JPH10300173A - 恒温恒湿空気供給装置の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決すべき課題】加湿器への給水に基づく湿度制御の
乱れが生じない恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水
方法を開示する。 【課題の解決手段】空気流路３０に空気冷却器１、空気
加熱器２及び加湿器３を有し、該加湿器は、水補給管１
５と電熱ヒータ２３とフロートスイッチ７と水蒸気供給
管５を備えており、水補給管１５は、フロートスイッチ
の水位低下検出信号により電磁開閉弁８を開閉するよう
に構成されている恒温恒湿空気供給装置において、フロ
ートスイッチ７が所定レベルの水位低下を検出したら、
開閉弁８を間欠的に開閉動作させて貯水容器に給水し、
水温の低下を防止しつつ水位を復元するようにすること
を特徴とする恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定の目的空間へ
所定の温度湿度条件を備えた空気を供給する装置に関す
るものであり、特に、温度湿度条件を高精度に維持でき
る恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来技術】半導体の製造工程において、例えば、シリ
コンウェーハにレジストをコーティングする工程におい
ては、ウェーハを取り囲む雰囲気の温度湿度条件の変動
は、直ちに、形成される被膜の厚さの不均一の原因とな
る。従って、このような工程では、極めて高精度の温湿
度制御が要求される。

【０００３】従来の恒温恒湿空気供給装置としては、例
えば、図５に示す装置が知られている。これは、箱状の
断熱壁によって囲まれた空気流路１１５の空気入口１１
６から空気出口１１７にかけて、空気冷却器１０１、電
熱ヒータから成る空気加熱器１０２、気流案内板１０５
によって、下方に誘導された気流に加湿する蒸発皿式加
湿器１０３、送風機１０７を、この順序に、収納するこ
とにより、構成されている。

【０００４】空気冷却器は、蒸気圧縮式冷凍サイクルの
蒸発器や、ブラインなどが流れる冷却管に伝熱フィンプ
レートを設けたものや、ペルチェ素子を用いた熱電冷凍
機などを、冷却源とするものなどが、温湿度の要求精度
や熱負荷の大きさなどに応じて、使い分けられている。
また、空気加熱器は、空気出口１１７に設けた温度検出
器１１０の検出信号に基づいて、供給空気の温度調節を
行う。加湿器１０３は、空気流路の底部に開口する蒸発
皿中に、ヒータ１０４と、水位を検出するフロートスイ
ッチ１１４を有し、ヒータ１０４は、空気加熱器と同様
に、空気出口１１７に設けた湿度検出器１１１の検出信
号を、制御器１１２に入力して、トライアックなどで構
成した電力調整器１１３によって、その作動が制御され
る。１０８は、給水管で、フロートスイッチ１１４が、
水位低下を検知すると、電磁弁１０９が開閉して、水位
を所定のレベルまで回復させる。

【０００５】このような空気供給装置においては、空気
冷却器によって、流入空気を、目標温度湿度条件を持つ
空気の露点より、十分低い温度（例えば露点より１０℃
位低い温度）まで一旦冷却除湿し、次いで、空気加熱器
１０２において、目標温度までに上昇させる。かくし
て、案内板１０５によって、加湿器１０３の上方を通過
する空気は、目標湿度より低い湿度となっており、この
空気が、加湿器１０３から発生する水蒸気を取り込んで
空気出口１１７に至る間に、水蒸気を均一に混合分散し
て目的空間に供給するように構成されている。

【０００６】特に、加湿皿方式の加湿器の加湿量は、通
過空気の水蒸気圧と加湿皿水面直近の水蒸気圧との差圧
と、水面の面積と、風速との相乗積に比例する。従っ
て、加湿器を通過する空気は、通過する際における、加
湿器との距離や、流速によって、加湿量は大幅に異なっ
てくる。しかしながら、加湿皿表面付近の気流の状態
を、一定にすることは、極めて困難であり、空気供給量
の僅かな変動等により絶えず気流状態は変化する上に、
加湿皿直近を通過する気流と、離れた位置を通過する気
流との持つ水蒸気含量は、大幅に異なってくる。従っ
て、加湿量も、絶えず変化せざるを得ないので、湿度制
御の乱れを避けることは難しい。

【０００７】また、加湿器は、水蒸気の供給によって水
位の低下が一定レベルを越すと、フロートスイッチ１１
４が、この状態を検知し、常時閉の電磁開閉弁１０９に
信号を送り、水位が所定のレベルに回復するまでの一定
時間の間、電磁弁を付勢して、加湿器に給水を継続す
る。しかし、この給水操作によって、蒸発皿内の水温
は、大幅に低下してしまい、水温が元の温度に回復する
までは、加湿量が大幅に不足する事態が発生し、これ
が、湿度制御を大きく乱す原因となっている。

【０００８】更に、加湿器は、空気供給を停止した際に
おける加湿皿内の水温が、およそ８５〜９８℃の範囲の
温度となっているので、停止の時点では、盛んに水蒸気
を放出しており、ここから蒸散する水蒸気は、送風機１
０７に流入し、更に、空気出口１１７や、これに連なる
ダクトにも流出し、場合によっては、供給空間にまで漏
れ出してしまう虞れがあった。特に、この傾向は、加湿
皿が空気流路内に露出しているタイプの加湿器１０３に
おいて著しい。これら漏出した水蒸気は、ダクトの内壁
部や、温、湿度検出器１１０、１１１等の結露の原因と
なり、これらの温、湿度検出器を故障させたり、運転再
開時において、ファンやダクトに付着した結露水が、飛
沫となって目的空気供給空間（恒温恒湿室）に入り、該
恒温恒湿室内に設置された装置や部品等を濡らしてしま
う虞れがあった。

【０００９】

【解決すべき課題】本発明の第１の目的は、高精度の温
度湿度制御が可能な恒温恒湿空気供給装置とその運転方
法とを開示することにある。本発明の第２の目的は、装
置の停止と共に空気流路内への水蒸気の供給を実質的に
停止させることにより、装置停止時における結露の発生
が生じない恒温恒湿空気供給装置とその運転方法とを開
示することにある。本発明の第３の目的は、加湿器への
給水に基づく湿度制御の乱れが生じない恒温恒湿空気供
給装置とその運転方法とを開示することにある。

【００１０】

【課題の解決手段】本発明の第一の要旨は、送風機を備
えた空気流路に空気冷却器、空気加熱器及び加湿器を有
し、該加湿器は、水補給管と水加熱ヒータと水位検出手
段とを備えた貯水容器から成り、該貯水容器は、その上
部空間が、直接、若しくは、水蒸気供給管を介して、前
記空気流路に開放されており、前記水補給管は、前記水
位検出手段の水位検出信号により該水補給管に介設した
管路開閉弁を開閉するように構成されている恒温恒湿空
気供給装置において、前記水位検出手段が所定レベルの
水位低下を検出したら、前記開閉弁を間欠的に開閉動作
させて前記貯水容器に給水し、水温の急低下を防止しつ
つ水位を復元することを特徴とする恒温恒湿空気供給装
置の加湿器への給水方法にある。

【００１１】上記において、間欠的な給水方法として
は、水加熱ヒータの能力、加湿器の容量、給水能力等に
もよるが、例えば、５秒前後の間隔をおいて、管路開閉
弁を、０.３〜０.６秒間程度開くことを、繰り返す方法
が、例示できる。このような間欠給水によって、加湿器
内の水温の急激、且つ、大幅な低下が防止され、ほとん
ど、加湿能力に影響を与える事なく、水位を復元するこ
とができる。

【００１２】本発明の第二の要旨は、上記第一要旨に規
定される給水方法において、恒温恒湿空気供給装置の運
転停止時において、一定時間管路開閉弁を開いて貯水容
器に連続給水し、該貯水容器内の水温を急激に低下させ
ることを特徴とする給水方法にある。

【００１３】貯水容器内の水温は、通常９０〜９８℃の
範囲にある。これを、７０℃以下に下げれば、蒸散する
水蒸気量は、大幅に低下する。これにより、送風機が停
止しても、数秒間で、加湿器内の水温を下げることによ
り、空気流路内に、結露するのを、実質的に、防止でき
る。水温低下に要する水量によっては、上部空間の容積
が小さい加湿皿式の加湿器においては、加湿皿からオー
バーフローするように、給水する場合が有り得る。

【００１４】上記第一要旨に係る方法を実施する恒温恒
湿空気供給装置としては、水補給管に電磁開閉弁を介設
すると共に、水位検出手段の水位低下検出信号に基づい
て作動する間欠開弁信号発生手段を設け、該間欠開弁信
号発生手段の信号を前記電磁開閉弁に入力するように構
成した恒温恒湿空気供給装置が挙げられる。間欠開弁信
号発生手段は、例えば、パルス発生回路とフリップフロ
ップ回路との組み合わせにより、また、該間欠開弁信号
発生手段を停止させるには、復元水位を検知する検出器
（前記水位検出手段を兼用してもよい）や、水位低下検
出信号によって、任意に設定される所定時間作動する限
時タイマー回路によって行うことができる。

【００１５】上記第二要旨に係る方法を実施する恒温恒
湿空気供給装置としては、上記恒温恒湿空気供給装置に
おいて、送風機の停止信号によって所定時間作動するタ
イマー回路により、水補給管に介設された電磁開閉弁
を、所定時間付勢して開弁させる装置を挙げることがで
きる。

【００１６】本発明の第三の要旨は、送風機を備えた空
気流路に空気冷却器、空気加熱器及び加湿器を有し、該
加湿器は、水補給管と水加熱ヒータと水位検出手段とを
備えた貯水容器から成り、該貯水容器は、その上部空間
が、直接、若しくは、水蒸気供給管を介して、前記空気
流路に開放されており、前記水補給管は、前記水位検出
手段の水位検出信号により該水補給管に介設した管路開
閉弁を開閉するように構成されている恒温恒湿空気供給
装置において、該恒温恒湿空気供給装置の運転停止時に
おいて、前記管路開閉弁を開いて前記貯水容器に連続給
水し該貯水容器内の水温を急激に低下させることを特徴
とする恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水方法にあ
る。

【００１７】本発明の第四の要旨は、送風機を備えた空
気流路に空気冷却器、空気加熱器及び加湿器を有し、該
加湿器は、水補給管と水加熱ヒータと水位検出手段とを
備えた貯水容器から成り、該貯水容器は、その上部空間
が、直接、若しくは、水蒸気供給管を介して、前記空気
流路に開放されており、前記水補給管は、前記水位検出
手段の水位検出信号により該水補給管に介設した管路開
閉弁を開閉するように構成されている恒温恒湿空気供給
装置において、管路開閉弁が、流量制御弁によって構成
されており、前記水位検出手段が所定レベルの水位低下
を検出したら、所定の時間内において前記流量制御弁を
所定の小さい開度で開いて給水動作させ水温の急激な低
下を防止しつつ水位を復元すると共に、前記恒温恒湿空
気供給装置の運転停止時においては、一定時間前記流量
制御弁を限度まで開いて前記貯水容器に大量給水し、該
貯水容器内の水温を急激に低下させることを特徴とする
恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水方法にある。

【００１８】上記給水方法は、水補給管に介設した流量
制御弁の開度を調節することにより、恒温恒湿空気供給
装置の運転中における水の補給の場合は、流量を絞っ
て、水加熱ヒータの能力に合わせた少量の水を連続給水
することにより、水温低下を防止し、水蒸気発生量の減
少を防ぐ。また、送風機の停止時においては、流量制御
弁の開度を限度一杯まで開いて、数秒間のうちに大量給
水して、水温を所定値以下に低下させ、結露を防止す
る。

【００１９】上述の第四要旨に規定される給水方法を実
施するための装置は、前記第一要旨に係る方法に用いる
装置において、電磁開閉弁の代わりに、電動弁を用い
て、その開度を制御することにより、容易に実現でき
る。

【００２０】本発明の第五の要旨は、送風機を備えた空
気流路に空気冷却器、空気加熱器及び加湿器を有し、該
加湿器は、水補給管と水加熱ヒータと水位検出手段とを
備えた貯水容器から成り、該貯水容器は、その上部空間
が、直接、若しくは、水蒸気供給管を介して、前記空気
流路に開放されており、前記水補給管には、第１管路開
閉弁と流量制限手段とを直列に設けると共に、該第１管
路開閉弁と該流量制限手段を含む流路を短絡するよう
に、第２管路開閉弁を持つバイパス管を並設した恒温恒
湿空気供給装置を用いて、前記水位検出手段が所定レベ
ルの水位低下を検出したら、前記第１管路開閉弁を開い
て前記流量制限手段を通して給水動作させて水温低下を
防止しつつ水位を復元すると共に、前記恒温恒湿空気供
給装置の運転停止時においては、所定時間前記第２管路
開閉弁を開いて前記貯水容器に大量給水し、該貯水容器
内の水温を急激に低下させることを特徴とする恒温恒湿
空気供給装置の加湿器への給水方法にある。

【００２１】

【発明の実施形態】図１は、本発明の第１実施態様に係
る方法を実施するための恒温恒湿空気供給装置を概念的
に示すものである。断熱壁によって形成された角筒状の
空気流路３０の一側の開口に、熱電変換素子を冷却源と
する空気冷却器１が着脱自在に取り付けられており、該
空気冷却器１の空気出口側には、フィン付シーズヒータ
などの電熱ヒータから成る空気加熱器２が設けられてい
る。空気流路３０の他側の開口には、送風機４が装着さ
れており、空気冷却器１の空気入口から流入した空気が
空気流路３０を流れて、送風機４の吸入口４ｂから吸い
込まれ、空気流路３０の空気出口を構成する吐出流路４
ａから、ダクト等を介して、目的空間に恒温恒湿空気と
して供給される。

【００２２】空気冷却器１は、図２に示すように、アル
ミニウム、銅、これらの合金類等のように、熱良導性素
材の厚板から成る伝熱板１ａによって囲まれた空気流路
１ｃを横断して、多数の伝熱フィン１ｂ、１ｂ、…を設
け、伝熱板１ａの外面には、熱電変換素子２２、２２、
…の一側を接触し、該熱電変換素子の他側には、冷却水
の蛇行流路が形成されている熱交換器から成る放熱器１
１、１１が接触している。熱電変換素子２２、２２、…
は、空気流路１ｃの出口直近に設けた温度検出器１７の
検出信号を制御器２０に入力し、設定温度との偏差を検
出して、フィードバック制御される。設定温度は、供給
空気の温度湿度条件を持つ空気の露点より低い、所定の
温度が設定される。

【００２３】空気加熱器２から空気流路３０の他側の開
口に装着された送風機４に至る空気流路には、水蒸気供
給管５の上端が、加湿口５ａとして開口している。加湿
器３は、密閉水槽から成る水蒸気発生室６中に、水加熱
用電熱ヒータ２３と水位検出器としてのフロートスイッ
チ７とを内蔵すると共に、底部付近には、水補給管１５
が連結しており、該水補給管１５には、電磁開閉弁８が
介設されている。１８及び１９は、夫々、供給空気の温
度と湿度とを検出する温、湿度検出器で、その検出信号
は、図示を省略した制御器において、目標とする温、湿
度の設定値と比較され、偏差補正信号が、夫々の電力調
整器（図示せず）に送られて、空気加熱器２と加湿器３
の電熱ヒータの作動を制御する。

【００２４】水蒸気発生室６の天井部には、前記フロー
トスイッチ７によって一定水位を維持することにより、
略一定の容積空間から成る水蒸気貯留部６ａが形成され
ており、前記水蒸気供給管５の下端は、空気流路３０か
ら気密を保持して脱出して、水蒸気貯留部６ａの天井部
に気密に接続して開口している。この水蒸気貯留部６ａ
と、送風機４の吐出側流路４ａとが、実験的に定められ
る適宜な内径を持つ気流導入管２５によって連通されて
いる。

【００２５】電磁開閉弁８には、リレー９を介して駆動
電源１６が接続されており、このリレー９は、送風機へ
の電力供給を遮断するスイッチ操作により、所定時間
（例えば、３〜５秒間）だけ、前記リレー９を付勢する
タイマー回路１０が接続していると共に、水位低下検出
手段としてのフロートスイッチ７を介して、リレー９を
間欠的に付勢する間欠開弁信号発生手段１７に接続して
いる。間欠開弁信号発生手段としては、例えば、所定の
間隔でパルス信号を送るパルス発生器１７ａと、フリッ
プフロップ回路１７ｂなどによって構成される。

【００２６】

【作用】上記装置は、空気冷却器１に入った空気が、目
標供給空気条件の露点より低い温度に冷却され、次い
で、加熱器２において、目標温度に加熱される。加熱器
を通過した空気は、加湿器３により目標相対湿度に達す
るように、水蒸気を加湿口から補給され、次いで送風機
に吸入されて加圧撹拌され、吐出側流路４ａに押し出さ
れる。水蒸気発生室の水蒸気貯留部６ａには、圧力の高
い吐出側流路４ａから、気流導入管２５を通して、加湿
口５ａと吐出側流路４ａとの差圧に見合った、一定量の
空気が、絶えず流入するので、水蒸気貯留部６ａに生成
した水蒸気は、この気流によって押し出される状態で、
電熱ヒータ２３の作動により発生する水蒸気発生量に見
合った水蒸気を、絶えず安定的に供給する。

【００２７】このようにして、加湿が行われ、加湿器３
内の水位が、所定レベルまで下がると、フロートスイッ
チのステム内のリードスイッチと、これを取り囲む磁気
フロートとの、組み合わせから成るフロートスイッチ７
の接点が閉じて、間欠開弁信号が、その発生手段１７か
らリレー９に送られ、電磁開閉弁８は、図３に示すよう
に、一定の時間（ｔ₀秒）間隔で、ｔ秒間だけ電磁弁８
を開く。間欠開弁時間は、水補給管の水圧や管径、電熱
ヒータの能力、水蒸気発生室の水容量等により異なる
が、例えば、ｔ₀は、４〜６秒で、ｔは、０.３〜０.５
秒である。時間の経過と共に、水位が回復すると、フロ
ートスイッチ７の接点が開いて、間欠給水は停止する。
運転中は、水位の一定レベルの低下毎に、この操作を繰
り返す。

【００２８】これによって、水蒸気発生室内の水は、大
きく撹拌されてしまうことがなく、又、水温も大きく低
下することがないので、水蒸気貯留部の水蒸気量に大き
な変化を与えない。したがって、給水時における供給空
気の湿度の大幅な変動が防止され、高い精度で調温調湿
された空気を、供給することができる。

【００２９】次に、装置の運転をやめて目的空間への空
気供給を停止するために、停止押ボタンスイッチを操作
すると、送風機の電流が遮断されると共に、タイマー１
０が付勢され、予め設定した一定時間（例えば、５〜６
秒間）、タイマー回路を閉じることにより、リレー９が
付勢されて、リレー接点９が閉じられ、電磁弁８が開
き、大量の水が連続供給される。それと共に、気流導入
管２５からの気流の導入が停止し、水蒸気発生室内の水
温は、例えば７０℃以下に急低下し、水蒸気貯留部は、
水面における水蒸気の凝縮により陰圧になり、加湿口か
らの水蒸気供給は、ごく僅かとなるので、実質的に水蒸
気の空気流路３０内へ漏出は停止する。したがって、各
種の検出器や、流路内面への結露が防止される。

【００３０】上記実施例では、電磁開閉弁を間欠開弁動
作させて、水流の調整を行ったが、この電磁開閉弁に代
えて、流量調整弁を用いて、その流量を適宜絞ることに
より、水量を調節してもよい。例えば、図１の装置にお
いて、電磁開閉弁８の代りに、ステップモータを備えた
電動弁を介設し、間欠開弁信号発生手段に代えて、パル
ス発生器から成る電動弁駆動信号発生手段を設けて、運
転中における水補給時には、前述のフロートスイッチの
ようにそれ自体が水位の低下と復元とを検出する水位検
出手段を用いるか、或いは、水位検出手段の信号により
作動するタイマー回路を用いて、所定時間、電動弁を、
その開度を小さく絞った状態で開いて、少量の水を連続
供給し、運転停止時には、送風機停止操作等に連動する
タイマー回路により、該タイマー回路に設定された一定
時間、該電動弁を限度まで大きく開けて、連続大量給水
する方法でもよい。

【００３１】更に、電動弁の代わりに、図４に示すよう
に、水補給管１５に、フロートスイッチ７の水位検出信
号により開閉動作する電磁開閉弁から成る第１管路開閉
弁と水補給管１５に小径管やスリット部材等を介設した
ものから成る流量制限手段２８とを、直列に設けると共
に、該第１管路開閉弁８ａと流量制限手段２８とを挟ん
で、これら両者を含む流路を短絡するように、第２管路
開閉弁８ｂを有するバイパス管２９を並設して、フロー
トスイッチ７が所定レベルの水位低下を検出したら、第
１管路開閉弁８ａを開いて給水動作させて、水温の急激
な低下を防止しつつ連続給水して水位を復元する。又、
恒温恒湿空気供給装置の運転停止時においては、タイマ
ーによって設定される所定時間、第２管路開閉弁を開い
て、水蒸気発生室６に大量給水し、該水蒸気発生室内の
水温を急激に低下させることにより、前述の方法と全く
同じ目的を達成することができる。

【００３２】上記実施形態において例示した装置は、気
流導入管による空気流路内気流への安定的な水蒸気の供
給の実現と、ペルチェ素子を冷却源とする応答性に優れ
た空気冷却器と、水蒸気供給管を介しての理想的な位置
や形状を持つ加湿口の設定による加湿水蒸気の気流への
均一分散が可能であり、加えて、給水時の水蒸気発生量
の乱れが生じないので、極めて高精度に温度湿度調整さ
れた恒温恒湿空気を供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を実施するための装置の一例を示
す説明図である。

【図２】図１の空気冷却器の構成を示す説明図である。

【図３】図１の装置の動作を示すタイミングチャートで
ある。

【図４】本発明の他の方法を実施するための装置の一例
を示す説明図である。

【図５】従来技術の一例を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 空気冷却器 ２ 空気加熱器 ３ 加湿器 ４ 送風機 ４ａ 吐出流路 ５ 水蒸気供給管 ５ａ 加湿口 ６ 水蒸気発生室 ６ａ 水蒸気貯留部 ７ フロートスイッチ ８ 電磁開閉弁 ９ リレー １０ タイマー １７ 間欠開弁信号発生手段 １８ 温度検出器 １９ 湿度検出器 ２０ 制御器 ２２ 熱電変換素子 ２３ 電熱ヒータ ２５ 気流導入管

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】送風機を備えた空気流路に空気冷却器、空
   気加熱器及び加湿器を有し、該加湿器は、水補給管と水
   加熱ヒータと水位検出手段とを備えた貯水容器から成
   り、該貯水容器は、その上部空間が、直接、若しくは、
   水蒸気供給管を介して、前記空気流路に開放されてお
   り、前記水補給管は、前記水位検出手段の水位検出信号
   により該水補給管に介設した管路開閉弁を開閉するよう
   に構成されている恒温恒湿空気供給装置において、前記
   水位検出手段が所定レベルの水位低下を検出したら、前
   記開閉弁を間欠的に開閉動作させて前記貯水容器に給水
   し、水温の低下を防止しつつ水位を復元することを特徴
   とする恒温恒湿空気供給装置の加湿器への給水方法。
2. 【請求項２】恒温恒湿空気供給装置の運転停止時におい
   て、一定時間管路開閉弁を開いて貯水容器に連続給水
   し、該貯水容器内の水温を急激に低下させることを特徴
   とする請求項１の給水方法。
3. 【請求項３】送風機を備えた空気流路に空気冷却器、空
   気加熱器及び加湿器を有し、該加湿器は、水補給管と水
   加熱ヒータと水位検出手段とを備えた貯水容器から成
   り、該貯水容器は、その上部空間が、直接、若しくは、
   水蒸気供給管を介して、前記空気流路に開放されてお
   り、前記水補給管は、前記水位検出手段の水位検出信号
   により該水補給管に介設した管路開閉弁を開閉するよう
   に構成されている恒温恒湿空気供給装置において、該恒
   温恒湿空気供給装置の運転停止時において、一定時間前
   記管路開閉弁を開いて前記貯水容器に連続給水し該貯水
   容器内の水温を急激に低下させることを特徴とする恒温
   恒湿空気供給装置の加湿器への給水方法。
4. 【請求項４】送風機を備えた空気流路に空気冷却器、空
   気加熱器及び加湿器を有し、該加湿器は、水補給管と水
   加熱ヒータと水位検出手段とを備えた貯水容器から成
   り、該貯水容器は、その上部空間が、直接、若しくは、
   水蒸気供給管を介して、前記空気流路に開放されてお
   り、前記水補給管は、前記水位検出手段の水位検出信号
   により該水補給管に介設した管路開閉弁を開閉するよう
   に構成されている恒温恒湿空気供給装置において、管路
   開閉弁が、流量制御弁によって構成されており、前記水
   位検出手段が所定レベルの水位低下を検出したら、所定
   の時間内において前記流量制御弁を所定の開度で開いて
   給水動作させ水温の急激な低下を防止しつつ水位を復元
   すると共に、前記恒温恒湿空気供給装置の運転停止時に
   おいては、一定時間前記流量制御弁を限度まで開いて前
   記貯水容器に大量給水し、該貯水容器内の水温を急激に
   低下させることを特徴とする恒温恒湿空気供給装置の加
   湿器への給水方法。
5. 【請求項５】送風機を備えた空気流路に空気冷却器、空
   気加熱器及び加湿器を有し、該加湿器は、水補給管と水
   加熱ヒータと水位検出手段とを備えた貯水容器から成
   り、該貯水容器は、その上部空間が、直接、若しくは、
   水蒸気供給管を介して、前記空気流路に開放されてお
   り、前記水補給管には、前記水位検出手段の水位検出信
   号により開閉動作する常時閉の第１管路開閉弁と流量制
   限手段とが直列に設けられていると共に、該第１管路開
   閉弁と流量制限手段とを挟んで、これら両者を含む流路
   を短絡するように、第２管路開閉弁を有するバイパス管
   が並設されている恒温恒湿空気供給装置を用いて、前記
   水位検出手段が所定レベルの水位低下を検出したら、前
   記第１管路開閉弁を開いて前記流量制限手段を通して給
   水動作させて水温の急激な低下を防止しつつ水位を復元
   すると共に、前記恒温恒湿空気供給装置の運転停止時に
   おいては、所定時間前記第２管路開閉弁を開いて前記貯
   水容器に大量給水し、該貯水容器内の水温を急激に低下
   させることを特徴とする恒温恒湿空気供給装置の加湿器
   への給水方法。