JPS6332384A - 磁界検出装置 - Google Patents
磁界検出装置Info
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- JPS6332384A JPS6332384A JP17553386A JP17553386A JPS6332384A JP S6332384 A JPS6332384 A JP S6332384A JP 17553386 A JP17553386 A JP 17553386A JP 17553386 A JP17553386 A JP 17553386A JP S6332384 A JPS6332384 A JP S6332384A
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、磁界検出装置、特に高感度磁気センサとし
て好適なＳＱＵＩＤ （Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎ
ｇＱｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖ
ｉ’ｃｅ ） （直流駆動型超伝導量子干渉装置）を用
いた高ＳＮ比の磁界検出装置に関するものである。
て好適なＳＱＵＩＤ （Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎ
ｇＱｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ Ｄｅｖ
ｉ’ｃｅ ） （直流駆動型超伝導量子干渉装置）を用
いた高ＳＮ比の磁界検出装置に関するものである。
第３図は例えば、Ｉ ＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃ ｔｉｏ
ｎｓ ｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓ ＥＤ−ｕ
７ 、１ｇ９Ａ （アイ・イー・イー・イー トランザ
クションズ オン エレクトロン デバイダ 第＝７巻
、第１ｔ９６頁’）ＣＩ９１０’）に示された従来のＳ
ＱＵＩＤを用いた磁界検出装置を示すものであシ、磁界
検出コイルには一例としてＪｏｕｒｐａｌ ｏｆ Ａｐ
ｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ ＶｏＬ Ｌ２．４１０
。
ｎｓ ｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓ ＥＤ−ｕ
７ 、１ｇ９Ａ （アイ・イー・イー・イー トランザ
クションズ オン エレクトロン デバイダ 第＝７巻
、第１ｔ９６頁’）ＣＩ９１０’）に示された従来のＳ
ＱＵＩＤを用いた磁界検出装置を示すものであシ、磁界
検出コイルには一例としてＪｏｕｒｐａｌ ｏｆ Ａｐ
ｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ ＶｏＬ Ｌ２．４１０
。
Ｓｅｐｔｍｂｅｒ ／９７／ 、第３６ｇ２頁（ジャー
ナル オンアプライド フィジックス 第１Ｉ２巻、第
１０号。
ナル オンアプライド フィジックス 第１Ｉ２巻、第
１０号。
／ｑ７／年９月、り３１．ｒコ頁）に示された一次微分
型磁界検出コイルを備えた場合を示している。
型磁界検出コイルを備えた場合を示している。
図において、（１）は磁界検出コイル、（コ）は磁界検
出コイル（１）と接続して７つの超伝導閉ループを形成
する入力コイル、（３）は入力コイル（コ）と磁気的に
結合され、超伝導リング内に二個のジョセフソン接合を
有する５ＱＵＩＤ、（りは出力電圧検出回路（６）の出
力端子に接続され、Ｓ Ｑ ＩＪ Ｉ Ｄ （３）に磁
気的に結合された帰還コイル、（５）は５ＱＵＩＤ（３
）に接続された電流源、（６）は５ＱＵＩＤ （３）
ｃｖ出力端の電圧を検出する出力電圧検出回路、（４）
は出力電圧検出回路（６）の出力端子と帰還コイル（り
との間に設けた帰還抵抗である。第グ図は出力電圧検出
回路の一例を示すものである。図において、（ｇ）は超
伝導コイル、（テ）はコンデンサ、（１０）は超伝導コ
イル（１）とコンデンサ（？）とから構成されるＬＣ共
振回路の出力側に接続された前置増幅器、（／／）は前
置増幅器（１０）に接続される位相検波器（ロックイン
アンプ）、（／コ）は位相検波器（／／）に接続される
変調信号発生器、（／３）は変調信号発生器（／コ）に
接続されるコンデンサである。なお、磁界検出コイル（
１）、入力コイル（コ） 、５ＱＴＴＩＤ （ｙ） 、
帰還コイル（ｔＩ）、超伝導コイル（Ｓ：）、コンデン
サ（デ）を液体ヘリウム温度（１１，２Ｋ）程度の極低
温に冷却し、超伝導状態で動作させるものである。
出コイル（１）と接続して７つの超伝導閉ループを形成
する入力コイル、（３）は入力コイル（コ）と磁気的に
結合され、超伝導リング内に二個のジョセフソン接合を
有する５ＱＵＩＤ、（りは出力電圧検出回路（６）の出
力端子に接続され、Ｓ Ｑ ＩＪ Ｉ Ｄ （３）に磁
気的に結合された帰還コイル、（５）は５ＱＵＩＤ（３
）に接続された電流源、（６）は５ＱＵＩＤ （３）
ｃｖ出力端の電圧を検出する出力電圧検出回路、（４）
は出力電圧検出回路（６）の出力端子と帰還コイル（り
との間に設けた帰還抵抗である。第グ図は出力電圧検出
回路の一例を示すものである。図において、（ｇ）は超
伝導コイル、（テ）はコンデンサ、（１０）は超伝導コ
イル（１）とコンデンサ（？）とから構成されるＬＣ共
振回路の出力側に接続された前置増幅器、（／／）は前
置増幅器（１０）に接続される位相検波器（ロックイン
アンプ）、（／コ）は位相検波器（／／）に接続される
変調信号発生器、（／３）は変調信号発生器（／コ）に
接続されるコンデンサである。なお、磁界検出コイル（
１）、入力コイル（コ） 、５ＱＴＴＩＤ （ｙ） 、
帰還コイル（ｔＩ）、超伝導コイル（Ｓ：）、コンデン
サ（デ）を液体ヘリウム温度（１１，２Ｋ）程度の極低
温に冷却し、超伝導状態で動作させるものである。
従来の磁界検出装置は上記のように構成され、磁界検出
コイル（１）と入力コイル（ニ）は超伝導閉ループを形
成しているため、磁界検出コイル（１）Ｋ信号磁界が加
わると、超伝導閉ループ内の磁束の保存則に従ってこの
閉ループ内に電流が流れ、入力コイル（２）を用いて５
ＱｒＴより（３）に信号が伝達される。５ＱＴＴＩＤ（
Ｊ）は電流源（３）忙よって定電流バイアスされておシ
、また、変調信号発生器（／コ）で発生した周波数ｆ、
の変調信号が帰還コイル（りを用いて印加される。一方
、超伝導コイル（ざ）とコンデンサ（ワ）から構成され
るＬＣ共振回路の共振周波数はｆ、に設定しておシ、Ｓ
ＱＵＩＤ（、？）の出力電圧のｆ、の周波数成分が増幅
される。この出力電圧はさらに前置増幅器（１０）で増
帛された後、位相検波器（／／）を用いて周波数ｆ、で
位相検波される。位相検波器（／／）の出力は帰還抵抗
（４）を流れる電流として帰還コイル（４）を用いて５
ＱＴＴＩＤ（３）にフィードバックされる。以上の動作
により、磁界検出コイル（１）に印加された信号磁界を
位相検波器（／／）の出力電圧Ｖ として検出するこ
ｕｔ とができる。この動作はＳＱτＴよりを用いた磁界検出
装置、特に直流電流で駆動するＤＣ−３ＱＴｒより
の−船釣な駆動方法であシ、公知のものである。このよ
うな駆動方法は、例えば、Ｊｏｕｎａｌ ｏｆ ＬＯＶ
ＩＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｐｈｙｓｉｃｓ 、２左、
９り（／９７ａ） （ジャーナルオン ロー テムペ
ラチュアー フィジックス。
コイル（１）と入力コイル（ニ）は超伝導閉ループを形
成しているため、磁界検出コイル（１）Ｋ信号磁界が加
わると、超伝導閉ループ内の磁束の保存則に従ってこの
閉ループ内に電流が流れ、入力コイル（２）を用いて５
ＱｒＴより（３）に信号が伝達される。５ＱＴＴＩＤ（
Ｊ）は電流源（３）忙よって定電流バイアスされておシ
、また、変調信号発生器（／コ）で発生した周波数ｆ、
の変調信号が帰還コイル（りを用いて印加される。一方
、超伝導コイル（ざ）とコンデンサ（ワ）から構成され
るＬＣ共振回路の共振周波数はｆ、に設定しておシ、Ｓ
ＱＵＩＤ（、？）の出力電圧のｆ、の周波数成分が増幅
される。この出力電圧はさらに前置増幅器（１０）で増
帛された後、位相検波器（／／）を用いて周波数ｆ、で
位相検波される。位相検波器（／／）の出力は帰還抵抗
（４）を流れる電流として帰還コイル（４）を用いて５
ＱＴＴＩＤ（３）にフィードバックされる。以上の動作
により、磁界検出コイル（１）に印加された信号磁界を
位相検波器（／／）の出力電圧Ｖ として検出するこ
ｕｔ とができる。この動作はＳＱτＴよりを用いた磁界検出
装置、特に直流電流で駆動するＤＣ−３ＱＴｒより
の−船釣な駆動方法であシ、公知のものである。このよ
うな駆動方法は、例えば、Ｊｏｕｎａｌ ｏｆ ＬＯＶ
ＩＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｐｈｙｓｉｃｓ 、２左、
９り（／９７ａ） （ジャーナルオン ロー テムペ
ラチュアー フィジックス。
第２３巻、第９ｑ号、／９７４）に詳しく説明がある。
磁界検出コイル（１）は互いに逆向きに直列に接続され
、等しいインダクタンスを有する一つの超伝導ループか
ら構成されておシ、第３図中、２方向について空間的に
一様な磁界には感度を持たない。すなわち、雑音源が信
号源に対して十分遠方に位置する場合にはＳＮ比の良い
信号を得ることが出来る。
、等しいインダクタンスを有する一つの超伝導ループか
ら構成されておシ、第３図中、２方向について空間的に
一様な磁界には感度を持たない。すなわち、雑音源が信
号源に対して十分遠方に位置する場合にはＳＮ比の良い
信号を得ることが出来る。
上記のような従来の磁界検出装置では、磁界検出コイル
（１）を構成する２つの超伝導ループのインダクタンス
を非常に精度良く一致させねばならないので、超伝導線
を円筒上に巻くなどの通常の手段では精度が悪く、雑音
を拾うためにＳＮ比が悪くなるという問題点があった。
（１）を構成する２つの超伝導ループのインダクタンス
を非常に精度良く一致させねばならないので、超伝導線
を円筒上に巻くなどの通常の手段では精度が悪く、雑音
を拾うためにＳＮ比が悪くなるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、磁界検出コイルを構成する２ツノ超伝導ルー
プのインダクタンスのアンバランスによυ生じる雑音を
打ち消し、ＳＮ比の良い信号を得ることのできる磁界検
出装置を得ることな目的とする。
たもので、磁界検出コイルを構成する２ツノ超伝導ルー
プのインダクタンスのアンバランスによυ生じる雑音を
打ち消し、ＳＮ比の良い信号を得ることのできる磁界検
出装置を得ることな目的とする。
この発明に係る磁界検出装置は、補償用５ＱＴＴＩＤ磁
界検出装置で検出した雑音成分を利得可変増幅器、可変
抵抗等を用いて適当な大きさの電流に変換し、磁界検出
コイルが検出した雑音を打ち消すように帰還コイルに注
入するようにしたものである。
界検出装置で検出した雑音成分を利得可変増幅器、可変
抵抗等を用いて適当な大きさの電流に変換し、磁界検出
コイルが検出した雑音を打ち消すように帰還コイルに注
入するようにしたものである。
この発明においては、補償用ＳＱτＴＩＤ磁界検出装置
が雑音磁界を検出し、利得可変増幅器や可変抵抗を用い
て雑音磁界の大きさに比例した電流に変換し、この変換
によって得られた電流は帰還コイルに注入されて、磁界
検出コイルが検出した雑音磁界を打ち消す。
が雑音磁界を検出し、利得可変増幅器や可変抵抗を用い
て雑音磁界の大きさに比例した電流に変換し、この変換
によって得られた電流は帰還コイルに注入されて、磁界
検出コイルが検出した雑音磁界を打ち消す。
第１図はこの発明の一実施例による磁界検出装置の概略
図であり、（１）〜（７）は上記従来装置と同一のもの
であシ、出力電圧検出回路（６）の構成要素も又、第１
図に示した上記従来装置の（ｆｆ）〜（／３）と同一の
ものである。図において、（／４ｔ）は入力コイルに）
に接続され磁界の雑音成分を検出する雑音磁界検出コイ
ル、（１５）は補償用５ＱＴＴＩＤ磁界検出装置の出力
電圧検出回路（Ａ）の出力端子に接続された利得可変増
幅器、（／Ａ）は利得可変増幅器（ｉｓ）の出力端子と
３ Ｑ ＴＪ Ｉ Ｄ磁界検出装置の帰還コイル（りと
の間に接続された可変抵抗である。磁界検出コイル（１
）と雑音磁界検出コイル（ハ０の向きは同一方向である
。また、第１図では一例として、磁界検出コイル（１）
と雑音磁界検出コイル（ハ０が２方向を向いている場合
を示した。一般に、外部からの雑音の影響を受けずにＳ
ｕτ丁ＩＤを正常に動作させるために入力コイル（２）
、８０１丁ＩＤ（、？）、帰還コイル（す、超伝導コイ
ル（ｇ）、コンデンサ（９）は超伝導シールドを施され
ている。
図であり、（１）〜（７）は上記従来装置と同一のもの
であシ、出力電圧検出回路（６）の構成要素も又、第１
図に示した上記従来装置の（ｆｆ）〜（／３）と同一の
ものである。図において、（／４ｔ）は入力コイルに）
に接続され磁界の雑音成分を検出する雑音磁界検出コイ
ル、（１５）は補償用５ＱＴＴＩＤ磁界検出装置の出力
電圧検出回路（Ａ）の出力端子に接続された利得可変増
幅器、（／Ａ）は利得可変増幅器（ｉｓ）の出力端子と
３ Ｑ ＴＪ Ｉ Ｄ磁界検出装置の帰還コイル（りと
の間に接続された可変抵抗である。磁界検出コイル（１
）と雑音磁界検出コイル（ハ０の向きは同一方向である
。また、第１図では一例として、磁界検出コイル（１）
と雑音磁界検出コイル（ハ０が２方向を向いている場合
を示した。一般に、外部からの雑音の影響を受けずにＳ
ｕτ丁ＩＤを正常に動作させるために入力コイル（２）
、８０１丁ＩＤ（、？）、帰還コイル（す、超伝導コイ
ル（ｇ）、コンデンサ（９）は超伝導シールドを施され
ている。
上記のように構成された磁界検出装置においては、磁界
検出コイル（１）が互いに逆向きに直列に接続された２
つの超伝導ループから構成されているために、第１図の
ように座標を定めると、磁界の２成分ＢｚのＺ方向の一
次以上の空間的な変化率ａＢｚ７ 、ａ’ＢＺｙ、、
、・・・・に対して感度を持つこθＺ とになる。従って、信号源が近距離にあり、雑音源が遠
距離にあれば、雑音源が発生する磁界は一様であるため
に打も消されて信号成分のみを取シ出すことが出来る。
検出コイル（１）が互いに逆向きに直列に接続された２
つの超伝導ループから構成されているために、第１図の
ように座標を定めると、磁界の２成分ＢｚのＺ方向の一
次以上の空間的な変化率ａＢｚ７ 、ａ’ＢＺｙ、、
、・・・・に対して感度を持つこθＺ とになる。従って、信号源が近距離にあり、雑音源が遠
距離にあれば、雑音源が発生する磁界は一様であるため
に打も消されて信号成分のみを取シ出すことが出来る。
一方、雑音磁界検出コイル（／ｌｌ）は磁１．ＯＺ成分
Ｂｚを獲え、補償用５ＱＴｒＩＤ磁界検出装置内の出力
電圧検出回路（６）の出力端子に磁界のＺ成分Ｂｚに比
例した出力電圧ｖｚを出力する。利得可変増幅器（／！
ｒ）の利得をＡ、出力インピーダンス”０ｕｔ ＊可変
抵抗（ハ０の抵抗値をＲとすると、電圧Ｖｚは なる電流工２に変換された後、Ｓ Ｑ Ｔ丁Ｉ Ｄ磁界
検出装置の帰還コイル（ダ）に注入される。実際にはａ
つの超伝導ループのインダクタンスが完全には一致し、
でいないために磁界検出コイル（１）は磁界のＺ方向Ｂ
ｚに対しても感度を持つことになり、雑音磁界は５ＱＵ
ＩＤ磁界検出装置の５ＱＴＴＩＤ（、？）に伝達される
が、利得Ａ及び抵抗Ｒを変化させることによシエ、の大
きさや向きを調整し、磁界検出コイル（１）が検出した
雑音磁界を打ち消し、ＳＮ比の良い出力信号Ｖ。ｕｔが
得られる。
Ｂｚを獲え、補償用５ＱＴｒＩＤ磁界検出装置内の出力
電圧検出回路（６）の出力端子に磁界のＺ成分Ｂｚに比
例した出力電圧ｖｚを出力する。利得可変増幅器（／！
ｒ）の利得をＡ、出力インピーダンス”０ｕｔ ＊可変
抵抗（ハ０の抵抗値をＲとすると、電圧Ｖｚは なる電流工２に変換された後、Ｓ Ｑ Ｔ丁Ｉ Ｄ磁界
検出装置の帰還コイル（ダ）に注入される。実際にはａ
つの超伝導ループのインダクタンスが完全には一致し、
でいないために磁界検出コイル（１）は磁界のＺ方向Ｂ
ｚに対しても感度を持つことになり、雑音磁界は５ＱＵ
ＩＤ磁界検出装置の５ＱＴＴＩＤ（、？）に伝達される
が、利得Ａ及び抵抗Ｒを変化させることによシエ、の大
きさや向きを調整し、磁界検出コイル（１）が検出した
雑音磁界を打ち消し、ＳＮ比の良い出力信号Ｖ。ｕｔが
得られる。
なお、上記実施例では、利得可変増幅器（／Ｓ）、可変
抵抗（１６）の両方を用いて電流工、を調節する場合に
ついて説明したが、利得可変増幅器（／３）の利得を固
定するか、可変抵抗（／６）を固定抵抗に置き換えるか
して、いずれか一方で電流工、を調整してもよい。
抵抗（１６）の両方を用いて電流工、を調節する場合に
ついて説明したが、利得可変増幅器（／３）の利得を固
定するか、可変抵抗（／６）を固定抵抗に置き換えるか
して、いずれか一方で電流工、を調整してもよい。
第２図は上記補償用３ＱＴＴより磁界検出装置をＸ軸１
Ｙ軸、２軸の３つの軸方向に配質した場合の実施例を示
す図であシ、図において、（／７） 、 （／ざ）。
Ｙ軸、２軸の３つの軸方向に配質した場合の実施例を示
す図であシ、図において、（／７） 、 （／ざ）。
（／４）はそれぞれＸ軸、ｙ軸、２軸方向の雑音磁界検
出コイル、（，２０） 、 にｌ） 、 （２，２）は
それぞれＸ軸。
出コイル、（，２０） 、 にｌ） 、 （２，２）は
それぞれＸ軸。
ｙ軸、２軸方向の利得可変増幅器、（２，、？） 、
（−ケ）。
（−ケ）。
（コヨ）はそれぞれＸ軸、ｙ軸、２軸方向の可変抵抗で
ある。この場合には、磁界検出コイル（１）が検出する
雑音磁界のＸ軸、ｙ軸、２軸方向の３成分について雑音
の消去が行なえるために、より高いＳＮ比を実現するこ
とが出来る。
ある。この場合には、磁界検出コイル（１）が検出する
雑音磁界のＸ軸、ｙ軸、２軸方向の３成分について雑音
の消去が行なえるために、より高いＳＮ比を実現するこ
とが出来る。
また、上記説明では直流電流で駆動されるＤＣ−８ＱＴ
７ＩＤを使用する場合について説明したが、交流電流で
駆動されるＲＦ−８Ｑｒ７ＺＤ を用いる場合にも、
この動作は同じである。
７ＩＤを使用する場合について説明したが、交流電流で
駆動されるＲＦ−８Ｑｒ７ＺＤ を用いる場合にも、
この動作は同じである。
この発明は以上説明したとおりに補償用ＳＱτＴＩＤ磁
界検出装置を用いて雑音磁界を検出し、この雑音磁界で
もって池のＳ Ｑ ｒＴ Ｉ Ｄ磁界検出装置が検出し
た雑音磁界を打ち消すようにされているために。
界検出装置を用いて雑音磁界を検出し、この雑音磁界で
もって池のＳ Ｑ ｒＴ Ｉ Ｄ磁界検出装置が検出し
た雑音磁界を打ち消すようにされているために。
磁界検出コイルを構成する２つの超伝導ループのインダ
クタンスが完全に等しくなくてもＳＮ比の良い信号を得
られる効果がある。
クタンスが完全に等しくなくてもＳＮ比の良い信号を得
られる効果がある。
第１図は二の発明の一実施例による磁界検出装置の概略
図、第２図はこの発明の池の実施例による磁界検出装置
の概略図、第３図は従来の磁界検出装置の概略図、第９
図は第３図における出力電圧検出回路（ル）の内部構成
回路図である。 図において、（、ｌ）・・磁界検出コイル、（コ）・・
入力コイル、（３）・・ＳΦてＴＩＤ、（ｌＩ）・・メ
１還コイル、（５）・・電流源、（６）・・出力電圧検
出回路、（７）・・帰還抵抗、（ハ０・・雑音磁界検出
コイル、 （／ｒ）・・利得可変増幅器、（／ｌ）・
・可変抵抗、（／７） 、 （７ｇ） 、 （／デ）・
・それぞれＸ軸。 ｙ軸、２軸方向の雑音磁界検出コイル、（ＸＯ）。 Ｃ２／） 、 （−一）・・それぞれＸ軸、ｙ軸、Ｚ軸
方向の利得可変増幅器、（コＪ） 、 （２す、（コＳ
）・・それぞれＸ軸、ｙ軸１ｚ軸方向の可変抵抗である
。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 、１□′−７゛ 代理人 曾 我 道 照・５−、：そ。 氾１図 帛２図
図、第２図はこの発明の池の実施例による磁界検出装置
の概略図、第３図は従来の磁界検出装置の概略図、第９
図は第３図における出力電圧検出回路（ル）の内部構成
回路図である。 図において、（、ｌ）・・磁界検出コイル、（コ）・・
入力コイル、（３）・・ＳΦてＴＩＤ、（ｌＩ）・・メ
１還コイル、（５）・・電流源、（６）・・出力電圧検
出回路、（７）・・帰還抵抗、（ハ０・・雑音磁界検出
コイル、 （／ｒ）・・利得可変増幅器、（／ｌ）・
・可変抵抗、（／７） 、 （７ｇ） 、 （／デ）・
・それぞれＸ軸。 ｙ軸、２軸方向の雑音磁界検出コイル、（ＸＯ）。 Ｃ２／） 、 （−一）・・それぞれＸ軸、ｙ軸、Ｚ軸
方向の利得可変増幅器、（コＪ） 、 （２す、（コＳ
）・・それぞれＸ軸、ｙ軸１ｚ軸方向の可変抵抗である
。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 、１□′−７゛ 代理人 曾 我 道 照・５−、：そ。 氾１図 帛２図
Claims (4)
- （１）磁界検出コイルと、前記磁界検出コイルと接続し
て１つの超伝導閉ループを形成する入力コイルと、前記
入力コイルと磁気的に結合したＳＱＵＩＤと、前記ＳＱ
ＵＩＤと磁気的に結合した帰還コイルと、前記ＳＱＵＩ
Ｄと接続する電流源と、前記ＳＱＵＩＤの出力電圧を検
出する出力電圧検出回路と、前記出力電圧検出回路の出
力端子と前記帰還コイルとの間に設けた帰還抵抗と、か
ら構成されるＳＱＵＩＤ磁界検出装置と、前記ＳＱＵＩ
Ｄ磁界検出装置と同じ構成要素を有し、前記磁界検出コ
イルの代りに雑音磁界検出コイルを有する補償用ＳＱＵ
ＩＤ磁界検出装置と、前記補償用ＳＱＵＩＤより磁界検
出装置の出力電圧検出回路の出力端子に接続された利得
可変増幅器と、前記利得可変増幅器の出力端子と前記Ｓ
ＱＵＩＤ磁界検出装置の前記帰還コイルとの間に接続さ
れた可変抵抗と、を備えていることを特徴とする磁界検
出装置。 - （２）前記補償用ＳＱＵＩＤ磁界検出装置と、前記利得
可変増幅器と、可変抵抗と、を少なくとも各２個以上備
えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁界
検出装置。 - （３）前記利得可変増幅器が利得固定増幅によつて置換
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
第２項記載の磁界検出装置。 - （４）前記可変抵抗が固定抵抗によつて置換されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の磁界検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17553386A JPS6332384A (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁界検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17553386A JPS6332384A (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁界検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332384A true JPS6332384A (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=15997734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17553386A Pending JPS6332384A (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁界検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332384A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02193084A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-30 | Fujitsu Ltd | 補正コイル内蔵形ピックアップコイル |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP17553386A patent/JPS6332384A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02193084A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-30 | Fujitsu Ltd | 補正コイル内蔵形ピックアップコイル |
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