CN101370527A - 消毒方法及等离子体消毒装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种消毒方法。将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压(S100)。判断是否到达了3Pa(S102)，如果已经到达，则将配置于真空容器与真空泵之间的断流阀关闭(S104)。向电极供给高频功率(S106)，持续0.1秒钟地向真空容器内导入氧气(S108)，其后用3秒钟将压力保持恒定(S110)，判断真空容器内是否到达10kPa(S112)，重复进行S108～S112，直至变为10kPa。到达了10kPa后，将断流阀打开而将真空容器内减压(S114)，停止高频功率的供给(S116)。重复S100～S118，经过90分钟后，将真空容器内恢复到大气压(S120)。

Description

消毒方法及等离子体消毒装置

技术领域

本发明涉及使用了等离子体的消毒方法及其消毒装置，特别涉及医疗器具等的消毒中所用的方法及装置。

背景技术

在将医疗器具等消毒处理之时，使用了等离子体的消毒方法是有效的。

作为以往的等离子体消毒方法，已知有在原料气体中使用过氧化氢并将其等离子体化而进行消毒处理的方法。但是，由于过氧化氢在常温下为液体，因此在向低压的等离子体容器内导入液体的情况下，装置结构及压力调整都会复杂化，并且由于过氧化氢价格高，因此具有成本升高的问题。另外，由于过氧化氢属于刺激物，因此还有无法根绝漏液或飞溅等人身(烧伤)事故的问题。

所以，下述专利文献1中公布有取代过氧化氢而使用了含有氧气的混合气体的方案。但是，利用将混合气体等离子体化后的物质很难将对象物可靠地消毒处理，无法充分地发挥消毒的效果。另外，因使用气体的种类增加而使装置构成变得复杂。作为考虑到此种情况的方案，已知有下述专利文献2中记载的方法，其要点在于，作为使用气体不是采用混合气体，而仅采用了氧气。

专利文献1：日本专利第2774193号公报

专利文献2：日本特开2004—267524号公报

但是，上述专利文献2的方法中，由于在将O₂气体向真空容器供给的过程中使之穿过臭氧发生器，从而使O₂气体中含有臭氧，因此与仅供给单质的气体的装置相比装置构成更为复杂。另外，由于等离子体中的具有消毒作用的粒子(例如自由基)例如在0.1秒左右的短时间内就会消灭掉，因此消毒的效果依然不够充分，特别是对于消毒对象物是管状等具有内腔部的物体来说，消毒极不充分。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供虽然构成简单但是特别是对于具有内腔部的消毒对象物也可以实现充分的消毒的消毒方法及等离子体消毒装置。

为了达成此种目的，本发明的消毒方法及等离子体消毒装置如下构成，即，在将产生等离子体的真空容器内利用规定的气体导入来加压之时，设置加压区间和恒压待机区间而阶段性地加压。

即，本发明的消毒方法中，将规定的被消毒对象物收纳于真空容器内，将上述真空容器内减压至规定压力，使规定的气体流入上述真空容器内，在上述真空容器内生成具有消毒作用的等离子体，一边调整上述真空容器内的压力，一边使用上述所生成的等离子体将上述规定的被消毒对象物消毒，其特征是，

如下调整上述真空容器内的压力，即，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而加压。而且，作为上述真空容器内的压力变化，也可以包括局部被减压的区间。另外，所谓恒压待机区间，并不限定为在该区间的整个区域内都是恒定的区间，也包括与加压区间相比压力变化的程度大幅度减小的区间。

另外，上述规定的压力间隔优选设为10Pa～1kPa的范围内的值。

另外，上述恒压待机区间优选设为0.3～10秒。另外，更优选设为0.5～3秒。

另外，最好上述规定的气体由氧气构成，上述加压区间分别被设为0.01～1.5秒之间的时间。

另一方面，本发明的等离子体消毒装置由真空容器、调整上述真空容器内的压力的压力调整机构、使规定的气体流入上述真空容器内的气体供给机构、使上述真空容器内产生具有消毒作用的等离子体的等离子体生成机构构成的等离子体消毒装置，其特征是，

上述压力调整机构具备压力控制部，该压力控制部在上述等离子体生成时，将上述真空容器内的压力每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而加压。

另外，上述规定的压力间隔优选设为10Pa～1kPa的范围内的值。

另外，上述压力调整机构优选具备真空泵、配置于上述真空容器及上述真空泵之间的排气通路内的将上述排气通路开闭的通路开闭部。

另外，上述通路开闭部优选由断流阀构成。

另外，上述规定的气体优选由氧气构成。

根据本发明的消毒方法及等离子体消毒装置，将真空容器内的压力如下调整，即，每隔规定的压力间隔地设置加压区间及恒压待机区间而加压。这样，就可以在恒压待机区间中充分地产生起到消毒作用的粒子，另一方面，可以在加压区间产生压力差，使等离子体内产生急剧的流动。所以，就可以有效地生成具有消毒作用的等离子体，并且即使是具有内腔部的被消毒体，也可以使具有消毒作用的等离子体到达内腔部的深部，从而可以进行有效的消毒处理。

附图说明

图1是表示本实施方式的阶段性的压力变化与时间的关系的概念图。

图2是用于说明实施例的消毒方法的流程图。

图3是实施例1的等离子体消毒装置的概略图。

图4是表示实施例1的阶段性的压力变化与时间的关系的时间图。

图5是实施例2的等离子体消毒装置的概略图。

图6是表示以往申请中的压力变化与时间的关系的概念图。

图7是示意性地表示实施例1(比较例)的CI的变化的图。

图8是示意性地表示实施例2(实施例(a))的CI的变化的图。

图9是示意性地表示实施例3(实施例(b))的CI的变化的图。

图10是示意性地表示实施例4(实施例(c))的CI的变化的图。

其中，1  真空容器，2  减压机构，3  氧气供给机构，4  放电等离子体生成机构，5  压力控制部，21  真空泵，22  排气通路，23调整阀，31  氧气泵，32  供给管，33  调整阀，41  电极，42  电源部，43  频率切换部，45  同轴电缆，100  等离子体消毒装置

具体实施方式

下面将对本发明的具体的实施方式依照消毒方法、等离子体消毒装置的顺序进行说明。

<消毒方法>

本实施方式的消毒方法是将收纳有规定的消毒对象物(例如医疗器具等)的真空容器内减压至规定压力，其后使规定的气体流入真空容器内，通过生成具有消毒作用的等离子体来进行消毒的方法，此时，将生成了等离子体后的真空容器内的压力如下调整，即，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而阶段性地加压。这样就可以提高消毒的效果。图1是表示了上述的阶段性的压力变化与时间的关系的概念图。即，如图1所示，在将真空容器内暂时地减压至例如3Pa后，进行阶段性的加压，直至例如10kPa，再次减压至3Pa，将该循环在90分钟内重复进行。通过如此操作，就会在恒压待机区间中产生起到消毒作用的粒子(由于一般来说认为是自由基，因此以下也称作自由基。但是，并不限定于自由基，是指包括例如活性种等其他的与等离子体相关地生成的起到消毒作用的全部粒子的意思。)，并且通过在加压区间使等离子体中产生由压力差造成的急剧的流动，而可以有效地生成具有消毒作用的等离子体，并且可以使该粒子流入至被消毒体的深部，从而可以进行充分的消毒，特别是对于内腔部(例如一端封闭了的管状的物体)等的头端内壁部分也可以进行可靠的消毒处理。

而且，通过将规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值，就可以提高该粒子向被消毒体的深部的流入。

这里，对于加压区间的压力与时间的关系，如果将该加压区间的压力的变化量设为Δp(Pa)，将时间的变化量设为Δt(秒)，则作为斜率的Δp/Δt优选设为10Pa/秒～10kPa/秒的范围内。而且，该斜率既可以对全部的加压区间都设为相同的数值，也可以对每个加压区间分别适当地设定。

而且，通过将恒压待机区间设为0.3～10秒，就可以有效地产生该粒子。将下限设为0.3秒是考虑到现在的真空装置中所用的阀等的响应速度的做法，另一方面，通过将上限设为10秒，就可以可靠地确保加压区间中的向被消毒体中的等离子体流入的次数。基于此种观点，更优选将恒压待机区间设为0.5～3秒。而且，虽然在考虑了现在的真空装置中所用的阀等的响应速度后，要求将恒压待机区间设为0.3秒以上，然而当然并不限定于此，可以与阀等的响应速度的提高对应地将恒压待机区间设为小于0.3秒(但是，是能够充分地产生起到消毒作用的粒子的期间)。

下面，对于将上述的规定的气体中的具有消毒作用的等离子体(自由基)导入作为被消毒体的内腔管内而进行消毒处理的情况，将使用几个式子来说明本实施方式的优点。

首先，作为被消毒体准备在半径r、长度L的内腔管的一端侧连接了半径4r、长度L/5的封闭了的圆筒管的物体。这里，r、L例如分别被设为2mm、50mm。将该被消毒体配置于消毒器的小室内的规定场所，暂时地减压至规定压力，例如3Pa，该状态下，导入规定的气体，直至达到例如10kPa。

在上述导入规定的气体的过程中，形成在该被消毒体的内腔管内伴随着压力的上升而气体连续地流入的状态。这里，在将每单位时间的压力的变化设为ΔP1(P1＝>P2)的情况下，如果将与ΔP1对应地移动的气体的移动距离设为ΔN1(N1＝>N2)，例如设为10mm，则每单位时间流入的气体的体积就成为以下式(1)表示的值。

[数1]

${\&Integral;}_{N1}^{N2}{\&Integral;}_{-r}^{+r}\sqrt{(r^2-X^2)}\mathrm{drdX}----------\left(1\right)$

这里，在将气体流入的单位时间设为1秒，将气体设为O₂的情况下，由于氧自由基的寿命约为0.1秒，因此即使有与连续的压力的变化对应地连续的氧自由基的流入，从该被消毒体的内腔管的开口部起的氧自由基的流入距离也至多不过是(N1→N2)/10。所以，氧自由基的流入体积就成为以下式(2)表示的值，无论经过多少时间都是恒定的。

[数2]

${\&Integral;}_{N1/10}^{N2/10}{\&Integral;}_{-r}^{+r}\sqrt{(r^2-X^2)}\mathrm{drdX}----------\left(2\right)$

这里，在未使氧自由基到达被消毒体的内腔管的深部的情况下，需要将每单位时间的压力的变化ΔP1设定得更快。

即，如果使每单位时间的压力的变化ΔP1例如加快到10倍地变化，则与之相伴地气体的移动距离ΔN1也会变成10倍的长度。这样，每单位时间的气体的移动体积也会像以下式(3)表示那样变为10倍。

[数3]

$10{\&Integral;}_{N1/10}^{N2/10}{\&Integral;}_{-r}^{+r}\sqrt{(r^2-X^2)}\mathrm{drdX}----------\left(3\right)$

另外，与之成比例地氧自由基的移动体积也会像以下式(4)表示那样变成10倍。

[数4]

${\&Integral;}_{N1}^{N2}{\&Integral;}_{-r}^{+r}\sqrt{(r^2-X^2)}\mathrm{drdX}----------\left(4\right)$

但是，由于氧自由基是电离了的电子与分子碰撞而产生的，因此在氧分子与电子碰撞而变成自由基前的期间，需要置于该环境下，如果该期间不够充分，则即使在等离子体环境内也无法获得足够的自由基，流入被消毒体的内腔管的气体就不会成为氧自由基，而是变为普通的氧分子。即，如果将压力变化速度设为10倍，则会形成并未充分地产生氧自由基的状态下的气体的流入。简而言之，会产生如下的问题，即，在设为充分地产生氧自由基的压力变化速度的情况下，氧自由基的到达距离就会变短，相反，在为了延长氧自由基的到达距离而加快了压力变化速度的情况下，则不会充分地产生氧自由基。

所以，本实施方式的方法中，利用如下的巧妙的方法来解决上述问题，即，在压力变化过程中，交互地设置不使压力变化的恒压待机区间和使压力急剧地变化的加压区间，在恒压待机区间中产生足够的量的自由基，而在压力急剧地变化的加压区间中使自由基流入被消毒体的内腔管的深部。这样，由于上述的自由基的流入体积是以(2)式表示的，因此即使像以(4)式表示那样变为10倍，也可以将自由基导入被消毒体的内腔管的深部，可靠地进行被消毒体的消毒处理。

<等离子体消毒装置>

本实施方式的等离子体消毒装置由真空容器、利用气体流量及/或真空泵的排气量来调整上述真空容器内的压力的压力调整机构、使规定的气体流入上述真空容器内的气体供给机构、使上述真空容器内产生具有消毒作用的等离子体的等离子体生成机构构成。这里，通过利用压力调整机构对生成了等离子体后的真空容器内的压力如下调整，即，每隔规定的压力间隔，设置加压区间及恒压待机区间，阶段性地加压，就可以提高消毒的效果。而且，调整压力的压力调整机构具备CPU和储存规定的压力调整程序的存储器。

而且，通过将规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值，就可以提高该粒子向被消毒体的深部的流入。

而且，如果将该加压区间的压力的变化值设为Δp(Pa)，将时间的变化量设为Δt(秒)，则作为斜率的Δp/Δt优选设为10Pa/秒～10kPa/秒的范围内。而且，该斜率既可以在全部的加压区间中设为相同的数值，也可以对每隔加压区间分别适当地设定。

而且，通过在真空容器与真空泵之间的排气通路内，具备将该排气通路开闭的断流阀，就可以更为容易地进行真空容器内的压力调整。

这里，本申请中所用的所谓“消毒”是指进行了消毒处理后的总菌数与进行消毒处理之前的总菌数相比变为10^-6倍以下的处理。而且，对于“消毒”的此种定义也与消毒保证的指南(日本医科器械学会：2005年9月发行)的内容一致。

但是，本申请发明人在日本特愿2004—203419号(平成16年7月9日提出)中提出过等离子体消毒装置。其内容是，在将真空装置内的氧气变成等离子体后，将氧气的压力从3Pa加压至10kPa，其后减压至3Pa，将该加压减压循环重复进行数次，在这一点上与本实施方式的内容是共同的。图6中表示该加压减压循环的概念图。其结果是，与以往的方法相比可以提高消毒的效率。

但是，在日本特愿2004—203419号记载的方法和本实施方式的方法中，在3Pa～10kPa的加压时是否设置恒压待机区间这一点上具有决定性的构成上的差异。在像日本特愿2004—203419号记载的方法那样，不设置恒压待机区间的情况下，就会持续地在等离子体内产生流动，起到消毒作用的粒子(自由基)的产生不够充分。与之不同，本实施方式的方法中，通过设置多次恒压待机区间，间歇地制成流动小的状态，而使起到消毒作用的粒子(自由基)更多，并且可以持续地产生，与此同时，在恒压待机区间与恒压待机区间之间设置使压力急剧地上升的加压区间而使等离子体内产生急剧的流动，可以使起到消毒作用的粒子(自由基)快速地流入被消毒体内，因此消毒的效果大幅度提高。

这可以认为，虽然起到消毒作用的粒子(自由基)总是在产生，但是在短时间内就会消灭，因此大半的该粒子很难到达被消毒体的深部，由此，十分重要的是，像本实施方式那样通过设置恒压待机区间，而更多地产生该粒子，并且通过设置急剧地进行加压处理的加压区间，而在等离子体内产生急剧的流动。

而且，日本特愿2004—203419号记载的方法是利用电气性放电等离子体进行消毒，而本实施方式中也最好利用电气性放电来生成等离子体。

另外，以往，在等离子体消毒装置中，还已知有交互地并且周期性地呈现低压区间和高压区间地进行压力变化的技术，然而该情况下的压力变化与本实施方式中的交互地设置加压区间及恒压待机区间来进行有效的消毒处理的方法相比，无论是其目的还是构成都是完全不同的。

实施例

以下，将使用具体的实施例，对本发明的消毒方法及等离子体消毒装置进行进一步说明。在任何的实施例中，都满足上述的“消毒”的定义。

<消毒方法的实施例>

使用图2的流程图对本实施例的消毒方法进行说明。

首先，将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压(S100)。判断真空容器内的压力是否到达了3Pa(S102)，如果判断为到达，则将配置于真空容器和真空泵之间的断流阀关闭(S104)。然后，向电极供给高频功率(S106)，持续0.1秒的期间地将氧气导入真空容器内(S108)，其后持续3秒地将压力保持恒定(S110)，判断真空容器内是否到达10kPa(S112)，重复进行S108～S112各步骤，直至到达10kPa。如果真空容器内到达10kPa，则将断流阀打开，将真空容器内减压(S114)，停止高频功率的供给(S116)。从利用S102最初地判断为到达了3Pa的时刻起到经过90分钟，重复进行S100～S118各步骤。经过了90分钟后，则将真空容器内恢复到大气压并取出被消毒体(S120)。通过经过该过程，就可以进行充分的消毒，特别是进行内腔部的可靠的消毒。

而且，导入氧的时间的0.1秒、消毒处理时间的90分钟及作为真空容器内的压力的3Pa～10kPa都并不限定于这些数值，可以适当地选择最佳的值。

例如，上述导入氧的时间可以设定为0.01～1.5秒之间的任意的值。

<等离子体消毒装置的实施例1>

将实施例1的等离子体消毒装置的概略构成表示于图3中。该等离子体消毒装置100具备：收纳成为消毒处理的对象的医疗器具等(未图示)的真空容器1、将真空容器1内减压的减压机构2、向真空容器1内供给氧气的氧气供给机构3、在真空容器1内生成等离子体的放电等离子体生成机构4、控制氧气供给机构3及放电等离子体生成机构4的压力控制部5。减压机构2由将真空容器1内的气体排出的真空泵(旋转泵)21、将真空容器1与真空泵21连通的排气通路22、夹设于排气通路22中的调整气体的排出量的调整阀(例如断流阀)23构成。另外，氧气供给机构3由氧气泵31、将真空容器1和氧气泵31连通的供给管32、夹设于供给管32中而调整氧气的流量的调整阀(例如质量流量控制器)33构成。另外，放电等离子体生成机构4由电极41、向电极41供给高频功率的电源部42、从电源部42向电极41传送功率的同轴电缆45、将从电源部42中输出的高频功率的频率以10kHz和13.56MHz择一地切换的频率切换部43构成。

上述频率切换部43在向电极41供给高频功率之时，在等离子体生成之初将频率设为10kHz，在从此时经过1～2分钟后，将频率切换为13.56MHz。

而且，上述压力控制部5可以控制调整阀(例如断流阀)23，而调整真空容器1内的气体的排气量，并且可以控制调整阀(例如质量流量控制器)33，而调整气体流量。气体流量被设定为达到10～500sccm的值。

图4是表示实施例1(实施例2中也大致相同)的阶段性的压力变化与时间的关系的时间图。即，在如上所述地构成的等离子体消毒装置100的真空容器1内，如图4所示，首先持续0.1秒地导入氧气，持续3秒地使之恒压待机，将该操作重复30秒，使真空容器1内的压力上升至10kPa后，用3分钟再次减压为3Pa。将这些一连串的操作设为1个循环，通过将其重复进行90分钟，就可以进行充分的消毒，特别是可以进行对内腔部的消毒。

而且，导入氧的时间的0.1秒、从10kPa到3Pa的减压时间的3分钟、消毒处理时间的90分钟及作为真空容器1内的压力的3Pa～10kPa都不限定于这些数值，可以适当地选择最佳的值。

<等离子体消毒装置的实施例2>

将实施例2的等离子体消毒装置的概略构成表示于图5中。而且，实施例2的装置中，对于具有与实施例1的要素相同的功能的部分使用相同的符号，省略其详细的说明。

实施例2的等离子体消毒装置100与实施例1的装置相比，电极41的配设位置不同。该电极41被配设为使得由供给管32供给的氧气穿过电极41附近。其结果是，可以进一步促进等离子体生成。

本实施方式中也可以利用如图4所示的阶段性的压力变化，进行充分的消毒，特别是进行对内腔部的消毒。

以上的实施例中，虽然作为等离子体生成机构仅举出了利用电气性放电的机构，然而等离子体生成机构并不限于电气性放电(例如CCP、微波等离子体等)，可以使用各种类型的机构。例如，也可以利用紫外线、放射线、冲击波、热接触等来生成等离子体。

另外，所用的气体并不限于氧，只要是具有氧化作用的活性气体即可，例如可以使用臭氧、二氧化碳、水、氩气等。

另外，被消毒体并不限于医疗器具等那样的无机物，也可以是构成生物体的组织那样的有机物。

另外，作为被消毒体，通过用透过起到消毒作用的粒子(自由基)而不透过细菌的薄片，例如微网薄片(micro mesh sheet)等覆盖而进行消毒处理，在处理后从真空容器1中取出之时，就可以防止外部的细菌再次附着。

另外，电极41的形状并不限于上述的实施例的形状，可以设为其他的形状，例如设为螺线管等形状。

《实验例》

在将在内部插入了CI(化学指示卡)的注射器设于容积为40L(升)的消毒用真空容器内的状态下，向该真空容器内以各种模式导入消毒气体(自由基)，对于各情况测定了由各种消毒气体的影响造成的CI的变化。而且，本来CI是由消毒气体造成的影响越大，则试剂涂布部分的颜色变化(例如从橙色向黄色的变化)的程度就会越大，然而在利用图7～图10表示的CI中，为了方便，将该颜色变化转换为浓度变化而示意性地(为了容易看到而多少加以变更)表示。即，CI的浓度越稀，则表示由消毒气体造成的影响越大。

<实验例1>(比较例)

在将真空容器内的压力降低至10Pa后，导入氧气，直至其压力达到600Pa，再次减压至10Pa，将该作业(2分钟)不设置恒压待机区间地持续120分钟地重复进行。将该情况下的CI的变化后的状态表示于图7中。

<实验例2>(实施例(a))

在将真空容器内的压力降低至10Pa后，交互地设置150msec的氧导入区间和1500msec的恒压待机区间，直至其压力达到600Pa，再次减压至10Pa，将该作业持续120分钟地重复进行。将该情况下的CI的变化后的状态表示于图8中。

<实验例3>(实施例(b))

在将真空容器内的压力降低至10Pa后，交互地设置100msec的氧导入区间和1500msec的恒压待机区间，直至其压力达到600Pa，再次减压至10Pa，将该作业持续120分钟地重复进行。将该情况下的CI的变化后的状态表示于图9中。

<实验例4>(实施例(c))

在将真空容器内的压力降低至10Pa后，交互地设置50msec的氧导入区间和1500msec的恒压待机区间，直至其压力达到600Pa，再次减压至10Pa，将该作业持续120分钟地重复进行。将该情况下的CI的变化后的状态表示于图10中。

<结果>

从以上的各实验例中可以清楚地看到，本实施例的装置与比较例的装置相比，可以使注射器内部的消毒气体的影响更大。

另外，从实施例(a)、(b)、(c)的比较可以清楚地看到，将1次的氧导入区间设为较短的区间，就会由此增加直至到达600Pa的压力前的该氧导入区间的次数，从而可以使消毒气体的影响更大。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

PCT第19条修改声明

权利要求1在原权利要求1中添加“在直至到达规定的压力之前的加压过程中”的特征，明确了本发明的主旨。

在国际检索单位的意见书中指出：“已经确认了权利要求1涉及的发明在等离子体生成的前段、后段“上述真空容器内的压力，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压”的方式。如果考虑文件1的图8的从过氧化氢供给工序到灭菌工序的压力变化，则权利要求1涉及的发明被记载在文件1中。另外，如果考虑文件2的图4-6的从注入阶段到扩散阶段的压力变化，则权利要求1涉及的发明被记载在文件2中。”

但是，该文件1、2所记载方案均不具备“如下调整上述真空容器内的压力，即，在直至到达规定的压力之前的加压过程中，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压”的特征。

本申请的灭菌方法通过具有该特征，可以在恒压待机区间生成起到灭菌作用的粒子，另一方面，可以在加压区间产生压力差，通过由该两个区间形成的循环，可以使等离子体内反复生成急剧的流动。因此，可以有效地生成具有灭菌作用的等离子体。同时，即使是具有内腔部的被灭菌体，也可以使具有灭菌作用的等离子体到达内腔部的深部，从而进行有效的灭菌。

1.一种消毒方法，其中，将规定的被消毒对象物收纳于真空容器内，将上述真空容器内减压至规定压力，使规定的气体流入上述真空容器内，在上述真空容器内生成具有消毒作用的等离子体，一边调整上述真空容器内的压力，一边使用上述所生成的等离子体将上述规定的被消毒对象物消毒，其特征是，

如下调整上述真空容器内的压力，即，在直至到达规定的压力之前的加压过程中，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压。

2.根据权利要求1所述的消毒方法，其特征是，将上述规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值。

3.根据权利要求1或2所述的消毒方法，其特征是，将上述恒压待机区间设为0.3～10秒。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的消毒方法，其特征是，上述规定的气体由氧气构成，上述加压区间分别被设为0.01～1.5秒之间的时间。

5.一种等离子体消毒装置，它是由真空容器、调整上述真空容器内的压力的压力调整机构、使规定的气体流入上述真空容器内的气体供给机构、使上述真空容器内产生具有消毒作用的等离子体的等离子体生成机构构成的等离子体消毒装置，其特征是，

上述压力调整机构具备压力控制部，上述压力控制部在上述等离子体生成时，将上述真空容器内的压力每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压。

6.根据权利要求5所述的等离子体消毒装置，其特征是，将上述规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值。

7.根据权利要求5或6所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述压力调整机构具备真空泵、配置于上述真空容器及上述真空泵之间的排气通路内的将上述排气通路开闭的通路开闭部。

8.根据权利要求7所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述通路开闭部由断流阀构成。

9.根据权利要求5～8中任意一项所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述规定的气体由氧气构成。

Claims (9)

1.一种消毒方法，其中，将规定的被消毒对象物收纳于真空容器内，将上述真空容器内减压至规定压力，使规定的气体流入上述真空容器内，在上述真空容器内生成具有消毒作用的等离子体，一边调整上述真空容器内的压力，一边使用上述所生成的等离子体将上述规定的被消毒对象物消毒，其特征是，

如下调整上述真空容器内的压力，即，每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压。

2.根据权利要求1所述的消毒方法，其特征是，将上述规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值。

3.根据权利要求1或2所述的消毒方法，其特征是，将上述恒压待机区间设为0.3～10秒。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的消毒方法，其特征是，上述规定的气体由氧气构成，上述加压区间分别被设为0.01～1.5秒之间的时间。

5.一种等离子体消毒装置，它是由真空容器、调整上述真空容器内的压力的压力调整机构、使规定的气体流入上述真空容器内的气体供给机构、使上述真空容器内产生具有消毒作用的等离子体的等离子体生成机构构成的等离子体消毒装置，其特征是，

上述压力调整机构具备压力控制部，上述压力控制部在上述等离子体生成时，将上述真空容器内的压力每隔规定的压力间隔设置加压区间及恒压待机区间而进行加压。

6.根据权利要求5所述的等离子体消毒装置，其特征是，将上述规定的压力间隔设为10Pa～1kPa的范围内的值。

7.根据权利要求5或6所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述压力调整机构具备真空泵、配置于上述真空容器及上述真空泵之间的排气通路内的将上述排气通路开闭的通路开闭部。

8.根据权利要求7所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述通路开闭部由断流阀构成。

9.根据权利要求5～8中任意一项所述的等离子体消毒装置，其特征是，上述规定的气体由氧气构成。

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