JP2814380B2 - 液体材料気化供給装置 - Google Patents
液体材料気化供給装置Info
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- JP2814380B2 JP2814380B2 JP8206489A JP8206489A JP2814380B2 JP 2814380 B2 JP2814380 B2 JP 2814380B2 JP 8206489 A JP8206489 A JP 8206489A JP 8206489 A JP8206489 A JP 8206489A JP 2814380 B2 JP2814380 B2 JP 2814380B2
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- Japan
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- mass flow
- flow controller
- liquid material
- temperature
- tank
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、恒温槽内に、液体材料を収容しこれを気化
させる液体材料タンクと、この液体材料タンクからの気
化ガスの流量を制御するマスフローコントローラとを設
けた液体材料気合供給装置に関する。
させる液体材料タンクと、この液体材料タンクからの気
化ガスの流量を制御するマスフローコントローラとを設
けた液体材料気合供給装置に関する。
上記液体材料気化供給装置においては、恒温槽内を加
熱する手段および液体材料タンクを加熱する手段をそれ
ぞれ設け、これらの加熱手段によって恒温槽内および液
体材料タンクをそれぞれ加熱し、マスフローコントロー
ラは恒温槽内の雰囲気によって加熱されるようにし、マ
スフローコントローラを通過する気化ガスが凝縮されな
いようにしていた。
熱する手段および液体材料タンクを加熱する手段をそれ
ぞれ設け、これらの加熱手段によって恒温槽内および液
体材料タンクをそれぞれ加熱し、マスフローコントロー
ラは恒温槽内の雰囲気によって加熱されるようにし、マ
スフローコントローラを通過する気化ガスが凝縮されな
いようにしていた。
ところで、液体材料タンクで発生した気化ガスをマス
フローコントローラを介してその下流側に送出する場
合、その送出途中において気化ガスが凝縮しないように
することが肝要であり、特に、マスフローコントローラ
の温度を、気化ガスが通過してもこれを凝縮させない温
度、すなわち、使用可能温度以上に維持しておく必要が
ある。
フローコントローラを介してその下流側に送出する場
合、その送出途中において気化ガスが凝縮しないように
することが肝要であり、特に、マスフローコントローラ
の温度を、気化ガスが通過してもこれを凝縮させない温
度、すなわち、使用可能温度以上に維持しておく必要が
ある。
しかしながら、上記従来技術によれば、熱容量の大き
いマスフローコントローラの昇温に多大の時間がかかる
とともに、恒温槽内の急激な変化に対応しきれないとい
った欠点があった。
いマスフローコントローラの昇温に多大の時間がかかる
とともに、恒温槽内の急激な変化に対応しきれないとい
った欠点があった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、、
その目的とするところは、マスフローコントローラを所
定の使用可能温度にまでできるだけ早く加熱することが
できるとともに、気化ガスがマスフローコントローラ内
で凝縮しないようにして所定量の気化ガスを安定して供
給することができる液体材料気化供給装置を提供するこ
とにある。
その目的とするところは、マスフローコントローラを所
定の使用可能温度にまでできるだけ早く加熱することが
できるとともに、気化ガスがマスフローコントローラ内
で凝縮しないようにして所定量の気化ガスを安定して供
給することができる液体材料気化供給装置を提供するこ
とにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る液体材料気
化供給装置は、マスフローコントローラの金属製の本体
ボディに加熱手段を設けてこの加熱手段によって前記マ
スフローコントローラを直接加熱し得るように構成する
とともに、このマスフローコントローラの温度が所定値
以上のときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出
するようにしてなるものである。
化供給装置は、マスフローコントローラの金属製の本体
ボディに加熱手段を設けてこの加熱手段によって前記マ
スフローコントローラを直接加熱し得るように構成する
とともに、このマスフローコントローラの温度が所定値
以上のときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出
するようにしてなるものである。
マスフローコントローラは加熱手段によって直接加熱
されるから、所定の使用可能温度に早く到達するととも
に、恒温槽内の急激な変化にも対応することができる。
そして、マスフローコントローラの温度が所定値以上の
ときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出するよ
うにしているので、気化ガスがマスフローコントローラ
内で凝縮することがなくなり、従って、所定量の気化ガ
スを安定して供給することができる。
されるから、所定の使用可能温度に早く到達するととも
に、恒温槽内の急激な変化にも対応することができる。
そして、マスフローコントローラの温度が所定値以上の
ときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出するよ
うにしているので、気化ガスがマスフローコントローラ
内で凝縮することがなくなり、従って、所定量の気化ガ
スを安定して供給することができる。
以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る液体材料気化供給装置の構成の
一例を示し、この図において、１は恒温槽２とその上に
設けられる制御ボックス３とからなる液体材料気化供給
装置である。
一例を示し、この図において、１は恒温槽２とその上に
設けられる制御ボックス３とからなる液体材料気化供給
装置である。
先ず、恒温槽２の構成について説明すると、この恒温
槽２の天井壁や側壁には恒温槽内部を加熱する手段とし
てのヒータ４…が設けてあるとともに、内部上方には攪
拌用のファン5,5′が設けてある。６はヒータ４…の温
度を検出する温度センサである。そして、恒温槽２の内
部空間の下方には、例えば（C2H5O）4Si,SiCl4,GeCl4,P
OCl3などの液体材料７を収容し、これを気化させて気化
ガスを発生させる液体材料タンク（以下、タンクと云
う）８が設けてある。このタンク８は例えばステンレス
よりなり、その底部外壁にはタンク８を直接加熱する手
段としてのプレートヒータ９が密着するようにして取り
付けてある。10はプレートヒータ９付近の温度を検出す
る温度センサである。また、11は後述するフロートスイ
ッチ16A,16Bの信号に基づいて開閉制御されるストップ
バルブ12を備えた内部供給管、13は液体材料導入口、14
はその一端が液体材料導入口13に着脱自在に接続され、
他端が図外の液体材料源に接続された外部供給管であ
る。
槽２の天井壁や側壁には恒温槽内部を加熱する手段とし
てのヒータ４…が設けてあるとともに、内部上方には攪
拌用のファン5,5′が設けてある。６はヒータ４…の温
度を検出する温度センサである。そして、恒温槽２の内
部空間の下方には、例えば（C2H5O）4Si,SiCl4,GeCl4,P
OCl3などの液体材料７を収容し、これを気化させて気化
ガスを発生させる液体材料タンク（以下、タンクと云
う）８が設けてある。このタンク８は例えばステンレス
よりなり、その底部外壁にはタンク８を直接加熱する手
段としてのプレートヒータ９が密着するようにして取り
付けてある。10はプレートヒータ９付近の温度を検出す
る温度センサである。また、11は後述するフロートスイ
ッチ16A,16Bの信号に基づいて開閉制御されるストップ
バルブ12を備えた内部供給管、13は液体材料導入口、14
はその一端が液体材料導入口13に着脱自在に接続され、
他端が図外の液体材料源に接続された外部供給管であ
る。
15…はタンク８内の液体材料７中に設けられる多数
（例えば100本程度）の毛細管で、そのそれぞれは例え
ば外径が1.5mm、内径が1.0mm、長さが10mm程度に形成さ
れ、ステンレスあるいは石英ガラスなどよりなる。これ
らの毛細管15…は、液体材料７がプレートヒータ９など
によって加熱されて気化する際、その気化が急激に起こ
るのを防止し、気液平衡状態を良好に維持し促進するた
めに設けてある。
（例えば100本程度）の毛細管で、そのそれぞれは例え
ば外径が1.5mm、内径が1.0mm、長さが10mm程度に形成さ
れ、ステンレスあるいは石英ガラスなどよりなる。これ
らの毛細管15…は、液体材料７がプレートヒータ９など
によって加熱されて気化する際、その気化が急激に起こ
るのを防止し、気液平衡状態を良好に維持し促進するた
めに設けてある。
16A,16Bはタンク８内の液体材料７の液面を検出し所
定の信号を発するフロートスイッチで、液体材料７の液
面が通常使用時における最低レベルであるローレベル
（Ｌレベル）になったとき、一方のフロートスイッチ16
Aが動作して前記ストップバルブ12が開き、液体材料７
のタンク８内への導入が開始される。また、万一、Ｌレ
ベルを検出するフロートスイッチ16Aが何らかの原因で
動作しないとか、液体材料７の液面が使用可能最低レベ
ルＬ・Ｌになったときに警報を発するなど必要な動作
（停止）を行う。そして、液体材料７の液面が通常使用
時における最高レベルであるハイレベル（Ｈレベル）に
達すると、他方のフロートスイッチ16Bが動作して前記
ストップバルブ12が閉じ、液体材料７のタンク７への導
入が停止される。また、万一、Ｈレベルを検出するフロ
ートスイッチ16Bが何らかの原因で動作しないときは、
フロートスイッチ16Aが前記Ｈレベルより上位に設定さ
れた使用可能限界レベルであるＨ・Ｈレベルにおいて動
作し、これに基づいてストップバルブ12を閉じ、自動警
報を発するなど必要な動作（停止）を行うようにして、
液体材料７の供給におけるバックアップシステムが構成
されている。
定の信号を発するフロートスイッチで、液体材料７の液
面が通常使用時における最低レベルであるローレベル
（Ｌレベル）になったとき、一方のフロートスイッチ16
Aが動作して前記ストップバルブ12が開き、液体材料７
のタンク８内への導入が開始される。また、万一、Ｌレ
ベルを検出するフロートスイッチ16Aが何らかの原因で
動作しないとか、液体材料７の液面が使用可能最低レベ
ルＬ・Ｌになったときに警報を発するなど必要な動作
（停止）を行う。そして、液体材料７の液面が通常使用
時における最高レベルであるハイレベル（Ｈレベル）に
達すると、他方のフロートスイッチ16Bが動作して前記
ストップバルブ12が閉じ、液体材料７のタンク７への導
入が停止される。また、万一、Ｈレベルを検出するフロ
ートスイッチ16Bが何らかの原因で動作しないときは、
フロートスイッチ16Aが前記Ｈレベルより上位に設定さ
れた使用可能限界レベルであるＨ・Ｈレベルにおいて動
作し、これに基づいてストップバルブ12を閉じ、自動警
報を発するなど必要な動作（停止）を行うようにして、
液体材料７の供給におけるバックアップシステムが構成
されている。
17は内部配管18を介して前記タンク８と接続され、タ
ンク８内で発生した気化ガスの流量を制御する例えばノ
ルマルクローズドタイプのマスフローコントローラで、
このマスフローコントローラ17として例えば特開昭62−
13884号公報に開示されるものを用いることができる。
このマスフローコントローラ17にはこれを直接加熱する
ための加熱手段としてのプレートヒータ19とその温度を
検出するための温度センサ20が設けてある。
ンク８内で発生した気化ガスの流量を制御する例えばノ
ルマルクローズドタイプのマスフローコントローラで、
このマスフローコントローラ17として例えば特開昭62−
13884号公報に開示されるものを用いることができる。
このマスフローコントローラ17にはこれを直接加熱する
ための加熱手段としてのプレートヒータ19とその温度を
検出するための温度センサ20が設けてある。
第２図は上記マスフローコントローラ17の一例を示
し、この図において、41は例えばステンレスなどの金属
よりなる本体ボディで、例えばこの本体ボディ41の両側
部にガス入口42,ガス出口43が形成されるとともに、そ
の内部にはガス入口42とガス出43との間を結ぶガス流路
44が形成してある。そして、前記プレートヒータ19はガ
ス流路44を囲む部分を十分加熱できるように本体ボディ
41に当接するようにして温度センサ20とともに設けてあ
る。
し、この図において、41は例えばステンレスなどの金属
よりなる本体ボディで、例えばこの本体ボディ41の両側
部にガス入口42,ガス出口43が形成されるとともに、そ
の内部にはガス入口42とガス出43との間を結ぶガス流路
44が形成してある。そして、前記プレートヒータ19はガ
ス流路44を囲む部分を十分加熱できるように本体ボディ
41に当接するようにして温度センサ20とともに設けてあ
る。
そして、前記ガス流路44の途中には、センサ部45とバ
イパス部46とからなる流量測定部47と、ガス流路44に形
成された弁口48を閉止する方向に常時付勢された弁体49
とこの弁体49を駆動する弁駆動部50とからなる流体制御
部51とが設けられている。前記弁駆動部50は耐熱性のあ
るものであれば何でもよく、図示する例ではピエゾスタ
ックよりなり、このピエゾスタックに所定の電圧を与え
ると、ばね52の付勢力に抗して弁体49が移動して、所定
の開度で開くのである。
イパス部46とからなる流量測定部47と、ガス流路44に形
成された弁口48を閉止する方向に常時付勢された弁体49
とこの弁体49を駆動する弁駆動部50とからなる流体制御
部51とが設けられている。前記弁駆動部50は耐熱性のあ
るものであれば何でもよく、図示する例ではピエゾスタ
ックよりなり、このピエゾスタックに所定の電圧を与え
ると、ばね52の付勢力に抗して弁体49が移動して、所定
の開度で開くのである。
再び第１図において、21はマスフローコントローラ17
の下流側と気化ガス供給口22との間を接続する内部配管
である。なお、23は断熱材である。
の下流側と気化ガス供給口22との間を接続する内部配管
である。なお、23は断熱材である。
24は前記気化ガス供給口22に着脱自在に接続される外
部配管で、その外周には例えばリボンヒータのような加
熱手段25が設けてあり、26はこの加熱手段24の温度を検
出する温度センサである。
部配管で、その外周には例えばリボンヒータのような加
熱手段25が設けてあり、26はこの加熱手段24の温度を検
出する温度センサである。
27は外部配管24の下流側に接続される外部装置で、液
体材料気化供給装置１からの気化ガスの供給を受けて所
定の反応などを行う例えばCVD装置であり、28は真空ポ
ンプである。前記外部装置27は詳細には図示してない
が、内部が適当な真空度と温度になるように制御され
る。
体材料気化供給装置１からの気化ガスの供給を受けて所
定の反応などを行う例えばCVD装置であり、28は真空ポ
ンプである。前記外部装置27は詳細には図示してない
が、内部が適当な真空度と温度になるように制御され
る。
次に、前記制御ボックス３は、内部にマイクロコンピ
ュータなどのコントローラを備え、前記恒温槽２や外部
配管24に設けられた温度センサ6,10,20,26やフロートス
イッチ16A,16Bなどからの検出信号を処理し、恒温槽２
や外部配管24などに設けられた各種機器を制御したり、
演算結果を格納するとともに、必要なデータを表示した
り、警報を発したりするもので、その操作・表示部29に
は例えば恒温槽２内の温度調節を行うダイヤル30、タン
ク８の温度調節を行うダイヤル31、外部配管24の温度調
節を行うダイヤル32などとともに、マスフローコントロ
ーラ17の予熱完了を示す表示灯33が設けてある。
ュータなどのコントローラを備え、前記恒温槽２や外部
配管24に設けられた温度センサ6,10,20,26やフロートス
イッチ16A,16Bなどからの検出信号を処理し、恒温槽２
や外部配管24などに設けられた各種機器を制御したり、
演算結果を格納するとともに、必要なデータを表示した
り、警報を発したりするもので、その操作・表示部29に
は例えば恒温槽２内の温度調節を行うダイヤル30、タン
ク８の温度調節を行うダイヤル31、外部配管24の温度調
節を行うダイヤル32などとともに、マスフローコントロ
ーラ17の予熱完了を示す表示灯33が設けてある。
而して、上記構成の液体材料気化供給装置１によって
外部装置27に所定の気化ガスを供給するには、先ず、タ
ンク８内に所定のレベル範囲に液体材料７を収容した状
態で、ヒータ４…、プレートヒータ9,19、リボンヒータ
25に通電して、恒温槽２内、タンク８、マスフローコン
トローラ17、外部配管24を加熱する。そして、液体材料
７の気化が最も円滑に行われるときの温度が例えば70℃
前後であれば、タンク７の温度が70℃前後になるように
加熱するとともに、恒温槽２内の温度が70〜73℃前後
に、そして、マスフローコントローラ17の温度が75℃前
後に、また、外部配管24の温度が75〜90℃前後にそれぞ
れなるように加熱するのである。つまり、外部配管24を
加熱するリボンヒータ25の温度は、恒温槽２またはタン
ク８の温度と関連づけて、例えば恒温槽２内の温度に比
べて５〜25℃程度高くなるように設定してある。この温
度設定は前記制御ボックス３内のコントローラで行うよ
うにしてある。
外部装置27に所定の気化ガスを供給するには、先ず、タ
ンク８内に所定のレベル範囲に液体材料７を収容した状
態で、ヒータ４…、プレートヒータ9,19、リボンヒータ
25に通電して、恒温槽２内、タンク８、マスフローコン
トローラ17、外部配管24を加熱する。そして、液体材料
７の気化が最も円滑に行われるときの温度が例えば70℃
前後であれば、タンク７の温度が70℃前後になるように
加熱するとともに、恒温槽２内の温度が70〜73℃前後
に、そして、マスフローコントローラ17の温度が75℃前
後に、また、外部配管24の温度が75〜90℃前後にそれぞ
れなるように加熱するのである。つまり、外部配管24を
加熱するリボンヒータ25の温度は、恒温槽２またはタン
ク８の温度と関連づけて、例えば恒温槽２内の温度に比
べて５〜25℃程度高くなるように設定してある。この温
度設定は前記制御ボックス３内のコントローラで行うよ
うにしてある。
ところで、前記タンク８内の液体材料７は加熱されな
くても常時、若干は気化して気化ガスとなっているので
あるが、マスフローコントローラ17が閉止されている限
りは再凝縮してタンク８内に戻っている。そして、この
液体材料７は前記タンク８の加熱により気化が盛んにな
るが、マスフローコントローラ17が閉止されているの
で、再凝縮してタンク８内に戻る。
くても常時、若干は気化して気化ガスとなっているので
あるが、マスフローコントローラ17が閉止されている限
りは再凝縮してタンク８内に戻っている。そして、この
液体材料７は前記タンク８の加熱により気化が盛んにな
るが、マスフローコントローラ17が閉止されているの
で、再凝縮してタンク８内に戻る。
そして、マスフローコントローラ17の温度が所定の値
に達すると、制御ボックス３の操作・表示部29の表示灯
33が点灯あるいは点滅して、マスフローコントローラ17
の予熱が完了し、このマスフローコントローラ17が、そ
れを通過する気化ガスを凝縮させることがない使用可能
な温度に達したことが表示されるとともに、予熱完了信
号が出力され、この予熱完了信号に基づいて前記マスフ
ローコントローラ17を所定の開状態にする信号が発せら
れ、これによってマスフローコントローラ17は開状態に
なり、気化ガスを下流側に送出できる状態になるが、気
化ガスの送出時、タンク８を加熱するプレートヒータ９
がオフされる。また、このとき、マスフローコントロー
ラ17を加熱するプレートヒータ19もオフされるが、温度
センサ20の働きでマスフローコントローラ17が前記使用
可能な温度より低下すると、プレートヒータ19が再びオ
ンするようにしてある。
に達すると、制御ボックス３の操作・表示部29の表示灯
33が点灯あるいは点滅して、マスフローコントローラ17
の予熱が完了し、このマスフローコントローラ17が、そ
れを通過する気化ガスを凝縮させることがない使用可能
な温度に達したことが表示されるとともに、予熱完了信
号が出力され、この予熱完了信号に基づいて前記マスフ
ローコントローラ17を所定の開状態にする信号が発せら
れ、これによってマスフローコントローラ17は開状態に
なり、気化ガスを下流側に送出できる状態になるが、気
化ガスの送出時、タンク８を加熱するプレートヒータ９
がオフされる。また、このとき、マスフローコントロー
ラ17を加熱するプレートヒータ19もオフされるが、温度
センサ20の働きでマスフローコントローラ17が前記使用
可能な温度より低下すると、プレートヒータ19が再びオ
ンするようにしてある。
そして、このとき、他のヒータ４…,25には所定の通
電を続け、特に、恒温槽２内の温度はヒータ４…によっ
て所定の値になるように温度調節する。つまり、気化ガ
スの供給時にはタンク８の直接加熱を停止するととも
に、恒温槽２に設けたヒータ４…によって恒温槽２内の
温度が所定値になるように温度調節し、この状態の下
に、気化ガスをマスフローコントローラ17を介して外部
装置27に供給するのである。
電を続け、特に、恒温槽２内の温度はヒータ４…によっ
て所定の値になるように温度調節する。つまり、気化ガ
スの供給時にはタンク８の直接加熱を停止するととも
に、恒温槽２に設けたヒータ４…によって恒温槽２内の
温度が所定値になるように温度調節し、この状態の下
に、気化ガスをマスフローコントローラ17を介して外部
装置27に供給するのである。
以上の説明から明らかなように、マスフローコントロ
ーラ17はその予熱時においては、恒温槽２内の雰囲気に
よるのではなく、マスフローコントローラ17に取りつけ
られたプレートヒータ19によって直接加熱されるもので
あるから、所定の使用可能温度に早く到達することがで
きるとともに、恒温槽２内で急激な変化が生じてもこれ
に対応することができる。
ーラ17はその予熱時においては、恒温槽２内の雰囲気に
よるのではなく、マスフローコントローラ17に取りつけ
られたプレートヒータ19によって直接加熱されるもので
あるから、所定の使用可能温度に早く到達することがで
きるとともに、恒温槽２内で急激な変化が生じてもこれ
に対応することができる。
そして、マスフローコントローラ17の温度が所定値以
上のときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出す
るようにしているので、気化ガスがマスフローコントロ
ーラ17内で凝縮することがなくなり、従って、所定量の
気化ガスを安定して供給することができる。
上のときにのみこれを介して気化ガスを下流側に送出す
るようにしているので、気化ガスがマスフローコントロ
ーラ17内で凝縮することがなくなり、従って、所定量の
気化ガスを安定して供給することができる。
なお、液体材料７および外部装置27は、上記実施例に
示すものに限られるものではないことは云うまでもな
い。そして、上記マスフローコントローラ17はノルマル
クローズドタイプのものを用いているが、これに代え
て、ノルマルオープンタイプのものを用いてよい。この
場合、内部配管18に別途ストップバルブを設ける必要が
ある。また、マスフローコントローラ17における弁駆動
部50は、前記ピエゾスタックの他、例えばサーマル方
式、電磁式、手動式など種々用いることができることは
云うまでもない。
示すものに限られるものではないことは云うまでもな
い。そして、上記マスフローコントローラ17はノルマル
クローズドタイプのものを用いているが、これに代え
て、ノルマルオープンタイプのものを用いてよい。この
場合、内部配管18に別途ストップバルブを設ける必要が
ある。また、マスフローコントローラ17における弁駆動
部50は、前記ピエゾスタックの他、例えばサーマル方
式、電磁式、手動式など種々用いることができることは
云うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、マスフローコ
ントローラの金属製の本体ボディに加熱手段を設けてこ
の加熱手段によって前記マスフローコントローラを直接
加熱し得るように構成するとともに、このマスフローコ
ントローラの温度が所定値以上のときにのみこれを介し
て気化ガスを下流側に送出するようにしているので、マ
スフローコントローラを所定の使用可能温度にまででき
るだけ早く加熱することができるとともに、気化ガスが
マスフローコントローラ内で凝縮しないようにして所定
量の気化ガスを安定して供給することができる。
ントローラの金属製の本体ボディに加熱手段を設けてこ
の加熱手段によって前記マスフローコントローラを直接
加熱し得るように構成するとともに、このマスフローコ
ントローラの温度が所定値以上のときにのみこれを介し
て気化ガスを下流側に送出するようにしているので、マ
スフローコントローラを所定の使用可能温度にまででき
るだけ早く加熱することができるとともに、気化ガスが
マスフローコントローラ内で凝縮しないようにして所定
量の気化ガスを安定して供給することができる。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
は本発明に係る液体材料気化供給装置の一例を示す一部
を断面した構成図、第２図はマスフローコントローラの
一例を示す縦断面図である。 １……液体材料タンク、２……恒温槽、７……液体材
料、８……液体材料タンク、17……マスフローコントロ
ーラ、19……マスフローコントローラを加熱する手段、
41……本体ボディ。
は本発明に係る液体材料気化供給装置の一例を示す一部
を断面した構成図、第２図はマスフローコントローラの
一例を示す縦断面図である。 １……液体材料タンク、２……恒温槽、７……液体材
料、８……液体材料タンク、17……マスフローコントロ
ーラ、19……マスフローコントローラを加熱する手段、
41……本体ボディ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山岡 透 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社エステック内 (72)発明者 家城 孝之 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社エステック内 (56)参考文献 特開 昭64−67243（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01J 7/00 C23C 16/44
Claims (1)
- 【請求項１】恒温槽内に、液体材料を収容しこれを気化
させる液体材料タンクと、この液体材料タンクからの気
化ガスの流量を制御するマスフローコントローラとを設
けた液体材料気化供給装置において、前記マスフローコ
ントローラの金属製の本体ボディに加熱手段を設けてこ
の加熱手段によって前記マスフローコントローラを直接
加熱し得るように構成するとともに、このマスフローコ
ントローラの温度が所定値以上のときにのみこれを介し
て前記気化ガスを下流側に送出するようにしたことを特
徴とする液体材料気化供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8206489A JP2814380B2 (ja) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | 液体材料気化供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8206489A JP2814380B2 (ja) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | 液体材料気化供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02261529A JPH02261529A (ja) | 1990-10-24 |
| JP2814380B2 true JP2814380B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=13764073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8206489A Expired - Lifetime JP2814380B2 (ja) | 1989-04-01 | 1989-04-01 | 液体材料気化供給装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2814380B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1989
- 1989-04-01 JP JP8206489A patent/JP2814380B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02261529A (ja) | 1990-10-24 |
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