JPH052701U - 液体材料気化供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】液体材料に悪影響を及ぼすことなく、また、ヒ
ータが断線したりすることなく、確実に液体材料を加熱
して、気化ガスを安定に発生しこれを供給することがで
きる液体材料気化供給装置を提供すること。 【構成】タンク２内に収容された液体材料３をヒータ５
によって加熱して気化させるようにした液体材料気化供
給装置において、前記タンク２内およびヒータ５にそれ
ぞれの温度を検出する温度センサ10, 11を設け、各温度
センサ10, 11に接続された温度コントローラ12, 13を互
いに直列接続してヒータ５の駆動回路14に介装すると共
に、ヒータ５側の温度コントローラ13の設定温度をタン
ク２側の温度コントローラ12の設定温度よりも高くして
ある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、タンク内に収容された液体材料をヒータによって加熱して気化させ るようにした液体材料気化供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

前記液体材料気化供給装置においては、液体材料を一定温度に保ちながら一定 流量の気化ガスを得るため、従来、タンク内に液体材料の温度を検出する温度 センサを設けたり、あるいは、ヒータの温度またはその近傍の温度を検出する 温度センサを設けるなどしていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記何れの手段においても一長一短がある。すなわち、前記 の手段のように、タンク内に温度センサを設けた場合には、液体材料の温度を直 接測ることができるので、液体材料の温度を正確に制御することができるものの 、装置の温度立ち上がり時に、ヒータがオーバーヒートして断線に至るか、ある いは、液体材料のヒータに近い部分のみがオーバーヒートするなど、液体材料に 悪影響が及ぼされる。

【０００４】 また、前記の手段のように、ヒータの温度またはその近傍の温度を検出する ための温度センサを設けたものでは、上述の欠点はないものの、液体材料の温度 を正確に制御できないといった欠点がある。特に、液体材料が気化して気化ガス が生じると、気化熱によって液体材料の温度が低下するが、このような場合、熱 の供給に時間遅れが生じ、安定したガスの供給が困難であるといった不都合があ る。

【０００５】 本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的とするところは、 液体材料に悪影響を及ぼすことなく、また、ヒータが断線したりすることなく、 確実に液体材料を加熱して、気化ガスを安定に発生しこれを供給することができ る液体材料気化供給装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案においては、タンク内に収容された液体材料 をヒータによって加熱して気化させるようにした液体材料気化供給装置において 、前記タンク内およびヒータにそれぞれの温度を検出する温度センサを設け、各 温度センサに接続された温度コントローラを互いに直列接続してヒータの駆動回 路に介装すると共に、ヒータ側の温度コントローラの設定温度をタンク側の温度 コントローラの設定温度よりも高くしてある。

【０００７】

【作用】

本考案においては、タンク内およびヒータの温度をそれぞれ検出し、これを制 御することができる。そして、装置の温度立ち上がり時においては、ヒータの温 度が専用の温度センサで検出されるため、ヒータがオーバーヒートすることがな い。また、気化ガス発生時においては、気化熱によって液体材料が低下するが、 この液体材料の温度変化はタンク内の専用の温度センサによって検知され、ヒー タから熱の供給が行なわれるので、気化ガスが安定して発生する。

【０００８】 さらに、各温度センサに接続された温度コントローラを互いに直列接続してヒ ータの駆動回路に介装すると共に、ヒータ側の温度コントローラの設定温度をタ ンク側の温度コントローラの設定温度よりも高くしてあるので、タンク内の液体 材料をより好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持することができる。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説明する。

【００１０】 図１は、本考案に係る液体材料気化供給装置の一構成例を概略的に示すもので 、この図において、１は恒温槽で、その天井や側壁などには、槽内を加熱するた めのヒータ（図外）が設けられている。２はこの恒温槽１の内部に設けられ、例 えばステンレス鋼よりなるタンクで、（Ｃ₂ Ｈ₅ Ｏ）₄ Ｓｉ, ＳｉＣｌ_{4 ,} Ｇｅ Ｃｌ_{4 ,} ＰＯＣｌ₃ などの液体材料３を収容し、これを気化させて気化ガス４を 発生させるものである。５はこのタンク２の底部外壁に密着するように設けられ 、タンク２を直接加熱するための例えばプレートヒータである。

【００１１】 ６は図外の液体材料源に接続された材料供給管、７はストップバルブである。 ８は発生した気化ガス４を導出し、これを例えば半導体製造装置などの外部装置 （図外）に送り出す気化ガス流路、９は恒温槽１の内部に設けられ、気化ガス４ の流量を制御するマスフローコントローラで、例えば図外のヒータで加熱される ようにしてある。

【００１２】 10はタンク２内に挿設される温度センサで、タンク２内の液体材料３の温度を 検出する。11はプレートヒータ５に設けられる温度センサで、プレートヒータ５ またはその近傍の温度を検出する。これらの温度センサ10，11は、例えば熱電対 または白金抵抗体よりなる。

【００１３】 12はタンク２内に挿設された温度センサ10に接続された温度コントローラ、13 はプレートヒータ５に設けられた温度センサ11に接続された温度コントローラで 、両温度コントローラ12, 13は、互いに直列に接続され、プレートヒータ５の駆 動回路14に介装されている。そして、プレートヒータ５側の温度コントローラ13 の設定温度（オンオフ動作する温度）は、タンク２側の温度コントローラ12の設 定温度よりも、例えば５〜50℃高くしてある。なお、15は交流電源である。

【００１４】 次に、上記構成の液体材料気化供給装置の動作について説明する。タンク２内 の液体材料３は、加熱されなくても常時、若干は気化して気化ガス４となってい るのであるが、マスフローコントローラ９が閉止されている限りは再凝縮してタ ンク２内に戻っている。そして、恒温槽１をそのヒータによって加熱すると共に 、プレートヒータ５によってタンク１を加熱し、さらに、マスフローコントロー ラ９をそのヒータによって加熱する。

【００１５】 タンク２が加熱されることにより、その内部の液体材料３の気化が盛んになる が、マスフローコントローラ９が閉止されているので、再凝縮してタンク２内に 戻る。この装置における温度の立ち上がり時、プレートヒータ５の温度が温度セ ンサ11によって検知されているので、プレートヒータ５がオーバーヒートするこ とがない。従って、プレートヒータ５が断線することがない。

【００１６】 そして、マスフローコントローラ９の温度が所定の値に達すると、これを開状 態にする信号が発せられ、これによって、マスフローコントローラ９は、開状態 になり、気化ガス４を下流側に送出できる状態になるが、気化ガス４の送出時、 タンク２を加熱するプレートヒータ５がオフされる。また、このとき、マスフロ ーコントローラ９を加熱するヒータもオフされるが、図外の温度センサの働きで マスフローコントローラ９が前記所定の温度より低下すると、ヒータが再びオン するようにしてある。

【００１７】 そして、このとき、恒温槽１内の温度はそのヒータによって所定の値になるよ うに温度調節される。つまり、気化ガス４の供給時にはタンク２の直接加熱を停 止するとともに、恒温槽１に設けたヒータによって恒温槽１内の温度が所定値に なるように温度調節し、この状態の下に、気化ガスをマスフローコントローラ９ を介して外部装置に供給するのである。

【００１８】 上記気化ガス４の発生時においては、気化熱によって液体材料３が低下するが 、このときの液体材料３の温度変化がタンク２内の温度センサ10によって検知さ れ、プレートヒータ５を発熱させて熱の供給を行なえるので、気化ガス４が安定 して発生する。そして、タンク２側の温度コントローラ12とプレートヒータ５側 の温度コントローラ13とが互いに直列接続された状態で、プレートヒータ５の駆 動回路14に介装されると共に、ヒータ５側の温度コントローラ13の設定温度をタ ンク２側の温度コントローラ12の設定温度よりも高くしてあるので、タンク２内 の液体材料３をより好ましい温度にまで加熱し、その温度を維持することができ る。

【００１９】 なお、プレートヒータ５に代えて他のヒータを用いてもよい。また、マスフロ ーコントローラ９は恒温槽１の外部に設けてもよい。

【００２０】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、液体材料に悪影響を及ぼすことなく、 また、ヒータが断線したりすることなく、確実に液体材料を加熱して、気化ガス を安定に発生しこれを供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る液体材料気化供給装置の一例を概
略的に示す図である。

【符号の説明】

２…タンク、３…液体材料、５…ヒータ、10, 11…温度
センサ、12, 13…温度コントローラ、14…駆動回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 タンク内に収容された液体材料をヒータ
   によって加熱して気化させるようにした液体材料気化供
   給装置において、前記タンク内およびヒータにそれぞれ
   の温度を検出する温度センサを設け、各温度センサに接
   続された温度コントローラを互いに直列接続してヒータ
   の駆動回路に介装すると共に、ヒータ側の温度コントロ
   ーラの設定温度をタンク側の温度コントローラの設定温
   度よりも高くしてあることを特徴とする液体材料気化供
   給装置。