JPH04330568A

JPH04330568A - パターンレイアウト用ｃａｄ

Info

Publication number: JPH04330568A
Application number: JP3130482A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Arai; 新井　一幸
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1991-05-02
Filing date: 1991-05-02
Publication date: 1992-11-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はパターンのレイアウト
設計に用いられるパターンレイアウト用ＣＡＤ、例えば
、サイリスタ、パワートランジスタ、ダイオード、光導
波路、磁気センサー等のフォトリソに用いられるマスク
パターンや微細スケール等に関する。

【０００２】

【従来の技術】パターンのレイアウト設計では、ＣＡＤ
が使用されている。従来のマスクパターンレイアウト用
のＣＡＤにおいては、イメージ（図形）を座標中心より
所定角度だけ回転（角度変換）して複写するようにして
いた。

【０００３】すなわち、セルライブラリから登録した図
形データを読み出し、中心座標、回転角度をキーまたは
マウス入力することにより、所定角度だけ画面上で回転
させて複写していたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のレイアウトＣＡＤにおいては、図形の角度変
換を繰り返して複写するためには、そのための操作を繰
り返さなければならなかった。そして、その際には回転
の中心点をその度に繰り返して指定する必要があった。よって、繰り返し操作が面倒であり、しかも、図形の回
転中心がずれてしまうおそれがあった。

【０００５】そこで、本発明は、１回の操作、入力によ
り自動的に複数回の複写を可能とし、簡単で便利なマス
クパターンレイアウト用ＣＡＤを提供することを、その
目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、図１に示すよ
うに、複数の図形データを記憶する図形データ記憶手段
１００を有し、この図形データに基づいて演算した演算
データによりマスクパターンをレイアウトするＣＡＤに
おいて、図形データ、表示画面上でのこの図形の回転中
心座標、図形の回転角度、図形の複写回数を指定するデ
ータ入力手段２００と、これらの入力データに基づいて
回転中心座標を中心として上記図形データ記憶手段１０
０から読み出した図形データを上記回転角度毎に連続し
て上記複写回数だけ複写した複写データを作成する演算
手段３００と、この複写データを画面上に表示する表示
手段４００と、を有するマスクパターンレイアウト用Ｃ
ＡＤである。

【０００７】

【作用】本発明に係るマスクパターンレイアウト用ＣＡ
Ｄでは、図形データ記憶手段１００に記憶させてある図
形データを、データ入力手段２００の指定により読み出
す。同時に指定した図形の回転中心座標、その回転角度
、その複写回数に基づいて演算手段３００においては、
図形データを回転角度毎に連続してその複写回数だけ複
写した複写データを作成する。そして、表示手段４００
によってこの複写データを画面表示することとなる。す
なわち、所望の図形の複写がなされるものである。この
ように、１回のデータ入力により複写データを得ること
ができる。

【０００８】

【実施例】以下、図２〜図３を参照して本発明の一実施
例について説明する。

【０００９】図２に示すように、ＣＡＤに使用されるグ
ラフィックシステムは、ＣＰＵおよびメインメモリ２１
と、ＣＲＴディスプレイ２２と、マウス２４と、ディス
ク装置２６とフロッピードライブ２７と、キーボード２
８と、プリンタ２９と、を有して構成されている。

【００１０】したがって、上記ディスク装置２６もしく
はフロッピードライブ２７でアクセスしたデータにより
セルライブラリは構成されることとなる。このセルライ
ブラリには各種の図形（セルパターン）および配線パタ
ーンが格納されている。

【００１１】図３には上記ＣＲＴディスプレイ２２、２
３での表示画面のエリア区分を示している。Ａは図形表
示エリア、Ｂはコマンドウインドウ、Ｃはコマンド表示
エリアであって２行分である。Ｄはセル名表示エリア、
Ｅはカーソル位置表示エリア、Ｆは層数表示エリア、Ｇ
は選択オペレーション名表示エリア、Ｈは図形ディスプ
レイのあらさ表示エリア、Ｉはメッセージ表示エリアで
ある。

【００１２】以下、図４〜図６に示すフローチャートに
基づいて、上記ＣＰＵ２１で図形データを演算してディ
スプレイ２２または２３に表示するまでの手順について
説明する。このグラフィックシステムではＣＲＴディス
プレイ２２または２３によりインタラクティブに処理を
実行する。

【００１３】図４に示すように、まず、電源スイッチの
ＯＮにより初期画面を立ち上げて表示する（ステップＳ
０１）。初期画面ではコマンドウインドウエリアＢに各
種のコマンドが表示されている。ここで、コマンドをキ
ーボード２８より入力する。そして、このコマンドの入
力を待ち（Ｓ０２）、「ＦＩＬＥ」のコマンド入力がな
されると、次のステップＳ０３に進む。その他のコマン
ド入力ではそれぞれの処理がなされる。

【００１４】ステップＳ０３では、コマンドウインドウ
表示エリアＢにサブコマンドをサブウインドウとして表
示する。例えば、「ＮＥＷ　　ＦＩＬＥ」、「ＣＬＯＳ
Ｅ　　ＦＩＬＥ」、「ＯＰＥＮ　　ＦＩＬＥ」、「ＥＳ
Ｃ（エスケープ）」のサブコマンドが表示される。そし
て、コマンド表示エリアＣには「ＦＩＬＥ」が表示され
（Ｓ０４）、選択オペレーション名表示エリアＧにも「
ＦＩＬＥ」が表示される（Ｓ０５）。

【００１５】次に、このサブウインドウでのサブコマン
ドを選択するかをチェックし（Ｓ０６）、「ＯＰＥＮ　
　ＦＩＬＥ」のサブコマンド以外では対応したコマンド
処理ルーチンに進むものとする。「ＯＰＥＮ　　ＦＩＬ
Ｅ」を選択すると、サブウインドウは消去され（Ｓ０７
）、選択オペレーション名表示エリアＧに「ＯＰＥＮ　
　ＦＩＬＥ」を（Ｓ０８）、メッセージ表示エリアＩに
は「ＩＮＰＵＴ」を（ＳＯ９）、コマンド表示エリアＣ
には「ＩＮＰＵＴ　　ＦＩＬＥ　　ＮＡＭＥ」を（Ｓ１
０）、それぞれ表示する。

【００１６】次に、対象となるファイル名の入力を待ち
、例えばＮ０４の入力がなされると（Ｓ１１）、コマン
ド表示エリアＣにプロンプト表示を行い（Ｓ１２）、選
択オペレーション名表示は消去される（Ｓ１３）。これ
によりファイル選択コマンドの処理は終了したものであ
る。

【００１７】そして、次にファィル内でのセルの選択を
行う。すなわち、初期画面での「ＣＥＬＬ」コマンドの
選択、入力により（Ｓ１４）、コマンドウインドウ表示
エリアＢには「ＣＥＬＬ」のサブコマンドがサブウイン
ドウ表示される（Ｓ１５）。例えば、「ＮＥＷ　　ＣＥ
ＬＬ」、「ＣＬＯＳＥ　　ＣＥＬＬ」、「ＯＰＥＮ　　
ＣＥＬＬ」、「ＤＥＬＥＴＥ　　ＣＥＬＬ」、「ＥＳＣ
」のサブコマンドである。また、コマンド表示エリアＣ
には「ＣＥＬＬ」表示がされ（Ｓ１６）、選択オペレー
ション名表示エリアＧには「ＣＥＬＬ」表示がされる（
Ｓ１７）。

【００１８】ここで、このサブコマンドから「ＯＰＥＮ
　　ＣＥＬＬ」を選択すると（Ｓ１８）、サブウインド
ウは消去され、選択オペレーション名表示エリアＧには
「ＯＰＥＮ　　ＣＥＬＬ」が表示され、コマンド表示エ
リアＣには「ＩＮＰＵＴ　　ＣＥＬＬ　　ＮＡＭＥ」が
表示される（Ｓ１９）。そこで、セル名を入力すると（
Ｓ２０）、コマンド表示エリアＣは「ＩＮＰＵＴ　　Ｃ
ＯＭＭＥＮＴ」が表示される（Ｓ２１）。

【００１９】そして、コメントの入力があると（Ｓ２２
）、各エリアには所定の表示がされる（Ｓ２３）。すな
わち、エリアＣにはプロンプト表示、エリアＧは表示な
し、図形表示エリアＡには指定されたセルの図形が表示
される。また、カーソル位置表示エリアＥにはカーソル
の位置が、エリアＦにはＬＡＹＥＲ数が、エリアＨには
図形のドットあらさ表示が、エリアＤには入力セル名が
表示される（Ｓ２３）。

【００２０】このようにしてファイル、セルが選択され
て図形が表示されると、再びコマンド入力待ちの状態に
なる。ここで、「ＳＲＥＦ２」処理を選択すると（Ｓ２
４）、コマンド表示エリアＣには「ＥＮＴＥＲ　　ＲＥ
ＦＥＲＥＮＣＥ　　ＣＥＬＬ　　ＮＡＭＥ」と表示され
、また、選択オペレーション名表示エリアＧには「ＳＲ
ＥＦ２」と表示される（Ｓ２５）。

【００２１】ここで、呼び出すセル名を入力すると（Ｓ
２６）、コマンド表示エリアＣには「ＥＮＴＥＲ　　Ｘ
−ＲＥＦＬＥＣＴＩＯＮ＞」と表示され（Ｓ２７）、Ｘ
座標で反転するか否かがチェックされる。反転しない場
合は（Ｓ２８でＯＦＦ）、コマンド表示エリアＣには「
ＥＮＴＥＲ　　ＭＡＧＮＩＦＩＣＡＴＩＯＮ＞」の表示
がされる（Ｓ２９）。参照図形の拡縮の倍率の入力を待
って（Ｓ３０）、次に、コマンド表示エリアＣには「Ｅ
ＮＴＥＲ　　ＳＴＡＲＴ　　ＡＮＧＬＥ＞」が表示され
る（Ｓ３１）。この初期角の入力があると（Ｓ３２）、
「ＥＮＴＥＲＩＮＣＲＥＭＥＮＴ　　ＡＮＧＬＥ＞」が
次いでコマンド表示エリアＣに表示される（Ｓ３３）。

【００２２】この図形を所望角度だけ回転させるための
回転角の入力があると（Ｓ３４）、複写の回数の入力を
促すための「ＥＮＴＥＲ　　ＮＵＭＢＥＲ＞」がコマン
ド表示エリアＣに表示される（Ｓ３５）。複写回数の入
力により（Ｓ３６）、「ＳＲＥＦ２」処理がなされる（
Ｓ３７）。これにより、所望角度だけ所望の回数だけ図
形を回転した複写データが図３に示すように回転した状
態で複写される。この「ＳＲＥＦ２」処理は公知の座標
変換方法等によることができる。これと同時に、コマン
ド表示エリアＣはプロンプト表示に、選択オペレーショ
ン名エリアＧは表示なしとなる（Ｓ３８）。

【００２３】さらに、この状態で初期画面から「ＣＥＬ
Ｌ」コマンドを選択、入力すると（Ｓ３９）、エリアＢ
に「ＣＥＬＬ」のサブコマンドが表示される（Ｓ４０）
。例えば、「ＮＥＷ　　ＣＥＬＬ」、「ＣＬＯＳＥ　　
ＣＥＬＬ」、「ＯＰＥＮ　　ＣＥＬＬ」、「ＤＥＬＥＴ
Ｅ　　ＣＥＬＬ」、「ＥＳＣ」のサブコマンドである。そして、エリアＣは「ＣＯＭＭＡＮＤ＞ＣＥＬＬ」、エ
リアＧは「ＣＥＬＬ」表示となる（Ｓ４１）。

【００２４】そこで、サブコマンド、例えば「ＣＬＯＳ
Ｅ　　ＣＥＬＬ」の選択により（Ｓ４２）、サブウイン
ドウ表示は消え、「ＣＬＯＳＥ　　ＣＥＬＬ」がエリア
Ｇに表示される（Ｓ４２）。また、セル名表示エリアＤ
は表示なしとなる。そして、上記ステップＳ１４に戻る
こととなる。このセルは格納されるものである。

【００２５】一方、図８に示すように、ファイルを閉じ
るには、ステップＳ１４で「ＣＥＬＬ」コマンドを選択
せずに、「ＦＩＬＥ」コマンドを選択する（Ｓ４４）。そうすると、エリアＢにサブコマンドが表示され（Ｓ４
５）、エリアＣには「ＣＯＭＭＡＮＤ＞ＦＩＬＥ」、エ
リアＧは「ＦＩＬＥ」表示となる（Ｓ４６）。そして、
サブコマンド「ＣＬＯＳＥ　　ＦＩＬＥ」を選択すると
（Ｓ４７）、サブウインドウは消去され、エリアＧには
選択オペレーションとして「ＣＬＯＳＥ　　ＦＩＬＥ」
が表示される（Ｓ４８）。この結果、ファイルも閉じら
れることとなる。そして、初期画面表示に戻る（Ｓ０２
）。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、１回の操作で複数の図
形を複写することができる。また、その操作において余
分な入力を必要としないため、容易に図形の回転複写を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の概略構成を示すブロック図である。

【図２】本発明の一実施例に係るグラフィックシステム
を示す構成図である。

【図３】本発明の一実施例に係るディスプレイを示す正
面図である。

【図４】本発明の一実施例に係るメインプログラムの一
部を示すフローチャートである。

【図５】本発明の一実施例に係るメインプログラムの一
部を示すフローチャートである。

【図６】本発明の一実施例に係るメインプログラムの一
部を示すフローチャートである。

【図７】本発明の一実施例に係るメインプログラムの一
部を示すフローチャートである。

【図８】本発明の一実施例に係るメインプログラムの一
部を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１００　　　　図形データ記憶手段２００　　　　データ入力手段３００　　　　演算手段４００　　　　表示手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　複数の図形データを記憶する図形デー
タ記憶手段を有し、この図形データに基づいて演算した
演算データによりパターンをレイアウトするＣＡＤにお
いて、図形データ、表示画面上でのこの図形の回転中心
座標、図形の回転角度、図形の複写回数を指定するデー
タ入力手段と、これらの入力データに基づいて回転中心
座標を中心として上記図形データ記憶手段から読み出し
た図形データを上記回転角度毎に連続して上記複写回数
だけ複写した複写データを作成する演算手段と、この複
写データを画面上に表示する表示手段と、を有すること
を特徴とするパターンレイアウト用ＣＡＤ。