JPH0442549A - ボンダ用クランパ装置 - Google Patents

ボンダ用クランパ装置

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JPH0442549A
JPH0442549A JP2150697A JP15069790A JPH0442549A JP H0442549 A JPH0442549 A JP H0442549A JP 2150697 A JP2150697 A JP 2150697A JP 15069790 A JP15069790 A JP 15069790A JP H0442549 A JPH0442549 A JP H0442549A
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clamper
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air cylinder
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JP2150697A
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Takashi Takeuchi
竹内　隆志
Tsuyoshi Nakagawa
中川　毅之
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体製造装置、例えばワイヤボンダ又はダイ
ボンダ等に用いるクランパ装置に関する。
［従来の技術］ ボンディングは、リードフレームをヒータブロックにク
ランパで押付けて行われる。従って。
クランパにはボンディングを行うツールが挿入できる大
きさのボンディング用窓が設けられている。そこで、リ
ードフレームの品種が変った場合には、その品種に適合
した大きさのボンディング用窓を有するクランパに交換
する必要がある。
従来、クランパの固定は、クランパを上下動する部材に
ねじで固定している。なお、この種の構造を有するもの
として、例えば実公昭５７−５４２７８号公報に示すも
のが知られている。
［発明が解決しようとする課Ｂ］ 上記従来技術は、ねじによる固定構造であるので、クラ
ンパの交換作業に時間がかかるという問題点があった。
本発明の目的は、クランパの交換を極めて容易に行うこ
とができるボンダ用クランパ装置を提供することにある
。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、リードフレームをヒータブロックに押付け
るボンダ用クランパ装置において、上下駆動されるクラ
ンパ受と、このクランパ受に上下動及び回動可能に設け
られた固定ロックキーと、この固定ロックキーを下方に
付勢するロックキー付勢手段と、ボンディング用窓及び
前記固定ロックキーが挿通される長大が形成され、前記
クランパに位置決め載置されるクランパとを備えた構成
により達成される。
［作用］ ロックキー付勢手段を解除すると、ロックキー付勢手段
は上昇する。これにより、クランパとクランパ受とのロ
ー２りは解除される。そこで、固定ロー、クキ−を回し
て該固定ロックキーをクランパの長大に合せると、クラ
ンパをクランパ受より容易に取外せる０次に別のクラン
パの長穴を固定ロックキーに挿入してクランパをクラン
パ受に載置する０次に固定ロックキーを回して該固定ロ
ックキーをクランパの長大より外れた位置に位置させる
。そして、固定ロックキーを下方に移動させてロックキ
ー付勢手段で付勢させると、クランパはクランパ受にロ
ックされる。
このように、固定ロックキーの上下動作及び固定ロック
キーのわずかな回し動作のみで交換が行えるので、交換
作業を極めて短時間に、しかも容易に行うことができる
。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。
リードフレーム１はガイドレール２に案内され、図示し
ない送り手段で間欠的に移送される。ボンディング部に
はリードフレームｌを加熱するヒートブロック３が配設
されており、このヒートブロー７り３にはヒータ４が埋
設されている。ヒートブロック３はヒートブロック支持
台５に固定され、このヒートブロック支持台５は図示し
ない駆動手段で上下駆動されるヒートブロック上下動部
材６に固定され、更にヒートブロック上下動部材６は固
定台７にベアリング８を介して上下動可能に設けられて
いる。
リードフレーム１をヒートブロック３に押付けるクラン
パ１０は、一端側にボンディング用窓１０ａを有し、他
端側かクランパ受１１に位置決め載置される。即ち、ク
ランパ受１１は、両側面が上方に突出したＸ方向ガイ１
部１１ａを有し、クランパ１０をクランパ受ｌｌ上に載
置することによりＸ方向ガイ１部１１ａによってクラン
パ１０のＸ方向が位置決めされる。またクランパ受１１
には偏心軸１２が回動可能に設けられており、クランパ
１０に設けられた切欠き部１０ｂの側面を偏心軸１２に
当てることによりクランパ１０のＹ方向が位置決めされ
る。
前記クランパ受１１の下面にはクランパロック用のエア
シリンダ１３が固定されており、このエアシリンダ１３
の作動ロッド先端にはロックキー１４が固定されている
。前記クランパｌＯには、前記ロックキー１４が挿通さ
れる長穴１０ｃが形成され、この長穴１０ｃとほぼ直角
方向にロックキー１４の動きを規制する長溝１０ｄが形
成されている。また前記エアシリンダ１３は図示しない
上下駆動機構で上下させられるクランパ上下動部材１５
に固定されており、クランパ上下動部材１５はベアリン
グ１６を介して前記固定台７に上下動可能に設けられて
いる。
次に作用について説明する。今、図示の状態より別のク
ランパ１０に交換する場合について説明する。まず、エ
アシリンダ１３をオフにすると、エアシリンダ１３の作
動ロッドに固定されたｒ　＋７クキー１４が上昇し、ク
ランパ１０のロックを解除する０次にロックキー１４を
回してクランパｌＯの長穴１０ｃの上方に位置させる。
そこで、クランパｌＯを上方に持ち上げればクランパ受
１．１より取外せる０次に別のクランパｌＯの長穴ｌＯ
Ｃをロックキー１４に挿入してクランパｌＯをクランパ
受１１に載置する。そして、クランパｌＯの切欠き部１
０ｂの側面を偏心軸１２に当てることによりクランパ１
０はｘＹ力方向位置決めされる０次にロックキー１４を
回して長溝１０ｄの上方に位置させる。そして、エアシ
リンダ１３を作動させると、ロックキー１４は下降して
クランパ１０の長溝１０ｄをクランパ受１１に押付ける
。
これにより、クランパ１０はエアシリンダ１３の吸引圧
力によりクランパ受１１にロックされる。
このように、ロックキー１４をわずかに回す作業とエア
シリンダ１３のオン、オフ動作によってクランパｌＯの
交換ができるので、その作業は極めて容易に、かつ迅速
に行える。
なお、上記各実施例においては、ロックキー１４の上下
動をエアシリンダ１３によって行ったが、ソレノイドに
よって行ってもよい、またロックキー１４をクランパ受
１１に上下動及び回動自在に設け、スプリングで下方に
付勢させたレバーをロックキー１４に係止させた機構で
もよい、また上記実施例においては、クランパ受１１の
位置決めをＸ方向７４１部１１ａと偏心軸１２によって
行ったが、クランパ受１１に２本のピンを植設し、クラ
ンパｌＯに前記ビンに嵌合する穴を設けてもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、固定
ロックキーの上下動作及び固定ロックキーのわずかな回
し動作のみで交換が行えるので、クランパ又はヒータプ
レートの交換作業を極めて短時間に、しかも容易に行う
ことができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明のクランパ装置の一実施例を示し、第１図は
要部斜視図、第２図は平面図、第３図は断面図である。 １：リードフレーム、　　ｌＯ：クランパ、１０Ｃ：長
穴、　　　　　ｌｌ：クランパ受。 １３：エアシリンダ、　　１４：固定ロックキー１５：
クランパ上下動部材。 第２Ｂｍ 第１Ｆｊ！Ｊ 第３図 Ｉ：リードフレーム １０ニアフンｔｉ １０ｃ：長へ １１：クランノｆｌＩ？ Ｉ３：１アシリンｙ“ ４：［！ｌ定口・ン７１−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）リードフレームをヒータブロックに押付けるボン
    ダ用クランパ装置において、上下駆動されるクランパ受
    と、このクランパ受に上下動及び回動可能に設けられた
    固定ロックキーと、この固定ロックキーを下方に付勢す
    るロックキー付勢手段と、ボンディング用窓及び前記固
    定ロックキーが挿通される長穴が形成され、前記クラン
    パに位置決め載置されるクランパとを備えたボンダ用ク
    ランパ装置。
JP2150697A 1990-06-08 1990-06-08 ボンダ用クランパ装置 Expired - Lifetime JP2929029B2 (ja)

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JP2150697A JP2929029B2 (ja) 1990-06-08 1990-06-08 ボンダ用クランパ装置
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US07/711,924 US5116031A (en) 1990-06-08 1991-06-07 Clamping device for bonding machines

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Also Published As

Publication number Publication date
KR920001688A (ko) 1992-01-30
JP2929029B2 (ja) 1999-08-03
US5116031A (en) 1992-05-26
KR940008556B1 (ko) 1994-09-24

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