KR100864644B1 - 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 - Google Patents
약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (13)
- 분리벽에 의해 제1 탱크 및 제2 탱크로 분리되며, 상기 분리벽의 일측에 배치되어 일련의 공정이 진행된 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받아 상기 제1 약액을 일차적으로 가열하는 제1 탱크와, 상기 분리벽의 타측에 배치되어 상기 제1 탱크로부터 전달받은 상기 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 이차적으로 가열하여 외부로 공급하는 제2 탱크를 포함하는 챔버; 및상기 제2 탱크에 상기 제2 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 탱크는 상기 제1 약액을 가열하기 위한 제1 가열 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제2 항에 있어서, 상기 제1 가열 부재는 상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터인 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제2 항에 있어서, 상기 제1 가열 부재는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선인 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 탱크는 상기 공정 챔버로부터 상기 제1 약액을 전달받기 위한 전달 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 제2 탱크는 상기 제1 약액 및 상기 제2 약액의 상기 혼합 약액을 가열시키기 위한 제2 가열 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 약액이 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달되는 경로를 제공하는 연결 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제1 약액이 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 자연 전달되기 위하여 상기 제1 탱크는 상기 제2 탱크보다 상부에 배치되고, 상기 분리벽은 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어진 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 삭제
- 제1 항에 있어서, 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 농도를 기설정된 농도로 조절하기 위한 농도 조절 부재 및 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 온도를 기설정된 온도로 조절하기 위한 온도 조절 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
- 공정 챔버로부터 전달받은 제1 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열하는 단계;연결 라인을 통하여 상기 가열된 제1 약액을 분리벽을 기준으로 타측에 배치된 제2 탱크로 전달하는 단계;제2 탱크에서 상기 전달받은 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액의 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급하는 단계를 포함하는 약액 공급 방법.
- 제11 항에 있어서, 상기 제1 약액을 일차적으로 가열하는 단계는상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터 또는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선을 통하여 가열하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
- 제11 항에 있어서, 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 약액을 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달하는 단계는상기 제1 탱크를 상기 제2 탱크보다 상부에 배치시키고, 상기 분리벽을 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어지게 형성하여 상기 제1 약액을 자연 전달하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
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