JPH043840A - 可搬形エアシャワ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 クリーンルームや防塵室等の出入口に設置されるエアシ
ャワ装置に関し、 解体１組立が容易な可搬形化することで生産性の向上を
図ることを目的とし、 片面に浄化されたエアを噴出するエア噴出孔と該エア噴
出孔から噴出したエアを吸入するエア吸入孔とが装着さ
れている可搬形のエアシャワ本体と、該エアシャワ本体
の上記装着面から筐体枠を介して咳芸着面と対面して平
行ムこ配置した側壁と、該エアシャワ本体の上記装着面
から上記側壁までを少なくともカバーする大きさで開閉
自在にエアシャワ本体に装着された天井壁と、該エアシ
ャワ本体の上記装着面と上記側壁および上記天井壁で囲
まれた領域の両開口部で開閉自在にエアシャワ本体に装
着された２個の扉とで構成されるエアシャワ装置であっ
て、上記筐体枠および上記天井壁が、それぞれ独立した
折り畳み手段を具えて構成する。

また、片面に浄化されたエアを噴出するエア噴出孔と該
エア噴出孔から噴出したエアを吸入するエア吸入孔とが
装着されている可搬形のエアシャワ本体と、該エアシャ
ワ本体の上記装着面Ｚこ嵌合する大きさの開口部を片側
側面とする箱形て該装着面と平行する方向に位置する二
つの壁面のそれぞれに開閉自在な扉が装着されている筐
体とで構成されるエアシャワ装置であって、上記エアシ
ャワ本体の装着面と上記筐体の開口部とが着脱自在なる
ように構成する。

［産業上の利用分野り 本発明は半導体ウェーハ等の製造プロセスに必要なりリ
ーンルームや防塵室等の出入口に設置されるエアシャワ
装置の構成に係り、特にエフジャワ装置を解体９組立が
容易な可搬形化することで生産性の向上を図ったエアシ
ャワ装置に関する。

近年の半導体ウェーハ等の製造プロセスは、該ウェーハ
等への塵埃の付着を避けるためにクリーンルームや防塵
室内で作業することが多い。

二の場合、少なくとも該クリーンルームや防塵室に出入
りする作業者から発生する塵埃は除去しなければならな
いためクリーンルームや防塵室の各出入口にエアシャワ
装置を設置しているが、作業工程の変動や諸設備の点検
修理等に基づく工程内発塵地区の変更等によってエアシ
ャワ装置の設置場所を変更したり新たに設置しなければ
ならない場合が多い。

しかし従来のエアシャワ装置は定置形または固定形であ
るため移設が困難であったり、設置時に専門作業者を必
要とする等の欠点があることからその解決が望まれてい
る。

（従来の技術〕 第３図は従来のエアシャワ装置を示す概念図であり、（
１）は全体図、（２）は装置内部を矢印ａ−ａ゛方向か
ら見た側断面図である。

第３図（１）、（２）でニアジャワ装置１は、片側の面
に複数のエア噴出孔２ａを具えたエアシャワ本体２と、
該エアシャワ本体２のエア噴出孔２ａが設けられている
面が内側となるように該エアシャワ本体２に取り付けら
れている天井壁３と床４および該天井壁３と床４を保持
固定して正面視口°゛の字形の筐体枠を構成する側壁５
、および該筐体枠の正面視前後面にそれぞれ装着された
扉６ａ　、　６ｂとで構成されている。

この内エアシャワ本体２には、上記各エア噴出孔２ａと
上述した天井壁３に設けたエア噴出孔３ａとから矢印す
のように浄化されたエアを噴出すると共に該噴出された
エアを上述した床４に設けである吸入孔４ａからフィル
タを通して吸入する図示されないポンプと該ポンプの動
作制御部とが内蔵されている。

かかる構成になるエアシャワ装置１は、通常はクリーン
ルームや防塵室の出入口相当部の隔壁等に固定されで設
置されている。

そこで例えばクリーンルームや防塵室に入る作業者は、
外気側に位置する片側の扉例えば６ａから矢印Ｃのよう
に該エアシャワ装置１内に入り、上記各エア噴出孔３ａ
、４ａから噴出するエアで衣服等に付着している塵埃を
除去させた後他側の扉例えば６ｂからクリーンルームや
防塵室に入るようになっている。

一方、クリーンルームや防塵室内の種々の作業工程で例
えば工程変更があると一部の製造設備や機器等を配置換
えする必要があるが該配置換え作業によって塵埃が発生
する。

また、一部の製造設備や機器等を修理点検するような場
合にも塵埃が発生する。

特にこのような場合には発生する塵埃の拡散を極力抑制
しなければならない。

そこでかかる場合には、例えば対象となる製造設備や機
器の位置する領域のみを簡易的に間仕切りすると共に該
間仕切り領域の出入口に上述したエアシャワ装置１を移
設したりまたは新設することで塵埃の周囲への拡散を防
止するようにしているが、エアシャワ装置１を移設した
り新設するにはクリーンルームや防塵室内の狭い通路を
移送する必要があるため例えば専門の作業者に該エアシ
ャワ装置１をエアシャワ本体２と天井壁３．床４゜側壁
５および扉６ａ、６ｂの個々に分解させ移送した後に組
み立てて貰うことで対応している。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の構成になるエアシャワ装置では、移設したり新設
する場合に専門作業者による作業に頼らざるを得ないた
め、緊ゑな工程変更や設備・機器の修理点検等に即応す
ることかできないと３−・う問題があった。

〔課題を解決するための手段： 上記問題点は、片面に浄化されたエアを噴出するエア噴
出孔と該エア噴出孔から噴出したエアを吸入するエア吸
入孔とが装着されている可礒形のエアシャワ本体と、該
エアシャワ本体の上記装着面から筐体枠を介して該装着
面と対面して平行に配置した側壁と、該エアシャワ本体
の上記装着面から上記側壁までを少なくともカバーする
大きさで開閉自在にエアシャワ本体に装着された天井壁
と、該エアシャワ本体の上記装着面と上記側壁および上
記天井壁で囲まれた領域の両開口部で開閉自在にエアシ
ャワ本体に装着された２個の扉とで構成されるエアシャ
ワ装置であって、上記筐体枠および上記天井壁が、それ
ぞれ独立した折り畳み手段を具えている可搬形エアシャ
ワ装置によって解決される。

また、片面に浄化されたエアを噴出するエア噴出孔と該
エア噴出孔から噴出したエアを吸入するエア吸入孔とが
装着されている可搬形のエアシャワ本体と、該エアシャ
ワ本体の上記装着面に嵌合する大きさの開口部を片側側
面とする箱形で該装着面と平行する方向に位置する二つ
の壁面のそれぞれに開閉自在な扉が装着されている筐体
とで構成されるエアシャワ装置であって、上記エアシャ
ワ本体の装着面と上記筐体の開口部とが着脱自在に構成
されている可搬形エアシャワ装置によって解決される。

〔作　用〕

エアシャワ装置を一般作業員でも容易に解体・再組立が
できるように構成すれば、緊ゑ、な工程変更や設備・機
器の修理点検等に即応させることができる。

本発明では、エアシャワ装置を折り畳み式に構成するこ
とで該装置の移設作業の容易化と移送時の小型化を図っ
ている。

従って、専門作業者に頬ることな（解体５組立が容易な
可窩形エアシャワ装置を得ることができて生産性を向上
させることができる。

［実施例］ 第１図は本発明になる可搬形エアシャワ装置の構成例を
示す図であり、第２図は他の構成例を示すばである。

第１図は、■が完成状態にあるエアシャワ装置を示し、
以下順次解体した状態を■、■で示し、■が移送時の状
態を表わしたものである。

第１図■、■で、第３図で説明したエアシャワ本体２と
同様の構成になるエアシャワ本体１１のエア噴出孔とエ
ア吸入孔とが形成されている面（以下装着面とする）１
１ａの上辺にはヒンジ１２ａで長手方向に沿って二つ折
り可能な天井壁１２がヒンジ１１ｂを介して装着されて
おり、また該装着面１１ａの縦方向の両方の辺にはヒン
ジ１１ｃによって外側に開閉自在な扉１３ａ、１３ｂ　
（１３ｂは裏面側に位置するため図示されない）が取付
けられている。

また該装着面１１ａの上記各扉１３ａ、　１３ｂと対応
する三箇所の所定位置には、幅方向の長さが上記天井壁
１２の幅に対応する正面視″ロバ形で上辺が図示されな
いヒンジでそれぞれ内側に二つ折り可能な筐体枠１４が
片側の縦辺外側の辺に取付けられた図示されないヒンジ
で装着されており、更に該筐体枠１４の他方の縦辺の外
側の辺に取付けられた図示されないヒンジには第３図で
説明した側壁５と同様の側壁１５が装着されている。

従って、側壁１５は２個の該筐体枠１４によってエアシ
ャワ本体１１と平行に一体化されているが、この場合の
エアシャワ本体１１と側壁１５との間の間隔は、上記筐
体枠１４が折り畳まれていない時点では天井壁１２の幅
と等しく、該筐体枠１４をその上辺で一つ折りした時に
はその間隔をほぼ１／２に狭くすることができる。

なお図の１６は、上記筐体枠１４の上辺による二つ折り
を可能としまたは該二つ折りを抑制するために該筐体枠
１４の上辺と縦辺下部に螺子１７によって着脱できる同
定枠を表わし、蛭子】８は上記天井壁１２と側壁１５を
固定するためのものである。

また１９は該エアシャワ本体１１の下面に装着されてい
る複数のキャスクを示し、　２０は該エアシャワ本体１
１の下面四隅に例えばスクリュウ機構等で上下動可能に
取り付けられているアジャスタを表わしている。そして
該エアシャワ本体１１は該アジャスタ２０を引っ込めた
ときには上記キャスタ１９て移動できるが、該アジャス
タ２ｏを上記キャスタ１９の高さよりも伸ばしたときに
はその位置でセントできるような構成になっている。

そこで、上述した固定枠１６を螺子１７で筐体枠１４の
上辺および縦辺下部に螺止固定すると共に天井壁１２を
螺子】８で側壁１５の上辺に固定し更に２個の扉１３ａ
、　１３ｂを閉じると、■で示すようにエアシャワ本体
１１と側壁１５、天井壁１２、および２個の扉１３ａ、
１３ｂて囲まれた領域を周囲から独立して仕切られた空
間領域とすることができることがら、第３図のエアシャ
ワ装置１と一様の機能を持つ可搬形エアシャワ装置１０
を構成することができる。

該エアシャワ装置１０を移設する場合には、上記■で示
すように扉１３ａ、１３ｂを矢印ｄのように問いた状態
で天井壁１２を矢Ｅｏｅ、ｅ’のように折り畳むとと共
Ｑコ上下２個ずつ４個の固定枠１６を取１）外して２使
の各筐体睦１４をそ力、ぞれ内側１に折り畳んて該エア
シふワ装置】０の幅方向の厚さを薄くした後、■て示す
ように固定枠２１でエアシャワ本体】１と側壁１５を螺
子止め等の手段で固定し更に二つ折りされた一ヒ記天井
壁１２をそのままの状態で矢ＥＤ　ｆのように戻すと■
で示す如くコンパクト化されたエアシャワ装置１０“を
得ることができる。

そこでアジセスタ２０を引っ込めると該コンパクト化さ
れたエアシャワ装置１ｏ“は上述したキャスタ１９によ
って狭い通路でも移送できることになるため所要の可搬
形エアシャワ装置１ｏを得ることができる。

特に、この場合の上述したコンパクト化作業と組立作業
は螺子の着脱のみで実施することができるため一般作業
者でも容易に行うことができると共に、各主要構成部分
すなわちエアシャワ本体１１と側壁１５、天井壁１２、
および２個の扉１３ａ、１３ｂが常に一体化されている
ため移送が容易である。

なお本図では天井壁１２および巨体枠１４を二つ折りし
た場合で説明しているが、折り数を増やすことで更にコ
ンパクト化することができるメリットがある。

他の構成例を示す第２図で、２２は第１図で説明したエ
アシャワ本体１１と同様のエアシャワ本体を示したもの
で、図示されない装着面２２ａに複数のエア噴出孔とエ
ア吸入孔とが装着されている。

また筐体２３は、例えば断面がＬ形の通常のアングルを
使用して少なくとも側面の開口面積が上記エアシャワ本
体２２の装着面２２ａと嵌合する大きさを有するように
ボックス状に組み合わせて箱枠２４を構成し、該箱枠２
４の上面ムこは天井板２５を、また片側の側面には側板
２６を取り付けると共に、上記エアシャワ本体２２の装
着面２２ａ　と平行する方向に位置する壁面の例えば図
面手前側には第１図で説明した扉１３ａを、また図面向
こう側の壁面には扉１３ｂをそれぞれヒンジ２４ａによ
って開閉自在に取り付けたものである。

そこで該筐体２３を図示矢印りのように移動させて上記
エアシャワ本体２２の装着面２２ａに螺子止め等の手段
で固定することで第１図で説明したエアシャワ装置１０
と同様の所要の可搬形エアシャワ装置２７を得ることが
できる。

また該エアシャワ装置２７を移設する場合には、図示の
ように該エアシャワ装置２７をエアシャワ本体２２と筺
体２３とに分割し第１図の場合と同様のアジャスタ２０
を引っ込めることでキャスタ１９で狭い通路でも容易に
移送できると共に、単に螺子止め等の手段でエアシャワ
本体２２と筐体２３とを着脱することができるので一般
作業者でも移設作業を行うことができて生産性を上げる
ことができる。

更にこの場合には、筐体２３自体を通常の螺子着脱によ
って天井板２５．側板２６．扉１３ａ、１３ｂ　；Ｆ：
；よコ）・箱枠２４（または個々のアングル）等に簡単
に分解できるため特に狭い通路でも容易に移送できるメ
リ　ン　トがある。

〔発明の効果］ 上述の如く本発明により、エアシャワ装置を解体１組立
が容易な可搬形化することで生産性Ｃ・向上を図った可
搬形エアシャワ装置を提供することができる。

なお、本図で説明じたエアシャワ本体６二例えば市販さ
れているパーティクルカウンタ表示７パζネルを装着す
ればエアシャワによる清浄用が表示されるため、エアシ
ャワの持続時間を調整することで更に生産性のよい可搬
形エアシャワ装置を得ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる可搬形エアシャワ装置の構成例を
示す図、 第２図は他の構成例を示す図、 第３図は従来のエアシャワ装置を示す概念図、である。 図において、 １０．１０　　’、２７は可搬形エアシャワ装置、１１
　、２２はエアシャワ本体、 １１ａ　、２２ａは装着面、 １１ｂ、１１ｃ、１２ａ、２４ａはヒンジ、１２は天井
壁、　　　１３ａ、１３ｂは扉、１４は筐体枠、　　　
１５は側壁、 １６．２１は固定枠、　１７．１８は螺子、１９はキャ
スタ、　　２ｏはアジャスタ、２３は筐体、　　　　２
４は箱枠、 ２５は天井板、　　　２６は側板、 をそれぞれ表わす。 可搬形 エア５Ｙワポ罫ｒ２’１ ｆ！Ｉ）！Ｘ１′ｊｉＺ；ｒ　４４≧］第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）片面に浄化されたエアを噴出するエア噴出孔と該
   エア噴出孔から噴出したエアを吸入するエア吸入孔とが
   装着されている可搬形のエアシャワ本体（１１）と、該
   エアシャワ本体（１１）の上記装着面（１１ａ）から筐
   体枠（１４）を介して該装着面（１１ａ）と対面して平
   行に配置した側壁（１５）と、該エアシャワ本体（１１
   ）の上記装着面（１１ａ）から上記側壁（１５）までを
   少なくともカバーする大きさで開閉自在にエアシャワ本
   体に装着された天井壁（１２）と、該エアシャワ本体（
   １１）の上記装着面（１１ａ）と上記側壁（１５）およ
   び上記天井壁（１２）で囲まれた領域の両開口部で開閉
   自在にエアシャワ本体（１１）に装着された２個の扉（
   １３ａ、１３ｂ）とで構成されるエアシャワ装置であっ
   て、 上記筐体枠（１４）および上記天井壁（１２）が、それ
   ぞれ独立した折り畳み手段を具えていることを特徴とし
   た可搬形エアシャワ装置。
2. （２）片面に浄化されたエアを噴出するエア噴出孔と該
   エア噴出孔から噴出したエアを吸入するエア吸入孔とが
   装着されている可搬形のエアシャワ本体（２２）と、該
   エアシャワ本体（２２）の上記装着面（２２ａ）に嵌合
   する大きさの開口部を片側面とする箱形で該装着面と平
   行する方向に位置する二つの壁面のそれぞれに開閉自在
   な扉（１３ａ、１３ｂ）が装着されている筐体（２３）
   とで構成されるエアシャワ装置であって、 上記エアシャワ本体（２２）の装着面（２２ａ）と上記
   筐体（２３）の開口部とが着脱自在に構成されているこ
   とを特徴とした可搬形エアシャワ装置。
3. （３）前記の可搬形のエアシャワ本体（２２）と筐体（
   ２３）とで構成されるエアシャワ装置であって、前記筐
   体（２３）が、個々に分割できるように構成されている
   ことを特徴とした請求項２記載の可搬形エアシャワ装置
   。