JPH04312463A - 滅菌装置 - Google Patents
滅菌装置Info
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- JPH04312463A JPH04312463A JP3079501A JP7950191A JPH04312463A JP H04312463 A JPH04312463 A JP H04312463A JP 3079501 A JP3079501 A JP 3079501A JP 7950191 A JP7950191 A JP 7950191A JP H04312463 A JPH04312463 A JP H04312463A
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- Japan
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- gas
- sterilization
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- raw water
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- Pending
Links
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Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は溶液中の生菌を滅菌する
技術、特に、純水の無菌状態を維持するために用いて効
果のある技術に関するものである。
技術、特に、純水の無菌状態を維持するために用いて効
果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体装置の製造に際し、洗浄
などを行うには純水が用いられる。従来、純水を製造す
る場合、例えば、地下水を汲み上げ、これをフィルタに
通し、さらに紫外線を照射して滅菌を行っている。
などを行うには純水が用いられる。従来、純水を製造す
る場合、例えば、地下水を汲み上げ、これをフィルタに
通し、さらに紫外線を照射して滅菌を行っている。
【０００３】ところで、本発明者は、製造した純水の滅
菌が十分になされない問題について検討した。以下は、
本発明者によって検討された技術であり、その概要は次
の通りである。
菌が十分になされない問題について検討した。以下は、
本発明者によって検討された技術であり、その概要は次
の通りである。
【０００４】すなわち、従来のようにして製造した純水
は、一旦タンクに貯水し、必要時にタンクから汲み出し
、配管を経由してクリーンルームの使用場所へ供給する
。しかし、配管は供給端までの距離がかなりあり、また
純水出口が複数ヶ所であるため、未使用枝管が生じ易く
、配管内に水の滞留場所が生じる。このため、特開昭６
０−７９６９０号公報に示すように配管に薬剤（過酸化
水素、アンモニウム塩など）を注入し、或いは特開昭６
３−４２７８７号公報に示すように溶液加温を行ってい
る。
は、一旦タンクに貯水し、必要時にタンクから汲み出し
、配管を経由してクリーンルームの使用場所へ供給する
。しかし、配管は供給端までの距離がかなりあり、また
純水出口が複数ヶ所であるため、未使用枝管が生じ易く
、配管内に水の滞留場所が生じる。このため、特開昭６
０−７９６９０号公報に示すように配管に薬剤（過酸化
水素、アンモニウム塩など）を注入し、或いは特開昭６
３−４２７８７号公報に示すように溶液加温を行ってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記の如く
薬剤を行う滅菌方法においては、配管内に滞留する生菌
を滅菌し終わるまで、すなわち配管内を純水で置換する
のに時間がかかるほか、未使用枝管内に残留していた薬
剤が製品上に異物として付着する恐れのあることが本発
明者によって見出された。また、溶液加温による滅菌方
法においては、薬剤方法による不都合は解消するものの
、溶液加温及び冷却のためのコストが大きくなる。
薬剤を行う滅菌方法においては、配管内に滞留する生菌
を滅菌し終わるまで、すなわち配管内を純水で置換する
のに時間がかかるほか、未使用枝管内に残留していた薬
剤が製品上に異物として付着する恐れのあることが本発
明者によって見出された。また、溶液加温による滅菌方
法においては、薬剤方法による不都合は解消するものの
、溶液加温及び冷却のためのコストが大きくなる。
【０００６】そこで、本発明の目的は、薬剤注入及び溶
液加温を行うことなく生菌の滅菌を行うことのできる技
術を提供することにある。
液加温を行うことなく生菌の滅菌を行うことのできる技
術を提供することにある。
【０００７】本発明の前記ならびに他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【０００９】すなわち、滅菌後の薬剤などの残留が不適
当な溶液に対する滅菌装置であって、溶存酸素を低減す
るガス、あるいは生菌に好ましくない作用を与えるガス
を前記溶液中に溶け込ませる滅菌手段を設けるようにし
ている。
当な溶液に対する滅菌装置であって、溶存酸素を低減す
るガス、あるいは生菌に好ましくない作用を与えるガス
を前記溶液中に溶け込ませる滅菌手段を設けるようにし
ている。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、溶液中に溶け込んだガ
スは、溶液中の溶存酸素が低減し、生菌の繁殖を防止な
らびに滅菌し、あるいはガスが多量に溶け込んだことに
より生菌に好ましくない作用を与え、生菌の繁殖を防止
ならびに滅菌する。したがって、薬剤注入及び溶液加温
を行うことなく生菌の滅菌を行うことが可能になる。
スは、溶液中の溶存酸素が低減し、生菌の繁殖を防止な
らびに滅菌し、あるいはガスが多量に溶け込んだことに
より生菌に好ましくない作用を与え、生菌の繁殖を防止
ならびに滅菌する。したがって、薬剤注入及び溶液加温
を行うことなく生菌の滅菌を行うことが可能になる。
【００１１】
【実施例１】図１は本発明による滅菌装置の一実施例を
示す模式的構成図である。
示す模式的構成図である。
【００１２】密閉タンク１内には、上部が開放された純
水槽２が配設され、この純水槽２内に純水配管３の先端
部が挿入されている。また、密閉タンク１内にはガス配
管４の後端部が配設されている。ガス配管４の途中には
バルブ５が設けられ、さらに純水配管３の途中にはバル
ブ６が設けられている。
水槽２が配設され、この純水槽２内に純水配管３の先端
部が挿入されている。また、密閉タンク１内にはガス配
管４の後端部が配設されている。ガス配管４の途中には
バルブ５が設けられ、さらに純水配管３の途中にはバル
ブ６が設けられている。
【００１３】以上の構成において、純水槽２に溶液であ
る原水７（フィルタに通したのち紫外線を照射した水）
を満たし、バルブ６を閉めてバルブ５を開け、ガス配管
４に一例として窒素（Ｎ２ ）ガスを圧入（例えば、３
Ｋｇ／ｃｍ２ ）する。これにより、窒素ガスは密閉タ
ンク１内に加圧供給され、加圧されているために窒素ガ
スは純水槽２内の原水７に溶け込み、生菌発生の原因と
なる原水７中の溶存酸素量が低減され、滅菌がなされる
。滅菌がなされない場合でも生菌の活動が妨げられる。
る原水７（フィルタに通したのち紫外線を照射した水）
を満たし、バルブ６を閉めてバルブ５を開け、ガス配管
４に一例として窒素（Ｎ２ ）ガスを圧入（例えば、３
Ｋｇ／ｃｍ２ ）する。これにより、窒素ガスは密閉タ
ンク１内に加圧供給され、加圧されているために窒素ガ
スは純水槽２内の原水７に溶け込み、生菌発生の原因と
なる原水７中の溶存酸素量が低減され、滅菌がなされる
。滅菌がなされない場合でも生菌の活動が妨げられる。
【００１４】このようにして得られた純水は、バルブ６
を開けることにより取り出すことができる。なお、図示
していないが、純水配管３の系内に脱気装置を設けるこ
とにより、溶かした窒素ガスあるいは溶液に溶かしたガ
スを純水中から除去することもできる。
を開けることにより取り出すことができる。なお、図示
していないが、純水配管３の系内に脱気装置を設けるこ
とにより、溶かした窒素ガスあるいは溶液に溶かしたガ
スを純水中から除去することもできる。
【００１５】
【実施例２】図２は本発明の他の実施例を示す模式的構
成図である。
成図である。
【００１６】前記実施例が窒素ガスを原水７に加圧供給
して溶け込ませたのに対し、本実施例は、原水７内で窒
素ガスを曝気させることにより溶け込ませている。すな
わち、先端をＬ字形にすると共に端面を閉塞し、且つ水
平部の周辺に複数の小径の気体排出口１０を設けた気体
送入配管９を純水槽８に満たされた原水７に挿入した構
成にしている。そして、気体送入配管９に窒素ガスを圧
入し、気体排出口１０から微小な気泡になった窒素ガス
を噴出させ、その上昇過程で原水７に溶け込ませている
。このようにすることによって、前記実施例と同様に原
水７中の溶存酸素量が低減され、滅菌がなされる。
して溶け込ませたのに対し、本実施例は、原水７内で窒
素ガスを曝気させることにより溶け込ませている。すな
わち、先端をＬ字形にすると共に端面を閉塞し、且つ水
平部の周辺に複数の小径の気体排出口１０を設けた気体
送入配管９を純水槽８に満たされた原水７に挿入した構
成にしている。そして、気体送入配管９に窒素ガスを圧
入し、気体排出口１０から微小な気泡になった窒素ガス
を噴出させ、その上昇過程で原水７に溶け込ませている
。このようにすることによって、前記実施例と同様に原
水７中の溶存酸素量が低減され、滅菌がなされる。
【００１７】次に、本発明の実施結果を具体的に説明す
る。
る。
【００１８】ここでは、生菌数約６，０００ヶ／１００
ｍｌの原水７に対し、図１に示す構成によりバルブ６を
閉じた状態下で３Ｋｇ／ｃｍ２ の窒素ガスを１０分間
加圧供給し、この状態で２４時間放置し、生菌数を測定
した。その結果、７０ヶ／１００ｍｌに減少したことが
わかり、本発明の効果が実証された。なお、加圧時間を
１００分としたときの生菌数は５０ヶ／１００ｍｌであ
り、加圧時間による大きな違いは見られなかった。また
、本発明者は上記と同一の条件のもとで、図２の構成を
適用したところ、２００ヶ／１００ｍｌの結果が得られ
た。このことから図１の実施例が実用性に優れることが
わかる。
ｍｌの原水７に対し、図１に示す構成によりバルブ６を
閉じた状態下で３Ｋｇ／ｃｍ２ の窒素ガスを１０分間
加圧供給し、この状態で２４時間放置し、生菌数を測定
した。その結果、７０ヶ／１００ｍｌに減少したことが
わかり、本発明の効果が実証された。なお、加圧時間を
１００分としたときの生菌数は５０ヶ／１００ｍｌであ
り、加圧時間による大きな違いは見られなかった。また
、本発明者は上記と同一の条件のもとで、図２の構成を
適用したところ、２００ヶ／１００ｍｌの結果が得られ
た。このことから図１の実施例が実用性に優れることが
わかる。
【００１９】以上のように、本発明の実施例によれば、
簡単な構成により、低コストに滅菌が行えると共に、生
菌の繁殖を遮断できるので、その後のメンテナンスを必
要としない利点がある。
簡単な構成により、低コストに滅菌が行えると共に、生
菌の繁殖を遮断できるので、その後のメンテナンスを必
要としない利点がある。
【００２０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
図１と図２の構成の組み合わせる構成としてもよい。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
図１と図２の構成の組み合わせる構成としてもよい。
【００２１】さらに、溶け込ませる窒素ガスなどの量を
制御することにより、自然酸化膜の厚みを故意に制御で
きるので、希望の厚みの自然酸化膜を得たい要求に応じ
ることが可能である。
制御することにより、自然酸化膜の厚みを故意に制御で
きるので、希望の厚みの自然酸化膜を得たい要求に応じ
ることが可能である。
【００２２】なお、使用されるガスの種類も窒素ガスに
限定されず、溶存酸素を低減するか、あるいは生菌に好
ましくない作用を与えるガスであれば、他の種類のガス
であってもよい。
限定されず、溶存酸素を低減するか、あるいは生菌に好
ましくない作用を与えるガスであれば、他の種類のガス
であってもよい。
【００２３】また、以上の説明では、主として本発明者
によってなされた発明をその利用分野である半導体装置
の製造に適用した場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、例えば、生物化学関係、食品関係
の瓶詰め加工などのように生菌が問題になる分野に適用
することができる。
によってなされた発明をその利用分野である半導体装置
の製造に適用した場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、例えば、生物化学関係、食品関係
の瓶詰め加工などのように生菌が問題になる分野に適用
することができる。
【００２４】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２５】すなわち、滅菌後の薬剤などの残留が不適
当な用途の溶液に対する滅菌装置であって、溶存酸素を
低減するガスあるいは生菌に好ましくない作用を与える
ガスを前記溶液中に溶け込ませる滅菌手段を設けるよう
にしたので、薬剤の残留を招くことなく、かつローコス
トに生菌の滅菌を行うことができる。
当な用途の溶液に対する滅菌装置であって、溶存酸素を
低減するガスあるいは生菌に好ましくない作用を与える
ガスを前記溶液中に溶け込ませる滅菌手段を設けるよう
にしたので、薬剤の残留を招くことなく、かつローコス
トに生菌の滅菌を行うことができる。
【図１】本発明による滅菌装置の一実施例を示す模式的
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す模式的構成図である
。
。
１ 密閉タンク
２ 純水槽
３ 純水配管
４ ガス配管
５ バルブ
６ バルブ
７ 原水
８ 純水槽
９ 気体送入配管
１０ 気体排出口
Claims (4)
- 【請求項１】 滅菌後の薬剤などの残留が不適当な用
途の溶液に対する滅菌装置であって、溶存酸素を低減す
るガス、あるいは生菌に好ましくない作用を与えるガス
を前記溶液中に溶け込ませる滅菌手段を設けたことを特
徴とする滅菌装置。 - 【請求項２】 前記滅菌手段は、ガスを前記溶液中に
加圧供給して溶け込ませるものであることを特徴とする
請求項１記載の滅菌装置。 - 【請求項３】 前記滅菌手段は、ガスを前記溶液中に
曝気させるものであることを特徴とする請求項１記載の
滅菌装置。 - 【請求項４】 前記ガスは窒素ガスであることを特徴
とする請求項１，２または３記載の滅菌装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079501A JPH04312463A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 滅菌装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079501A JPH04312463A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 滅菌装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04312463A true JPH04312463A (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=13691679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3079501A Pending JPH04312463A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 滅菌装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04312463A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014130954A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および薬液回収方法 |
-
1991
- 1991-04-12 JP JP3079501A patent/JPH04312463A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014130954A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および薬液回収方法 |
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