JP2557616Y2 - 液体材料気化供給装置 - Google Patents
液体材料気化供給装置Info
- Publication number
- JP2557616Y2 JP2557616Y2 JP1991058449U JP5844991U JP2557616Y2 JP 2557616 Y2 JP2557616 Y2 JP 2557616Y2 JP 1991058449 U JP1991058449 U JP 1991058449U JP 5844991 U JP5844991 U JP 5844991U JP 2557616 Y2 JP2557616 Y2 JP 2557616Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heater
- liquid material
- tank
- controller
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、タンク内に収容された
液体材料をヒータによって加熱して気化させるようにし
た液体材料気化供給装置に関する。
液体材料をヒータによって加熱して気化させるようにし
た液体材料気化供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】前記液体材料気化供給装置においては、
液体材料を一定温度に保ちながら一定流量の気化ガスを
得るため、従来より、特開昭６４−８３６６６号公報
に示されるように、タンク内に液体材料の温度を検出す
る温度センサを設けたり、あるいは、特開平２−２６
１５３１号公報に示されるように、ヒータの温度または
その近傍の温度を検出する温度センサを設けるなどして
いた。
液体材料を一定温度に保ちながら一定流量の気化ガスを
得るため、従来より、特開昭６４−８３６６６号公報
に示されるように、タンク内に液体材料の温度を検出す
る温度センサを設けたり、あるいは、特開平２−２６
１５３１号公報に示されるように、ヒータの温度または
その近傍の温度を検出する温度センサを設けるなどして
いた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記何
れの手段においても一長一短がある。すなわち、前記
の手段のように、タンク内に温度センサを設けた場合に
は、液体材料の温度を直接測ることができるので、液体
材料の温度を正確に制御することができるものの、装置
の温度立ち上がり時に、ヒータがオーバーヒートして断
線に至るか、あるいは、液体材料のヒータに近い部分の
みがオーバーヒートするなど、液体材料に悪影響が及ぼ
される。
れの手段においても一長一短がある。すなわち、前記
の手段のように、タンク内に温度センサを設けた場合に
は、液体材料の温度を直接測ることができるので、液体
材料の温度を正確に制御することができるものの、装置
の温度立ち上がり時に、ヒータがオーバーヒートして断
線に至るか、あるいは、液体材料のヒータに近い部分の
みがオーバーヒートするなど、液体材料に悪影響が及ぼ
される。
【０００４】また、前記の手段のように、ヒータの温
度またはその近傍の温度を検出するための温度センサを
設けたものでは、上述の欠点はないものの、液体材料の
温度を正確に制御できないといった欠点がある。特に、
液体材料が気化して気化ガスが生じると、気化熱によっ
て液体材料の温度が低下するが、このような場合、熱の
供給に時間遅れが生じ、安定したガスの供給が困難であ
るといった不都合がある。
度またはその近傍の温度を検出するための温度センサを
設けたものでは、上述の欠点はないものの、液体材料の
温度を正確に制御できないといった欠点がある。特に、
液体材料が気化して気化ガスが生じると、気化熱によっ
て液体材料の温度が低下するが、このような場合、熱の
供給に時間遅れが生じ、安定したガスの供給が困難であ
るといった不都合がある。
【０００５】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、液体材料に悪影響を
及ぼすことなく、また、ヒータが断線したりすることな
く、確実に液体材料を加熱して、気化ガスを安定に発生
しこれを供給することができる液体材料気化供給装置を
提供することにある。
もので、その目的とするところは、液体材料に悪影響を
及ぼすことなく、また、ヒータが断線したりすることな
く、確実に液体材料を加熱して、気化ガスを安定に発生
しこれを供給することができる液体材料気化供給装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、タンク内に収容された液体材料
をヒータによって加熱して気化させるようにした液体材
料気化供給装置において、前記タンク内およびヒータに
それぞれの温度を検出する温度センサを設け、各温度セ
ンサに接続された温度コントローラをヒータの駆動回路
に直列に接続すると共に、ヒータ側の温度コントローラ
の設定温度をタンク側の温度コントローラの設定温度よ
りも高くすることにより、タンク内の液体材料をより好
ましい温度まで加熱し、その温度を維持するように構成
してある。
め、本考案においては、タンク内に収容された液体材料
をヒータによって加熱して気化させるようにした液体材
料気化供給装置において、前記タンク内およびヒータに
それぞれの温度を検出する温度センサを設け、各温度セ
ンサに接続された温度コントローラをヒータの駆動回路
に直列に接続すると共に、ヒータ側の温度コントローラ
の設定温度をタンク側の温度コントローラの設定温度よ
りも高くすることにより、タンク内の液体材料をより好
ましい温度まで加熱し、その温度を維持するように構成
してある。
【０００７】
【作用】本考案においては、タンク内およびヒータの温
度をそれぞれ検出し、これを制御することができる。そ
して、装置の温度立ち上がり時においては、ヒータの温
度が専用の温度センサで検出されるため、ヒータがオー
バーヒートすることがない。また、気化ガス発生時にお
いては、気化熱によって液体材料の温度が低下するが、
この液体材料の温度変化はタンク内の専用の温度センサ
によって検知され、ヒータから熱の供給が行なわれるの
で、気化ガスが安定して発生する。
度をそれぞれ検出し、これを制御することができる。そ
して、装置の温度立ち上がり時においては、ヒータの温
度が専用の温度センサで検出されるため、ヒータがオー
バーヒートすることがない。また、気化ガス発生時にお
いては、気化熱によって液体材料の温度が低下するが、
この液体材料の温度変化はタンク内の専用の温度センサ
によって検知され、ヒータから熱の供給が行なわれるの
で、気化ガスが安定して発生する。
【０００８】さらに、ヒータおよびタンク内に設けられ
た各温度センサに接続された温度コントローラをヒータ
の駆動回路に直列に接続すると共に、ヒータ側の温度コ
ントローラの設定温度をタンク側の温度コントローラの
設定温度よりも高くしてあるので、タンク内の液体材料
をより好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持する
ことができる。
た各温度センサに接続された温度コントローラをヒータ
の駆動回路に直列に接続すると共に、ヒータ側の温度コ
ントローラの設定温度をタンク側の温度コントローラの
設定温度よりも高くしてあるので、タンク内の液体材料
をより好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持する
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１０】図１は、本考案に係る液体材料気化供給装
置の一構成例を概略的に示すもので、この図において、
１は恒温槽で、その天井や側壁などには、槽内を加熱す
るためのヒータ（図外）が設けられている。２はこの恒
温槽１の内部に設けられ、例えばステンレス鋼よりなる
タンクで、（Ｃ２Ｈ５Ｏ）４Ｓｉ，ＳｉＣｌ４，ＧｅＣ
ｌ４，ＰＯＣｌ３などの液体材料３を収容し、これを気
化させて気化ガス４を発生させるものである。５はこの
タンク２の底部外壁に密着するように設けられ、タンク
２を直接加熱するための例えばプレートヒータである。
置の一構成例を概略的に示すもので、この図において、
１は恒温槽で、その天井や側壁などには、槽内を加熱す
るためのヒータ（図外）が設けられている。２はこの恒
温槽１の内部に設けられ、例えばステンレス鋼よりなる
タンクで、（Ｃ２Ｈ５Ｏ）４Ｓｉ，ＳｉＣｌ４，ＧｅＣ
ｌ４，ＰＯＣｌ３などの液体材料３を収容し、これを気
化させて気化ガス４を発生させるものである。５はこの
タンク２の底部外壁に密着するように設けられ、タンク
２を直接加熱するための例えばプレートヒータである。
【００１１】６は図外の液体材料源に接続された材料供
給管、７はストップバルブである。８は発生した気化ガ
ス４を導出し、これを例えば半導体製造装置などの外部
装置（図外）に送り出す気化ガス流路、９は恒温槽１の
内部に設けられ、気化ガス４の流量を制御するマスフロ
ーコントローラで、例えば図外のヒータで加熱されるよ
うにしてある。
給管、７はストップバルブである。８は発生した気化ガ
ス４を導出し、これを例えば半導体製造装置などの外部
装置（図外）に送り出す気化ガス流路、９は恒温槽１の
内部に設けられ、気化ガス４の流量を制御するマスフロ
ーコントローラで、例えば図外のヒータで加熱されるよ
うにしてある。
【００１２】１０はタンク２内に挿設される温度センサ
で、タンク２内の液体材料３の温度を検出する。１１は
プレートヒータ５に設けられる温度センサで、プレート
ヒータ５またはその近傍の温度を検出する。これらの温
度センサ１０，１１は、例えば熱電対または白金抵抗体
よりなる。
で、タンク２内の液体材料３の温度を検出する。１１は
プレートヒータ５に設けられる温度センサで、プレート
ヒータ５またはその近傍の温度を検出する。これらの温
度センサ１０，１１は、例えば熱電対または白金抵抗体
よりなる。
【００１３】１２はタンク２内に挿設された温度センサ
１０に接続された温度コントローラ、１３はプレートヒ
ータ５に設けられた温度センサ１１に接続された温度コ
ントローラで、両温度コントローラ１２，１３は、互い
に直列に接続され、プレートヒータ５の駆動回路１４に
介装されている。そして、プレートヒータ５側の温度コ
ントローラ１３の設定温度（オンオフ動作する温度）
は、タンク２側の温度コントローラ１２の設定温度より
も、例えば５〜５０℃高くしてある。なお、１５は交流
電源である。
１０に接続された温度コントローラ、１３はプレートヒ
ータ５に設けられた温度センサ１１に接続された温度コ
ントローラで、両温度コントローラ１２，１３は、互い
に直列に接続され、プレートヒータ５の駆動回路１４に
介装されている。そして、プレートヒータ５側の温度コ
ントローラ１３の設定温度（オンオフ動作する温度）
は、タンク２側の温度コントローラ１２の設定温度より
も、例えば５〜５０℃高くしてある。なお、１５は交流
電源である。
【００１４】次に、上記構成の液体材料気化供給装置の
動作について説明する。タンク２内の液体材料３は、加
熱されなくても常時、若干は気化して気化ガス４となっ
ているのであるが、マスフローコントローラ９が閉止さ
れている限りは再凝縮してタンク２内に戻っている。そ
して、恒温槽１を図外のヒータによって加熱すると共
に、プレートヒータ５によってタンク２を加熱し、さら
に、マスフローコントローラ９をその内部に設けた図外
のヒータによって加熱する。
動作について説明する。タンク２内の液体材料３は、加
熱されなくても常時、若干は気化して気化ガス４となっ
ているのであるが、マスフローコントローラ９が閉止さ
れている限りは再凝縮してタンク２内に戻っている。そ
して、恒温槽１を図外のヒータによって加熱すると共
に、プレートヒータ５によってタンク２を加熱し、さら
に、マスフローコントローラ９をその内部に設けた図外
のヒータによって加熱する。
【００１５】タンク２が加熱されることにより、その内
部の液体材料３の気化が盛んになるが、マスフローコン
トローラ９が閉止されているので、再凝縮してタンク２
内に戻る。この装置における温度の立ち上がり時、プレ
ートヒータ５の温度が温度センサ１１によって検知され
て温度コントローラ１３が駆動回路１４をオンオフ動作
するので、プレートヒータ５がオーバーヒートすること
がない。従って、プレートヒータ５が断線することがな
い。
部の液体材料３の気化が盛んになるが、マスフローコン
トローラ９が閉止されているので、再凝縮してタンク２
内に戻る。この装置における温度の立ち上がり時、プレ
ートヒータ５の温度が温度センサ１１によって検知され
て温度コントローラ１３が駆動回路１４をオンオフ動作
するので、プレートヒータ５がオーバーヒートすること
がない。従って、プレートヒータ５が断線することがな
い。
【００１６】そして、マスフローコントローラ９の温度
が所定の値に達すると、これを開状態にする信号が発せ
られ、これによって、マスフローコントローラ９は、開
状態になり、気化ガス４を下流側に送出できる状態にな
る。また、このとき、マスフローコントローラ９を加熱
するヒータもオフされるが、図外の温度センサの働きで
マスフローコントローラ９が前記所定の温度より低下す
ると、ヒータが再びオンするようにしてある。
が所定の値に達すると、これを開状態にする信号が発せ
られ、これによって、マスフローコントローラ９は、開
状態になり、気化ガス４を下流側に送出できる状態にな
る。また、このとき、マスフローコントローラ９を加熱
するヒータもオフされるが、図外の温度センサの働きで
マスフローコントローラ９が前記所定の温度より低下す
ると、ヒータが再びオンするようにしてある。
【００１７】そして、このとき、恒温槽１内の温度はそ
のヒータによって所定の値になるように温度調節され
る。つまり、気化ガス４の供給時には恒温槽１に設けた
ヒータによって恒温槽１内の温度が所定値になるように
温度調節し、この状態の下に、気化ガスをマスフローコ
ントローラ９を介して外部装置に供給するのである。
のヒータによって所定の値になるように温度調節され
る。つまり、気化ガス４の供給時には恒温槽１に設けた
ヒータによって恒温槽１内の温度が所定値になるように
温度調節し、この状態の下に、気化ガスをマスフローコ
ントローラ９を介して外部装置に供給するのである。
【００１８】上記気化ガス４の発生時においては、気化
熱によって液体材料３の温度が低下するが、このときの
液体材料３の温度変化がタンク２内の温度センサ１０に
よって検知され、プレートヒータ５を発熱させて熱の供
給を行なえるので、気化ガス４が安定して発生する。そ
して、ヒータ２側の温度コントローラ１２とプレートヒ
ータ５側の温度コントローラ１３とが互いに直列接続さ
れた状態で、プレートヒータ５の駆動回路１４に介装さ
れると共に、ヒータ５側の温度コントローラ１３の設定
温度をタンク２側の温度コントローラ１２の設定温度よ
りも高くしてあるので、タンク２内の液体材料３をより
好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持することが
できる。
熱によって液体材料３の温度が低下するが、このときの
液体材料３の温度変化がタンク２内の温度センサ１０に
よって検知され、プレートヒータ５を発熱させて熱の供
給を行なえるので、気化ガス４が安定して発生する。そ
して、ヒータ２側の温度コントローラ１２とプレートヒ
ータ５側の温度コントローラ１３とが互いに直列接続さ
れた状態で、プレートヒータ５の駆動回路１４に介装さ
れると共に、ヒータ５側の温度コントローラ１３の設定
温度をタンク２側の温度コントローラ１２の設定温度よ
りも高くしてあるので、タンク２内の液体材料３をより
好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持することが
できる。
【００１９】なお、プレートヒータ５に代えて他のヒー
タを用いてもよい。また、マスフローコントローラ９は
恒温槽１の外部に設けてもよい。
タを用いてもよい。また、マスフローコントローラ９は
恒温槽１の外部に設けてもよい。
【００２０】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
液体材料に悪影響を及ぼすことなく、また、ヒータが断
線したりすることなく、確実に液体材料を加熱して、気
化ガスを安定に発生しこれを供給することができる。
液体材料に悪影響を及ぼすことなく、また、ヒータが断
線したりすることなく、確実に液体材料を加熱して、気
化ガスを安定に発生しこれを供給することができる。
【図１】本考案に係る液体材料気化供給装置の一例を概
略的に示す図である。
略的に示す図である。
２…タンク、３…液体材料、５…ヒータ、１０，１１…
温度センサ、１２，１３…温度コントローラ、１４…駆
動回路。
温度センサ、１２，１３…温度コントローラ、１４…駆
動回路。
Claims (1)
- 【請求項１】 タンク内に収容された液体材料をヒータ
によって加熱して気化させるようにした液体材料気化供
給装置において、前記タンク内およびヒータにそれぞれ
の温度を検出する温度センサを設け、各温度センサに接
続された温度コントローラをヒータの駆動回路に直列に
接続すると共に、ヒータ側の温度コントローラの設定温
度をタンク側の温度コントローラの設定温度よりも高く
することにより、タンク内の液体材料をより好ましい温
度まで加熱し、その温度を維持するように構成してある
ことを特徴とする液体材料気化供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991058449U JP2557616Y2 (ja) | 1991-06-29 | 1991-06-29 | 液体材料気化供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991058449U JP2557616Y2 (ja) | 1991-06-29 | 1991-06-29 | 液体材料気化供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052701U JPH052701U (ja) | 1993-01-19 |
| JP2557616Y2 true JP2557616Y2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=13084729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991058449U Expired - Lifetime JP2557616Y2 (ja) | 1991-06-29 | 1991-06-29 | 液体材料気化供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2557616Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101415173B1 (ko) * | 2012-11-30 | 2014-07-04 | 한국원자력연구원 | 방사성 핵종을 포함하는 폐액의 분리 회수 장치 및 이를 이용한 분리 회수 방법 |
| TWI715161B (zh) * | 2019-08-23 | 2021-01-01 | 廣化科技股份有限公司 | 純甲酸供酸焊接系統 |
| JP7033622B2 (ja) | 2020-03-19 | 2022-03-10 | 株式会社Kokusai Electric | 気化装置、基板処理装置、クリーニング方法および半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483666A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Furukawa Electric Co Ltd | Liquid raw material evaporating device |
| JPH02261531A (ja) * | 1989-04-01 | 1990-10-24 | Tel Sagami Ltd | 液体材料気化供給装置 |
-
1991
- 1991-06-29 JP JP1991058449U patent/JP2557616Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052701U (ja) | 1993-01-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |