KR101659317B1 - 유체 공급 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치에 유체를 공급하는 유체 공급 장치가 개시되며, 상기 유체공급장치는 외부의 기체가 유입되어, 상기 기체의 온도를 조절하는 온도조절부, 기 기체의 습도를 조절하는 가습조를 구비한 습도조절부; 및 상기 습도조절부로부터 급받은 상기 온도 및 습도가 조절된 기체를 상기 기판 처리 장치로 공급하는 송풍부를 포함하는 기체공급유닛 및 액체의 온도를 조절하여 공급하는 액체공급유닛을 포함하되, 상기 가습조는 공급된 액체가 수용되고, 상기 액체를 가열하는 가습가열부; 및 상기 가습가열부의 상부에 위치하고, 상부면에 하나 이상의 가습홀이 형성되는가습 커버를 포함한다.

Description

유체 공급 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템{Apparutus for supplying fluid and substrate process system having the same}
본원은 유체 공급 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
포토리소그래피(photolithography) 공정은 기판 처리 시스템에 의해 수행된다. 이 같은 공정은 기판 상의 회로 패턴이 미세화됨에 따라, 소자의 특성 및 생산수율이 온도 및 습도에 더욱 민감하게 작용한다. 이로인해, 기판 처리 시스템은, 기판에 대한 포토리소그래피 공정을 수행하는 기판 처리 장치 및 포토리소그래피 공정이 적합한 온도 및 습도에서 수행되도록 기판 처리 장치에 유체를 공급하는 유체 공급 장치로 이루어진다
이때, 유체 공급 장치는 기판 처리 장치의 하측에 위치하며, 유체 공급 장치에서 공급되는 유체는 기판 처리 장치로부터 연장되어 배관을 통해 기판 처리 장치로 공급된다. 또한, 유체 공급 장치는 외부에서 공급되는 기체의 온도 및 습도를 조절하여 기판 처리 장치에 공급하는 기체공급유닛 및 액체를 공급하는 액체공급유닛을 포함한다.
하지만, 종래의 유체 공급 장치는 기체공급유닛 및 액체공급유닛이 각각의 유닛으로 독립적으로 위치하여 공간을 많이 차지하는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 기체공급유닛은 기체의 흐름이 직선형태로 이동되어, 온도 및 습도를 조절하는데 용이하지 못한 문제점이 있었다.
또한, 종래의 가습조는 상부가 완전히 개방되어, 증발되는 액체가 효율적으로 송풍부로 전달되지 못하고, 가습조의 내부에 수용되는 액체가 송풍부로 유입되는 문제점이 있었다(대한민국 특허 공개번호 10-2008-0030434호 참조).
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공간을 효율적으로 사용할 수 있고, 기체의 흐름을 효율적으로 이동할 수 있으며, 송풍기 내로 수분이 진입하는 것을 방지할 수 있는 유체 공급 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 유체 공급 장치는, 외부의 기체가 유입되어, 상기 기체의 온도를 조절하는 온도조절부, 기 기체의 습도를 조절하는 가습조를 구비한 습도조절부; 및 상기 습도조절부로부터 급받은 상기 온도 및 습도가 조절된 기체를 상기 기판 처리 장치로 공급하는 송풍부를 포함하는 기체공급유닛 및 액체의 온도를 조절하여 공급하는 액체공급유닛을 포함하되, 상기 가습조는 공급된 액체가 수용되고, 상기 액체를 가열하는 가습가열부; 및 상기 가습가열부의 상부에 위치하고, 상부면에 하나 이상의 가습홀이 형성되는가습 커버를 포함한다.
한편, 본원의 제2 측면에 따른 기판 처리 시스템은, 기판 처리 장치; 및 본원의 제1 측면에 따른 유체 공급 장치를 포함할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 기체공급유닛을 ‘ㄱ’자 형태로 배치하여, 기체의 흐름을 조절하여 온도 및 습도를 효율적으로 조절할 수 있으며, 빈 공간에 액체공급유닛을 위치시켜 공간효율을 극대화 할 수 있다.
또한, 가습조는 상부면을 포함하는 가습커버를 구비하여, 상부면에 형성된 가습홀을 통해 증발된 액체가 토출됨으로써, 기체를 효율적으로 송풍부로 유입시킬 수 있으며, 가습조에서 송풍기로 수분이 진입되는 것을 차단할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유체 공급 장치 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유체 공급장치 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 다른 가습가열부의 사시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들어 도 1 및 도 2를 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로, 6시 방향이 하측 등이 될 수 있다.
본원은 유체 공급 장치(10) 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
우선, 본원의 일 실시예에 따른 유체공급장치(이하 '본 유체공급장치'라 함)에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유체 공급 장치 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유체 공급 장치 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 정면도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 가습조의 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 다른 가습가열부의 사시도이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 유체 공급 장치(10)는 기판 처리 장치에 필요한 유체를 공급할 수 있다. 또한, 본 유체 공급 장치(10)는 기체공급유닛(11) 및 유체공급유닛(12)을 포함하되, 기체공급유닛(11)은 외부의 기체가 유입되어 기판 처리 장치에서 요구하는 기체의 온도 및 습도를 조절하여 기체를 공급하고, 액체공급유닛(12)은 기판 처리 장치에서 요구하는 액체의 온도를 조절하여 공급할 수 있다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 기체공급유닛(11)는 온도조절부(100), 습도조절부(200), 및 송풍부(300)를 포함한다. 다시 말해, 기체공급유닛(11)으로 공급된 기체는 온도조절부(100), 습도조절부(200), 및 송풍부(300)를 거쳐 기체의 온도와 습도가 조절되어 기판 처리 장치로 공급될 수 있다.
이를 위해, 기체공급유닛(11)은 유입된 기체의 온도를 조절하는 온도조절부(100), 기체의 습도를 조절하는 습도조절부(200), 및 온도 및 습도가 조절된 기체를 기판 처리 장치로 공급하는 송풍부(300)를 포함할 수 있다.
온도조절부(100)는 외부로부터 기체가 유입되는 기체유입구(120) 및 기체의 온도를 조절하는 열교환부(110)를 포함한다.
다시 말해, 기체유입구(120)를 통해 외부로부터 유입된 기체는 열교환부(110)를 통과하면서, 냉각 또는 가열되어 온도가 조절될 수 있다.
또한, 기체유입구(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 온도조절부(100)의 좌측에 위치할 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 하부 또는 측부 중 적어도 하나 이상의 부분에 위치할 수 있다.
습도조절부(200)는 온도조절부(100)의 상부에 위치하고, 온도조절부(100)에서 유입된 기체의 습도를 조절하는 가습조(210)를 포함한다.
가습조(210)에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.
송풍부(300)는 습도조절부(200)의 측부에 위치하고, 습도조절부(200)로부터 공급받은 온도 및 습도가 조절된 기체를 기판 처리 장치로 공급한다.
예시적으로, 송풍부(300)는 팬과 모터를 구비하여, 모터를 이용하여 팬을 구동시켜 기류를 형성하는 송풍기(310)를 포함할 수 있다. 상술한 기류란, 기체유입구(120)로 유입되어 기체토출구(320)로 토출되는 기류일 수 있다.
기체공급유닛(11)은 온도조절부(100)의 상부에 습도조절부(200)가 위치하고, 습도조절부(200)의 측부에 송풍부(300)가 위치하여, ‘ㄱ’자형태로 배치될 수 있으며, 이에 따라 기류가 ‘ㄱ’자 형태로 형성될 수 있다.
또한, 기류가 ‘ㄱ’자형 태로 형성됨에 따라, 기체가 기체공급유닛(11)의 내부에서 위치하는 시간이 길어지게 되어, 기체의 온도 및 습도를 효율적으로 조절할 수 있다.
액체공급유닛(200)은 송풍부(300)의 하부에 위치할 수 있다.
다시 말해, 유체 공급 장치(10)는 상술한 바와 같이 기체공급유닛(11)이 ‘ㄱ’자형태로 배치되어, 송풍부(300)의 하부 및 온도조절부(100)의 측부에 빈공간이 형성되고, 빈공간에 액체공급유닛(200)을 배치함으로써 공간을 효율적으로 이용할 수 있으며, 유체 공급 장치(10)의 크기를 작게 제작할 수 있어, 공강을 효율적으로 활용할 수 있다.
또한, 본 유체 공급 장치(10)는 열교환부(110) 및 가습조(210)가 내부에 위치하고, ‘ㄱ’자 형태로 절곡 형성되는 배관(400)을 더 포함할 수 있다.
다시 말해, 배관(400)의 하부에는 열교환부(110) 가 위치되고, 상부에는 가습조(210)가 위치되어, 가습조(210)의 측부에 위치하는 송풍부(300)로 효율적으로 기체를 이동될 수 있다.
또한, 배관(400)은 절곡된 부분에 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.
온도조절부(100)에서 공급된 기체는 상부방향으로 이동되고, 수직된 방향에 위치하는 송풍부(300)로 이동되어, 기체의 이동이 원활하지 않을 수 있기 때문에 절곡되는 부분에 소정의 각도로 경사지게 형성되어 기체의 이동을 원활하게 할 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 6을 이용하여, 본 발명의 일실시예에 따른 가습조(210)(이하, ‘본 가습조(210)’라 함)에 대해서 상세히 설명한다.
도 3을 참조하면, 본 가습조(210)는 내부에 가습을 위한 액체, 예시적으로 물이 수용되는 소정의 공간이 형성되고, 액체를 가열하여 기체로 가열된 액체, 즉 증기를 외부로 공급할 수 있다.
본 가습조(210)는 가습을 위한 액체가 수용되고, 액체를 가열하는 가습가열부(211) 및 가습가열부(211)의 상부에 위치하고, 상부면에 하나 이상의 가습홀(1212)이 형성되는 가습커버(212)를 포함한다.
예시적으로, 본 가습조(210)는 직육면체 형상으로 제작될 수 있으며, 액체를 가열하는 가습가열부(211) 및 가습가열부(211)의 상부에 위치하는 가습커버(212)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 가습가열부(211)는 상부가 개방된 직육면체 형상으로 제작될 수 있으며, 내부에 적어도 하나 이상의 히터(1211)가 위치할 수 있다. 또한, 히터(1211)는 액체의 내부에 위치하여 액체를 가열하고, 가열되어 증발되는 증기가 개방된 상부방향으로 이동될 수 있다.
가습커버(212)는 하부가 개방된 직육면체 형상으로 제작되되, 상부면에 적어도 하나 이상의 가습홀(1212)이 형성되어, 가습홀(1212)을 통해 증기가 외부로 이동될 수 있다.
이에 따라, 본 가습조(210)는 상부면이 완전히 개방된 형태가 아니라, 가습커버(212)의 상부면에 가습홀(1212)이 형성되고, 가습홀(1212)을 통해서 증기가 외부로 이동되어, 송풍기에서 형성되는 기류에 의해서 본 가습조(210)의 내부에 수용되는 액체가 송풍기로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
가습홀(1212)은 길이방향으로 형성될 수 있다.
상술한 길이방향이란 기체가 이동하는 방향의 수직인 방향일 수 있으며, 도 3의 10시에서 4시 방향일 수 있다.
예시적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 가습홀(1212)은 가습커버(212)의 상부면에 길이방향으로 형성될 수 있으며, 폭방향으로 일정거리 이격되어 복수개가 형성될 수 있다.
가습커버(212)는 가습홀(1212)의 상부에 각각 위치하고, ‘ㄱ’자 형태로 절곡 형성되는 가이드부(2212)를 더 포함할 수 있다.
다시 말해, 가습커버(212)는 가습홀(1212)의 경계면중 기체 유입 방향의 반대방향에 위치한 경계면에서 상부방향으로 연장형성되고, 기체 유입 방향의 반대방향으로 절곡되어 형성되는 가이드부(2212)를 더 포함할 수 있다.
상술한 경계면은 도 3의 2시 방향에 위치한 경계면일 수 있다.
도 5를 참조하면, 히터(1211)에 의해서 증발되는 액체, 예시적으로 증기는 본 가습조(210)의 내부에서 상부방향으로 이동되고, 가습커버(212)의 상부면에 형성된 가습홀(1212)을 통해 외부로 이동될 수 있다. 이때, 가습홀(1212)의 상부에 가이드부(2212)가 위치하여, 증기가 가이드부(2212)의 형태에 따라 이동될 수 있다.
가습커버(212)의 상부면에는 길이방향으로 일측 및 타측에 하부방향으로 경사지게 형성되는 제1경사부(3212) 및 제2경사부(4212)를 포함할 수 있다.
상술한 일측은 도 3의 10시 방향일 수 있으며, 타측은 도 3의 4시 방향일 수 있다.
다시 말해, 가습커버(212)는 상부면의 일측이 하부방향으로 경사지게 형성되는 제1경사부(3212) 및 상부면의 타측이 하부방향으로 경사지게 형성되는 제2경사부(4212)를 포함할 수 있다.
다시 말해, 가습커버(212)는 상부면에는 일측에 하부방향으로 경사지게 제1 경사부(3212)가 형성되고, 타측에 하부방향으로 경사지게 제2경사부(4212)가 형성되며, 제1경사부(3212)과 제2경사부(4212) 사이에 가습홀(1212)이 형성될 수 있다.
이에 따라, 증기는 제1경사부(3212) 및 제2경사부(4212)를 따라 이동되어, 가습홀(1212)로 원활하게 이동할 수 있다.
또한, 본 가습조(210)의 폭은 송풍부(300)로 유입되는 유입구의 폭보다 크기 때문에, 가습커버(212)의 일측과 타측에 제1경사부(3212) 및 제2경사부(4212)가 형성되어, 증기를 유입구 방향으로 안내하는 역할을 할 수 있다. 이에 따라, 증기를 효율적으로 송풍부(300)로 유입시킬 수 있다.
본 가습조(210)는 가습가열부(211)의 하부에 연결되고, 액체를 공급하는 가습액체공급관(214)을 더 포함할 수 있다.
가습가열부(211)는 하부면에 가습을 위한 액체를 공급하기 위한 가습액체공급관(214)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 가습가열부(211)에는 가습액체공급관(214)을 통해 물과 같은 액체가 공급되어 수용되어 있으며, 히터(1211)를 이용하여 액체를 가열함으로서 증발되는 액체에 의해서 기체의 습도를 조절할 수 있다. 또한, 가습액체공급관(214)을 통해 지속적으로 액체를 공급함으로써, 증발되어 손실되는 액체를 보충할 수 있다.
본 가습조(210)는 가습조(210)의 내부에 위치하는 액체의 수위를 측정하는 수위측정장치(213)를 더 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 수위측정장치(213)는 본 가습조(210)의 내부에 위치하여 액체의 수위를 측정하여, 수위가 일정수위 이하로 떨어질 경우, 가습액체공급관(214)을 통해 액체를 공급할 수 있다.
본 가습조(210)는 가습가열부(211)의 하부면을 관통하여 연결되는 넘침방지관(215)을 더 포함할 수 있다.
넘침방지관(215)은 가습가열부(211)의 하부면을 관통하여 연결되어, 본 가습조(210)의 내부에 수용되는 액체가 넘치는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 하지만, 넘침방지관(215)은 가습가열부(211)의 하부면을 관통하여 연결되는 것에 한정하는 것이 아니라, 본 가습조(210)의 측면 상부에 연결될 수도 있다.
다시 말해, 넘침방지관(215)은 가습가열부(211)의 하부면을 관통하여 연결되어, 본 가습조(210)의 내부에 수용된 액체의 수위가 넘침방지관(215)이 연결된 위치보다 높아질 경우, 넘침방지관(215)을 통해 액체가 외부로 토출되어 액체의 수위를 유지할 수 있다.
가습가열부(211)는 액체를 가열하는 적어도 하나 이상의 히터(1211) 및 히터(1211) 사이에 위치하고, 길이방향으로 연장 형성되는 플레이트(2211)를 포함할 수 있다.
가열부에는 복수개의 히터(1211)를 구비될 수 있으며, 플레이트(2211)에 의해서 액체를 가열하는 구역이 구분될 수 있다.
예시적으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 히터(1211)는 가습가열부(211)의 길이방향으로 일측에서 타측으로 연장되어 형성되되, 타측의 단부에서 절곡되어 일측으로 다시 연장되어 형성될 수 있지만, 이에 한정되지 않고 판형, 막대형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 히터(1211)는 가습가열부(211)의 폭방향으로 일정거리 이격되어 각각 위치할 수 있다. 또한, 플레이트(2211)는 히터(1211) 사이에 위치하고, 가습가열부(211)의 내측 일측면에서 타측면까지 연장 형성되고, 상하방향으로 연장 형성되어 판형으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 각각의 히터(1211)에 의해 가열되는 구역을 구분함으로써, 좀 더 효율적으로 액체를 가열할 수 있으며, 복수개의 히터(1211) 중 하나의 히터(1211)가 고장나더라도 가열해야하는 액체의 양이 변함이 없어 가습효율을 유지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 이하에서는 전술한 본원의 일 실시예에 따른 유체 공급 장치(10)를 포함하는 본원의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템(이하 '본 기판 처리 시스템'이라 함)에 대해 설명한다. 다만, 앞서 살핀 본원의 일 실시예에 따른 유체 공급 장치(10)에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
본 기판 처리 시스템은 기판 처리 장치 및 전술한 본원의 일실시예에 따른 유체 공급장치를 포함한다.
예시적으로, 기판 처리 장치는 포토리소그래피 공정을 수행하는 장치일 수 있다. 또한, 유체 공급 장치(10)는, 상술한 바와 같이, 기판 처리 장치로 온도 및 습도가 조절된 기체 및 온도 조절된 액체를 공급할 수 있다.
유체 공급 장치(10)는 기판 처리 장치의 하측에 위치하며, 유체 공급 장치(10)에서 기판 처리 장치로 공급되는 유체는 기체토출구(320) 및 액체공급유닛(200)로부터 공급될 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 유체 공급 장치
11 : 기체공급유닛 12 : 액체공급유닛
100 : 온도조절부 110 : 열교환부
120 : 기체유입구
200 : 습도조절부
210 : 가습조
211 : 가습가열부 1211 : 히터
2211 : 플레이트
212 : 가습커버 1212 : 가습홀
2212 : 가이드부
3212 : 제1경사부 4212 : 제2경사부
213 : 수위측정장치 214 : 가습액체공급관
215 : 넘침방지관
300 : 송풍부 310 : 송풍기
320 : 기체토출구
400 : 배관

Claims (12)

  1. 기판 처리 장치에 유체를 공급하는 유체 공급 장치에 있어서,
    외부의 기체가 유입되어, 상기 기체의 온도를 조절하는 온도조절부, 상기 기체의 습도를 조절하는 가습조를 구비한 습도조절부; 및 상기 습도조절부로부터 공급받은 상기 온도 및 습도가 조절된 기체를 상기 기판 처리 장치로 공급하는 송풍부를 포함하는 기체공급유닛 및 액체의 온도를 조절하여 공급하는 액체공급유닛을 포함하되,
    상기 가습조는
    가습을 위한 액체가 수용되고, 상기 액체를 가열하는 가습가열부; 및
    상기 가습가열부의 상부에 위치하고, 상부면에 하나 이상의 가습홀이 형성되는 가습커버를 포함하고,
    상기 가습커버는
    상기 가습홀의 상부에 각각 위치하고, ‘ㄱ’자 형태로 절곡 형성되는 가이드부를 포함하는 것인 유체 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가습커버의 상부면에는 길이방향으로 가습홀이 형성되고,
    상기 가습홀은 폭방향으로 일정거리 이격되어 복수개가 형성되는 유체 공급 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가습커버의 상부면에는
    상기 가습홀의 일측 및 타측에 각각 위치하고, 하부방향으로 경사지게 형성되는 제1 경사부 및 제2 경사부를 포함하는 유체 공급 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가습조는 상기 가습가열부의 하부에 연결되고, 액체를 공급하는 가습액체공급관을 더 포함하는 유체 공급 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가습조는 상기 가습조의 내부에 위치하는 액체의 수위를 측정하는 수위측정장치를 더 포함하는 것인 유체 공급 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가습조는 상기 가습조의 내부에 수용되는 액체가 일정수위 이상되는 것을 방지하는 넘침방지관을 더 포함하는 것인 유체 공급 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가습가열부는
    액체를 가열하는 적어도 하나 이상의 히터 및
    상기 히터 사이에 위치하고, 길이방향으로 연장 형성되는 플레이트를 포함하는 유체 공급 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 습도조절부는 상기 온도조절부의 상부에 위치하고,
    상기 송풍부는 습도조절부의 측부에 위치하며,
    상기 액체공급유닛은 상기 송풍부의 하부에 위치하는 것인 유체 공급 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 송풍부는
    기체유입부로 유입되어 기체토출부로 토출되는 기류를 형성하는 것인 유체 공급 장치.
  11. 제1항에 따른 유체공급장치 및
    상기 유체공급장치로부터 유체를 공급받아 기판을 처리하는 기판처리장치를 포함하는 기판 처리 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 상기 유체 공급 장치의 상부에 위치하는 기판 처리 시스템.
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