤツター部材を床パネル上から動かすこと
により床パネルの小孔とシヤツター部材の小孔と
の合致程度が変化して床部の空気流通量を制御で
きる。
り床パネル裏面に摺動自在に密着する。そして、
このシヤツター部材を床パネル上から動かすこと
により床パネルの小孔とシヤツター部材の小孔と
の合致程度が変化して床部の空気流通量を制御で
きる。
また、この床パネルはその端部が根太上のゴム
板上に載置される他に、該ゴム板の突条がパネル
の目地間に入り込むのでガタツキが防止され、全
体としての気密性が高められる。
板上に載置される他に、該ゴム板の突条がパネル
の目地間に入り込むのでガタツキが防止され、全
体としての気密性が高められる。
以下、図面について本考案の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第1図は本考案のクリーンルーム用床パネルの
1実施例を示す要部の縦断正面図、第2図は平面
図で、図中6はクリーンルーム床架台、7はその
上に溶接されたL字形の固定金物を示す。
1実施例を示す要部の縦断正面図、第2図は平面
図で、図中6はクリーンルーム床架台、7はその
上に溶接されたL字形の固定金物を示す。
この固定金物7に突片4aをボルト8で止めて
角パイプ状の根太4を並べ、該根太4上にゴム板
9を介して床パネル10の端部を載置する。
角パイプ状の根太4を並べ、該根太4上にゴム板
9を介して床パネル10の端部を載置する。
まず、この床パネル10について述べると、こ
れは鋼製の肉厚板に多数の円形小孔10aを穿設
したものを使用し、適宜個所(本実施例では長手
方向端部近くの中央)に長孔からなるシヤツター
調整穴10bを設けた。
れは鋼製の肉厚板に多数の円形小孔10aを穿設
したものを使用し、適宜個所(本実施例では長手
方向端部近くの中央)に長孔からなるシヤツター
調整穴10bを設けた。
前記床パネル10の裏面端付近に、先端がパネ
ル10側に押圧する彎曲板による板バネ11をビ
ス等で取付け、この板バネ11で端部を挟み込む
ようにして薄板鋼板によるシヤツター部材12を
床パネル10の裏面に摺動自在に密着接合する。
該シヤツター部材12には床パネル10と同形の
円形小孔12aを同一間隔で設けた。
ル10側に押圧する彎曲板による板バネ11をビ
ス等で取付け、この板バネ11で端部を挟み込む
ようにして薄板鋼板によるシヤツター部材12を
床パネル10の裏面に摺動自在に密着接合する。
該シヤツター部材12には床パネル10と同形の
円形小孔12aを同一間隔で設けた。
一方、ゴム板9は第3図に示すようにその中央
に内部を中空にした突条9aを一体的に突設し、
しかも該突条9aの外側面にはリブ9bを複数成
形したもので、この突条9aは床パネル10,1
0間の目地内に入り込み、リブ9bが床パネル1
0の端面に当接してガスケツトの役割をなしてい
る。
に内部を中空にした突条9aを一体的に突設し、
しかも該突条9aの外側面にはリブ9bを複数成
形したもので、この突条9aは床パネル10,1
0間の目地内に入り込み、リブ9bが床パネル1
0の端面に当接してガスケツトの役割をなしてい
る。
次に使用法について説明すると、床パネル10
の上方から棒等の工具をシヤツター調整穴10b
に差込み、その下方からシヤツター部材12を床
パネル10に対してずらせば、床パネル10の円
形小孔10aとこのシヤツター部材12の円形小
孔12aとの合致割合が変化する。これにより床
パネル10の流通率が変わり、例えば小孔10a
と小孔12aとが全くくい違えば床パネル10は
完全に遮蔽され、一方完全に重なり合えば床パネ
ル10を通過する気流は最大となる。
の上方から棒等の工具をシヤツター調整穴10b
に差込み、その下方からシヤツター部材12を床
パネル10に対してずらせば、床パネル10の円
形小孔10aとこのシヤツター部材12の円形小
孔12aとの合致割合が変化する。これにより床
パネル10の流通率が変わり、例えば小孔10a
と小孔12aとが全くくい違えば床パネル10は
完全に遮蔽され、一方完全に重なり合えば床パネ
ル10を通過する気流は最大となる。
このようにして、天井部のフイルターを通過し
て室内へ送り込まれた空気は、床パネル10のう
ちシヤツター部材12で遮蔽された割合の少ない
ものの所へ多く流れるようになる。
て室内へ送り込まれた空気は、床パネル10のう
ちシヤツター部材12で遮蔽された割合の少ない
ものの所へ多く流れるようになる。
また、床パネル10はその端部がゴム板9上に
載置される他に、該ゴム板9の突条9aがパネル
10の目地間に入り込むので気密性が向上するの
みならず、ガタツキが防止され、例えばミクロン
単位の振動を嫌う高精度の機械をクリーンルーム
内で使用する場合などに好適なものとなる。
載置される他に、該ゴム板9の突条9aがパネル
10の目地間に入り込むので気密性が向上するの
みならず、ガタツキが防止され、例えばミクロン
単位の振動を嫌う高精度の機械をクリーンルーム
内で使用する場合などに好適なものとなる。
以上述べたように本考案のクリーンルーム用床
パネルは、シヤツター部材による遮蔽性能が高い
ものであり、しかもシヤツター部材自体の構造も
単純で、さらに床パネルに対する該シヤツター部
材の取付けもバネを介して簡単に出来るので安価
に製作できるものである。
パネルは、シヤツター部材による遮蔽性能が高い
ものであり、しかもシヤツター部材自体の構造も
単純で、さらに床パネルに対する該シヤツター部
材の取付けもバネを介して簡単に出来るので安価
に製作できるものである。
また、床パネルは、目地間の気密性が向上する
のみならず、ガタツキが防止されるので、例えば
ミクロン単位の振動を嫌う高精度の機械をクリー
ンルーム内で使用する場合などに好適なものとな
る。
のみならず、ガタツキが防止されるので、例えば
ミクロン単位の振動を嫌う高精度の機械をクリー
ンルーム内で使用する場合などに好適なものとな
る。
第1図は本考案のクリーンルーム用床パネルの
1実施例を示す要部の縦断正面図、第2図は同上
パネル全体の平面図、第3図はパネル目地部の縦
断正面図、第4図はクリーンルームの一般例を示
す説明図、第5図は従来の床パネルの縦断正面図
である。 1……高性能エアフイルタ、2……床パネル、
3……スペーサゴム板、4……根太、4a……突
片、5……シヤツター部材、5a……本体、5b
……内板、6……クリーンルーム床架台、7……
固定金物、8……ボルト、9……ゴム板、9a…
…突条、9b……リブ、10……床パネル、10
a……円形小孔、10b……シヤツター調整穴、
11……板バネ、12……シヤツター部材、12
a……円形小孔。
1実施例を示す要部の縦断正面図、第2図は同上
パネル全体の平面図、第3図はパネル目地部の縦
断正面図、第4図はクリーンルームの一般例を示
す説明図、第5図は従来の床パネルの縦断正面図
である。 1……高性能エアフイルタ、2……床パネル、
3……スペーサゴム板、4……根太、4a……突
片、5……シヤツター部材、5a……本体、5b
……内板、6……クリーンルーム床架台、7……
固定金物、8……ボルト、9……ゴム板、9a…
…突条、9b……リブ、10……床パネル、10
a……円形小孔、10b……シヤツター調整穴、
11……板バネ、12……シヤツター部材、12
a……円形小孔。
Claims (1)
- 多数の小孔を形成した金属製床パネルの裏面
に、薄板からなり前記床パネルと同形の小孔を形
成したシヤツター部材を該床パネルの裏面端付近
に取付けた板バネを介して摺動自在に密接して床
パネルを構成し、この床パネルの端部を根太上に
ゴム板を介して載置し、該ゴム板の中央に一体的
に突設した突条を床パネル間の目地内にその外側
面が床パネルの端面に当接するように挿入したこ
とを特徴とするクリーンルーム用床パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170034U JPH0447540Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986170034U JPH0447540Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6376145U JPS6376145U (ja) | 1988-05-20 |
JPH0447540Y2 true JPH0447540Y2 (ja) | 1992-11-10 |
Family
ID=31104394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986170034U Expired JPH0447540Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0447540Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2511156Y2 (ja) * | 1989-10-12 | 1996-09-18 | 三機工業株式会社 | フリ―アクセスフロア |
JP4219376B2 (ja) * | 2006-07-05 | 2009-02-04 | シャープ株式会社 | 画像形成装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5850928U (ja) * | 1981-10-02 | 1983-04-06 | 三菱電機株式会社 | ロ−ラ折曲げ装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0212515Y2 (ja) * | 1985-11-02 | 1990-04-09 |
-
1986
- 1986-11-04 JP JP1986170034U patent/JPH0447540Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5850928U (ja) * | 1981-10-02 | 1983-04-06 | 三菱電機株式会社 | ロ−ラ折曲げ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6376145U (ja) | 1988-05-20 |
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