JPH04355759A - 表面保護フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は製版等において粘着性を
有するフォトレジストを露光する際に用いる原稿の表面
保護フィルムに関する。 【０００２】 【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
りプリント配線基板や樹脂凸版を作製する際に、液状フ
ォトレジスト等の粘着性のあるフォトレジストが使用さ
れる。このような粘着性のあるフォトレジストに密着し
て使用される露光用原稿の表面を、フォトレジストによ
る汚れや基板端部のバリ等による損傷などから保護する
目的で光透過性のポリエチレンテレフタレート等から成
る表面保護フィルムが設けられている。しかし表面保護
フィルム表面にフォトレジストが付着した場合、表面保
護フィルムのクリーニングや張替えを行なわなければな
らない等の問題があり、フォトレジストが付着しないよ
うに保護フィルムに離型層を設けたものが本発明者によ
り提案されている（実願平２−２３０２４号）。さらに
この保護フィルムの離型層に界面活性剤、導電性樹脂又
は金属微粉末を添加し帯電防止を図ることが示されてい
る。 【０００３】このような保護フィルムは一般的な使用方
法では、充分な帯電防止効果を有するが、特に長期にわ
たって使用するもの、又は高透明度を必要とするものに
ついては以下に述べるような難点がある。即ち、界面活
性剤又は導電性樹脂を添加して帯電防止効果を与えた保
護フィルムは、離型層の強度が低下する傾向にあり、長
期使用による露光用紫外線の影響で黄変し、光線透過率
が低下する。又、金属微粉末を添加して帯電防止効果を
与えた保護フィルムは、製造直後より少なからず光線透
過率の低下が認められる。 【０００４】本発明は上記の欠点を解消するためになさ
れたものであって、長期にわたって使用しても高透明度
が維持され、帯電防止効果を持った、又粘着性のあるフ
ォトレジストが付着しない保護フィルムを提供すること
を目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の表面保護フィルムは、透明支持体の片面に
粘着層を設け、その粘着層の反対面に離型層を積層して
なる表面保護フィルムにおいて、支持体と離型層との間
に透明導電性薄膜を設けたものである。図１に表面保護
フィルム１０の構造を示す。ここで透明支持体１として
は、フォトレジストを露光する際に使用される紫外線の
透過率の高いものが好ましく、例えばポリエチレンテレ
フタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化
ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、トリアセテ
ート、ポリイミド等の透明なプラスチックフィルムが挙
げられる。このような透明支持体１は、粘着層２や透明
導電性金属を含む薄膜４との接着性を向上させるために
表面処理してあってもよい。透明支持体１の厚さはフォ
トレジストの解像度に影響するため薄いほうがよく、３
〜２５μｍ、好ましくは６〜１２μｍとする。 【０００６】透明支持体１の片面に設けられる粘着層２
は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤
等が使用される。透明支持体１の他方の面に設けられる
離型層３は、樹脂中および離型性付与剤の混合物からな
り、樹脂としては、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、
塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、塩化ポリオ
レフィン、アルキッド樹脂、ポリエステル樹脂、アミノ
系樹脂、メラミン系樹脂等が挙げられ、これらは単独あ
るいは混合して用いられる。離型性付与剤としては、シ
リコン系添加剤が用いられる。樹脂と離型性付与剤の混
合比は樹脂に対する離型性付与剤の割合が２〜１５重量
％が好ましい。このような範囲にすることにより、フィ
ルムの透明性を維持してしかも高い離型効果を得ること
ができる。 【０００７】次に透明支持体１と離型層３との間に設け
られる透明導電性薄膜４は、保護フィルムの帯電を防止
するもので、透明プラスチックフィルムに形成させた時
、光線透過率が７５％以上（３５０ｎｍ）で表面電気抵
抗値１０７Ω以下であればよく、種々の金属、例えばＩ
ｎ、Ｇａ、Ｔｌ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの１
種以上の金属の酸化物の薄膜を用いることができる。 特に、光線透過率、表面電気特性及びその経時変化の少
ないものとして、ＩＴＯ（インジウム、すずの酸化物）
が優れている。この透明導電性金属酸化物薄膜４は、透
明支持体１上に蒸着法、スパッタリング法又はイオンプ
レーティング法によって形成することができる。表面電
気抵抗値を１０７Ω以下とするのは、１０７Ω以上であ
ると離型層３を積層した時、表面電気抵抗値が１０１１
Ω以上となり低湿度時の帯電防止能が不足するからであ
る。 【０００８】本発明の表面保護フィルムは、未使用の状
態では粘着層２面に離型性のあるフィルム、プラスチッ
ク板などの離型材５を貼合しておき、図２に示すように
原稿６に貼り合わせるときは、この離型材５から剥がし
、粘着層２面を原稿６に貼り合わせその表面を保護する
。この際、透明導電性金属薄膜４の帯電防止効果により
、帯電によるゴミが付着することがない。このように表
面保護フィルム貼り合わせたを原稿６を用いて、その離
型層３側をフォトレジスト層７１に密着させて銅貼積層
板７等を露光する。露光後、表面保護フィルムは離型層
３によってフォトレジストの付着もなくフォトレジスト
層７１からきれいに剥離することができる。 【０００９】 【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。厚さ６μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー：
東レ（株）社製）の片面が表面電気抵抗１０６Ωとなる
ようイオンプレーティング法にてＩＴＯ薄膜を形成した
。その薄膜上に下記組成の離型層形成液をマイヤーバー
にて塗布し、１００℃で１分間乾燥して１μｍの塗膜を
得た。また他方の面には下記組成の粘着層塗工液を同様
の方法で塗布乾燥し、２μｍの粘着層を得た。粘着層面
に厚さ２５μｍポリエチレンテレフタレート離型フィル
ム（セラピール：東洋メタライジング（株）製）を貼合
して保護フィルムを作製した。 離型層形成液 　　アクリルポリオール（固形分濃度５０％）　　（ア
クリディックＡ−８０１：大日本インキ化学工業（株）
社製）　　　　１６部　　イソシアネートプレポリマー
（固形分濃度７５％）　　（バーノックＤ−７５０：大
日本インキ化学工業（株）社製）　　　　　　　１．５
部　　シリコン添加剤（固形分濃度１０％）　　（ペイ
ンタッド５３：ダウコーニング（株）社製）　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　３部　　トルエン　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　１５部　　メチルエチルケトン　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　６部粘着層形成液 　　アクリル系粘着剤（固形分濃度４０％）　　（アロ
ンタックＳＣＬ−２００：東亜合成化学（株）社製）　
　　　　　　　　　１０部　　トルエン　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１
０部　　酸酸エチル　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　１０部【００１０】 【比較例１】厚さ６μポリエチレンテレフタレートフィ
ルムの片面に以下の組成の離型層形成液を、他方の面に
実施例の粘着層形成液を順次、マイヤーバーにて塗布１
００℃１分間乾燥をして離型層１μ、粘着層２μの塗膜
を形成し、粘着層側に厚さ２５μｍポリエチレンテレフ
タレート離型フィルムを貼合した。 離型層形成液 　　飽和ポリエステル樹脂（バイロン　　００：東洋紡
（株）社製）　　　　　　１２部　　シリコン添加剤（
ペインタッド５３：ダウコーニング（株）社製）　　　
　　　５部　　導電性樹脂（エレコンドＰＱ５０Ｂ：綜
研化学（株）社製）　　　　　　　　　　　　２部　　
トルエン　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　７５部　　メチルエチルケトン　
　　　　　　　　　　　　　　　【００１１】７５部 【比較例２】離型層形成液を下記の組成とした以外は比
較例１に同じ処方および方法で表面保護フィルム試料を
作製した。 離型層形成液 　　アクリル樹脂 　　（アクリディックＡ−１９０：大日本インキ化学工
業（株）社製）　　　　１０部　　シリコン添加剤（ペ
インタッド５３：ダウコーニング（株）社製）　　　２
．５部　　酸化スズ微粉末分散液 　　（シントロンＣ−４４２１：神東塗料（株）社製）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　８部　　ト
ルエン　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　３２部　　メチルエチルケトン　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３２部得られ
た実施例、比較例１、２の３種のフィルムについて、離
型層強度、光線透過率および表面電気抵抗を測定した。 なお、離型層強度はＪＩＳＫ−５４００に従って離型層
鉛筆硬度を測定した。また光線透過率は３５０ｎｍにお
ける値を分光光度計（ＵＶ−１４０（株）島津製作所製
）を使用して測定した。表面電気抵抗は温度２０℃、湿
度６０％ＲＨにおける値を高抵抗測定機（４３２９Ａ横
河ヒューレットパッカード（株）社製）で測定した。ま
たフェードメータ　　ＦＡＬ−３型（スガ試験機（株）
社製）を使用し、２００時間紫外線照射を行なった後、
光線透過率を測定した。これらの結果を表１に示す。 【００１２】 【表１】 【００１３】表１に示したように、実施例の表面保護フ
ィルムは比較例１、２と比べると離型層強度、光線透過
率、あるいは紫外線照射後の光線透過率に優れているこ
とが認められる。 【００１４】 【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の表面保護フィルムを使用した露光用原稿はその帯電
防止効果により貼合の際、離型フィルム剥離時の帯電が
なく、ゴミ等を吸いよせることなく貼合することができ
る。また、その際の作業者への不快な放電ショック等も
なくスムーズに貼合作業が可能である。また、本発明の
表面保護フィルムは、離型層に帯電防止剤を添加するの
ではなく、離型層とは別に帯電防止のための透明導電性
薄膜を設けたので、離型層の強度低下、また長期使用に
よる黄変あるいは光線透過率の低下がなく、効率よく長
期間にわたって露光、複製を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表面保護フィルムの断面図

【図２】本
発明の表面保護フィルムの使用状態を示す図

【符号の説
明】 １・・・・・・透明支持体 ２・・・・・・粘着層 ３・・・・・・離型層 ４・・・・・・透明導電性薄膜 ６・・・・・・原稿

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明支持体の片面に粘着層を設け、その粘
   着層の反対面に離型層を積層してなる表面保護フィルム
   において、前記支持体と前記離型層との間に透明導電性
   薄膜を設けたことを特徴とするフォトレジスト露光用原
   稿の表面保護フィルム。