JPH0429311Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、クリーンルームや環境試験室等への
恒温恒湿空気を供給するための装置に関するもの
である。

従来技術 この種の装置としては、例えば第２図に示すよ
うに、断熱壁３１によつて囲まれた室内を仕切壁
３２によつて仕切ることにより、電子部品の環境
テストを行う恒温恒湿室３３とシロツコフアン３
５によつて空気が下から上に流れる空気流路３４
とに分画し、仕切壁３２の上端縁と天井面３１ａ
及び下端縁と床面３１ｂとの間に夫々設けられた
間隙から成る空気出口３６、空気入口３７とを通
して、恒温恒湿室と空気流路との間を空気が循環
して流れるように構成されたものが知られてい
る。ここにおいて、恒温恒湿空気供給装置は、空
気流路３４中に、加湿器３８、冷凍機による空気
冷却器３９、電熱ヒータから成る空気加熱器４０
を空気の流れ去る方向にそつて収納したものから
なり、空気出口３６付近に設けられた温度検出器
４２によつて、空気加熱器４０の作動が、又、湿
度検出器４１の信号により、加湿器３８のシーズ
ヒータ３８ａの作動が、夫々コントローラ４４，
４３を介して制御され、恒温恒湿室内の空気が設
定した温度湿度条件を保つように構成されてい
る。

ところで、半導体製造用クリーンルームの場合
のように、恒温恒湿室において、高い精度で湿度
を一定値に保つことが必要とされる場合、第２図
に示すように加湿器３８においては、加湿器３８
の水面が蒸発によつて一定限度まで低下すると、
連通管４５を介して連通する補助水槽４６の水位
も低下して、これをフロート４７が検出し、給水
管４８から所定量だけ給水され、それに伴つて加
湿器３８中に連通管を通して給水が行なわれるよ
うになつており、水が補給される度毎に、加湿器
３８内の水温は大きく変動し、従つて湿度が大き
く乱れると共に、温度低下をも来たす等の欠点が
あつた。このような湿度の乱れは、例えば、半導
体ウエーハヘの現像液の塗布工程等においては、
致命的であり、より高い精度の恒温恒湿空気供給
装置が望まれている。

考案の構成 本考案は、このような事情に対処してなされた
ものであつて、その要旨は、送風機によつて送風
される空気流路中に、空気冷却器と空気加熱器と
を備えると共に該空気流路に開口する加湿器を備
えた恒温恒湿空気供給装置において、加湿器がヒ
ータを夫々内蔵する蒸発水槽とこの蒸発水槽より
下方に設けた補給水槽とから成り、蒸発水槽の下
層と補給水槽の上層とが小径の連通流路を介して
連通すると共に、補給水槽には、蒸発水槽の水位
降下を検知する検知器の信号により給水する給水
手段が設けられており、補給水槽から補給される
水温がほぼ蒸発水槽の温度に近い状態で蒸発水槽
に送り込まれるようにして、加湿量の変動を極め
て小さくしたことを特徴とする恒温恒湿空気供給
装置にある。以下、実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。

第１図は、本考案の一実施例を示す恒温恒湿空
気供給装置であつて、断熱板から成る箱体１内
に、邪魔板１ａ，１ｂを設けて、上下方向に空気
が蛇行する空気流路２を形成し、箱体１の下部に
設けた空気入口１ｃとしての開口部には、送風機
３の吹出口が嵌合して外気が箱体内に送入される
ようになつている。箱体１の側面上部に空気出口
１ｄとして設けられた開口部には、高性能エアフ
イルタ１１が該開口部を塞ぐ形で取り付けられて
いる。箱体１には、側方に突出部１ｅが設けられ
ており、空気入口から送入された空気は、邪魔板
１ａの中途から突出部空間に向けて横方向に伸張
するように設けられた風向板１ｆにそつて迂回し
てから、上下方向に蛇行して流れるが、この風向
板１ｆの下方に、蒸発皿式加湿器４の蒸発水槽４
ａが開口している。

続いて、箱体１の天井部から空気が下に向かつ
て流れる空気流路に、冷凍機による空気冷却器５
が、更に、箱体底面から空気出口１ｄに向かつて
上向きに流れる流路には、電熱ヒータから成る空
気加熱器９が設けられている。１２は、温度検出
器で、その信号は温度制御器１４に入力して空気
加熱器９の動作を制御し、又、１３は湿度検出器
で、その信号は、湿度制御器１５に入力して、加
湿器４の蒸発水槽４ａ、補給水槽４ｂの夫々に設
けられている電熱ヒータ６ａ，６ｂを制御する。
皿状の蒸発水槽４ａとその直下に設けられた円筒
密閉容器からなる補給水槽４ｂとは、小径の連通
管７によつて補給水槽４ｂの上部と蒸発水槽４ａ
の底部とが連通せしめられており、更に補給水槽
４ｂの側面には、給水管１６が接続している。こ
の給水管１６には、電磁開閉弁１７が介設されて
おり、該開閉弁１７は、蒸発水槽４ａと連通する
ように設けられ、且つ、蒸発水槽の水位が所定水
位まで低下するのを検出する検出器としてのレベ
ルスイツチ８の信号によつて、開閉動作する。８
ａは、フロート式のレベルスイツチ８の水面上の
気圧と蒸発水槽の水面直上の気圧とを等しくする
為の均圧管である。

作 用 このような構成から成る上記実施例に係る恒温
恒湿空気供給装置は、送風機３により空気入口１
ｃに入つた空気が、蒸発水槽４ａで加湿され、次
に空気冷却器５で供給空気の露点温度まで冷却さ
れたのち、空気加熱器９によつて、設定温度まで
再加熱され、高性能エアフイルタ１１を通過し
て、所定の温度湿度条件を備えた清浄空気となつ
てクリーンルーム２０中に供給される。そして、
蒸発水槽４ａ内の水位が蒸発によつて次第に降下
し、一定水位以下になると、フロート式レベルス
イツチ８が作動して電磁弁１７を開き、補給水槽
４ｂに給水する。補給水槽４ｂは、密閉槽である
ため、上部の同量の水が、それに伴つて蒸発水槽
４ａの底面から入り、水位を元に戻す。この際、
補給水槽内の水は、蒸発水槽４ａ中のヒータ６ａ
と同時に作動するヒータ６ｂにより加熱されてお
り、しかも、上層の蒸発水槽内の水温とほぼ同温
に加熱されている層の水だけが蒸発水槽に入るの
で、蒸発水槽内の水温の変化は、僅少である。か
くして、蒸発水槽への水の補給に伴なう湿度変
化、温度変化は極めて少ない。

水位検知器としては、フロート式、静電式、そ
の他のレベルスイツチの他、ボールタツプ弁のよ
うな機械式のものでもよい。また、恒温恒湿空気
は、外気を調整して、恒温恒湿室へ送るタイプの
ものを示したが、空気入口、空気出口をダクトを
介して目的空間に接続して、空気を再循環して供
給するものでも何等差し支え無い。又、蒸発水槽
は、加湿皿式のものを示したが、これは、小さく
絞られた蒸気供給開口から必要量の水蒸気を噴出
して空気流路中に供給するタイプのものでもよ
い。

効 果 本考案にかかる装置は、補給水槽中の上層に、
蒸発水槽の水温に近い温度に加熱されている水が
常に準備されており、これが、蒸発水槽の水位低
下が検出されると、細径の連通管を通してゆつく
りと給水されるので、蒸発水槽内の水温の変化
は、極めて小さく、更に、水勢は、細径の連通管
によつて緩和されて入つてくるので、蒸発水槽内
に水流が生じることがなく、蒸発表面層がそのま
ませり上がる状態で水位が上昇するので、加湿状
態に殆ど変化を及ぼさない。かくして、従来のよ
うな給水時において、湿度が、目標値をはさんで
サイクリングするのを、ごく僅かにとどめること
ができ、このことは、又当然温度制御の向上をも
たらし、精度の高い恒温恒湿空気供給装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す説明図であ
る。第２図は、従来技術の一例を示す説明図であ
る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 送風機によつて送風される空気流路中に空気冷
   却器と空気加熱器とを備えると共に該空気流路に
   開口する加湿器を備えた恒温恒湿空気供給装置に
   おいて、加湿器が、夫々ヒータを内蔵する蒸発水
   槽と該蒸発水槽の下方に設けた密閉容器から成る
   補給水槽とによつて構成され、蒸発水槽の下層と
   補給水槽の上層とが小径の連通流路を介して連通
   すると共に補給水槽には蒸発水槽の水位降下を検
   知する検出器からの信号により給水する給水手段
   が設けられていることを特徴とする恒温恒湿空気
   供給装置。