KR20100059228A - 약액 저장 장치 - Google Patents

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KR20100059228A
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세메스 주식회사
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Abstract

약액 저장 장치는 약액 탱크, 지지부재, 순환 유닛 및 온도 조절 유닛을 포함한다. 약액 탱크는 약액을 저장하기 위한 내부 공간을 갖는다. 지지부재는 약액 탱크 내부에 배치되고, 내부 공간을 제1 공간 및 제2 공간으로 구분한다. 순환 유닛은 약액 탱크와 연결되고, 약액을 순환한다. 온도 조절 유닛은 약액을 가열하거나 냉각하여 약액의 온도를 조절한다.

Description

약액 저장 장치{Apparatus for storing solution}
본 발명은 약액 저장 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 가공하는데 사용되는 약액을 저장하는 약액 저장 장치에 관한 것이다.
반도체 소자와 평판 표시 소자는 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들을 수행하여 제조된다. 상기 단위 공정의 예로는 증착 공정, 사진 공정, 현상 공정, 세정 공정, 식각 공정, 스트립공정, 건조 공정 등을 들 수 있다.
상기 단위 공정들을 수행하기 위해서는 감광액, 현상액, 세정액, 식각액 등 다양한 약액이 필요하다. 상기 약액은 약액 저장 장치에 저장된다. 상기 기판의 크기가 커짐에 따라 많은 약액을 저장하기 위해 상기 약액 저장 장치도 커진다. 따라서, 상기 약액으로 인해 상기 약액 저장 장치에 가해지는 압력도 커진다.
상기 약액 저장 장치는 내화학성을 갖는 피브이씨(PVC) 재질로 이루어진다. 그러나, 상기 피브이씨 재질은 강성이 약하다. 따라서, 상기 약액 저장 장치가 변형될 수 있다. 또한, 상기 약액의 온도가 높아지는 경우, 상기 약액 저장 장치의 물성이 약해진다. 따라서, 상기 약액 저장 장치가 더욱 쉽게 변형되거나, 약한 충격에도 쉽게 파손될 수 있다.
본 발명은 변형 및 파손을 방지할 수 있는 약액 저장 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 약액 저장 장치는 약액을 저장하기 위한 내부 공간을 갖는 약액 탱크와, 상기 약액 탱크 내부에 배치되어 상기 약액 탱크를 지지하고, 상기 내부 공간을 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 지지부재 및 상기 약액 탱크와 연결되고, 상기 제1 공간의 약액과 상기 제2 공간의 약액을 순환하기 위한 순환 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부재는 상기 약액 탱크의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장하는 제1 플레이트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부재는 상기 제1 플레이트의 상단과 수직하도록 연결되며, 상기 약액 탱크의 내부 상면을 지지하는 제2 플레이트 및 상기 제1 플레이트의 하단과 수직하도록 연결되며, 상기 약액 탱크의 내부 저면을 지지하는 제3 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 플레이트는 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연결하는 개구를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 순환 유닛은 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연결하는 제1 순환 라인과, 상기 제1 순환 라인 상에 배치되고, 상기 제1 공간의 약액을 상기 제2 공간으로 공급하는 제1 펌프와, 상기 제2 공간과 상기 제1 공간을 연결하는 제2 순환 라인 및 상기 제2 순환 라인 상에 배치되며, 상기 제2 공간의 약액을 상기 제1 공간으로 공급하는 제2 펌프를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 약액 저장 장치는 상기 약액 탱크와 연결되고, 상기 약액의 온도를 조절하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 온도 조절 유닛은 상기 약액을 가열하기 위한 히터 및 상기 약액을 냉각하기 위한 쿨러를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 온도 조절 유닛은 상기 약액 탱크 내부에 구비되어 상기 약액의 온도를 감지하는 센서 및 상기 센서의 감지 결과에 따라 상기 히터 및 상기 쿨러를 제어하여 상기 약액의 온도를 조절하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 약액 저장 장치는 약액 탱크의 내부를 지지부재로 지지한다. 따라서, 상기 약액 탱크의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
또한, 순환 유닛으로 상기 지지부재에 의해 구분된 약액을 순환하여 상기 약액의 경화를 방지하고 상기 약액을 균일하게 혼합할 수 있다.
그리고, 온도 조절 유닛으로 상기 약액 탱크의 약액의 온도를 일정하게 유지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 약액 저장 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 저장 장치(100)를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 약액 저장 장치(100)는 기판을 가공하여 반도체 소자 및 평판 표시 소자 등을 제조하기 위한 약액을 저장한다. 상기 약액 저장 장치(100)는 약액 탱크(110), 지지부재(120), 순환 유닛(130) 및 온도 조절 유닛(140)을 포함한다.
상기 약액 탱크(110)는 내부 공간을 갖는 육면체 형태이다. 상기 약액 탱크(110)의 내부 공간에 상기 약액이 저장된다. 도시되지는 않았지만, 상기 약액 탱크(110)는 배출구와 투입구를 갖는다. 상기 배출구를 통해 상기 약액이 상기 기판을 가공하기 위한 기판 가공 장치로 공급된다. 상기 약액 탱크(110)에 저장된 약액이 부족하면, 상기 투입구를 통해 상기 약액이 상기 약액 탱크(110)로 공급된다.
상기 약액 탱크(110)는 상기 약액과 반응하지 않도록 내화학성을 갖는 재질로 이루어진다. 상기 재질의 예로는 피브이씨를 들 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 지지부재(120)를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110) 내부 에 구비되어 상기 약액 탱크(110)를 지지한다. 예를 들면, 상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110)의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장하는 플레이트를 포함한다. 상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110)의 상면과 하면을 지지하므로, 상기 약액의 하중으로 인해 상기 약액 탱크(110)가 변형 및 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110)의 내부를 제1 공간(110a) 및 제2 공간(110b)으로 구분한다. 상기 지지부재(120)는 상기 제1 공간(110a)과 상기 제2 공간(110b)을 연결하는 개구(120a)들을 갖는다. 상기 개구(120a)들을 통해 상기 제1 공간(110a)의 약액이 상기 제2 공간(110b)으로 이동하거나, 상기 제2 공간(110b)의 약액이 상기 제1 공간(110a)으로 이동할 수 있다.
상기에서는 상기 지지부재(120)가 상기 개구(120a)들을 갖는 플레이트 형태를 갖는 것으로 설명되었지만, 상기 지지부재(120)는 다수의 지지기둥을 포함할 수 있다. 상기 지지기둥들은 서로 이격되며, 상기 약액 탱크(110)의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장할 수 있다.
한편, 상기 지지부재(120)는 상기 개구(120a)를 갖지 않는 플레이트 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110)의 내부를 제1 공간(110a) 및 제2 공간(110b)으로 구분하고, 상기 제1 공간(110a)의 약액과 상기 제2 공간(110b)의 약액이 서로 이동할 수 없다.
도 3은 도 1에 도시된 지지부재(120)의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3을 참조하면, 상기 지지부재(120)는 제1 플레이트(122), 제2 플레이트(124) 및 제3 플레이트(126)를 포함할 수 있다.
상기 제1 플레이트(122)는 상기 약액 탱크(110)의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장한다. 상기 제1 플레이트(122)는 상기 약액 탱크(110)의 내부를 제1 공간(110a) 및 제2 공간(110b)으로 구분한다. 상기 제1 플레이트(122)는 상기 제1 공간(110a)과 상기 제2 공간(110b)을 연결하는 개구(122a)들을 갖는다. 상기 개구(122a)들을 통해 상기 제1 공간(110a)의 약액이 상기 제2 공간(110b)으로 이동하거나, 상기 제2 공간(110b)의 약액이 상기 제1 공간(110a)으로 이동할 수 있다.
상기 제2 플레이트(124)는 상기 제1 플레이트(122)의 상단과 수직하도록 연결된다. 상기 제2 플레이트(124)는 상기 약액 탱크(110)의 내부 상면과 밀착하여 상기 약액 탱크(110)를 지지한다.
상기 제3 플레이트(126)는 상기 제1 플레이트(122)의 하단과 수직하도록 연결된다. 상기 제3 플레이트(124)는 상기 약액 탱크(110)의 내부 저면과 밀착하여 상기 약액 탱크(110)를 지지한다.
한편, 상기 개구(122a)들을 갖는 상기 제1 플레이트(122)를 서로 이격되며, 상기 약액 탱크(110)의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장하는 다수의 지지기둥들로 대체할 수 있다. 또한, 상기 제1 플레이트(122)는 상기 개구(120a)를 갖지 않을 수도 있다.
상기 지지부재(120)는 상기 약액 탱크(110)의 상면과 하면을 지지하므로, 상기 약액의 하중으로 인해 상기 약액 탱크(110)가 변형 및 파손되는 것을 방지할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 순환 유닛(130)은 상기 제1 공간(110a)의 약액과 상기 제2 공간(110b)의 약액을 순환한다.
상기 순환 유닛(130)은 제1 순환 라인(131), 제1 펌프(132), 제1 필터(133), 제1 밸브(134), 제2 순환 라인(135), 제2 펌프(136), 제2 필터(136) 및 제2 밸브(138)를 포함한다.
상기 제1 순환 라인(131)은 상기 약액 탱크(110)의 외부에 배치되며, 상기 제1 공간(110a)과 상기 제2 공간(110b)을 연결한다. 상기 제1 펌프(132), 제1 필터(133) 및 상기 제1 밸브(134)는 상기 제1 순환 라인(131)에 각각 구비된다. 상기 제1 펌프(132)는 상기 제1 공간(110a)의 약액을 상기 제1 순환 라인(131)을 통해 상기 제2 공간(110b)으로 공급한다. 상기 제1 필터(133)는 상기 제1 순환 라인(131)을 통과하는 약액으로부터 이물질을 제거한다. 상기 제1 밸브(134)는 상기 제1 순환 라인(131)을 통과하는 약액의 유량을 조절한다.
상기 제2 순환 라인(135)은 상기 약액 탱크(110)의 외부에 배치되며, 상기 제2 공간(110b)과 상기 제1 공간(110a)을 연결한다. 상기 제2 펌(136), 제2 필터(137) 및 상기 제2 밸브(138)는 상기 제2 순환 라인(135)에 각각 구비된다. 상기 제2 펌프(136)는 상기 제2 공간(110b)의 약액을 상기 제2 순환 라인(135)을 통해 상기 제1 공간(110a)으로 공급한다. 상기 제2 필터(137)는 상기 제2 순환 라인(135)을 통과하는 약액으로부터 이물질을 제거한다. 상기 제2 밸브(138)는 상기 제2 순환 라인(135)을 통과하는 약액의 유량을 조절한다.
상기 제1 순환 라인(131)과 상기 제2 순환 라인(135)은 상기 약액 탱크(110)를 기준으로 서로 반대되는 측면에 배치될 수 있다. 예를 들면 상기 제1 순환 라인(131)은 상기 약액 탱크(110)의 일측에 배치되고, 상기 제2 순환 라인(135)은 상기 일측과 반대되는 상기 약액 탱크(110)의 타측에 배치된다. 따라서, 상기 순환 유닛(130)이 상기 약액을 순환하여 상기 약액의 밀도 분포 및 온도 분포를 균일하게 할 수 있다.
한편, 상기 제1 순환 라인(131)과 상기 제2 순환 라인(135)은 상기 약액 탱크(110)를 기준으로 동일한 측면에 배치될 수 있다.
상기 온도 조절 유닛(140)은 상기 약액 탱크(110)의 약액의 온도를 조절하여 기 설정된 온도로 유지한다.
상기 온도 조절 유닛(140)은 제1 히터(141), 제1 쿨러(cooler)(142), 제2 히터(143), 제2 쿨러(144), 제1 센서(145), 제2 센서(146) 및 컨트롤러(147)를 포함한다.
상기 제1 히터(141) 및 상기 제1 쿨러(142)는 상기 약액 탱크(110)의 제1 공간(110a)에 구비된다. 상기 제1 히터(141)는 상기 제1 공간(110a)의 약액을 가열한다. 상기 제1 쿨러(142)는 상기 제1 공간(110a)의 약액을 냉각한다.
상기 제2 히터(143) 및 상기 제2 쿨러(144)는 상기 약액 탱크(110)의 제2 공간(110b)에 구비된다. 상기 제2 히터(143)는 상기 제2 공간(110b)의 약액을 가열한다. 상기 제2 쿨러(144)는 상기 제2 공간(110b)의 약액을 냉각한다.
상기 제1 히터(141) 및 상기 제2 히터(143)의 예로는 열선, 램프, 히팅 배관 등을 들 수 있다. 상기 제1 쿨러(142) 및 상기 제2 쿨러(144)의 예로는 쿨링 배관 등을 들 수 있다. 상기 제1 히터(141), 상기 제2 히터(143), 상기 제1 쿨러(142) 및 상기 제2 쿨러(144)는 일반적인 히터 및 쿨러와 실질적으로 동일하므로, 상기 제1 히터(141), 상기 제2 히터(143), 상기 제1 쿨러(142) 및 상기 제2 쿨러(144)의 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 제1 센서(145)는 상기 약액 탱크(110)의 제1 공간(110a)에 구비되며, 상기 제1 공간(110a)의 약액 온도를 측정한다. 상기 제2 센서(146)는 상기 약액 탱크(110)의 제2 공간(110b)에 구비되며, 상기 제2 공간(110b)의 약액 온도를 측정한다.
상기 컨트롤러(147)는 상기 제1 센서(145) 및 상기 제2 센서(146)의 측정 결과를 전송받고, 상기 측정 결과에 따라 상기 약액이 상기 기 설정 온도를 유지하도록 상기 제1 히터(141), 제1 쿨러(142), 제2 히터(143) 및 제2 쿨러(144)를 제어한다.
예를 들어, 상기 제1 센서(145) 및 상기 제2 센서(146)에서 상기 약액의 온도가 상기 기 설정 온도보다 낮은 것으로 측정되면, 상기 컨트롤러(147)는 상기 제1 히터(141) 및 상기 제2 히터(143)로 상기 약액을 가열하여 상기 약액의 온도를 상기 기 설정 온도까지 상승시킨다. 상기 제1 센서(145) 및 상기 제2 센서(146)에서 상기 약액의 온도가 상기 기 설정 온도보다 높은 것으로 측정되면, 상기 컨트롤러(147)는 상기 제1 쿨러(142) 및 상기 제2 쿨러(144)로 상기 약액을 냉각하여 상기 약액의 온도를 상기 기 설정 온도까지 하강시킨다.
따라서, 상기 온도 조절 유닛(140)에 의해 상기 약액의 온도가 상기 기 설정 온도로 유지될 수 있다.
상기에서는 상기 온도 조절 유닛(140)이 상기 약액 탱크(110)에 구비되는 것으로 설명되었지만, 상기 온도 조절 유닛(140)은 상기 순환 유닛(130)에 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 히터(141), 제1 쿨러(142) 및 제1 센서(145)는 상기 제1 순환 라인(131)에 배치되고, 상기 제2 히터(143), 제2 쿨러(144) 및 제2 센서(146)는 상기 제2 순환 라인(135)에 구비될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 약액 저장 장치는 약액 탱크의 내부를 지지부재로 지지한다. 따라서, 상기 약액 탱크의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.
또한, 순환 유닛으로 상기 지지부재에 의해 구분된 약액을 순환하여 상기 약액의 경화를 방지하고 상기 약액을 균일하게 혼합할 수 있다.
그리고, 온도 조절 유닛으로 상기 약액 탱크의 약액의 온도를 일정하게 유지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 지지부재를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 지지부재의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 약액 저장 장치 110 : 약액 탱크
120 : 지지부재 122 : 개구
130 : 순환 유닛 131 : 제1 순환 라인
132 : 제1 펌프 133 : 제1 필터
134 : 제2 순환 라인 135 : 제2 펌프
136 : 제2 필터 140 : 온도 조절 유닛
141 : 제1 쿨러 142 : 제1 히터
143 : 제2 쿨러 144 : 제2 히터
145 : 제1 센서 146 : 제2 센서
147 : 컨트롤러

Claims (8)

  1. 약액을 저장하기 위한 내부 공간을 갖는 약액 탱크;
    상기 약액 탱크 내부에 배치되어 상기 약액 탱크를 지지하고, 상기 내부 공간을 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 지지부재; 및
    상기 약액 탱크와 연결되고, 상기 제1 공간의 약액과 상기 제2 공간의 약액을 순환하기 위한 순환 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 약액 탱크의 내부 상면에서 하면까지 수직으로 연장하는 제1 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지지부재는,
    상기 제1 플레이트의 상단과 수직하도록 연결되며, 상기 약액 탱크의 내부 상면을 지지하는 제2 플레이트; 및
    상기 제1 플레이트의 하단과 수직하도록 연결되며, 상기 약액 탱크의 내부 저면을 지지하는 제3 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1 플레이트는 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연결하는 개구를 갖는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 순환 유닛은,
    상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연결하는 제1 순환 라인;
    상기 제1 순환 라인 상에 배치되고, 상기 제1 공간의 약액을 상기 제2 공간으로 공급하는 제1 펌프;
    상기 제2 공간과 상기 제1 공간을 연결하는 제2 순환 라인; 및
    상기 제2 순환 라인 상에 배치되며, 상기 제2 공간의 약액을 상기 제1 공간으로 공급하는 제2 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 약액 탱크와 연결되고, 상기 약액의 온도를 조절하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 온도 조절 유닛은,
    상기 약액을 가열하기 위한 히터; 및
    상기 약액을 냉각하기 위한 쿨러를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 온도 조절 유닛은,
    상기 약액 탱크 내부에 구비되어 상기 약액의 온도를 감지하는 센서; 및
    상기 센서의 감지 결과에 따라 상기 히터 및 상기 쿨러를 제어하여 상기 약액의 온도를 조절하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 저장 장 치.
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