JP3000226B2 - 校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents
校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計Info
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば医療用、地下資源探索用、等の応用が
可能な高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子（SQ
UID:Superconducting Quantum Inter−ference Devic
e）に関するものである。
可能な高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子（SQ
UID:Superconducting Quantum Inter−ference Devic
e）に関するものである。
本発明は、一枚のシリコン基板上にSQUID本体、入力
コイル、検出コイルと帰還変調コイルを薄膜で作製し、
集積化したSQUID磁束計にさらに、感度校正用のコイル
を検出コイルの周辺に作製し、一体化したSQUID磁束計
に関する。
コイル、検出コイルと帰還変調コイルを薄膜で作製し、
集積化したSQUID磁束計にさらに、感度校正用のコイル
を検出コイルの周辺に作製し、一体化したSQUID磁束計
に関する。
SQUID磁束計は薄膜集積技術が進んできたことによ
り、ジョセフソンジャンクションが作製し易くなった。
そのため近年、ジョセフソンジャクションを１個要する
rf−SQUID磁束計よりも２桁ほど感度が良い。ジョセフ
ソンジャンクションを２個要するdc−SQUID磁束計の開
発が盛んに行われている。薄膜で作製したSQUID磁束計
は、一枚のシリコン基板上にSQUID本体、入力コイル、
検出コイルと帰還変調コイルを薄膜で集積したものであ
る。このように薄膜で作製し、一体化したSQUID磁束計
は外部信号とSQUID本体の結合効率が良い。サーマ
ルサイクルに対する信頼性が高い。コンパクトであ
る。寸法精度の良い検出コイルの作製が可能。多チ
ャンネル化が容易である。等の利点を有している。
り、ジョセフソンジャンクションが作製し易くなった。
そのため近年、ジョセフソンジャクションを１個要する
rf−SQUID磁束計よりも２桁ほど感度が良い。ジョセフ
ソンジャンクションを２個要するdc−SQUID磁束計の開
発が盛んに行われている。薄膜で作製したSQUID磁束計
は、一枚のシリコン基板上にSQUID本体、入力コイル、
検出コイルと帰還変調コイルを薄膜で集積したものであ
る。このように薄膜で作製し、一体化したSQUID磁束計
は外部信号とSQUID本体の結合効率が良い。サーマ
ルサイクルに対する信頼性が高い。コンパクトであ
る。寸法精度の良い検出コイルの作製が可能。多チ
ャンネル化が容易である。等の利点を有している。
今までの感度校正の方法としては、マグネトメータお
よび超伝導線をボビン型に巻いたグラジオメータの場合
は、検出コイル軸方向の磁場（Bz）を検出するものであ
るから、検出コイルの下に磁場発生用のコイルを置いて
感度校正を行っていた。同一平面上に検出コイルを持つ
平面型グラジオメータの場合は、均一な磁場勾配を作る
必要があるためソレノイドコイルを使用した。グラジオ
メータとソレノイドコイルは、ソレノイドコイルの中心
と２個の平面型グラジオメータの検出コイルが一直線上
に並ぶように設置し、ソレノイドコイルとグラジオメー
タとの間隔は、数十cm離間し、均一な磁場勾配を作って
測定を行っていた。このとき外部磁場を遮蔽するために
磁気シールドルームの中で測定を行った。
よび超伝導線をボビン型に巻いたグラジオメータの場合
は、検出コイル軸方向の磁場（Bz）を検出するものであ
るから、検出コイルの下に磁場発生用のコイルを置いて
感度校正を行っていた。同一平面上に検出コイルを持つ
平面型グラジオメータの場合は、均一な磁場勾配を作る
必要があるためソレノイドコイルを使用した。グラジオ
メータとソレノイドコイルは、ソレノイドコイルの中心
と２個の平面型グラジオメータの検出コイルが一直線上
に並ぶように設置し、ソレノイドコイルとグラジオメー
タとの間隔は、数十cm離間し、均一な磁場勾配を作って
測定を行っていた。このとき外部磁場を遮蔽するために
磁気シールドルームの中で測定を行った。
検出コイルとSQUID本体を薄膜技術で一体化したSQUID
磁束計の感度校正の方法は、上記のように磁場発生用コ
イル、均一磁場勾配発生用コイル（ソレノイドコイル）
を必要とし、しかも高価で装備の大掛かりな設備である
磁気シールドルームを必要とする問題点があった。
磁束計の感度校正の方法は、上記のように磁場発生用コ
イル、均一磁場勾配発生用コイル（ソレノイドコイル）
を必要とし、しかも高価で装備の大掛かりな設備である
磁気シールドルームを必要とする問題点があった。
本発明は、磁気シールドルームやソレノイドコイルを
用いずとも簡単な設備、液体Heの中のNb管中で、感度校
正ができる方法を提供することを目的としている。
用いずとも簡単な設備、液体Heの中のNb管中で、感度校
正ができる方法を提供することを目的としている。
本発明は上記のような課題を解決するために、一枚の
シリコン基板上にSQUID本体、入力コイル、検出コイル
と帰還変調コイルを薄膜で集積化したSQUID磁束計にさ
らに、感度校正用のコイルを検出コイルの周辺に備えた
構成とした。
シリコン基板上にSQUID本体、入力コイル、検出コイル
と帰還変調コイルを薄膜で集積化したSQUID磁束計にさ
らに、感度校正用のコイルを検出コイルの周辺に備えた
構成とした。
上記のような感度校正用のコイルを検出コイルの周辺
に備えた構成にすることにより、磁気シールドルームや
ソレノイドコイルを用いずとも簡単な設備、Nb管の中
で、感度校正の測定をすることが可能である。
に備えた構成にすることにより、磁気シールドルームや
ソレノイドコイルを用いずとも簡単な設備、Nb管の中
で、感度校正の測定をすることが可能である。
以下に本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は、薄膜技術を用いてSQUID本体１と検出コイ
ル2,入力コイル3,変調帰還コイル4,校正用コイル５を一
枚のシリコン基板上に集積した一次微分平面型DC−SQUI
Dグラジオメータの構成図である。２個の検出コイル２
を直列に接続することにより一様磁場を除去する構造を
とっている。入力コイル３と検出コイル２は閉回路に形
成された磁束トランスである。２個の検出コイル２の近
傍に感度校正用の磁場発生コイル５を作製する。感度校
正するときだけ両コイルの端子を接続し、そのとき以外
は、ノイズ発生の原因になるためオープンにしておく。
一つの磁場発生用コイルには正の電流を流し、もう片方
の磁場発生用コイルには負の電流を流すことによって、
それぞれ逆方向の磁束を作り、磁場勾配を作製する。こ
のとき電流はともに等量の電流値（数十mmA）を与え
る。第２図に磁場勾配と検出コイルの相関図を示す。こ
のことは、感度校正用コイルを別に作製し、検出コイル
の近傍、上下に設置しても同様の効果が得られる。ま
た、高次の平面型グラジオメータにおいても同様の効果
が得られる。
ル2,入力コイル3,変調帰還コイル4,校正用コイル５を一
枚のシリコン基板上に集積した一次微分平面型DC−SQUI
Dグラジオメータの構成図である。２個の検出コイル２
を直列に接続することにより一様磁場を除去する構造を
とっている。入力コイル３と検出コイル２は閉回路に形
成された磁束トランスである。２個の検出コイル２の近
傍に感度校正用の磁場発生コイル５を作製する。感度校
正するときだけ両コイルの端子を接続し、そのとき以外
は、ノイズ発生の原因になるためオープンにしておく。
一つの磁場発生用コイルには正の電流を流し、もう片方
の磁場発生用コイルには負の電流を流すことによって、
それぞれ逆方向の磁束を作り、磁場勾配を作製する。こ
のとき電流はともに等量の電流値（数十mmA）を与え
る。第２図に磁場勾配と検出コイルの相関図を示す。こ
のことは、感度校正用コイルを別に作製し、検出コイル
の近傍、上下に設置しても同様の効果が得られる。ま
た、高次の平面型グラジオメータにおいても同様の効果
が得られる。
第３図は、薄膜技術を用いてSQUID本体１と検出コイ
ル2,入力コイル3,変調帰還コイル4,校正用コイル５を一
枚のシリコン基板上に集積したDC−SQUIDマグネットメ
ータの構成図である。校正用コイル５に電流を流すこと
によって、磁束を作り、その磁束によって感度校正を行
う。このことは、感度校正用コイルを別に作製し、検出
コイル２の近傍、または上下に設置しても同様の効果が
得られる。
ル2,入力コイル3,変調帰還コイル4,校正用コイル５を一
枚のシリコン基板上に集積したDC−SQUIDマグネットメ
ータの構成図である。校正用コイル５に電流を流すこと
によって、磁束を作り、その磁束によって感度校正を行
う。このことは、感度校正用コイルを別に作製し、検出
コイル２の近傍、または上下に設置しても同様の効果が
得られる。
以上説明したように本発明によれば、一枚のシリコン
基板上にSQUID本体、入力コイル、検出コイルと帰還変
調コイルを薄膜で集積化したSQUID磁束計にさらに、感
度校正用のコイルを検出コイルの周辺に備えることによ
り、磁気シールドルームやソレノイドコイルを用いずと
も簡単な設備、Nb管の中で、感度校正の測定を行うこと
ができる。
基板上にSQUID本体、入力コイル、検出コイルと帰還変
調コイルを薄膜で集積化したSQUID磁束計にさらに、感
度校正用のコイルを検出コイルの周辺に備えることによ
り、磁気シールドルームやソレノイドコイルを用いずと
も簡単な設備、Nb管の中で、感度校正の測定を行うこと
ができる。
第１図は本発明による一次微分平面型グラジオメータの
構成図、第２図は磁場勾配と一部微分平面型グラジオメ
ータの検出コイルの相関図、第３図は本発明によるDC−
SQUIDマグネトメータの構成図である。 １……SQUID本体 ２……検出コイル ３……入力コイル ４……変調帰還コイル ５……校正用コイル
構成図、第２図は磁場勾配と一部微分平面型グラジオメ
ータの検出コイルの相関図、第３図は本発明によるDC−
SQUIDマグネトメータの構成図である。 １……SQUID本体 ２……検出コイル ３……入力コイル ４……変調帰還コイル ５……校正用コイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 浩一 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイ コー電子工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−250775（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−313784（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−281170（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−163994（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 33/035 H01L 39/22
Claims (2)
- 【請求項１】一枚のシリコン基板上にSQUID本体、入力
コイル、直列に接続され、かつ、並列する２個の検出コ
イル、帰還変調コイル、及び２個の感度校正用磁場発生
コイルを共に薄膜で作成した一次微分平面型DC−SQUID
磁束計であって、前記感度校正用磁場発生コイルは前記
検出コイルの両側に各１個配置され、検出コイルに対し
磁場勾配を持つことを特徴とする校正用コイル付SQUID
磁束計。 - 【請求項２】前記感度校正用磁場発生コイルは、各々２
個の端子を有し、感度校正する時だけ両コイルの端子を
接続し、それ以外はオープンにしておく事を特徴とする
請求項１記載の校正用コイル付SQUID磁束計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2106094A JP3000226B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2106094A JP3000226B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045588A JPH045588A (ja) | 1992-01-09 |
| JP3000226B2 true JP3000226B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=14424954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2106094A Expired - Fee Related JP3000226B2 (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 校正用コイル付ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3000226B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07311249A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Chodendo Sensor Kenkyusho:Kk | 超伝導薄膜ピックアップコイル |
| CN1331850C (zh) * | 2005-05-20 | 2007-08-15 | 广东省农业科学院畜牧研究所 | 氯代二甲基噻亭的用途 |
| JP4715681B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2011-07-06 | 宇部興産株式会社 | 極薄銅箔積層フィルムの製造方法、移送方法 |
| JP2010006071A (ja) * | 2009-08-21 | 2010-01-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 表面処理銅箔、キャリア付き極薄銅箔、フレキシブル銅張積層板及びポリイミド系フレキシブルプリント配線板 |
| CN105891755B (zh) * | 2016-02-25 | 2018-07-03 | 吉林大学 | 航空器挂载式磁通门磁梯度张量仪的校正方法 |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2106094A patent/JP3000226B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045588A (ja) | 1992-01-09 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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