JPH04310884A - 超伝導磁力計 - Google Patents
超伝導磁力計Info
- Publication number
- JPH04310884A JPH04310884A JP3076387A JP7638791A JPH04310884A JP H04310884 A JPH04310884 A JP H04310884A JP 3076387 A JP3076387 A JP 3076387A JP 7638791 A JP7638791 A JP 7638791A JP H04310884 A JPH04310884 A JP H04310884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- squid
- superconducting
- magnetometer
- background
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 7
- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 abstract description 24
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000005668 Josephson effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005358 geomagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は超伝導量子干渉素子（
Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ
Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ，以後略
してＳＱＵＩＤと呼ぶ）を用いた高感度な磁力計の動作
安定化に関するものである。
Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ
Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖｉｃｅ，以後略
してＳＱＵＩＤと呼ぶ）を用いた高感度な磁力計の動作
安定化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の超伝導磁力計の一実施例を
示す構成図である。図中、１はＳＱＵＩＤ、２は支持棒
、３はフランジ、４は冷媒容器、５は冷媒、６は冷媒容
器４に設けられた冷媒注入口である。７はＳＱＵＩＤ１
と電気的に接続したプリアンプ、８は駆動電子回路であ
る。ここでは支持棒２とフランジ３を用いてＳＱＵＩＤ
１を冷媒容器４内に固定する場合を示した。
示す構成図である。図中、１はＳＱＵＩＤ、２は支持棒
、３はフランジ、４は冷媒容器、５は冷媒、６は冷媒容
器４に設けられた冷媒注入口である。７はＳＱＵＩＤ１
と電気的に接続したプリアンプ、８は駆動電子回路であ
る。ここでは支持棒２とフランジ３を用いてＳＱＵＩＤ
１を冷媒容器４内に固定する場合を示した。
【０００３】図４はＳＱＵＩＤ１の一実施例を示す構成
図であり、図中、９は基板、１０はＮｂ薄膜から成る超
伝導リング、１１は超伝導リング１０の端部を覆うＰｂ
とＩｎの合金から成る電極、１２、１３は超伝導リング
１０と電極１１との間に位置する２個のジョセフソン素
子である。１４、１５は超伝導リング１０と電極１１と
の間に位置し、ジョセフソン素子１２、１３に対して電
気的に並列に設けられたＡｕから成るシャント抵抗であ
る。超伝導リング１０、電極１１、ジョセフソン素子１
２、１３、シャント抵抗１４、１５はいずれも基板９上
に形成される。
図であり、図中、９は基板、１０はＮｂ薄膜から成る超
伝導リング、１１は超伝導リング１０の端部を覆うＰｂ
とＩｎの合金から成る電極、１２、１３は超伝導リング
１０と電極１１との間に位置する２個のジョセフソン素
子である。１４、１５は超伝導リング１０と電極１１と
の間に位置し、ジョセフソン素子１２、１３に対して電
気的に並列に設けられたＡｕから成るシャント抵抗であ
る。超伝導リング１０、電極１１、ジョセフソン素子１
２、１３、シャント抵抗１４、１５はいずれも基板９上
に形成される。
【０００４】次に動作について説明する。背景磁界中に
て冷媒注入口６から液体ヘリウム等の冷媒を注入して冷
却し、ＳＱＵＩＤ１を超伝導状態に転移させる。この時
、超伝導リング１０と電極１１とにより構成される超伝
導ループにおけるフラクソイドの量子化条件と、２つの
ジョセフソン素子１２、１３における直流ジョセフソン
効果とにより、ＳＱＵＩＤ１の端子Ａ−Ｂ間に電位差を
生じることなく流すことの出来る超伝導電流の最大値Ｉ
ｍ は、上記超伝導ループを貫く検知磁束Φの関数とな
る。
て冷媒注入口６から液体ヘリウム等の冷媒を注入して冷
却し、ＳＱＵＩＤ１を超伝導状態に転移させる。この時
、超伝導リング１０と電極１１とにより構成される超伝
導ループにおけるフラクソイドの量子化条件と、２つの
ジョセフソン素子１２、１３における直流ジョセフソン
効果とにより、ＳＱＵＩＤ１の端子Ａ−Ｂ間に電位差を
生じることなく流すことの出来る超伝導電流の最大値Ｉ
ｍ は、上記超伝導ループを貫く検知磁束Φの関数とな
る。
【０００５】超伝導リング１０のインダクタンスＬｓ
の存在を無視し、Ｌｓ ＝０とみなすと、ΦとＩｍ と
の関係は式（１）のようになり、Ｉｍ はΦに対して磁
束量子Φ０ （＝２．０７×１０−１５ Ｗｂ）を周期
として変化する。 Ｉｍ ＝２Ｉｃ ｜ｃｏｓ（Φ／Φ０ ）π｜
…（１）
の存在を無視し、Ｌｓ ＝０とみなすと、ΦとＩｍ と
の関係は式（１）のようになり、Ｉｍ はΦに対して磁
束量子Φ０ （＝２．０７×１０−１５ Ｗｂ）を周期
として変化する。 Ｉｍ ＝２Ｉｃ ｜ｃｏｓ（Φ／Φ０ ）π｜
…（１）
【０００６】ここでＩｃ はジョセフソン
素子１２、１３それぞれの臨界電流値である。Ｌｓ の
値は実際には数１０ｐＨ〜数ｎＨの値であるため、Ｉｍ
とΦとの関係は式（１）からずれ、Ｉｍ の最小値は
零にはならないが、この場合にもＩｍ はΦ０ を周期
として変化する。上記のようなＩｍ の変化に対応して
ＳＱＵＩＤ１の電流−電圧（Ｉ−Ｖ）特性も又、Φ０
を周期として変化する。
素子１２、１３それぞれの臨界電流値である。Ｌｓ の
値は実際には数１０ｐＨ〜数ｎＨの値であるため、Ｉｍ
とΦとの関係は式（１）からずれ、Ｉｍ の最小値は
零にはならないが、この場合にもＩｍ はΦ０ を周期
として変化する。上記のようなＩｍ の変化に対応して
ＳＱＵＩＤ１の電流−電圧（Ｉ−Ｖ）特性も又、Φ０
を周期として変化する。
【０００７】５図（ａ）は上記のようなＳＱＵＩＤのＩ
−Ｖ特性を示すものであり、式（２），式（３）の時に
それぞれ曲線Ｃ、Ｄのようになり、Φの値に応じてこの
間を連続して変化する。ただし、ｎは整数であり、５図
中、Ｉｍ１、Ｉｍ２はそれぞれ式（２）、式（３）の時
の超伝導電流である。
−Ｖ特性を示すものであり、式（２），式（３）の時に
それぞれ曲線Ｃ、Ｄのようになり、Φの値に応じてこの
間を連続して変化する。ただし、ｎは整数であり、５図
中、Ｉｍ１、Ｉｍ２はそれぞれ式（２）、式（３）の時
の超伝導電流である。
【０００８】
【数１】
【０００９】次にＩｍ１より若干大きな直流バイアス電
流Ｉｂ を流して端子Ａ−Ｂ間の電位差をΦに対して測
定すると、図５（ｂ）のようなΦ０ を周期とした振幅
Ｖｓ１の出力電圧が得られる。
流Ｉｂ を流して端子Ａ−Ｂ間の電位差をΦに対して測
定すると、図５（ｂ）のようなΦ０ を周期とした振幅
Ｖｓ１の出力電圧が得られる。
【００１０】次にプリアンプ７を用いて上記のようなＳ
ＱＵＩＤ１の出力電圧を増幅した後に駆動電子回路８に
伝達し、入力磁束の変化量に比例した出力電圧を得る。 駆動電子回路８はＦＬＬ（Ｆｌｕｘ−ｌｏｃｋｅｄ
ｌｏｏｐ）回路と呼ばれる公知のものでありその動作は
例えば、Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉ
ｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ、１９８４年、第５５巻、第９
５２〜９５７ページに記載されている。
ＱＵＩＤ１の出力電圧を増幅した後に駆動電子回路８に
伝達し、入力磁束の変化量に比例した出力電圧を得る。 駆動電子回路８はＦＬＬ（Ｆｌｕｘ−ｌｏｃｋｅｄ
ｌｏｏｐ）回路と呼ばれる公知のものでありその動作は
例えば、Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉ
ｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ、１９８４年、第５５巻、第９
５２〜９５７ページに記載されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来の超伝導磁力計は
上記のように構成されており、ＳＱＵＩＤ１が背景磁界
を直接受けながら超伝導に転移するため、背景磁界が例
えば地磁気程度の比較的強い磁界の場合には６図に示す
ように磁束をジョセフソン素子１２、１３の中に捕えて
しまうことがあった。
上記のように構成されており、ＳＱＵＩＤ１が背景磁界
を直接受けながら超伝導に転移するため、背景磁界が例
えば地磁気程度の比較的強い磁界の場合には６図に示す
ように磁束をジョセフソン素子１２、１３の中に捕えて
しまうことがあった。
【００１２】これは“磁束トラップ”とよばれる現象で
あり、捕えられた磁束の近傍（図７に斜線で示した領域
）では超伝導リング１０と電極１１との間に超伝導電流
が流れないため、式（２），式（３）の時の超伝導電流
Ｉｍ３、Ｉｍ４が８図（ａ）に示すように正常時と比べ
て減少する。
あり、捕えられた磁束の近傍（図７に斜線で示した領域
）では超伝導リング１０と電極１１との間に超伝導電流
が流れないため、式（２），式（３）の時の超伝導電流
Ｉｍ３、Ｉｍ４が８図（ａ）に示すように正常時と比べ
て減少する。
【００１３】その結果、磁束−電圧特性が図８（ｂ）の
ようになり、電力電圧の振幅Ｖｓ２が正常時のＶｓ１に
比べて小さくなり、測定感度が低下してしまうという難
点があった。極端な場合にはＶｓ２が零となり、磁力計
として動作しないこともあった。
ようになり、電力電圧の振幅Ｖｓ２が正常時のＶｓ１に
比べて小さくなり、測定感度が低下してしまうという難
点があった。極端な場合にはＶｓ２が零となり、磁力計
として動作しないこともあった。
【００１４】この発明は、上記のような難点を解決する
ためになされたもので、磁束トラップが生じることなく
確実に動作する超伝導磁力計を得ることを目的とする。
ためになされたもので、磁束トラップが生じることなく
確実に動作する超伝導磁力計を得ることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる超伝導
磁力計は、超伝導転移時にＳＱＵＩＤに加わる磁界を測
定する背景磁界測定磁力計と、電流源と、ＳＱＵＩＤに
加わる磁界を打消す磁界発生コイルとを備えたものであ
る。
磁力計は、超伝導転移時にＳＱＵＩＤに加わる磁界を測
定する背景磁界測定磁力計と、電流源と、ＳＱＵＩＤに
加わる磁界を打消す磁界発生コイルとを備えたものであ
る。
【００１６】
【作用】この発明に係わる超伝導磁力計は、背景磁界測
定磁力計が背景磁界を測定する。次に電流源は背景磁界
測定磁力計の出力に応じた電流を磁界発生コイルに流し
、ＳＱＵＩＤの位置における磁界強度を零、又は、零に
近い値に減少させる。その状態においてＳＱＵＩＤを冷
却して超伝導に転移させ、磁束トラップすることの無い
確実な動作を得る。
定磁力計が背景磁界を測定する。次に電流源は背景磁界
測定磁力計の出力に応じた電流を磁界発生コイルに流し
、ＳＱＵＩＤの位置における磁界強度を零、又は、零に
近い値に減少させる。その状態においてＳＱＵＩＤを冷
却して超伝導に転移させ、磁束トラップすることの無い
確実な動作を得る。
【００１７】
【実施例】実施例１
図１はこの発明による超伝導磁力計の一実施例を示す構
成図であり、図中、１〜８は従来の実施例と同じもので
ある。１６、１７、１８は背景磁界測定磁力計であり、
一例としてフラックスゲート磁力計である。背景磁界測
定磁力計１６、１７、１８はそれぞれセンサ部１９、２
０、２１と駆動部２２，２３，２４から構成される。２
５、２６、２７はそれぞれ背景磁界測定磁力計１６、１
７、１８に接続した電流源、２８、２９、３０はそれぞ
れ電流源２５、２６、２７に接続した磁界発生コイルで
ある。３１は磁界発生コイル２８、２９、３０をＳＱＵ
ＩＤ１の周囲に固定するための固体枠である。ＳＱＵＩ
Ｄ１、背景磁界測定磁力計１６、１７、１８、磁界発生
コイル２８、２９、３０の相対的な位置関係は固定され
ている。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ磁界発
生コイル２８、２９、３０の巻き線の一実施例を示す図
であり、磁界発生コイル２８、２９、３０をそれぞれヘ
ルムホルツコイルで構成した場合を示した。磁界発生コ
イル２８、２９、３０が発生する磁界の方向は、それぞ
れ背景磁界測定磁力計２５、２６、２７の感度軸と一致
する。
成図であり、図中、１〜８は従来の実施例と同じもので
ある。１６、１７、１８は背景磁界測定磁力計であり、
一例としてフラックスゲート磁力計である。背景磁界測
定磁力計１６、１７、１８はそれぞれセンサ部１９、２
０、２１と駆動部２２，２３，２４から構成される。２
５、２６、２７はそれぞれ背景磁界測定磁力計１６、１
７、１８に接続した電流源、２８、２９、３０はそれぞ
れ電流源２５、２６、２７に接続した磁界発生コイルで
ある。３１は磁界発生コイル２８、２９、３０をＳＱＵ
ＩＤ１の周囲に固定するための固体枠である。ＳＱＵＩ
Ｄ１、背景磁界測定磁力計１６、１７、１８、磁界発生
コイル２８、２９、３０の相対的な位置関係は固定され
ている。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ磁界発
生コイル２８、２９、３０の巻き線の一実施例を示す図
であり、磁界発生コイル２８、２９、３０をそれぞれヘ
ルムホルツコイルで構成した場合を示した。磁界発生コ
イル２８、２９、３０が発生する磁界の方向は、それぞ
れ背景磁界測定磁力計２５、２６、２７の感度軸と一致
する。
【００１８】次にこの発明による超伝導磁力計の動作に
ついて説明する。まず、背景磁界測定磁力計１６、１７
、１８を用いてＳＱＵＩＤ１周囲の背景磁界の３成分を
測定する。ここで例えば背景磁界測定磁力計１６、１７
、１８の測定値をそれぞれ＋ＨＸ、＋ＨＹ、＋ＨＺとす
ると、電流源２５、２６、２７から磁界発生コイル２８
、２９、３０にそれぞれ電流を流し、ＳＱＵＩＤ１の位
置においてそれぞれ−ＨＸ、−ＨＹ、−ＨＺの磁界を発
生し、磁界の３成分を打消す。背景磁界測定磁力計１６
、１７、１８を用いて測定した磁界の３成分の値と、磁
界発生コイル２８、２９、３０に流す電流の大きさ、方
向との関係はＳＱＵＩＤ１と磁界発生コイル２８、２９
、３０との位置関係からあらかじめ求めておいた値を用
いる。上記のようにしてＱＵＩＤ１周囲の背景磁界を打
消した状態で冷媒注入口６から液体ヘリウム等の冷媒を
注入してＳＱＵＩＤ１を冷却し、磁束トラップすること
なく超伝導に転移させる。以後の動作は従来の場合と同
じである。
ついて説明する。まず、背景磁界測定磁力計１６、１７
、１８を用いてＳＱＵＩＤ１周囲の背景磁界の３成分を
測定する。ここで例えば背景磁界測定磁力計１６、１７
、１８の測定値をそれぞれ＋ＨＸ、＋ＨＹ、＋ＨＺとす
ると、電流源２５、２６、２７から磁界発生コイル２８
、２９、３０にそれぞれ電流を流し、ＳＱＵＩＤ１の位
置においてそれぞれ−ＨＸ、−ＨＹ、−ＨＺの磁界を発
生し、磁界の３成分を打消す。背景磁界測定磁力計１６
、１７、１８を用いて測定した磁界の３成分の値と、磁
界発生コイル２８、２９、３０に流す電流の大きさ、方
向との関係はＳＱＵＩＤ１と磁界発生コイル２８、２９
、３０との位置関係からあらかじめ求めておいた値を用
いる。上記のようにしてＱＵＩＤ１周囲の背景磁界を打
消した状態で冷媒注入口６から液体ヘリウム等の冷媒を
注入してＳＱＵＩＤ１を冷却し、磁束トラップすること
なく超伝導に転移させる。以後の動作は従来の場合と同
じである。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ＳＱ
ＵＩＤ周囲の磁界強度を零、または零に近い値にした状
態でＳＱＵＩＤを超伝導に転移させるので、磁束トラッ
プすることなく確実に動作する超伝導磁力計が得られる
効果がある。
ＵＩＤ周囲の磁界強度を零、または零に近い値にした状
態でＳＱＵＩＤを超伝導に転移させるので、磁束トラッ
プすることなく確実に動作する超伝導磁力計が得られる
効果がある。
【図１】この発明による超伝導磁力計の一実施例の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】磁界発生コイルの一実施例の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】従来の超伝導磁力計の一実施例の構成を示す図
である。
である。
【図４】ＳＱＵＩＤの一実施例の構成を示す図である。
【図５】ＳＱＵＩＤの正常時の電流−電圧特性と磁束−
電圧特性を示す図である。
電圧特性を示す図である。
【図６】磁束トラップの様子を示す図である。
【図７】磁束トラップの様子を示す図である。
【図８】ＳＱＵＩＤの磁束トラップ時の電流−電圧特性
と磁束−電圧特性を示す図である。
と磁束−電圧特性を示す図である。
１ ＳＱＵＩＤ
４ 冷媒容器
７ プリアンプ
８ 駆動電子回路
１６ 背景磁界測定磁力計
１７ 背景磁界測定磁力計
１８ 背景磁界測定磁力計
２５ 電流源
２６ 電流源
２７ 電流源
２８ 磁界発生コイル
２９ 磁界発生コイル
３０ 磁界発生コイル
Claims (1)
- 【請求項１】 超伝導量子干渉素子と、上記超伝導量
子干渉素子を収納する冷媒容器と、上記超伝導量子干渉
素子の出力を増幅するプリアンプと、上記超伝導量子干
渉素子を駆動し所望の出力を得る駆動電子回路と、背景
磁界測定磁力計と、上記超伝導量子干渉素子の周囲に配
置した磁界発生コイルと、上記背景磁界測定磁力計の出
力に応じて上記磁界発生コイルに電流を供給する電流源
とから構成されることを特徴とする超伝導磁力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076387A JPH04310884A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 超伝導磁力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076387A JPH04310884A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 超伝導磁力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310884A true JPH04310884A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13603922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076387A Pending JPH04310884A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 超伝導磁力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04310884A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216424A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Kobe Steel Ltd | 磁石位置測定方法および磁場測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0225776A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 磁力計 |
| JPH02108986A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 超電導量子干渉計 |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP3076387A patent/JPH04310884A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0225776A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 磁力計 |
| JPH02108986A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 超電導量子干渉計 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216424A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Kobe Steel Ltd | 磁石位置測定方法および磁場測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3518184B2 (ja) | 検出コイル一体型ｓｑｕｉｄ | |
| JPH03264874A (ja) | 高感度磁束計 | |
| JPH083520B2 (ja) | 超伝導磁気検出装置 | |
| JPH04310884A (ja) | 超伝導磁力計 | |
| Foglietti et al. | Performance of a flux locked series SQUID array | |
| JPH10242537A (ja) | 超伝導量子干渉素子 | |
| JP3000226B2 (ja) | 校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JPH05232202A (ja) | ソフトウェアグラディオメータ | |
| Erne’ | SQUID sensors | |
| Gudoshnikov et al. | Relaxation-oscillation-driven dc SQUIDs | |
| KR19980063875A (ko) | 자기 센서용 전압 증폭 회로 및 자기 센서 동작 회로 | |
| JPH01217981A (ja) | 超電導量子干渉素子 | |
| JPH08236824A (ja) | 直流駆動型超伝導量子干渉素子 | |
| JP3156396B2 (ja) | 差動型ｓｑｕｉｄ磁束計及びこれを用いた生体磁場計測装置 | |
| JPH08220201A (ja) | 超伝導量子干渉計 | |
| JPH0943328A (ja) | 超電導磁気検出装置 | |
| JP2613559B2 (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JP2552250B2 (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JP2604326B2 (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JPH06324130A (ja) | Ｓｑｕｉｄセンサ装置 | |
| JPS6332384A (ja) | 磁界検出装置 | |
| JPH044555B2 (ja) | ||
| JP2902007B2 (ja) | 磁束検出装置 | |
| JPH0654347B2 (ja) | 磁束計 | |
| JPH01129178A (ja) | スキッド磁束計 |