JP3083588B2 - 表面保護フィルム - Google Patents
表面保護フィルムInfo
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- JP3083588B2 JP3083588B2 JP13249891A JP13249891A JP3083588B2 JP 3083588 B2 JP3083588 B2 JP 3083588B2 JP 13249891 A JP13249891 A JP 13249891A JP 13249891 A JP13249891 A JP 13249891A JP 3083588 B2 JP3083588 B2 JP 3083588B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は製版等において粘着性を
有するフォトレジストを露光する際に用いる原稿の表面
保護フィルムに関する。
有するフォトレジストを露光する際に用いる原稿の表面
保護フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
りプリント配線基板や樹脂凸版を作製する際に、液状フ
ォトレジスト等の粘着性のあるフォトレジストが使用さ
れる。このような粘着性のあるフォトレジストに密着し
て使用される露光用原稿の表面を、フォトレジストによ
る汚れや基板端部のバリ等による損傷などから保護する
目的で光透過性のポリエチレンテレフタレート等から成
る表面保護フィルムが設けられている。しかし表面保護
フィルム表面にフォトレジストが付着した場合、表面保
護フィルムのクリーニングや張替えを行なわなければな
らない等の問題があり、フォトレジストが付着しないよ
うに保護フィルムに離型層を設けたものが本発明者によ
り提案されている（実願平２−２３０２４号）。さらに
この保護フィルムの離型層に界面活性剤、導電性樹脂又
は金属微粉末を添加し帯電防止を図ることが示されてい
る。
りプリント配線基板や樹脂凸版を作製する際に、液状フ
ォトレジスト等の粘着性のあるフォトレジストが使用さ
れる。このような粘着性のあるフォトレジストに密着し
て使用される露光用原稿の表面を、フォトレジストによ
る汚れや基板端部のバリ等による損傷などから保護する
目的で光透過性のポリエチレンテレフタレート等から成
る表面保護フィルムが設けられている。しかし表面保護
フィルム表面にフォトレジストが付着した場合、表面保
護フィルムのクリーニングや張替えを行なわなければな
らない等の問題があり、フォトレジストが付着しないよ
うに保護フィルムに離型層を設けたものが本発明者によ
り提案されている（実願平２−２３０２４号）。さらに
この保護フィルムの離型層に界面活性剤、導電性樹脂又
は金属微粉末を添加し帯電防止を図ることが示されてい
る。
【０００３】このような保護フィルムは一般的な使用方
法では、充分な帯電防止効果を有するが、特に長期にわ
たって使用するもの、又は高透明度を必要とするものに
ついては以下に述べるような難点がある。即ち、界面活
性剤又は導電性樹脂を添加して帯電防止効果を与えた保
護フィルムは、離型層の強度が低下する傾向にあり、長
期使用による露光用紫外線の影響で黄変し、光線透過率
が低下する。又、金属微粉末を添加して帯電防止効果を
与えた保護フィルムは、製造直後より少なからず光線透
過率の低下が認められる。
法では、充分な帯電防止効果を有するが、特に長期にわ
たって使用するもの、又は高透明度を必要とするものに
ついては以下に述べるような難点がある。即ち、界面活
性剤又は導電性樹脂を添加して帯電防止効果を与えた保
護フィルムは、離型層の強度が低下する傾向にあり、長
期使用による露光用紫外線の影響で黄変し、光線透過率
が低下する。又、金属微粉末を添加して帯電防止効果を
与えた保護フィルムは、製造直後より少なからず光線透
過率の低下が認められる。
【０００４】本発明は上記の欠点を解消するためになさ
れたものであって、長期にわたって使用しても高透明度
が維持され、帯電防止効果を持った、又粘着性のあるフ
ォトレジストが付着しない保護フィルムを提供すること
を目的とする。
れたものであって、長期にわたって使用しても高透明度
が維持され、帯電防止効果を持った、又粘着性のあるフ
ォトレジストが付着しない保護フィルムを提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の表面保護フィルムは、透明支持体の片面に
粘着層を設け、その粘着層の反対面に離型層を積層して
なる表面保護フィルムにおいて、支持体と離型層との間
に透明導電性金属酸化物薄膜を設けたものである。図１
に表面保護フィルム１０の構造を示す。ここで透明支持
体１としては、フォトレジストを露光する際に使用され
る紫外線の透過率の高いものが好ましく、例えばポリエ
チレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポチスチレン、ポリカーボネー
ト、トリアセテート、ポリイミド等の透明なプラスチッ
クフィルムが挙げられる。このような透明支持体１は、
粘着層２や透明導電性金属酸化物の薄膜４との接着性を
向上させるために表面処理してあってもよい。透明支持
体１の厚さはフォトレジストの解像度に影響するため薄
いほうがよく、３〜２５μｍ、好ましくは６〜１２μｍ
とする。
め、本発明の表面保護フィルムは、透明支持体の片面に
粘着層を設け、その粘着層の反対面に離型層を積層して
なる表面保護フィルムにおいて、支持体と離型層との間
に透明導電性金属酸化物薄膜を設けたものである。図１
に表面保護フィルム１０の構造を示す。ここで透明支持
体１としては、フォトレジストを露光する際に使用され
る紫外線の透過率の高いものが好ましく、例えばポリエ
チレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポチスチレン、ポリカーボネー
ト、トリアセテート、ポリイミド等の透明なプラスチッ
クフィルムが挙げられる。このような透明支持体１は、
粘着層２や透明導電性金属酸化物の薄膜４との接着性を
向上させるために表面処理してあってもよい。透明支持
体１の厚さはフォトレジストの解像度に影響するため薄
いほうがよく、３〜２５μｍ、好ましくは６〜１２μｍ
とする。
【０００６】透明支持体１の片面に設けられる粘着層２
は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤
等が使用される。透明支持体１の他方の面に設けられる
離型層３は、樹脂中および離型性付与剤の混合物からな
り、樹脂としては、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、
塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、塩化ポリオ
レフィン、アルキッド樹脂、ポリエステル樹脂、アミノ
系樹脂、メラミン系樹脂等が挙げられ、これらは単独あ
るいは混合して用いられる。離型性付与剤としては、シ
リコン系添加剤が用いられる。樹脂と離型性付与剤の混
合比は樹脂に対する離型性付与剤の割合が２〜１５重量
％が好ましい。このような範囲にすることにより、フィ
ルムの透明性を維持してしかも高い離型効果を得ること
ができる。
は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤
等が使用される。透明支持体１の他方の面に設けられる
離型層３は、樹脂中および離型性付与剤の混合物からな
り、樹脂としては、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、
塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、塩化ポリオ
レフィン、アルキッド樹脂、ポリエステル樹脂、アミノ
系樹脂、メラミン系樹脂等が挙げられ、これらは単独あ
るいは混合して用いられる。離型性付与剤としては、シ
リコン系添加剤が用いられる。樹脂と離型性付与剤の混
合比は樹脂に対する離型性付与剤の割合が２〜１５重量
％が好ましい。このような範囲にすることにより、フィ
ルムの透明性を維持してしかも高い離型効果を得ること
ができる。
【０００７】次に透明支持体１と離型層３との間に設け
られる透明導電性金属酸化物薄膜４は、保護フィルムの
帯電を防止するもので、透明プラスチックフィルムに形
成させた時、光線透過率が７５％以上（３５０ｎｍ）で
表面電気抵抗値１０7Ω以下であればよく、種々の金
属、例えばＩｎ、Ｇａ、Ｔｌ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、
Ｍｏ、Ｗの１種以上の金属の酸化物の薄膜を用いること
ができる。特に、光線透過率、表面電気特性及びその経
時変化の少ないものとして、ＩＴＯ（インジウム、すず
の酸化物）が優れている。この透明導電性金属酸化物薄
膜４は、透明支持体１上に蒸着法、スパッタリング法又
はイオンプレーティング法によって形成することができ
る。表面電気抵抗値を１０7Ω以下とするのは、１０7Ω
以上であると離型層３を積層した時、表面電気抵抗値が
１０11Ω以上となり低湿度時の帯電防止能が不足するか
らである。
られる透明導電性金属酸化物薄膜４は、保護フィルムの
帯電を防止するもので、透明プラスチックフィルムに形
成させた時、光線透過率が７５％以上（３５０ｎｍ）で
表面電気抵抗値１０7Ω以下であればよく、種々の金
属、例えばＩｎ、Ｇａ、Ｔｌ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、
Ｍｏ、Ｗの１種以上の金属の酸化物の薄膜を用いること
ができる。特に、光線透過率、表面電気特性及びその経
時変化の少ないものとして、ＩＴＯ（インジウム、すず
の酸化物）が優れている。この透明導電性金属酸化物薄
膜４は、透明支持体１上に蒸着法、スパッタリング法又
はイオンプレーティング法によって形成することができ
る。表面電気抵抗値を１０7Ω以下とするのは、１０7Ω
以上であると離型層３を積層した時、表面電気抵抗値が
１０11Ω以上となり低湿度時の帯電防止能が不足するか
らである。
【０００８】本発明の表面保護フィルムは、未使用の状
態では粘着層２面に離型性のあるフィルム、プラスチッ
ク板などの離型材５を貼合しておき、図２に示すように
原稿６に貼り合わせるときは、この離型材５から剥が
し、粘着層２面を原稿６に貼り合わせその表面を保護す
る。この際、透明導電性金属酸化物薄膜４の帯電防止効
果により、帯電によるゴミが付着することがない。この
ように表面保護フィルムを貼り合わせた原稿６を用い
て、その離型層３側をフォトレジスト層７１に密着させ
て銅貼積層板７等を露光する。露光後、表面保護フィル
ムは離型層３によってフォトレジストの付着もなくフォ
トレジスト層７１からきれいに剥離することができる。
態では粘着層２面に離型性のあるフィルム、プラスチッ
ク板などの離型材５を貼合しておき、図２に示すように
原稿６に貼り合わせるときは、この離型材５から剥が
し、粘着層２面を原稿６に貼り合わせその表面を保護す
る。この際、透明導電性金属酸化物薄膜４の帯電防止効
果により、帯電によるゴミが付着することがない。この
ように表面保護フィルムを貼り合わせた原稿６を用い
て、その離型層３側をフォトレジスト層７１に密着させ
て銅貼積層板７等を露光する。露光後、表面保護フィル
ムは離型層３によってフォトレジストの付着もなくフォ
トレジスト層７１からきれいに剥離することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。厚さ６μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー：
東レ（株）社製）の片面が表面電気抵抗１０6Ωとなる
ようイオンプレーティング法にてＩＴＯ薄膜を形成し
た。その薄膜上に下記組成の離型層形成液をマイヤーバ
ーにて塗布し、１００℃で１分間乾燥して１μｍの塗膜
を得た。また他方の面には下記組成の粘着層塗工液を同
様の方法で塗布乾燥し、２μｍの粘着層を得た。粘着層
面に厚さ２５μｍポリエチレンテレフタレート離型フィ
ルム（セラピール：東洋メタライジング（株）製）を貼
合して保護フィルムを作製した。 離型層形成液 アクリルポリオール（固形分濃度５０％） （アクリディックＡ−８０１：大日本インキ化学工業（株）社製） １６部 イソシアネートプレポリマー（固形分濃度７５％） （バーノックＤ−７５０：大日本インキ化学工業（株）社製） １.５部 シリコン添加剤（固形分濃度１０％） （ペインタッド５３：ダウコーニング（株）社製） ３部 トルエン １５部 メチルエチルケトン ６部 粘着層形成液 アクリル系粘着剤（固形分濃度４０％） （アロンタックＳＣＬ−２００：東亜合成化学（株）社製） １０部 トルエン １０部 酸酸エチル １０部
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー：
東レ（株）社製）の片面が表面電気抵抗１０6Ωとなる
ようイオンプレーティング法にてＩＴＯ薄膜を形成し
た。その薄膜上に下記組成の離型層形成液をマイヤーバ
ーにて塗布し、１００℃で１分間乾燥して１μｍの塗膜
を得た。また他方の面には下記組成の粘着層塗工液を同
様の方法で塗布乾燥し、２μｍの粘着層を得た。粘着層
面に厚さ２５μｍポリエチレンテレフタレート離型フィ
ルム（セラピール：東洋メタライジング（株）製）を貼
合して保護フィルムを作製した。 離型層形成液 アクリルポリオール（固形分濃度５０％） （アクリディックＡ−８０１：大日本インキ化学工業（株）社製） １６部 イソシアネートプレポリマー（固形分濃度７５％） （バーノックＤ−７５０：大日本インキ化学工業（株）社製） １.５部 シリコン添加剤（固形分濃度１０％） （ペインタッド５３：ダウコーニング（株）社製） ３部 トルエン １５部 メチルエチルケトン ６部 粘着層形成液 アクリル系粘着剤（固形分濃度４０％） （アロンタックＳＣＬ−２００：東亜合成化学（株）社製） １０部 トルエン １０部 酸酸エチル １０部
【００１０】
【比較例１】厚さ６μポリエチレンテレフタレートフィ
ルムの片面に以下の組成の離型層形成液を、他方の面に
実施例の粘着層形成液を順次、マイヤーバーにて塗布１
００℃１分間乾燥をして離型層１μ、粘着層２μの塗膜
を形成し、粘着層側に厚さ２５μｍポリエチレンテレフ
タレート離型フィルムを貼合した。 離型層形成液 飽和ポリエステル樹脂（バイロン ００：東洋紡（株）社製） １２部 シリコン添加剤（ペインタッド５３： ダウコーニング（株）社製） ５部 導電性樹脂（エレコンドＰＱ５０Ｂ： 綜研化学（株）社製） ２部 トルエン ７５部 メチルエチルケトン
ルムの片面に以下の組成の離型層形成液を、他方の面に
実施例の粘着層形成液を順次、マイヤーバーにて塗布１
００℃１分間乾燥をして離型層１μ、粘着層２μの塗膜
を形成し、粘着層側に厚さ２５μｍポリエチレンテレフ
タレート離型フィルムを貼合した。 離型層形成液 飽和ポリエステル樹脂（バイロン ００：東洋紡（株）社製） １２部 シリコン添加剤（ペインタッド５３： ダウコーニング（株）社製） ５部 導電性樹脂（エレコンドＰＱ５０Ｂ： 綜研化学（株）社製） ２部 トルエン ７５部 メチルエチルケトン
【００１１】７５部
【比較例２】離型層形成液を下記の組成とした以外は比
較例１に同じ処方および方法で表面保護フィルム試料を
作製した。 離型層形成液 アクリル樹脂 （アクリディックＡ−１９０：大日本インキ化学工業（株）社製） １０部 シリコン添加剤（ペインタッド５３：ダウコーニング（株）社製） ２.５部 酸化スズ微粉末分散液 （シントロンＣ−４４２１：神東塗料（株）社製） ８部 トルエン ３２部 メチルエチルケトン ３２部 得られた実施例、比較例１、２の３種のフィルムについ
て、離型層強度、光線透過率および表面電気抵抗を測定
した。なお、離型層強度はＪＩＳＫ−５４００に従って
離型層鉛筆硬度を測定した。また光線透過率は３５０ｎ
ｍにおける値を分光光度計（ＵＶ−１４０（株）島津製
作所製）を使用して測定した。表面電気抵抗は温度２０
℃、湿度６０％ＲＨにおける値を高抵抗測定機（４３２
９Ａ横河ヒューレットパッカード（株）社製）で測定し
た。またフェードメータ ＦＡＬ−３型（スガ試験機
（株）社製）を使用し、２００時間紫外線照射を行なっ
た後、光線透過率を測定した。これらの結果を表１に示
す。
較例１に同じ処方および方法で表面保護フィルム試料を
作製した。 離型層形成液 アクリル樹脂 （アクリディックＡ−１９０：大日本インキ化学工業（株）社製） １０部 シリコン添加剤（ペインタッド５３：ダウコーニング（株）社製） ２.５部 酸化スズ微粉末分散液 （シントロンＣ−４４２１：神東塗料（株）社製） ８部 トルエン ３２部 メチルエチルケトン ３２部 得られた実施例、比較例１、２の３種のフィルムについ
て、離型層強度、光線透過率および表面電気抵抗を測定
した。なお、離型層強度はＪＩＳＫ−５４００に従って
離型層鉛筆硬度を測定した。また光線透過率は３５０ｎ
ｍにおける値を分光光度計（ＵＶ−１４０（株）島津製
作所製）を使用して測定した。表面電気抵抗は温度２０
℃、湿度６０％ＲＨにおける値を高抵抗測定機（４３２
９Ａ横河ヒューレットパッカード（株）社製）で測定し
た。またフェードメータ ＦＡＬ−３型（スガ試験機
（株）社製）を使用し、２００時間紫外線照射を行なっ
た後、光線透過率を測定した。これらの結果を表１に示
す。
【００１２】
【表１】
【００１３】表１に示したように、実施例の表面保護フ
ィルムは比較例１、２と比べると離型層強度、光線透過
率、あるいは紫外線照射後の光線透過率に優れているこ
とが認められる。
ィルムは比較例１、２と比べると離型層強度、光線透過
率、あるいは紫外線照射後の光線透過率に優れているこ
とが認められる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の表面保護フィルムを使用した露光用原稿はその帯電
防止効果により貼合の際、離型フィルム剥離時の帯電が
なく、ゴミ等を吸いよせることなく貼合することができ
る。また、その際の作業者への不快な放電ショック等も
なくスムーズに貼合作業が可能である。また、本発明の
表面保護フィルムは、離型層に帯電防止剤を添加するの
ではなく、離型層とは別に帯電防止のための透明導電性
金属酸化物薄膜を設けたので、離型層の強度低下、また
長期使用による黄変あるいは光線透過率の低下がなく、
効率よく長期間にわたって露光、複製を行うことができ
る。
明の表面保護フィルムを使用した露光用原稿はその帯電
防止効果により貼合の際、離型フィルム剥離時の帯電が
なく、ゴミ等を吸いよせることなく貼合することができ
る。また、その際の作業者への不快な放電ショック等も
なくスムーズに貼合作業が可能である。また、本発明の
表面保護フィルムは、離型層に帯電防止剤を添加するの
ではなく、離型層とは別に帯電防止のための透明導電性
金属酸化物薄膜を設けたので、離型層の強度低下、また
長期使用による黄変あるいは光線透過率の低下がなく、
効率よく長期間にわたって露光、複製を行うことができ
る。
【図１】本発明の表面保護フィルムの断面図
【図２】本発明の表面保護フィルムの使用状態を示す図
【符号の説明】 １・・・・・・透明支持示体 ２・・・・・・粘着層 ３・・・・・・離型層 ４・・・・・・透明導電性金属酸化物薄膜 ６・・・・・・原稿
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16 C09J 7/02
Claims (1)
- 【請求項１】透明支持体の片面に粘着層を設け、その粘
着層の反対面に離型層を積層してなる表面保護フィルム
において、前記支持体と前記離型層との間に透明導電性
金属酸化物薄膜を設けたことを特徴とするフォトレジス
ト露光用原稿の表面保護フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13249891A JP3083588B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 表面保護フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13249891A JP3083588B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 表面保護フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04355759A JPH04355759A (ja) | 1992-12-09 |
| JP3083588B2 true JP3083588B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=15082778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13249891A Expired - Fee Related JP3083588B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 表面保護フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083588B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0553300A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Sekisui Chem Co Ltd | フオトマスク保護用粘着フイルム |
| JP2001051403A (ja) * | 1999-06-01 | 2001-02-23 | Kimoto & Co Ltd | フォトマスクの作製方法およびフォトマスク |
| JP4716557B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2011-07-06 | 株式会社きもと | 表面保護フィルム |
| JP2008248135A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | フォトマスク保護テープ用ポリエステルフィルム |
| JP2009169186A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Mitsubishi Plastics Inc | フォトマスク保護テープ用ポリエステルフィルム |
| JP2009169351A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Mitsubishi Plastics Inc | 液状レジストフォトマスク保護テープ用ポリエステルフィルム |
| TWI492373B (zh) * | 2012-08-09 | 2015-07-11 | Au Optronics Corp | 可撓式顯示模組的製作方法 |
| JP5538513B2 (ja) * | 2012-12-12 | 2014-07-02 | Ｈｏｙａ株式会社 | 多階調フォトマスク、パターン転写方法及び薄膜トランジスタの製造方法 |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP13249891A patent/JP3083588B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04355759A (ja) | 1992-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000523 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |