JPH0446893Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本考案はシリコンやゲルマニウム等のインゴツ
トを薄く切断するスライシング機においてインゴ
ツトから切断されたウエハーを吸着する装置に関
するものである。

《従来の技術》 従来、この種のスライシング機では、回転体が
上下に昇降自在として保持され、この回転体には
内周縁部を切刃とした環状のブレードの外周部が
固着されている。そして、この回転体の内周縁部
の切刃と交差する方向にシリコン、ゲルマニウム
等のインゴツトが進退可能に保持され、このイン
ゴツトの切断端面と対向してインゴツトから切断
されたウエハーを吸着パツド等にて吸着保持する
吸着装置が設けられている。

このようなスライシング機では、インゴツトが
ブレードの切刃と交差してその内側に所定量前進
せられた状態において回転体が回転しながら降下
すると、その切刃によつてインゴツトからウエハ
ーが切り取られる。このウエハーがインゴツトか
ら完全に切り取られる前に前記吸着装置によつて
ウエハーは吸着され、ウエハーがインゴツトから
切り取られた後、このウエハーは吸着装置によつ
て所定の位置に運ばれ、そこで吸着が解除される
のである。

《考案が解決しようとする問題点》 しかしながら、このような従来のスライシング
機における吸着装置では吸着パツドは切断された
ウエハーの中心部のみを吸着するように設けられ
ていた。従つて、この吸着パツドはブレードの切
刃がインゴツトの中心部を通過して下方位置に至
りウエハーの中心部がその下方位置を支点として
撓むことが出来る時点において吸着作動せられて
いた。このため、吸着時にウエハーはその下方の
小面積部にてインゴツトと連結されているだけで
あるため、吸着時にウエハーがインゴツトとの連
結部分において折損すると言つた問題が生じてい
た。

本考案は上記のような問題点に鑑みてなされた
もので、その目的はインゴツトから切断されるウ
エハーを切損することなく確実に吸着するスライ
シング機におけるウエハーの吸着装置を提供する
にある。

《問題点を解決するための手段》 上記の目的を達成するため、本考案に係るスラ
イシング機におけるウエハーの吸着装置はワーク
の切断方向に沿つて複数に分割された吸着部材
と、この複数の吸着部材をブレードの切断方向に
おける所定位置通過に応じて順次作動させる制御
手段とを設け、上記複数に分割された吸着部材の
少くとも一つをワークの中心とワークの切断開始
端との中間部に位置させるようにしたのである。

《作用》 ブレードによつてワークからウエハーを切断し
ていく比較的初期の段階において複数に分割され
たうちの少くとも一つの吸着部材がウエハーの中
心と切断開始端との中間部分を吸着し、次いでこ
の吸着部材より切断終了端側に位置する他の吸着
部材がワークの切断の進行に伴つてウエハーを順
次吸着していく。

《実施例》 以下に本考案の好適な実施例について添附図面
を参照にして説明する。

第１図は本考案に係るスライシング機の全体を
示し、図の略中央部において横方向に細長く示さ
れたのはシリコンやゲルマニウム等の半導体のワ
ークインゴツトで、断面円形のものである。この
インゴツト１は、その外端部が架台２に取り付け
られており、この架台２は固定台枠３に摺動可能
に装着されるとともにその架台２の下端部にはネ
ジ杆４が螺挿されている。また、ネジ杆４の端部
は固定台枠３に取付けた第１のサーボモーター５
の出力軸と連結されていて、この第１のサーボモ
ーター５が正逆回転すると架台２が前後に移動
し、これに伴つてインゴツト１が矢印方向に前進
或いは後退する。

このインゴツト１の内端部には、これを取り囲
むように断面縦皿状の回転体６が配設され、この
回転体６は回転ドラム７内に固定的に収容されて
いる。この回転ドラム７の中心軸部は回転変速機
８と連結され、この変速機８には駆動モーター９
が積載され、両者はベルト１０を介して連結され
ている。また、この変速機８は昇降フレーム１１
に懸架され、この昇降フレーム１１には滑車１２
−１２に巻架されたワイヤー１３を介してカウン
ターウエイト１４が取付けられている。また、昇
降フレーム１１にはネジブロツク１５が固着さ
れ、このネジブロツク１５にはネジ杆１６が螺挿
され、このネジ杆１６は第２のサーボモーター１
７によつて正逆回転せられるように連結されてい
る。従つて、この第２のサーボモーター１７を回
転駆動すると、ネジ杆１６が回転し、これに螺挿
されたネジブロツク１５及びネジブロツク１５と
固着された昇降フレーム１１が上昇または下降す
る。また昇降フレーム１１に懸架された変速機８
もこれとともに上昇または下降するため、回転体
６は駆動モーター９及び変速機８によつて所定の
回転速度で回転しながら上昇または下降する。こ
の回転体６には非常に薄い環状のブレード１８の
外周縁部が固着され、このブレード１８の中央部
の円形内側縁部が切刃１９となつている。そし
て、このブレード１８を取り囲むように環状のカ
バープレート２０が回転ドラム７の開口端からブ
レード１８の切刃１９を越えて半径方向に延長し
ている。

また、図示を省略したが、カバープレート２０
とブレード１８の間には切刃を冷却するクーラン
トの吐出パイプが設けられている。

前述したワークインゴツト１は上記カバープレ
ート２０の中央透孔及びブレード１８の切刃１９
をなす内側縁部を貫通して内方に突出し、この状
態にて回転体６が回転しながら降下すると、切刃
１９はインゴツト１の前端部から所定厚さのウエ
ハー２１を切り取るのである。

このインゴツト１の前端面と回転体６の内面と
の間にインゴツト１から切り取られたウエハー２
１を吸着して取り出す装置２２が設けられてい
る。この装置２２は、第２図及び第３図に示すよ
うに、断面Ｌ字形の旋回ヘツド２３と旋回ヘツド
２３の基端部に取付けられた回転アーム２４と回
転アーム２４を上下動させるシリンダー２５とを
備えている。この旋回ヘツド２３のインゴツト１
と対向する面には後述する本考案に係る吸着装置
２６が設けられ、インゴツト１からウエハー２１
が切り取られる時に、ウエハーは吸着装置で吸着
される。そして、ウエハー２１がインゴツト１か
ら完全に切り取られた後、インゴツト１は第１図
において右方へ後退せられ、ブレード１８から充
分に離れる。引き続いてシリンダー２５が作動せ
れて旋回ヘツド２３が下降を開始すると同時に、
回転アーム２４が90度旋回せられ、第２図に示す
ように、ウエハー２１が旋回ヘツドの下方に水平
状態で保持されるようになる。この回転アーム２
４の旋回は例えば回転アーム２４にカム板（図示
せず）を取り付け、この回転アーム２４がシリン
ダー２５によつて下降する時に、このカム板と係
合する突起（図示せず）を機枠に設けておけばよ
い。

シリンダー２５の下方にはウエハー２１の搬送
用受台２７が設けられ、回転アーム２４が第２図
の状態から受台２７の直上まで降下してきた時
に、吸着装置２６に加えていた負圧が解除され、
ウエハー２１は受台２７上に落下して載置され、
次の工程へと搬送される。

その後は、シリンダー２５の作動によつて旋回
ヘツド２３及び回転アーム２４が上昇し、上死点
近傍で回転アーム２４が降下時と逆に90度回転
し、第１図の状態を占めると、第１のサーボモー
ター５が駆動され、ネジ杆４が回転されてインゴ
ツト１はブレード１８内に所定の切断厚さだけ送
り込まれる。次いで、第２のサーボモーター１７
が駆動せられ、ブレード１８が回転しながら降下
して所定の厚さのウエハー２１をインゴツト１か
ら切り取り、以後前記の場合と同様な動作が繰返
されるのである。

尚、第１及び第２のサーボモーター５，１７の
駆動はマシンシーケンサー２８からの信号を取り
込んだNCコントローラー２９からの制御信号に
よつて行われるのである。

本考案は上記のようなスライシング機における
ウエハーの吸着装置２６の改良に係るもので、こ
れを第４図及び第５図に基づいて詳述する。本考
案の吸着装置２６の主要部は旋回ヘツド２３の一
部を構成するもので、インゴツト１の端面と対向
する位置に基体プレート３０が設けられ、このプ
レート３０の下方端部は同じく旋回ヘツド２３の
一部を構成するアーム２３ａに固着されている。
この基体プレート３０の上方部には第１グループ
をなす３つの吸着パツド３１が三角形状に配設さ
れている。これらの吸着パツド３１は基体プレー
ト３０に貫通形成された第１の通路３２と連通さ
れ、この第１の通路３２は基体プレート３０の下
方一側部（第４図左側）において外部に開口し、
この開口部３３は第１のソレノイドバルブ３４を
介してエアー源３５と連通している。また、基体
ブレード３０の略中央部には第２グループをなす
３つの吸着パツド３６が三角形状に配設されてい
る。これらの吸着パツド３６は、第１グループの
場合と同様に、基体プレート３０に貫通形成され
た第２の通路３７と連通され、この第２の通路３
７は基体プレート３０の下方の第１の通路の場合
と反対側の側部において外部に開口し、この開口
部３８は第２のソレノイドバルブ３９を介してエ
アー源３５と連通している。

第１及び第２のソレノイドバルブ３４，３９は
第１図に示すように、マシンシーケンサー２８を
介して制御され、ブレード１８のインゴツト半径
方向（上下方向）に対する切込み量に応じて、第
１のソレノイドバルブ３４そして第２のソレノイ
ドバルブ３９が順次作動せられるようになつてい
る。即ち、第４図及び第５図に示した実施例の場
合には、ブレード１８がインゴツト１の略中央に
至つた時に第１のソレノイドバルブ３４が移動し
てエアー源３５と連通せられ、第１グループをな
す上方の３つの吸着パツド３１が作動してインゴ
ツト１から約上半分切断されたウエハー２１の上
方部を吸着する。次いで、ブレード１８による切
断が進行し、ブレードがインゴツト１の下端に近
づいた時に第２のソレノイドバルブ３９が移動し
てエアー源３５と連通せられ、第２グループをな
す略中央の３つの吸着パツド３６が作動してイン
ゴツト１から下端近くまで切断されたウエハー２
１の中央部を吸着する。そして、切断が完了する
とインゴツト１から切り離されたウエハー２１は
第１及び第２グループのすべての吸着パツド３１
によつて保持され、次いで前述のように旋回ヘツ
ド２３、回転アーム２４が回転して所定位置まで
下降した時に、両グループの吸着パツド３１，３
６の第１及び第２のソレノイドバルブ３４，３９
は切換えられて大気と連通され、その結果吸着は
解除され、ウエハー２１は所定の位置に落下して
搬送用受台２７に収容され、その後は前述したよ
うに次工程に送られる。

尚、本考案の上記実施例では、２つのグループ
からなる吸着パツド３１，３６を設けたが、この
グループの数は３つ以上とすることができ、この
場合にも少くとも一つのグループの吸着パツドは
インゴツトの中心とインゴツトの切断開始端との
中間部に設けることである。

《効果》 以上のように本考案に係るスライシング機にお
けるウエハーの吸着装置では、ワークからウエハ
ーをその中央部付近まで切断した時に吸着部材の
一部によつてウエハーを吸着するため、吸着時に
おけるウエハーとワークとの接続面積が大きく、
この吸着によつてウエハーが折損されることはな
い。そして、更に切断がワークの中央部から切断
終了端に向けて進行する間に他の吸着部材によつ
てウエハーが吸着されるため、ワークからウエハ
ーが徐々に撓みながら切り取られることになり、
ウエハーが切断の完了迄の間にも折損される虞れ
は全くない。

また、ウエハーが切断の比較的早い時期に吸着
部材の一部によつて吸着されてワークから離れる
ため、その後のブレードによるウエハーの切断を
スムーズに行うことができる。

更に、複数の吸着部材を設けているため、吸着
が確実かつ安定的となり、例え吸着部材の一系統
が何かの理由で故障したとしても他の系統が作動
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の吸着装置を有するスライシン
グ機の部分断面側面図、第２図は第１図における
吸着取出し装置の作動を示す説明図、第３図は第
１図の状態における吸着取出し装置を示す説明
図、第４図は本考案に係る吸着装置を示す正面
図、第５図は第４図の側面図である。 １……ワークインゴツト、６……回転体、１８
……ブレード、１９……切刃、２１……ウエハ
ー、２３……旋回ヘツド、２６……吸着装置、３
０……基体プレート、３１，３６……吸着パツ
ド、３２，３７……通路、３４，３９……ソレノ
イドバルブ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回動可能に保持された回転体と、該回転体に外
   周縁が固定される一方、内周縁に切刃を有する環
   状のブレードと、該ブレードの該切刃と交差する
   方向にシリコンやゲルマニウム等のインゴツトか
   らなるワークを進退可能に保持してなるワーク移
   動手段と、該ワーク移動手段に対向して配置さ
   れ、該ブレードによつて該ワークから切断された
   ウエハーを吸着保持する吸着装置とを備えたスラ
   イシング機において、該吸着装置が該ワークの切
   断方向に沿つて複数に分割された吸着部材と、該
   複数の吸着部材を該ブレードの切断方向における
   所定位置通過に応じて順次作動させる制御手段と
   を有し、複数に分割された該吸着部材の少くとも
   一つが該ワークの中心と該ワークの切断開始端と
   の中間部に設けられてなることを特徴とするスラ
   イシング機におけるウエハーの吸着装置。