JP2524597B2 - スライシング機における切刃の不良検出方法 - Google Patents
スライシング機における切刃の不良検出方法Info
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- JP2524597B2 JP2524597B2 JP18674087A JP18674087A JP2524597B2 JP 2524597 B2 JP2524597 B2 JP 2524597B2 JP 18674087 A JP18674087 A JP 18674087A JP 18674087 A JP18674087 A JP 18674087A JP 2524597 B2 JP2524597 B2 JP 2524597B2
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- cutting
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は切刃の不良検出方法に関するもので、より具
体的には内周縁に切刃を有する環状のブレードの外周縁
を回転体の内周面に取付け、この回転体の回転によりワ
ークからウエハーを切断するようにしてなるスライシン
グ機における切刃の不良を検出する方法に関するもので
ある。
体的には内周縁に切刃を有する環状のブレードの外周縁
を回転体の内周面に取付け、この回転体の回転によりワ
ークからウエハーを切断するようにしてなるスライシン
グ機における切刃の不良を検出する方法に関するもので
ある。
《従来の技術》 上記のスライシング機における切刃は細かいダイヤモ
ンドの粒子をステンレス基材にニッケルボンド等にて電
着して形成しているため、シリコンやゲルマニウム等の
ワークインゴットを繰返し切断している間に、このイン
ゴットの切屑等がダイヤモンド粒子間に入って徐々に目
詰りしてくる。そして、この目詰りが進行してくると切
断抵抗が増し、この切刃を内周縁に有するブレードが切
断中に反って均一な肉厚のウエハーを得ることができな
くなると言った問題が生じる。
ンドの粒子をステンレス基材にニッケルボンド等にて電
着して形成しているため、シリコンやゲルマニウム等の
ワークインゴットを繰返し切断している間に、このイン
ゴットの切屑等がダイヤモンド粒子間に入って徐々に目
詰りしてくる。そして、この目詰りが進行してくると切
断抵抗が増し、この切刃を内周縁に有するブレードが切
断中に反って均一な肉厚のウエハーを得ることができな
くなると言った問題が生じる。
このため、従来は実開昭61−159159公報に示されてい
るように、ブレードの撓み変位量検出器をブレードに近
接して配設し、ブレードが所定値以上に撓んだ時に不良
信号を発生するようにした切刃の不良検出地方法が公知
となっている。
るように、ブレードの撓み変位量検出器をブレードに近
接して配設し、ブレードが所定値以上に撓んだ時に不良
信号を発生するようにした切刃の不良検出地方法が公知
となっている。
《発明が解決しようとする問題点》 しかしながら、上記公知の検出方法では、撓み変位量
検出器をブレードが下降してワークインゴットを切断す
る作業の防げとならないようにブレードの外周に近い個
所に設置しなければならなかった。一方、ブレードの外
周縁は回転体の内周面に緊張状態で取付けられていて撓
みにくい状態となっているため、上記の検出器の設置位
置はブレードの撓み量を検出するのに最適な位置とは言
えず、ブレードの撓み量による切刃の目詰り状態の検出
は必ずしも正確なものとは言えなかった。
検出器をブレードが下降してワークインゴットを切断す
る作業の防げとならないようにブレードの外周に近い個
所に設置しなければならなかった。一方、ブレードの外
周縁は回転体の内周面に緊張状態で取付けられていて撓
みにくい状態となっているため、上記の検出器の設置位
置はブレードの撓み量を検出するのに最適な位置とは言
えず、ブレードの撓み量による切刃の目詰り状態の検出
は必ずしも正確なものとは言えなかった。
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的はスライシング機における切刃の不良な目
詰り状態を正確に検出することのできる方法を提供する
にある。
で、その目的はスライシング機における切刃の不良な目
詰り状態を正確に検出することのできる方法を提供する
にある。
《問題点を解決するための手段》 上記の目的を達成するため、本発明では内周縁に切刃
を有するブレードの外周縁を回転体の内周面に取付け、
該回転体の回転により該切刃にてワークからウエハーを
切断し、この切断の際に吸着手段によって該ウエハーを
吸着し、吸着した該ウエハーを所定の位置に移動するよ
うにしてなるワークのスライシング機において、該吸着
手段に温度センサーを設けるとともに、該吸着手段によ
って吸着された該ウエハーの温度を測定し、この測定し
た温度を設定値と比較し、該測定温度が該設定値を越え
た場合に不良信号を発信するのである。
を有するブレードの外周縁を回転体の内周面に取付け、
該回転体の回転により該切刃にてワークからウエハーを
切断し、この切断の際に吸着手段によって該ウエハーを
吸着し、吸着した該ウエハーを所定の位置に移動するよ
うにしてなるワークのスライシング機において、該吸着
手段に温度センサーを設けるとともに、該吸着手段によ
って吸着された該ウエハーの温度を測定し、この測定し
た温度を設定値と比較し、該測定温度が該設定値を越え
た場合に不良信号を発信するのである。
《作用》 ブレードの切刃によりワークからウエハーを切断する
と、この切口の切断抵抗により、熱が発生し、この熱は
ブレードだけでなくワーク及びウエハーにも伝導され
る。しかしながら、このワークの切断部には常時クーラ
ントが供給されているため、切刃が鋭利な状態では切断
抵抗は小さくその熱はクーラントで冷されほとんど蓄積
されない。しかしながら、切刃に目詰りが生じて切断抵
抗が大きくなると、発熱量が大きくなりクーラントでは
充分に冷却できなくなり、この熱は徐々に蓄積されてい
き、ウエハーに伝導される熱も同様に高くなっていく。
このウエハーが吸着手段によって吸着されると吸着手段
に設けられた温度センサーがウエハーの温度を測定し、
この測定された温度は設定値と比較され、この測定温度
が設定値を越えた場合に切刃が過度に目詰りをしている
ことを知らせる不良信号を発信するのである。
と、この切口の切断抵抗により、熱が発生し、この熱は
ブレードだけでなくワーク及びウエハーにも伝導され
る。しかしながら、このワークの切断部には常時クーラ
ントが供給されているため、切刃が鋭利な状態では切断
抵抗は小さくその熱はクーラントで冷されほとんど蓄積
されない。しかしながら、切刃に目詰りが生じて切断抵
抗が大きくなると、発熱量が大きくなりクーラントでは
充分に冷却できなくなり、この熱は徐々に蓄積されてい
き、ウエハーに伝導される熱も同様に高くなっていく。
このウエハーが吸着手段によって吸着されると吸着手段
に設けられた温度センサーがウエハーの温度を測定し、
この測定された温度は設定値と比較され、この測定温度
が設定値を越えた場合に切刃が過度に目詰りをしている
ことを知らせる不良信号を発信するのである。
《実施例》 以下に本発明の好適な実施例について添附図面を参照
にして説明する。
にして説明する。
第1図は本発明を適用するスライシング機の全体を示
し、図の略中央部において横方向に細長く示されたのは
シリコンやゲルマニウム等の半導体のワークインゴット
で、断面円形のものである。このインゴット1は、その
外端部が架台2に取り付けられており、この架台2は固
定台枠3に摺動可能に装着されるとともにその架台2の
下端部にはネジ杆4が螺挿されている。また、ネジ杆4
の端部は固定台枠3に取付けた第1のサーボモーター5
の出力軸と連結されていて、この第1のサーボモーター
5が正逆回転すると架台2が前後に移動し、これに伴っ
てインゴット1が矢印方向に前進或いは後退する。
し、図の略中央部において横方向に細長く示されたのは
シリコンやゲルマニウム等の半導体のワークインゴット
で、断面円形のものである。このインゴット1は、その
外端部が架台2に取り付けられており、この架台2は固
定台枠3に摺動可能に装着されるとともにその架台2の
下端部にはネジ杆4が螺挿されている。また、ネジ杆4
の端部は固定台枠3に取付けた第1のサーボモーター5
の出力軸と連結されていて、この第1のサーボモーター
5が正逆回転すると架台2が前後に移動し、これに伴っ
てインゴット1が矢印方向に前進或いは後退する。
このインゴット1の内端部には、これを取り囲むよう
に断面縦皿状の回転体6が配設され、この回転体6は回
転ドラム7内に固定的に収容されている。この回転ドラ
ム7の中心軸部は回転変速機8と連結され、この変速機
8には駆動モーター9が積載され、両者はベルト10を介
して連結されている。また、この変速機8は昇降フレー
ム11に懸架され、この昇降フレーム11には滑車12−12に
巻架されたワイヤー13を介してカウンターウエイト14が
取付けられている。また、昇降フレーム11にはネジブロ
ック15が固着され、このネジブロック15にはネジ杆16が
螺挿され、このネジ杆16は第2のサーボモーター17によ
って正逆回転せられるように連結されている。従って、
この第2のサーボモーター17を回転駆動すると、ネジ杆
16が回転し、これに螺挿されたネジブロック15及びネジ
ブロック15と固着された昇降フレーム11が上昇または下
降する。また昇降フレーム11に懸架された変速機8もこ
れとともに上昇または下降するため、回転体6は駆動モ
ーター9及び変速機8によって所定の回転速度で回転し
ながら上昇または下降する。この回転体6には非常に薄
い環状のブレード18の外周縁部が固着され、このブレー
ド18の中央部の円形内側縁部が切刃19となっている。こ
の切刃19は微細なダイヤモンド粒子をステンレス製ブレ
ードにニッケルボンドで電着して形成したものである。
そして、このブレード18を取り囲むように環状のカバー
プレート20が回転ドラム7の開口端からブレード18の切
刃19を越えて半径方向に延長している。
に断面縦皿状の回転体6が配設され、この回転体6は回
転ドラム7内に固定的に収容されている。この回転ドラ
ム7の中心軸部は回転変速機8と連結され、この変速機
8には駆動モーター9が積載され、両者はベルト10を介
して連結されている。また、この変速機8は昇降フレー
ム11に懸架され、この昇降フレーム11には滑車12−12に
巻架されたワイヤー13を介してカウンターウエイト14が
取付けられている。また、昇降フレーム11にはネジブロ
ック15が固着され、このネジブロック15にはネジ杆16が
螺挿され、このネジ杆16は第2のサーボモーター17によ
って正逆回転せられるように連結されている。従って、
この第2のサーボモーター17を回転駆動すると、ネジ杆
16が回転し、これに螺挿されたネジブロック15及びネジ
ブロック15と固着された昇降フレーム11が上昇または下
降する。また昇降フレーム11に懸架された変速機8もこ
れとともに上昇または下降するため、回転体6は駆動モ
ーター9及び変速機8によって所定の回転速度で回転し
ながら上昇または下降する。この回転体6には非常に薄
い環状のブレード18の外周縁部が固着され、このブレー
ド18の中央部の円形内側縁部が切刃19となっている。こ
の切刃19は微細なダイヤモンド粒子をステンレス製ブレ
ードにニッケルボンドで電着して形成したものである。
そして、このブレード18を取り囲むように環状のカバー
プレート20が回転ドラム7の開口端からブレード18の切
刃19を越えて半径方向に延長している。
また、図示を省略したが、カバープレート20とブレー
ド18の間には切刃を冷却するクーラントの吐出パイプが
設けられている。
ド18の間には切刃を冷却するクーラントの吐出パイプが
設けられている。
前述したワークインゴット1は上記カバープレート20
の中央透孔及びブレード18の切刃19をなす内側縁部を貫
通して内方に突出し、この状態にて回転体6が回転しな
がら降下すると、切刃19はインゴット1の前端部から所
定厚さのウエハー21を切り取るのである。
の中央透孔及びブレード18の切刃19をなす内側縁部を貫
通して内方に突出し、この状態にて回転体6が回転しな
がら降下すると、切刃19はインゴット1の前端部から所
定厚さのウエハー21を切り取るのである。
このインゴット1の前端面と回転体6の内面との間に
インゴット1から切り取られたウエハー21を吸着して取
り出す装置22が設けられている。この装置22は、第2図
及び第3図に示すように、断面L字形の旋回ヘッド23と
旋回ヘッド23の基端部に取付けられた回転アーム24と回
転アーム24を上下動させるシリンダー25とを備えてい
る。この旋回ヘッド23のインゴット1と対向する面には
後述する吸着手段26が設けられ、インゴット1からウエ
ハー21が切り取られる時に、ウエハーは吸着手段で吸着
される。そして、ウエハー21がインゴット1から完全に
切り取られた後、インゴット1は第1図において右方へ
後退せられ、ブレード18から充分に離れる。引き続いて
シリンダー25が作動せれて旋回ヘッド23が下降を開始す
ると同時に、回転アーム24が90度旋回せられ、第2図に
示すように、ウエハー21が旋回ヘッドの下方に水平状態
で保持されるようになる。この回転アーム24の旋回は例
えば回転アーム24にカム板(図示せず)を取り付け、こ
の回転アーム24がシリンダー25によって下降する時に、
このカム板と係合する突起(図示せず)を機枠に設けて
おけばよい。
インゴット1から切り取られたウエハー21を吸着して取
り出す装置22が設けられている。この装置22は、第2図
及び第3図に示すように、断面L字形の旋回ヘッド23と
旋回ヘッド23の基端部に取付けられた回転アーム24と回
転アーム24を上下動させるシリンダー25とを備えてい
る。この旋回ヘッド23のインゴット1と対向する面には
後述する吸着手段26が設けられ、インゴット1からウエ
ハー21が切り取られる時に、ウエハーは吸着手段で吸着
される。そして、ウエハー21がインゴット1から完全に
切り取られた後、インゴット1は第1図において右方へ
後退せられ、ブレード18から充分に離れる。引き続いて
シリンダー25が作動せれて旋回ヘッド23が下降を開始す
ると同時に、回転アーム24が90度旋回せられ、第2図に
示すように、ウエハー21が旋回ヘッドの下方に水平状態
で保持されるようになる。この回転アーム24の旋回は例
えば回転アーム24にカム板(図示せず)を取り付け、こ
の回転アーム24がシリンダー25によって下降する時に、
このカム板と係合する突起(図示せず)を機枠に設けて
おけばよい。
シリンダー25の下方にはウエハー21の搬送用受台27が
設けられ、回転アーム24が第2図の状態から受台27の直
上まで降下してきた時に、吸着手段26に加えていた負圧
が解除され、ウエハー21は受台27上に落下して載置さ
れ、次の工程へと搬送される。
設けられ、回転アーム24が第2図の状態から受台27の直
上まで降下してきた時に、吸着手段26に加えていた負圧
が解除され、ウエハー21は受台27上に落下して載置さ
れ、次の工程へと搬送される。
その後は、シリンダー25の作動によって旋回ヘッド23
及び回転アーム24が上昇し、上死点近傍で回転アーム24
が降下時と逆に90度回転し、第1図の状態を占めると、
第1のサーボモーター5が駆動され、ネジ杆4が回転さ
れてインゴット1はブレード18内に所定の切断厚さだけ
送り込まれる。次いで、第2のサーボモーター17が駆動
せられ、ブレード18が回転しながら降下して所定の厚さ
のウエハー21をインゴット1から切り取り、以後前記の
場合と同様な動作が繰返されるのである。
及び回転アーム24が上昇し、上死点近傍で回転アーム24
が降下時と逆に90度回転し、第1図の状態を占めると、
第1のサーボモーター5が駆動され、ネジ杆4が回転さ
れてインゴット1はブレード18内に所定の切断厚さだけ
送り込まれる。次いで、第2のサーボモーター17が駆動
せられ、ブレード18が回転しながら降下して所定の厚さ
のウエハー21をインゴット1から切り取り、以後前記の
場合と同様な動作が繰返されるのである。
尚、第1及び第2のサーボモーター5,17の駆動はマシ
ンシーケンサー28からの信号を取り込んだNCコントロー
ラー29からの制御信号によって行われるのである。
ンシーケンサー28からの信号を取り込んだNCコントロー
ラー29からの制御信号によって行われるのである。
本発明は上記のようなスライシング機において、イン
ゴットの切断が繰返し行われて切刃19に目詰りが生じた
場合これを検出するための方法であって、この切刃に目
詰りが生ずるとウエハーの切断抵抗が大きくなって発熱
量が多くなりこの熱がウエハーにも伝熱されることに着
目し、温度センサーをウエハーの吸着手段26に取付ける
ことによってこの方法を実現したのである。これを第4
図〜第6図を参照にして説明する。
ゴットの切断が繰返し行われて切刃19に目詰りが生じた
場合これを検出するための方法であって、この切刃に目
詰りが生ずるとウエハーの切断抵抗が大きくなって発熱
量が多くなりこの熱がウエハーにも伝熱されることに着
目し、温度センサーをウエハーの吸着手段26に取付ける
ことによってこの方法を実現したのである。これを第4
図〜第6図を参照にして説明する。
この吸着手段26の主要部は旋回ヘッド23の一部を構成
するもので、インゴット1の端面と対向する位置に基体
プレート30が設けられ、このプレート30の下方端部は同
じく旋回ヘッド23の一部を構成するアーム23aに固着さ
れている。この基体プレート30の上方部には第1グルー
プをなす3つの吸着パッド31が三角形状に配設されてい
る。これらの吸着パッド31は基体プレート30に貫通形成
された第1の通路32と連通され、この第1の通路32は基
体プレート30の下方一側部(第4図左側)において外部
に開口し、この開口部33は第1のソレノイドバルブ34を
介してエアー源35と連通している。また、基体ブレード
30の略中央部には第2グループをなす3つの吸着パッド
36が三角形状に配設されている。これらの吸着パッド36
は、第1グループの場合と同様に、基体プレート30に貫
通形成された第2の通路37と連通され、この第2の通路
37は基体プレート30の下方の第1の通路の場合と反対側
の側部において外部に開口し、この開口部38は第2のソ
レノイドバルブ39を介してエアー源35と連通している。
するもので、インゴット1の端面と対向する位置に基体
プレート30が設けられ、このプレート30の下方端部は同
じく旋回ヘッド23の一部を構成するアーム23aに固着さ
れている。この基体プレート30の上方部には第1グルー
プをなす3つの吸着パッド31が三角形状に配設されてい
る。これらの吸着パッド31は基体プレート30に貫通形成
された第1の通路32と連通され、この第1の通路32は基
体プレート30の下方一側部(第4図左側)において外部
に開口し、この開口部33は第1のソレノイドバルブ34を
介してエアー源35と連通している。また、基体ブレード
30の略中央部には第2グループをなす3つの吸着パッド
36が三角形状に配設されている。これらの吸着パッド36
は、第1グループの場合と同様に、基体プレート30に貫
通形成された第2の通路37と連通され、この第2の通路
37は基体プレート30の下方の第1の通路の場合と反対側
の側部において外部に開口し、この開口部38は第2のソ
レノイドバルブ39を介してエアー源35と連通している。
第1及び第2のソレノイドバルブ34,39は第1図に示
すように、マシンシーケンサー28を介して制御され、ブ
レード18のインゴット半径方向(上下方向)に対する切
込み量に応じて、第1のソレノイドバルブ34そして第2
のソレノイドバルブ39が順次作動せられるようになって
いる。
すように、マシンシーケンサー28を介して制御され、ブ
レード18のインゴット半径方向(上下方向)に対する切
込み量に応じて、第1のソレノイドバルブ34そして第2
のソレノイドバルブ39が順次作動せられるようになって
いる。
本発明では基体プレート30の略中央部、即ち切断され
たウエハー21の中央部と対向する位置に接触式の温度セ
ンサー40、例えばサーミスタ等が突設され、この突出量
はウエハー21が吸着パッド31,36によって吸着された時
に温度センサー40の感温部がウエハーに接触する程度と
することである。
たウエハー21の中央部と対向する位置に接触式の温度セ
ンサー40、例えばサーミスタ等が突設され、この突出量
はウエハー21が吸着パッド31,36によって吸着された時
に温度センサー40の感温部がウエハーに接触する程度と
することである。
この温度センサー40は第6図に示すように第1の比較
器41及び第2の比較器42と電気的に接続され、これらの
第1,第2の比較器41,42はそれぞれ第1及び第1の設定
器43,44によって動作レベルが設定されている。また第
1の設定器43の設定値は第2の設定器44のそれよりも高
く決められていて、温度センサー40からの電気信号が第
2の比較器42の設定値を越えると、第2の比較器からド
レス信号がマシンシーケンサー28に発信され、切刃のド
レス作業が自動的に開始する。一方、切刃19の目詰りが
著しく温度センサー40が異常な温度上昇を検知するとこ
れによって第1の比較器41が動作し、第1の比較器から
マシン停止信号がマシンシーケンサー28に発信され、ス
ライシング機が点検のため停止されるのである。
器41及び第2の比較器42と電気的に接続され、これらの
第1,第2の比較器41,42はそれぞれ第1及び第1の設定
器43,44によって動作レベルが設定されている。また第
1の設定器43の設定値は第2の設定器44のそれよりも高
く決められていて、温度センサー40からの電気信号が第
2の比較器42の設定値を越えると、第2の比較器からド
レス信号がマシンシーケンサー28に発信され、切刃のド
レス作業が自動的に開始する。一方、切刃19の目詰りが
著しく温度センサー40が異常な温度上昇を検知するとこ
れによって第1の比較器41が動作し、第1の比較器から
マシン停止信号がマシンシーケンサー28に発信され、ス
ライシング機が点検のため停止されるのである。
《効果》 以上のように本発明に係るスライシング機における切
刃の不良検出方法では、ワークから切断されたウエハー
を吸着する吸着手段に温度センサーを設け、切断された
ウエハーの温度を測定することによって切刃の切断抵
抗、即ち切刃の目詰り不良を検出するようにしたため、
極めて正確に切刃の目詰りによる不良状態を検出するこ
とが可能となったのである。
刃の不良検出方法では、ワークから切断されたウエハー
を吸着する吸着手段に温度センサーを設け、切断された
ウエハーの温度を測定することによって切刃の切断抵
抗、即ち切刃の目詰り不良を検出するようにしたため、
極めて正確に切刃の目詰りによる不良状態を検出するこ
とが可能となったのである。
第1図は本発明に係る切刃の不良検出方法を適用したス
ライシング機を示す部分断面側面図,第2図は第1図に
おけるウエハーの吸着取出し装置の作動を示す説明図,
第3図は第1図の状態における吸着取出し装置を示す説
明図,第4図は吸着手段の要部を示す正面図,第5図は
第4図の側面図、第6図は本発明における切刃の不良検
出方法を示す説明図である。 1……ワークインゴット、6……回転体 18……ブレード、19……切刃 21……ウエハー、22……吸着取出し装置 23……旋回ヘッド、26……吸着手段 30……基体プレート 31,36……吸着パッド、40……温度センサー 41,42……比較器、43,44……設定器
ライシング機を示す部分断面側面図,第2図は第1図に
おけるウエハーの吸着取出し装置の作動を示す説明図,
第3図は第1図の状態における吸着取出し装置を示す説
明図,第4図は吸着手段の要部を示す正面図,第5図は
第4図の側面図、第6図は本発明における切刃の不良検
出方法を示す説明図である。 1……ワークインゴット、6……回転体 18……ブレード、19……切刃 21……ウエハー、22……吸着取出し装置 23……旋回ヘッド、26……吸着手段 30……基体プレート 31,36……吸着パッド、40……温度センサー 41,42……比較器、43,44……設定器
Claims (1)
- 【請求項1】内周縁に切刃を有するブレードの外周縁を
回転体の内周面に取付け、該回転体の回転により該切刃
にてワークからウエハーを切断し、この切断の際に吸着
手段によって該ウエハーを吸着し、吸着した該ウエハー
を所定の位置に移動するようにしてなるワークのスライ
シング機において、該吸着手段に温度センサーを設ける
とともに、該吸着手段によって吸着された該ウエハーの
温度を測定し、この測定した温度を設定値と比較し、該
測定温度が該設定値を越えた場合に不良信号を発信する
ようにしてなることを特徴とするスライシング機におけ
る切刃の不良検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18674087A JP2524597B2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | スライシング機における切刃の不良検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18674087A JP2524597B2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | スライシング機における切刃の不良検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6430714A JPS6430714A (en) | 1989-02-01 |
JP2524597B2 true JP2524597B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16193823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18674087A Expired - Lifetime JP2524597B2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | スライシング機における切刃の不良検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2524597B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114905337B (zh) * | 2022-04-29 | 2023-08-22 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 极片裁切控制方法、装置、控制器以及存储介质 |
-
1987
- 1987-07-28 JP JP18674087A patent/JP2524597B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6430714A (en) | 1989-02-01 |
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