KR20080084378A - 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 - Google Patents

약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 Download PDF

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Abstract

개시된 약액 공급 장치는 분리벽에 의해 제1 탱크 및 제2 탱크로 분리된 챔버를 포함하고, 제1 탱크는 분리벽의 일측에 배치되어 일련의 공정이 진행된 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받아 제1 약액을 일차적으로 가열시키고, 제2 탱크는 분리벽의 타측에 배치되어 제1 탱크로부터 전달받은 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급한다. 따라서, 일련의 공정 과정에 사용된 상대적으로 저온의 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열하여 전달하고 제2 탱크에서 다른 약액과 혼합하여 외부로 공급함으로써, 약액 공급 장치에 저장된 약액의 온도를 일정하게 유지할 수 있다.

Description

약액 공급 장치 및 약액 공급 방법{APPARATUS AND METHOD OF SUPPLYING CHEMICAL SOLUTION}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 제1 가열 부재의 제1 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 제1 가열 부재의 제2 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3의 제1 가열 부재를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 약액 공급 장치 200 : 챔버
210 : 제1 분리벽 212 : 제2 분리벽
300 : 제1 탱크 310 : 전달 라인
320 : 제1 가열 부재 322 : 히터
324 : 열선 400 : 제2 탱크
410 : 연결 라인 420 : 제2 가열 부재
430 : 약액 공급부 440 : 공급 라인
450 : 농도 조절 부재 460 : 온도 조절 부재
본 발명은 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액 공급 장치에 저장된 약액의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것이다.
일반적으로 고온의 약액을 공급하는 장치는 하나의 챔버, 즉 하나의 탱크를 포함한다. 상기 탱크는 약액을 가열시키기 위한 가열 부재 및 가열된 약액을 공정 수단에 공급하기 위한 공급 라인을 포함한다. 또한, 최근에는 비용의 절감 및 공정 시간의 단축에 대한 필요성이 요구되므로, 공정 과정에 사용되는 약액이 리싸이클되어 재사용되는 것이 일반적이다. 따라서, 상기 순환되는 약액이 상기 탱크에 재공급되고 이를 가열하여 다시 공정 수단에 공급한다.
예를 들어, 상기 탱크는 공정 과정을 마치고 순환되는 약액을 전달받아 기존의 약액과 혼합시켜 혼합 약액을 가열시켜 공정 챔버으로 전달한다. 이 때, 공정 과정을 순환하고 전달된 약액은 탱크 내부에 저장된 기존의 약액에 비해서 온도 및 농도가 상대적으로 낮다. 따라서, 순환된 약액과 기존의 약액이 혼합됨으로써, 전체적인 혼합 약액의 온도 및 농도가 일정하게 유지되기 힘들다. 또한, 공정 챔버가 불균일한 온도 및 농도를 갖는 약액을 공급받아 공정을 진행하는 경우에는 전체적인 공정의 효율성 및 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 발생한다.
본 발명의 일 목적은 저장된 약액의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기 약액 공급 장치를 사용하여 약액을 공급하는 약액 공급 방법을 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 분리벽에 의해 제1 탱크 및 제2 탱크로 분리된 챔버를 포함하고, 상기 제1 탱크는 상기 분리벽의 일측에 배치되어 일련의 공정이 진행된 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받아 상기 제1 약액을 일차적으로 가열시키고, 상기 제2 탱크는 상기 분리벽의 타측에 배치되어 상기 제1 탱크로부터 전달받은 상기 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 탱크는 상기 제1 약액을 가열하기 위한 제1 가열 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 가열 부재는 예를 들어, 상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터를 포함한다. 또한, 상기 제1 가열 부재는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 탱크는 상기 공정 챔버로부터 상기 제1 약액을 전달받기 위한 전달 라인을 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 탱크는 상기 제1 약액 및 상기 제2 약액의 상기 혼합 약액을 가열시키기 위한 제2 가열 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 약액이 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달되는 경로를 제공하는 연결 라인을 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 약액이 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 자연 전달되기 위하여 상기 제1 탱크는 상기 제2 탱크보다 상부에 배치되고, 상기 분리벽은 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 탱크에 상기 제2 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 농도를 기설정된 농도로 조절하기 위한 농도 조절 부재 및 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 온도를 기설정된 온도로 조절하기 위한 온도 조절 부재를 더 포함한다.
이에 따라, 일련의 공정 과정을 순환한 약액이 일차적으로 가열되어 기존의 약액과 혼합됨으로써, 장치 내의 전체적인 약액의 온도를 일정하게 유지될 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 방법에 따르면, 공정 챔버로부터 전달받은 제1 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열 한 후, 연결 라인을 통하여 상기 가열된 제1 약액을 분리벽을 기준으로 타측에 배치된 제2 탱크로 전달하고, 제2 탱크에서 상기 전달받은 제1 약액과이전에 저장되거나 공급된 제2 약액의 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 약액을 일차적으로 가열하는 단계는 상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터 및/또는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선을 통하여 가열한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 약액을 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달하는 단계는 상기 제1 탱크를 상기 제2 탱크보다 상부에 배치시키고, 상기 분리벽을 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어지게 형성하여 상기 제1 약액을 자연 전달한다.
이에 따라, 일련의 공정 과정을 순환한 약액이 일차적으로 가열하여 기존의 약액과 혼합시킴으로써, 장치 내의 전체적인 약액의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면들에 있어서, 나이프, 챔버, 탱크, 분리벽, 및 가열 부재들의 두께와 크기 등은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 챔 버(200), 제1 탱크(300) 및 제2 탱크(400)를 포함한다.
챔버(200)는 그 내부에 약액을 전달받아 일시적으로 저장하고 공급하기 위한 공간을 마련한다. 따라서, 챔버(200)는 외부로부터 밀폐되는 구조를 갖는다.
예를 들면, 챔버(200)는 내부 공간을 분리하기 위한 제1 분리벽(210)을 갖는다. 분리벽(210)은 내부의 공간을 적어도 둘 이상의 공간으로 분리한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 분리벽(210)은 챔버(200)의 내부 공간을 상하의 두 개의 공간으로 분리한다. 이와 달리, 제1 분리벽(210)은 챔버(200)의 내부 공간을 좌우로 분리할 수 있고, 사선으로 분리할 수 있다. 또한, 제1 분리벽(210)은 둘 이상의 공간의 크기를 다르게 분리할 수 있다. 예를 들어, 제1 분리벽(210)에 의해 분리된 공간들 중 일 공간이 다른 공간보다 상대적으로 적은 공간을 갖도록 분리한다. 이와 달리, 제1 분리벽(210)은 둘 이상의 공간들이 실질적으로 동일하도록 분리할 수 있다. 예를 들어, 제1 분리벽(210)은 상부의 공간에 해당하는 제1 탱크(300)와 하부의 공간에 해당하는 제2 탱크(400)로 분리한다.
제1 탱크(300)는 제1 분리벽(210)의 일측에 형성된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 탱크(300)는 챔버(200)의 내부 공간 중 상부측에 형성된다.
제1 탱크(300)는 일련의 공정이 진행된 공정 챔버(도시되지 않음)로부터 제1 약액을 전달받는다. 이에 제1 탱크(300)는 상기 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받기 위한 전달 라인(310)을 더 포함한다. 전달 라인(310)은 외부의 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받기 위하여 공정 챔버와 제1 탱크(300)를 연결시킨다. 예를 들어, 전달 라인(310)은 챔버(200)의 측벽을 관통하여 제1 탱크(300)로 일 단부가 연 장되어 형성된다. 한편, 전달 라인(310)은 제1 약액을 여과하기 위한 필터(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 그 후, 제1 탱크(300)는 제1 약액을 제2 탱크(400)로 전달한다.
한편, 제1 탱크(300)는 제1 약액을 제2 탱크(400)로 전달하는 양을 조절하는 제어부(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상대적으로 농도가 낮은 제1 약액의 전달량을 감소시켜야 하는 경우에는 제어부가 제2 탱크(400)로 전달되는 제1 약액의 양을 조절할 수 있다. 따라서, 제2 탱크(400)에 저장된 약액의 농도를 일차적으로 제어할 수 있다.
또한, 제1 탱크(300)는 약액 공급 장치로 순환되어 들어온 제1 약액을 일차적으로 가열한다. 이에, 제1 탱크(300)는 제1 약액을 가열하기 위한 제1 가열 부재(320)를 포함한다. 제1 가열 부재(320)는 제1 약액을 효율적으로 가열시키기 위한 다양한 수단들을 포함한다.
제2 탱크(400)는 제1 분리벽(210)의 타측에 형성된다. 제2 탱크(400)는 제1 탱크(300)와 대응되는 위치에 형성된다. 예를 들면, 제2 탱크(400)는 제1 탱크(300)의 하부측에 위치한다.
제2 탱크(400)는 제1 탱크(300)에서 일차적으로 가열된 제1 약액을 공급받는다. 이에 제2 탱크(400)는 제1 탱크(300)으로부터 제1 약액을 전달받기 위한 연결 라인(410)을 더 포함한다. 예를 들어, 연결 라인(410)은 분리벽(210)을 관통하여 배치되어, 제1 탱크(300)와 제2 탱크(400)을 연결시킨다. 또한, 연결 라인(410)은 제1 탱크(300)에서 일차적으로 가열된 제1 약액에 대하여 견딜 수 있는 재질로 이 루어진다. 예를 들어, 연결 라인(410)은 전달 라인(310)과 동일한 재질로 이루어질 수 있다. 이와 달리, 연결 라인(410)은 고온의 약액에 대하여 내구성이 더 강한 재질로 이루어질 수 있다.
한편, 연결 라인(410)은 가열된 제1 약액을 재여과하기 위한 필터(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 또한, 연결 라인(410)은 평평한 분리벽(210)에 의해 제1 탱크(300) 내부 공간에서 균일하게 형성된 제1 약액을 용이하게 전달시키기 위하여 배치된 펌프(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 따라서, 연결 라인(410)은 펌프에 의하여 펌핑된 제1 약액은 제2 탱크(400)으로 용이하게 전달되게 할 수 있다.
또한, 약액 공급 장치(100)는 제2 탱크(400)에 제2 약액을 공급하기 위한 약액 공급부(420)를 더 포함한다. 예를 들면, 약액 공급부(420)는 제2 탱크(400)와 인접한 챔버(200)의 외부의 일 측에 배치된다. 이에 약액 공급부(420)는 별도의 약액 공급 수단을 통하여 제2 탱크(400)에 제2 약액을 공급한다. 약액 공급부(420)가 공급하는 제2 약액은 상대적으로 제1 약액보다 고농도로 이루어진다. 따라서, 제2 탱크(400)는 제1 탱크(300)로부터의 제1 약액과 약액 공급부(420)로부터의 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 저장한다.
또한, 제2 탱크(400)는 상기 혼합 약액을 가열하기 위한 제2 가열 부재(430)를 포함한다. 예를 들어, 제2 가열 부재(430)는 다른 온도를 갖는 제1 약액과 제2 약액의 혼합 약액을 기설정된 온도까지 가열한다. 제2 가열 부재(430)는 예를 들어, 히터를 포함한다. 이와 달리, 제2 가열 부재(430)는 혼합 약액을 효율적으로 가열시키기 위한 다양한 수단들을 포함할 수 있다.
나아가 제2 탱크(400)는 제2 가열 부재(430)에 의해 가열된 혼합 약액을 외부의 공정 수단으로 공급한다. 따라서, 제2 탱크(400)는 상기 가열된 혼합 약액을 외부로 공급하기 위한 공급 라인(440)을 더 포함한다. 공급 라인(440)은 챔버(200)의 측벽을 관통하여 배치되어 외부의 공정 수단과 제2 탱크(400)를 연결시킨다. 공급 라인(440)은 상기 혼합 약액을 외부의 공정 수단에 용이하게 전달하기 위하여 펌프(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다.
한편, 약액 공급 장치(100)는 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 농도를 기설정된 농도로 조절하기 위한 농도 조절 부재(450)를 더 포함한다. 예를 들어, 농도 조절 부재(450)는 상기 혼합 약액의 농도를 조절하기 위하여 농도계(도시되지 않음)를 포함하고, 이를 제어하기 위한 별도의 제1 제어 수단(도시되지 않음)을 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 제어 수단은 상기 혼합 약액의 농도가 기설정된 농도보다 낮은 경우에는 농도가 상대적으로 높은 제2 약액을 더 공급하도록 제어한다. 따라서, 상기 제1 제어 수단의 제어에 의하여 약액 공급부(420)가 제2 약액을 더 공급한다.
또한, 약액 공급 장치(100)는 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 온도를 기설정된 온도로 조절하기 위한 온도 조절 부재(460)를 더 포함한다. 예를 들어, 온도 조절 부재(460)는 상기 혼합 약액의 온도를 조절하기 위하여 온도계(도시되지 않음)를 포함하고, 이를 제어하기 위한 별도의 제2 제어 수단(도시되지 않음)을 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 제어 수단은 상기 혼합 약액의 온도가 기설 정된 온도가 낮은 경우에는 혼합 약액을 재가열한다. 따라서, 상기 제2 제어 수단의 제어에 의하여 제2 가열 부재(430)가 혼합 약액을 기설정된 온도까지 다시 가열한다.
이에 따라, 약액 공급 장치(100)는 공정 챔버로부터 순환된 제1 약액을 제1 탱크(300)에서 일차적으로 가열한다. 따라서, 제2 탱크(400)에서 제1 약액과 제2 약액의 혼합 약액을 이차적으로 가열함으로써 전체적인 약액의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 제1 탱크(300)에 배치된 제어부에 의하여 제2 탱크에 전달되는 제1 약액의 양을 조절함으로서, 전체적인 약액의 농도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 그러므로, 약액 공급 장치(100)는 약액의 온도 및 농도를 기설정된 값에 따라 일정하게 유지시킴으로써 전체적인 공정의 균일성 및 효율성이 크게 향상된다.
도 2는 도 1의 제1 가열 부재의 제1 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 2를 참조하면, 챔버(200)의 상부에 배치된 제1 탱크(300)는 전달 라인(310)을 통하여 공정 챔버(도시되지 않음)로부터 전달된 제1 약액을 일차적으로 가열시킨다. 그 후, 제1 탱크(300)는 가열된 제1 약액을 분리벽(210)을 관통하여 형성된 연결 라인(410)을 통하여 제2 탱크(400)에 전달한다.
예를 들면, 제1 탱크(300)는 제1 약액을 가열하기 위한 제1 가열 부재(도 1의 320)를 포함한다. 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 제1 가열 부재는 분리벽(210)에 인접한 제1 탱크(300)의 영역에 배치된 복수개의 히터(322)들을 포함한다. 복수개의 히터(322)들은 제1 약액을 균일하게 가열시키기 위하여 제1 탱 크(300)의 하부측 영역에 균일하게 배치된다.
따라서, 제1 약액은 히터(322)들에 의하여 전체적으로 균일하게 가열된다. 그 후, 히터(322)들에 의하여 가열된 제1 약액은 연결 라인(410)을 통하여 제2 탱크(400)로 전달되게 된다. 따라서, 제2 탱크(400) 내에 저장된 상대적으로 고온의 제2 약액이 가열된 제1 약액에 의하여 온도가 저하되는 등의 문제점이 제거될 수 있다.
도 3은 도 1의 제1 가열 부재의 제2 실시예를 나타낸 단면도이고, 도 4는 도 3의 제1 가열 부재를 도시한 사시도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 탱크(300)는 전달된 제1 약액을 일차적으로 가열시킨다. 그 후, 제1 탱크(300)는 가열된 제1 약액을 분리벽(210)을 관통하여 형성된 연결 라인(410)을 통하여 제2 탱크(400)에 전달한다.
본 발명의 제2 실시예에 따르면, 제1 가열 부재(도 1의 320)는 분리벽(210)에 배치된 열선(324)을 포함한다. 즉, 열선(324)은 소정의 두께를 갖는 분리벽(210)의 내부에 일정한 형상 및 배열로 배치된다. 예를 들어, 열선(324)은 꼬불꼬불한 형상을 가지면서 분리벽(210)의 내부에 배치된다. 이와 달리, 열선(324)은 나선의 형상을 갖거나 매트릭스 형상을 가지면서 배치될 수 있다.
따라서, 제1 약액은 분리벽(210)의 내부에 균일하게 배치되는 형상을 갖는 열선(324)에 의하여 전체적으로 가열된다. 그 후, 열선(324)에 의하여 가열된 제1 약액은 연결 라인(410)을 통하여 제2 탱크(400)로 전달되게 된다. 따라서, 제2 탱크(400) 내에 저장된 상대적으로 고온의 제2 약액이 가열된 제1 약액에 의하여 온 도가 저하되는 등의 문제점이 제거될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치는 분리벽을 제외하고, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치와 동일한 구성을 가짐으로 그 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호 및 명칭을 사용하기로 한다.
도 5를 참조하면, 제1 탱크(300)는 제1 약액을 일차적으로 가열하여 제2 탱크(400)로 전달한다. 예를 들면, 제1 탱크(300)는 약액을 연결 라인(410)을 통하여 자연 전달시키기 위하여 제2 탱크(400)보다 상부에 배치된다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1 탱크(300)와 제2 탱크(400)를 분리시키기 위한 분리벽(210)은 연결 라인(410)을 향하여 아래로 기울어진다. 즉, 연결 라인(410)이 분리벽(210)의 단부에 배치되는 경우, 분리벽(210)은 연결 라인(410)과 이격된 영역이 연결 라인(410)과 인접한 영역보다 높게 배치된다. 따라서, 제1 약액은 제1 가열 부재(320)에 의해 일차적으로 가열됨과 동시에 연결 라인(410) 방향으로 자연스럽게 흐른다. 따라서, 별도의 펌프(도시되지 않음)를 구비하지 않고도 제1 약액을 연결 라인(410)을 통하여 제2 탱크(400)에 전달할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6을 참조하면, 먼저 공정 챔버로부터 전달받은 제1 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열하고(S100), 연결 라인을 통하여 상기 가열된 제1 약액을 분리벽을 기준으로 타측에 배치된 제2 탱크로 전달하며(S200), 제2 탱크에서 상기 전달받은 제1 약액과 이전에 저장된 제2 약액의 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급한다(S300).
구체적으로 살펴보면, 먼저 제1 탱크는 공정 챔버로부터 전달받은 제1 약액을 일차적으로 가열한다. 따라서, 제1 탱크는 제1 약액을 공급받기 위한 전달 라인을 포함한다. 또한, 제1 탱크는 제1 약액을 일차적으로 가열하기 위한 제1 가열 부재를 포함한다. 제1 가열 부재는 예를 들어, 제1 탱크의 하측부에 균일하게 배치된 히터를 포함한다. 또한, 제1 가열 부재는 분리벽의 내부에 꼬불꼬불한 형상 등을 갖는 열선을 포함한다. 이에 따라, 제1 약액은 제1 탱크에 균일하게 배치된 제1 가열 부재에 의해 전체적으로 가열된다.
그리고, 제1 탱크는 연결 라인을 통하여 가열된 제1 약액을 분리벽을 기준으로 타측에 배치된 제2 탱크에 전달한다. 예를 들어, 제2 탱크는 제1 탱크의 하측에 배치된다. 예를 들면, 제1 탱크는 펌프를 구비한 연결 라인을 통하여 제1 약액을 제2 탱크로 전달한다. 이와 달리, 제1 탱크는 연결 라인 방향으로 경사진 분리벽을 따라 자연스럽게 제1 약액을 제2 탱크에 전달할 수 있다.
이어서, 제2 탱크는 전달받은 제1 약액과 이전에 저장되거나 재공급된 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 이차적으로 가열시킨다. 따라서, 제2 탱크는 혼합 약액을 가열시키기 위한 제2 가열 부재를 포함한다. 제2 가열 부재는 예를 들어, 제2 탱크 내부에 배치된 히터를 포함한다. 또한, 제2 탱크는 가열된 혼합 약액을 외부 공정 수단으로 공급한다. 따라서, 제2 탱크는 혼합 약액을 외부로 공급하기 위한 경로인 공급 라인을 더 포함한다.
이와 같은 약액 공급 방법에 따르면, 공정 과정을 순환한 제1 약액을 일차적으로 가열하여 기존의 제2 약액과 혼합함으로서, 전체적인 약액의 온도 및 농도를 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 약액을 공급받아 공정을 진행하는 전체적인 공정의 효율성이 크게 향상된다.
본 발명에 따르면, 약액 공급 장치는 챔버 내부에서 분리된 제1 탱크 및 제2 탱크를 포함한다. 약액 공급 장치는 외부로 전달된 제1 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열하여 기존의 제2 약액이 저장된 제2 탱크로 전달한다. 따라서, 외부의 공정 수단으로 약액을 공급하는 제2 탱크 내부에서 전체적인 약액의 온도 및 농도가 일정하게 유지됨에 따라, 전체적인 공정의 효율성이 크게 향상될 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (13)

  1. 분리벽에 의해 제1 탱크 및 제2 탱크로 분리된 챔버를 포함하고,
    상기 제1 탱크는 상기 분리벽의 일측에 배치되어 일련의 공정이 진행된 공정 챔버로부터 제1 약액을 전달받아 상기 제1 약액을 일차적으로 가열시키고,
    상기 제2 탱크는 상기 분리벽의 타측에 배치되어 상기 제1 탱크로부터 전달받은 상기 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액이 혼합된 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 탱크는 상기 제1 약액을 가열하기 위한 제1 가열 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 제1 가열 부재는 상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터인 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 제2 항에 있어서, 상기 제1 가열 부재는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선인 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 제1 탱크는 상기 공정 챔버로부터 상기 제1 약액을 전달받기 위한 전달 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 제2 탱크는 상기 제1 약액 및 상기 제2 약액의 상기 혼합 약액을 가열시키기 위한 제2 가열 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 제1 약액이 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달되는 경로를 제공하는 연결 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 제1 약액이 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 자연 전달되기 위하여 상기 제1 탱크는 상기 제2 탱크보다 상부에 배치되고, 상기 분리벽은 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어진 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  9. 제1 항에 있어서, 상기 제2 탱크에 상기 제2 약액을 공급하기 위한 약액 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  10. 제1 항에 있어서, 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 농도를 기설정된 농도로 조절하기 위한 농도 조절 부재 및 외부로 공급되는 상기 혼합 약액의 온도를 기설정된 온도로 조절하기 위한 온도 조절 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  11. 공정 챔버로부터 전달받은 제1 약액을 제1 탱크에서 일차적으로 가열하는 단계;
    연결 라인을 통하여 상기 가열된 제1 약액을 분리벽을 기준으로 타측에 배치된 제2 탱크로 전달하는 단계;
    제2 탱크에서 상기 전달받은 제1 약액과 이전에 저장되거나 공급된 제2 약액의 혼합 약액을 이차적으로 가열시켜 외부로 공급하는 단계를 포함하는 약액 공급 방법.
  12. 제11 항에 있어서, 상기 제1 약액을 일차적으로 가열하는 단계는
    상기 제1 탱크 내부에 배치된 히터 및/또는 상기 제1 탱크 측을 향하는 상기 분리벽의 표면에 형성된 열선을 통하여 가열하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
  13. 제11 항에 있어서, 상기 연결 라인을 통하여 상기 제1 약액을 상기 제1 탱크로부터 상기 제2 탱크로 전달하는 단계는
    상기 제1 탱크를 상기 제2 탱크보다 상부에 배치시키고, 상기 분리벽을 상기 연결 라인을 향하여 아래로 기울어지게 형성하여 상기 제1 약액을 자연 전달하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
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